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基于迁移学习的LiPON制备工艺模拟优化 被引量:1
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作者 吴军君 王涛 +1 位作者 王英楷 王星辉 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期687-693,共7页
不同工艺参数对磁控溅射制备固态电解质薄膜LiPON的物理化学特性有巨大影响,使用机器学习对过程建模,能加强内部原理理解,优化参数提升薄膜性能.迁移学习通过挖掘历史数据集中的信息,提升模型精确度与泛化能力,从而更好地找到良好的工... 不同工艺参数对磁控溅射制备固态电解质薄膜LiPON的物理化学特性有巨大影响,使用机器学习对过程建模,能加强内部原理理解,优化参数提升薄膜性能.迁移学习通过挖掘历史数据集中的信息,提升模型精确度与泛化能力,从而更好地找到良好的工艺参数.本文以文献中磁控溅射制备LiPON的数据集为例,探究靶基距离、溅射功率、溅射气压对LiPON薄膜的离子电导率的影响.对比普通机器学习,迁移学习模型在多项误差指标上提升30%以上.通过模型遍历参数空间,搜寻最佳工艺组合,预测LiPON薄膜的离子电导率为2.04μS/cm,优于文献中的最优值,方差分析与实际样本证明了该方法具有可行性. 展开更多
关键词 lipon 迁移学习 机器学习 工艺优化 方差分析
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磁控溅射参数和锂添加对LiPON薄膜离子电导率的影响
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作者 王凯丰 吴隽 +2 位作者 张邵奇 宋坤峰 祝柏林 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2023年第6期424-429,共6页
锂磷氧氮化合物(LiPON)是一种广泛应用于全固态薄膜电池体系的固态电解质。本文采用射频磁控溅射工艺制备LiPON薄膜,研究了溅射工艺参数和烧结锂片添锂对LiPON薄膜离子电导率的影响。结果表明,在溅射功率为120 W时,随着N_(2)/Ar流量比由... 锂磷氧氮化合物(LiPON)是一种广泛应用于全固态薄膜电池体系的固态电解质。本文采用射频磁控溅射工艺制备LiPON薄膜,研究了溅射工艺参数和烧结锂片添锂对LiPON薄膜离子电导率的影响。结果表明,在溅射功率为120 W时,随着N_(2)/Ar流量比由3∶7升高至7∶3,薄膜离子电导率由1.31×10^(-6)S/cm增至2.24×10^(-6)S/cm;当N_(2)/Ar流量比为7∶3时,随着溅射功率由160 W降至120 W,薄膜离子电导率由2.09×10^(-6)S/cm增至2.24×10^(-6)S/cm。分析认为,高氮气比例和低溅射功率有助于双配位和三配位氮结构含量的提升,从而提高LiPON薄膜的离子电导率。此外,烧结锂片添锂法能有效实现靶材添锂,相同溅射参数下,所制薄膜的离子电导率提升了21.4%。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 固态电解质 lipon薄膜 锂添加 离子电导率
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全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5|LiPON|Li的制备及电化学性能 被引量:6
3
作者 赵胜利 文九巴 +1 位作者 祝要民 秦启宗 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期91-94,共4页
采用紫外脉冲激光沉积(PLD)法制备了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜,结合真空热蒸镀法原位组装0.3Ag-V2O5|LiPON|Li薄膜电池。由扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜形貌与结构,利用恒电流充放电、循环伏安等技... 采用紫外脉冲激光沉积(PLD)法制备了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜,结合真空热蒸镀法原位组装0.3Ag-V2O5|LiPON|Li薄膜电池。由扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜形貌与结构,利用恒电流充放电、循环伏安等技术考察了薄膜电池的电化学性能。结果表明,采用PLD方法在O2气氛和N2气氛中分别获得了表面均匀、无针孔、无裂缝、具有非晶态结构的0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜。在电压1.0-4.0V,充放电速率2C时,以厚度100nm的0.3Ag-V2O5薄膜为阴极组装的液态电解质电池循环1000次后稳定容量仍为260mAh/g,表现出良好的循环性能。PLD沉积的Li-PON电解质薄膜具有很好的锂离子导电能力,室温离子电导率为1.6×10^-6S/cm,电子电导率〈10^-14S/cm。在电流密度7μA/cm^2,电压1.0-3.5V条件下全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5│LiPON│Li的循环性能良好,100次循环后的体积比容量达40μAh/(μm.cm^2)。 展开更多
