集成电路制造中化学气相沉积工艺废气的处理

集成电路制造过程中化学气相沉积(CVD)工艺生成大量有毒有害工艺废气,介绍在这道工序中工艺废气的成因及其无害化排放处理的过程。

高科技制造业工艺设备用废气处理装置

主要介绍集成电路、液晶光电和薄膜太阳能等高科技制造行业中,工艺设备尾气除害用的废气处理装置Local Scrubber以及相关产品的分类、功能、原理、处理效率、日常维护、报警处理和相关环保法律法规等。

论集成电路厂房工艺排风的本地处理

在集成电路厂房产品制造过程中会产生有毒有害的工艺废气。由于制造工艺复杂,使用的气体与化学品种类多样,仅使用集中废气处理设备无法高效地去除废气中的各种有害成分。结合工程实例,介绍了集成电路厂房工艺排风本地处理设备的作用、分类、工作原理与选用。采样分析结果表明,设备运行稳定,废气去除效率均高于90%。

钨化学气相淀积设备的废气处理改善

钨化学气相淀积反应会生成大量的有害副产物,这些有害气体通过尾气处理器处理去除有害成分或改变化学组成。真空排气管道和尾气处理器常常由于粉尘堵塞需要设备停机定期清理,介绍了粉尘堆积的原因和减少粉尘的方法,通过排气管道加热保温、真空泵温度控制、废气处理器改善等方法大幅度延长管道清洗周期、延长真空泵寿命并延长尾气处理器维护周期。

特殊结构高压洗涤器的制造与检验

介绍了直筒式高压洗涤器管箱较为狭长的结构特点,并针对此特殊结构,在制造过程中采取了先组焊低压壳体与上、下管板,然后再与上、下管箱分别组焊的方法。并将管板与管箱的两道环缝定为最终合拢缝,进行局部热处理,为制造类似设备提供了成功经验。