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157nm光刻技术的进展
被引量:
1
1
作者
童志义
葛劢冲
《电子工业专用设备》
2006年第2期13-17,52,共6页
概述了作为下一代光刻技术之一的157nmF2准分子激光光刻技术的进展及各公司157nm曝光设备的开发现状。介绍了157nm光刻中各种制约因素,如CaF2材料的双折射现象、真空环境的排气及污染控制、保护薄膜的选择、折反射光学系统的选择与设计...
概述了作为下一代光刻技术之一的157nmF2准分子激光光刻技术的进展及各公司157nm曝光设备的开发现状。介绍了157nm光刻中各种制约因素,如CaF2材料的双折射现象、真空环境的排气及污染控制、保护薄膜的选择、折反射光学系统的选择与设计及新型抗蚀剂的开发等问题随着时间的推进已基本得到解决。最后讨论了157nm光刻技术在45nm及以下节点器件图形曝光引入的可能性和采用浸液式157nm光刻进入32nm技术节点器件图形曝光的潜力。
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关键词
157
nm光刻
氟化钙材料
局部反射光斑
双折射
折反射光路
保护薄膜
污染控制
浸液式光刻
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职称材料
宽尾墩后局部边墙对掺气效果的影响
被引量:
2
2
作者
廖柳霞
王韦
+1 位作者
刘善均
田忠
《四川大学学报(工程科学版)》
CSCD
北大核心
2014年第S2期13-16,共4页
为解决X型宽尾墩后台阶面的掺气问题,提出了在宽尾墩后设置局部边墙这一新的掺气设施,采用模型试验对比研究了有无局部边墙情况下阶梯面的流态、压强等特性。结果表明:无局部边墙时,水流出宽尾墩后在阶梯面向两侧扩散,封堵了掺气通道,...
为解决X型宽尾墩后台阶面的掺气问题,提出了在宽尾墩后设置局部边墙这一新的掺气设施,采用模型试验对比研究了有无局部边墙情况下阶梯面的流态、压强等特性。结果表明:无局部边墙时,水流出宽尾墩后在阶梯面向两侧扩散,封堵了掺气通道,极易发生空蚀破坏;设置局部边墙后,水流出宽尾墩后由于受到边墙的约束,能形成稳定的掺气空腔,可有效减免台阶面的空蚀破坏,且结构简单,易于设计施工。该掺气设施对类似工程具有借鉴作用。
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关键词
X型宽尾墩
局部边墙
阶梯溢流坝
掺气设施
水工模型试验
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职称材料
题名
157nm光刻技术的进展
被引量:
1
1
作者
童志义
葛劢冲
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2006年第2期13-17,52,共6页
文摘
概述了作为下一代光刻技术之一的157nmF2准分子激光光刻技术的进展及各公司157nm曝光设备的开发现状。介绍了157nm光刻中各种制约因素,如CaF2材料的双折射现象、真空环境的排气及污染控制、保护薄膜的选择、折反射光学系统的选择与设计及新型抗蚀剂的开发等问题随着时间的推进已基本得到解决。最后讨论了157nm光刻技术在45nm及以下节点器件图形曝光引入的可能性和采用浸液式157nm光刻进入32nm技术节点器件图形曝光的潜力。
关键词
157
nm光刻
氟化钙材料
局部反射光斑
双折射
折反射光路
保护薄膜
污染控制
浸液式光刻
Keywords
157 nm lithography
Calcium fluoride material
local flare
Catadioptric path
Birefingence
Pellicles
Contamination control
Liquid immersion lithography
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
宽尾墩后局部边墙对掺气效果的影响
被引量:
2
2
作者
廖柳霞
王韦
刘善均
田忠
机构
四川大学水力学与山区河流开发保护国家重点实验室
出处
《四川大学学报(工程科学版)》
CSCD
北大核心
2014年第S2期13-16,共4页
文摘
为解决X型宽尾墩后台阶面的掺气问题,提出了在宽尾墩后设置局部边墙这一新的掺气设施,采用模型试验对比研究了有无局部边墙情况下阶梯面的流态、压强等特性。结果表明:无局部边墙时,水流出宽尾墩后在阶梯面向两侧扩散,封堵了掺气通道,极易发生空蚀破坏;设置局部边墙后,水流出宽尾墩后由于受到边墙的约束,能形成稳定的掺气空腔,可有效减免台阶面的空蚀破坏,且结构简单,易于设计施工。该掺气设施对类似工程具有借鉴作用。
关键词
X型宽尾墩
局部边墙
阶梯溢流坝
掺气设施
水工模型试验
Keywords
X-shape flaring gate pier
local
sidewall
stepped spillway
aerator
hydraulic model experiment
分类号
TV653 [水利工程—水利水电工程]
TV135.2 [水利工程—水力学及河流动力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
157nm光刻技术的进展
童志义
葛劢冲
《电子工业专用设备》
2006
1
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职称材料
2
宽尾墩后局部边墙对掺气效果的影响
廖柳霞
王韦
刘善均
田忠
《四川大学学报(工程科学版)》
CSCD
北大核心
2014
2
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职称材料
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