关键词 全固态 薄膜锂电池 0.3Ag-V2O5薄膜 lipon薄膜 PLD
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锂磷氧氮(LiPON)薄膜的制备及应用进展 被引量:4
4
作者 赵胜利 文九巴 +1 位作者 樊丽梅 秦启宗 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期459-461,共3页
介绍了锂磷氧氮(LiPON)薄膜的结构与特性,综述了LiPON薄膜的制备方法以及应用情况,并就LiPON薄膜制备中出现的困难和以后的研究方向做了简单的评述。
关键词 锂磷氧氮(lipon) 薄膜 制备 应用
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LiPON薄膜结构与电化学性能研究 被引量:3
5
作者 赵胜利 文九巴 +1 位作者 李海涛 秦启宗 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期17-21,共5页
采用355nm脉冲激光沉积(PLD)法制备了室温离子电导率为1.6×10-6Scm的LiPON电解质薄膜。用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)等方法对薄膜的结构和形貌进行表征,讨论了LiPON薄... 采用355nm脉冲激光沉积(PLD)法制备了室温离子电导率为1.6×10-6Scm的LiPON电解质薄膜。用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)等方法对薄膜的结构和形貌进行表征,讨论了LiPON薄膜的电化学性能与其结构之间的关系。结果表明,该薄膜是一种无针孔、无裂缝、厚度均匀的非晶态结构。N元素插入到Li3PO4中,取代POP和PO3结构中的O使N与P成键形成PN=P或PNPP,增加了薄膜中的网状结构,从而提高了离子电导率。另外,随着N含量增大,LiPON薄膜的室温离子电导率增大。 展开更多
关键词 lipon 薄膜 结构 PLD
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固态薄膜电解质LiPON的制备及性能研究 被引量:4
6
作者 胡宗倩 谢凯 +1 位作者 李德湛 程玉龙 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第F11期306-308,共3页
采用Li3PO4为靶材,在高纯N2气氛中通过射频磁控溅射的方法制备了非晶态结构的固态电解质Li-PON薄膜。结果表明,在溅射功率150W、工作气压为1.5Pa时,LiPON薄膜离子电导率达3×10-6S/cm,电化学稳定窗口为5V。
关键词 lipon 固态电解质 薄膜 射频磁控溅射
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锂磷氧氮(LiPON)薄膜电解质和全固态薄膜锂电池研究 被引量:29
7
作者 刘文元 傅正文 秦启宗 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第22期2223-2227,共5页
采用电子束热蒸发Li3 PO4与氮等离子体辅助相结合的方法制备了含氮磷酸锂 (LiPON)电解质薄膜 ,已测得该非晶态电解质薄膜在温度为 3 0 0K时的离子导电率为 6 0× 10 -7S/cm ,电子电导率低于 10 -10 S/cm ,电化学稳定窗口为 5 0V .... 采用电子束热蒸发Li3 PO4与氮等离子体辅助相结合的方法制备了含氮磷酸锂 (LiPON)电解质薄膜 ,已测得该非晶态电解质薄膜在温度为 3 0 0K时的离子导电率为 6 0× 10 -7S/cm ,电子电导率低于 10 -10 S/cm ,电化学稳定窗口为 5 0V .以脉冲激光沉积法 (PLD)制备的非晶态Ag0 5V2 O5薄膜为阴极 ,真空热蒸发法制备的金属锂为阳极 ,LiPON薄膜为电解质 ,成功地制备了一个新的Li/LiPON/Ag0 5V2 O5全固态薄膜锂电池 .该电池以 14 μA/cm2 电流充 /放电时 ,首次放电容量达到 62 μAh·cm-2 ·μm-1,10次循环后容量衰减缓慢 ,衰减率约为 0 2 % ,循环寿命达到 5 5 展开更多
关键词 锂磷氧氮薄膜电解质 全固态薄膜锂电池 电子束蒸发 离子导电率 电子电导率 电化学稳定窗口
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原子层沉积LiPON薄膜的表面钝化研究
8
作者 王一同 冯泽 +4 位作者 井美艺 孙勇 罗锋 黄晓东 董红 《真空电子技术》 2021年第6期67-73,共7页
LiPON是一种重要的固态电解质,然而LiPON薄膜会与空气中的水和CO_(2)发生反应产生Li_(2)CO_(3),导致器件的电学性能变差。本工作利用X射线光电子能谱研究了通过原子层沉积(ALD)技术生长Al_(2)CO_(3)薄膜来钝化LiPON薄膜,并且对比了多种... LiPON是一种重要的固态电解质,然而LiPON薄膜会与空气中的水和CO_(2)发生反应产生Li_(2)CO_(3),导致器件的电学性能变差。本工作利用X射线光电子能谱研究了通过原子层沉积(ALD)技术生长Al_(2)CO_(3)薄膜来钝化LiPON薄膜,并且对比了多种方案:在ALD生长Al_(2)CO_(3)薄膜之前对样品表面不做预处理,利用O_(3)作为生长Al_(2)CO_(3)薄膜的前驱体,以及N_(2)和O_(2)的等离子体预处理后再在LiPON薄膜表面生长Al_(2)CO_(3)薄膜。结果显示只有通过原位O_(2)等离子体预处理,可以实现Al_(2)CO_(3)薄膜在LiPON薄膜表面的生长,并且抑制住了暴露空气后LiPON表面Li_(2)CO_(3)的形成,起到了钝化效果。本研究通过原位钝化,提高了LiPON薄膜在空气中的稳定性,为其在微型全固态锂电池工业应用奠定基础。 展开更多
关键词 lipon 原子层沉积 Al_(2)O_(3) 钝化 X射线光电子能谱
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Fast Li^(+) migration in LiPON electrolytes doped by multi-valent Fe ions
9
作者 Shuyu Zhou Ruixue Tian +2 位作者 Aimin Wu Li Lin Hao Huang 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第12期349-359,I0009,共12页
Achieving superior ionic conductivity of Li PON solid electrolyte films is critical for the solid-state thinfilm batteries with high energy density.Here we describe a method of preparing Li PON with promising ionic mi... Achieving superior ionic conductivity of Li PON solid electrolyte films is critical for the solid-state thinfilm batteries with high energy density.Here we describe a method of preparing Li PON with promising ionic migration capability and high work function by systematically tailoring the concentration of Fe ions doping.Fe-doped LiPON exhibits excellent ionic conductivity(1.08×10^(-5)S cm^(-1),nearly 10 times higher than the pristine LiPON),low ionic activation energy,and moderate equilibrium potential difference(versus LiCoO_(2),0.78 V)at room temperature.The favorable ionic mobility and electrochemical stability of Fedoped Li PON are fully confirmed.All-solid-state“Li/LiPON/LiCoO_(2)”TFB has been successfully constructed with a large specific capacity(~36.3μAh cm^(-2)μm^(-1)at 10μA cm^(-2))and good cycle performance(87.8%capacity retention after 40 cycles).Fe with the unique d-orbital electronic structure changes the local electron density of Li PON system with the weakened electrostatic constraint of PO_(3)N^(4-)tetrahedrons to Li^(+).A low Li^(+)migration barrier center is established around the Fe–N bridge bonds. 展开更多
关键词 Solid electrolyte Fe-doped lipon Ionic conductivity Work function Magnetron sputtering
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中国团队设计LiPON涂层提升锂硫电池使用寿命
10
《汽车工程师》 2019年第1期8-8,共1页
中国的一支研发团队通过对高能量密度锂硫电池的金属阳极进行调整,避免其生成固体电解质相界面膜(SEI)及锂枝晶的增生,该方式原理简单,可用于量产。该团队通过电子束反应蒸发氮等离子体辅助沉积,在锂金属阳极上涂覆了一层锂磷氧氮(LiPON... 中国的一支研发团队通过对高能量密度锂硫电池的金属阳极进行调整,避免其生成固体电解质相界面膜(SEI)及锂枝晶的增生,该方式原理简单,可用于量产。该团队通过电子束反应蒸发氮等离子体辅助沉积,在锂金属阳极上涂覆了一层锂磷氧氮(LiPON)涂层。锂磷氧氮涂层可被用作一款高离子导电、化学性能稳定、坚固耐用的防护涂层,可抑制与有机电解质发生具有腐蚀性的化学反应,还能促进锂的电镀/喷涂,从而提升均匀性锂金属电芯的充放电的稳定性,不会生成锂枝晶,在电流密度为3mA/m^2时,实现900多次的电池充放电。 展开更多
关键词 锂硫电池 防护涂层 lipon 使用寿命 中国 固体电解质相界面膜 等离子体辅助沉积 电子束反应蒸发
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偏轴射频磁控溅射生长LiPON在高性能全固态薄膜锂离子电池中的应用 被引量:1
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作者 肖东丽 童君 《集成技术》 2017年第6期24-30,共7页
全固态薄膜锂离子电池(Thin Film Lithium Ion Battery,TFLB)在微型器件储能领域具有巨大的应用潜力,传统上多采用射频磁控溅射生长Li PON薄膜的方法获得稳定的固态电解质层。文章主要研究了基于偏轴磁控溅射技术的Li PON薄膜制备方法,... 全固态薄膜锂离子电池(Thin Film Lithium Ion Battery,TFLB)在微型器件储能领域具有巨大的应用潜力,传统上多采用射频磁控溅射生长Li PON薄膜的方法获得稳定的固态电解质层。文章主要研究了基于偏轴磁控溅射技术的Li PON薄膜制备方法,通过改变薄膜沉积过程中的N2气压值,在0.2 Pa气压下获得了锂离子电导率达到2.4×10-6 S·cm-1的固态电解质层;同时,将优化后的Li PON薄膜应用于Li Co O2/Li PON/Li结构的TFLB中。实验结果表明,TFLB在0.1 C倍率下首次放电容量可达62.1μA·h·cm-2·μm-1,而在高倍率(4 C)条件下放电容量依然可达51.7μA·h·cm-2·μm-1,经过0.1 C、0.5 C、1 C、2 C、4 C倍率条件下各5次充放电循环后,TFLB在0.1 C倍率下的容量保有率仍高达90%,展示出了良好的器件性能。 展开更多
关键词 全固态薄膜锂离子电池 锂磷氧氮 固态电解质
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NCM 811/LiPON全固态锂电池的制备与性能研究
12
作者 张聪聪 柯秉渊 +1 位作者 张红 王星辉 《功能材料与器件学报》 CAS 2023年第2期112-116,共5页
LiNi_(0.8)Co_(0.1)Mn_(0.1)O_(2)(NCM 811),具有高比容量、价格低廉以及环境友好等优点在固态电池领域已有较多学者研究。然而,较厚的固态电解质(>20μm)影响了其能量密度。作为一种常见的薄膜固态电解质,锂磷氧氮(LiPON)在薄膜固... LiNi_(0.8)Co_(0.1)Mn_(0.1)O_(2)(NCM 811),具有高比容量、价格低廉以及环境友好等优点在固态电池领域已有较多学者研究。然而,较厚的固态电解质(>20μm)影响了其能量密度。作为一种常见的薄膜固态电解质,锂磷氧氮(LiPON)在薄膜固态电池领域受到普遍的关注。目前,尚未有研究将涂布的NCM 811与LiPON薄膜型电解质组合的固态电池。本工作以商业单面辊压NCM 811为阴极,结合磁控溅射LiPON电解质薄膜,Li箔为阳极成功制备全固态锂电池。循环测试结果表明,NCM 811/LiPON/Li箔全固态锂电池在15μA cm^(-2)电流密度下循环60圈后仍有54.85μAh cm^(-2)的面积比容量。且表现出优异的循环稳定性和倍率性能。此工作证明NCM 811阴极与LiPON电解质薄膜结合的全固态电池的制备是可行的,为NCM 811全固态电池的开发提供了一种新思路。 展开更多
关键词 NCM 811 lipon 全固态锂电池
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High performance sandwich structured Si thin film anodes with LiPON coating 被引量:1
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作者 Xinyi LUO Jialiang LANG +1 位作者 Shasha LV Zhengcao LI 《Frontiers of Materials Science》 SCIE CSCD 2018年第2期147-155,共9页
The sandwich structured silicon thin film anodes with lithium phosphorus oxynitride (LiPON) coating are synthesized via the radio frequency magnetron sputtering method, whereas the thicknesses of both layers are in ... The sandwich structured silicon thin film anodes with lithium phosphorus oxynitride (LiPON) coating are synthesized via the radio frequency magnetron sputtering method, whereas the thicknesses of both layers are in the nanometer range, i.e. between 50 and 200 nm. In this sandwich structure, the separator simultaneously functions as a flexible substrate, while the LiPON layer is regarded as a protective layer. This sandwich structure combines the advantages of flexible substrate, which can help silicon release the compressive stress, and the LiPON coating, which can provide a stable artificial solid- electrolyte interphase (SEI) film on the electrode. As a result, the silicon anodes are protected well, and the cells exhibit high reversible capacity, excellent cycling stability and good rate capability. All the results demonstrate that this sandwich structure can be a promising option for high performance Si thin film lithium ion batteries. 展开更多
关键词 sandwich anode lipon coating flexible substrate silicon anode
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LiPON固体电解质膜对金属锂电极的保护作用 被引量:1
14
作者 丁飞 刘兴江 +3 位作者 张晶 杨凯 桑林 李凌妮 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1664-1667,共4页
制备LiPON固体电解质薄膜,通过电沉积手段获得由LiPON膜保护的金属锂电极,测试该电极在有机电解液体系中的电化学性质。结果表明:LiPON膜的存在,抑制了锂电极和电解液之间的非法拉第反应,使锂电极具有更加稳定的电极/电解液界面。由于Li... 制备LiPON固体电解质薄膜,通过电沉积手段获得由LiPON膜保护的金属锂电极,测试该电极在有机电解液体系中的电化学性质。结果表明:LiPON膜的存在,抑制了锂电极和电解液之间的非法拉第反应,使锂电极具有更加稳定的电极/电解液界面。由于LiPON膜的保护作用,金属锂电极在充放电循环中也表现出优越的界面稳定性,从而获得更高的库伦循环效率和更好的电池循环寿命。 展开更多
关键词 lipon 固体电解质膜 金属锂电极 保护作用 电解液体系 电池循环寿命 界面稳定性 电解质薄膜 电解液界面 电化学性质 充放电循环 循环效率 法拉第 电沉积 制备 抑制 结果 反应 测试
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锂磷氧氮薄膜电解质的制备与结构分析 被引量:1
15
作者 张敏 牛亚军 +2 位作者 张浩昌 俞兆喆 田冰冰 《桂林电子科技大学学报》 2023年第4期313-318,共6页
锂磷氧氮(LiPON)是薄膜电池应用中最具代表性的薄膜固态电解质,还被用作界面保护层,用以提高电解质与正极、负极的界面稳定性。采用射频磁控溅射方法,以Li_(3)PO_(4)为溅射靶材,在N_(2)气氛下沉积LiPON薄膜固态电解质。通过优化溅射功... 锂磷氧氮(LiPON)是薄膜电池应用中最具代表性的薄膜固态电解质,还被用作界面保护层,用以提高电解质与正极、负极的界面稳定性。采用射频磁控溅射方法,以Li_(3)PO_(4)为溅射靶材,在N_(2)气氛下沉积LiPON薄膜固态电解质。通过优化溅射功率、工作压强、基底温度等工艺条件,制备出表面致密、均匀、无缺陷的LiPON薄膜。XPS测试结果表明,薄膜的溅射过程是一种反应式溅射,N取代Li_(3)PO_(4)结构中的桥氧键(—O—)与非桥氧键(=O),形成氮三配位键N_(t)(—N<)和氮双配键N_(d )(=N—),构成网状结构的LiPON薄膜。测得LiPON薄膜固态电解质的室温离子电导率为7×10^(-7)S·cm^(-1),电子电导率为4.8×10^(-13 )S·cm^(-1)。LiPON薄膜固态电解质致密的形貌和稳定的电化学性能使得LiPON在薄膜电池及固态电池界面改性中的应用具有显著优势。 展开更多
关键词 lipon 薄膜固态电解质 射频磁控溅射 工艺优化 薄膜电池
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全固态薄膜锂电池研究进展和产业化展望 被引量:19
16
作者 陈牧 颜悦 +6 位作者 刘伟明 周辰 郭志强 张晓锋 望咏林 厉蕾 张官理 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1-20,共20页
全固态薄膜锂电池利用固态电解质替代传统电解液,采用多层薄膜堆垛的平面结构,属于新一代的锂离子电池,在军民两用的可穿戴设备、便携式移动电源、汽车和航空动力电池等领域应用前景广阔。该类电池因高安全性、长循环寿命、高比容量和... 全固态薄膜锂电池利用固态电解质替代传统电解液,采用多层薄膜堆垛的平面结构,属于新一代的锂离子电池,在军民两用的可穿戴设备、便携式移动电源、汽车和航空动力电池等领域应用前景广阔。该类电池因高安全性、长循环寿命、高比容量和高能量密度等优势性能受到业界广泛关注。本文概述薄膜锂电池的分类和充放电原理,总结正负极、电解质薄膜材料的发展历程和薄膜制备手段的改进,对比各类电池材料的电化学性能,引入该方向最新的研究进展:三维薄膜锂电池,可变形的柔性电池,高电压、大容量电池组。汇总国外商用电池产品、关键优势技术、电池制备设备,提出薄膜锂电池亟待解决的科学问题和国内潜在的产业化方向。 展开更多
关键词 薄膜锂电池 磁控溅射 正极薄膜 安全性 lipon
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锂离子无机固体电解质研究进展 被引量:7
17
作者 丁飞 张晶 +1 位作者 杨凯 刘兴江 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期496-499,共4页
锂离子无机固体电解质是先进锂电池材料研究的重点之一,对锂电池未来的发展起到非常重要的作用。综述了几种主要类型锂离子无机固体电解质材料的结构、性质和改性研究,并且对一种性能优良、具有实用前景的固体电解质材料——LiPON进行... 锂离子无机固体电解质是先进锂电池材料研究的重点之一,对锂电池未来的发展起到非常重要的作用。综述了几种主要类型锂离子无机固体电解质材料的结构、性质和改性研究,并且对一种性能优良、具有实用前景的固体电解质材料——LiPON进行了详细叙述,最后对以LiPON为代表的锂离子无机固体电解质的可能发展方向及其改性途径做出展望。 展开更多
关键词 固体电解质 锂离子 锂电池 lipon
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含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性 被引量:9
18
作者 刘文元 李驰麟 傅正文 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1413-1418,共6页
利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,LiPON薄膜在湿度为40%的空气环境中放置24 h后,将发生... 利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,LiPON薄膜在湿度为40%的空气环境中放置24 h后,将发生明显的水解反应,使LiPON薄膜表面形貌变得疏松、局部突起;PH3和NH3的产生,使薄膜中磷元素和氮元素含量减少,而Li2CO3的生成,则使薄膜中碳元素和氧元素含量有明显的增加.LiPON电解质薄膜形貌和组成的变化,造成了薄膜电化学性能的严重恶化. 展开更多
关键词 lipon薄膜 薄膜电解质 磁控溅射 全同态薄膜锂电池
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以LiCoO_2为阴极的全固态薄膜锂电池的研究 被引量:8
19
作者 刘文元 傅正文 秦启宗 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1043-1047,共5页
采用射频磁控溅射技术制备了非晶态和不同取向的多晶LiCoO2薄膜,利用XRD和SEM研究了不同温度退火后LiCoO2薄膜的结构和形貌.以具有不同结构的LiCoO2薄膜为阴极、含氮磷酸锂薄膜为电解质以及金属锂薄膜为阳极,成功地制备了电化学性能不... 采用射频磁控溅射技术制备了非晶态和不同取向的多晶LiCoO2薄膜,利用XRD和SEM研究了不同温度退火后LiCoO2薄膜的结构和形貌.以具有不同结构的LiCoO2薄膜为阴极、含氮磷酸锂薄膜为电解质以及金属锂薄膜为阳极,成功地制备了电化学性能不同的全固态薄膜锂电池.由电化学研究结果表明,LiCoO2薄膜的结构和多晶取向决定了薄膜电池的电化学性能.采用具有一定取向的多晶LiCoO2薄膜制备的全固态薄膜锂电池具有最佳的性能,稳定放电容量达到55.4μAh/cm2μm,充放电循环次数超过450次. 展开更多
关键词 LICOO2 磁控溅射 lipon 全固态薄膜锂电池
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全固态薄膜锂/锂离子电池的研究进展 被引量:5
20
作者 刘文元 王旭辉 +1 位作者 李驰麟 傅正文 《化学研究与应用》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期953-958,共6页
本文介绍了全固态薄膜锂/锂离子电池发展;对全固态薄膜锂/锂离子电池最近的研究进展进行了综述分析,并指出了今后研究的方向。
关键词 lipon 微电池 全固态薄膜锂电池
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