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High common mode rejection ratio InP 90°optical hybrid in ultra-broadband at 60 nm with deep-rigded waveguide based on×4 MMI coupler 被引量:1
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作者 Zi-Qing Lu Qin Han +3 位作者 Han Ye Shuai Wang Feng Xiao Fan Xiao 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第5期265-272,共8页
An InP optical 90°hybrid based on a×4 MMI coupler with a deep ridged waveguide is designed and fabricated.The working principle of the 90°hybrid is systematically introduced.Three-dimensional beam ropag... An InP optical 90°hybrid based on a×4 MMI coupler with a deep ridged waveguide is designed and fabricated.The working principle of the 90°hybrid is systematically introduced.Three-dimensional beam ropagation method(3D BPM)is used to optimize the structure parameters of the 90°hybrid.The designed compact structure is demonatrated to have a low excess loss less than-0.15 dB,a high common mode rejection ratio better than 40 dB,and a low relative phase deviation less than±2.5°.The designed hybrid is manufactured on a sandwitched structure deposited on an InP substrate.The measured results show that the common mode rejection ratios are larger than 20 dB in a range from 1520 nm to 1580 nm.The phase deviations are less than±5°in a range from 1545 nm to 1560 nm and less than±7°across the C band.The designed 90°optical hybrid is suitable well for realizing miniaturization,high-properties,and high bandwidth of coherent receiver. 展开更多
关键词 90°hybrid ×4 mmi coupler deep ridge high common mode rejection ratio
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MMI微压印模板的设计与研究 被引量:2
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作者 王海容 蒋庄德 +2 位作者 刘俊明 周志涛 张英 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期36-38,共3页
微纳米压印技术作为代替传统光刻的一种新兴技术,有着重要的应用潜力。近年来在直接加工微器件如微流体、微生物器件,特别是在微平面光学器件方面得到了较快的发展。采用微压印法直接加工聚合物微平面光学器件是一个具有实用价值和研究... 微纳米压印技术作为代替传统光刻的一种新兴技术,有着重要的应用潜力。近年来在直接加工微器件如微流体、微生物器件,特别是在微平面光学器件方面得到了较快的发展。采用微压印法直接加工聚合物微平面光学器件是一个具有实用价值和研究价值的课题。该文首先讨论并选取了聚甲基丙稀酸甲酯(PMMA),研究了聚合物多模干涉(MMI)耦合器器件的微压印模板的设计和加工,讨论了压印模板材料的影响。根据典型基于MMI聚合物分光器件模板的设计实例,由聚合物的光学性能和分光要求,设计出模板的几何尺寸,通过微细加工工艺加工出模板,并给出了初步的热压印实验结果。 展开更多
关键词 微压印 模板 多模干涉(mmi)耦合器 工艺
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一种基于多模干涉波导的超低尺寸波分复用器
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作者 董锦晓 刘世平 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1172-1176,共5页
波分复用/解复用器作为数据传输的核心器件,广泛应用于片上光互联网络中,其中最重要的指标就是器件的尺寸,插入损耗和串扰大小,为解决传统硅基阵列波导光栅尺寸较大,阵列波导光栅光强不均的问题,我们提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)的环... 波分复用/解复用器作为数据传输的核心器件,广泛应用于片上光互联网络中,其中最重要的指标就是器件的尺寸,插入损耗和串扰大小,为解决传统硅基阵列波导光栅尺寸较大,阵列波导光栅光强不均的问题,我们提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)的环形反射器辅助多模干涉波导的四通道波分复用器,可以实现不同通道的波长分离。其核心尺寸仅为10μm×34μm,最小相邻通道串扰为-14.42 dB。 展开更多
关键词 硅光子学 波分复用器 多模干涉耦合波导 串扰 集成光学器件
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基于指数型MMI一般成像特性的设计方法研究
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作者 平均芬 《光通信技术》 北大核心 2015年第6期42-44,共3页
研究指数型多模干涉(MMI)耦合器的一般成像特性,提出一种新的基于指数型MMI一般成像特性的器件设计方法,设计了1310nm/1550nm复用/解复用器,并利用FD-BPM仿真分析进行验证。
关键词 指数型mmi耦合器 一般成像特性 1310nm/1550nm复用/解复用器
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聚合物多模干涉微环谐振器的设计与分析 被引量:1
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作者 吕桓林 韩秀友 +2 位作者 武震林 梁宇鑫 赵明山 《激光杂志》 北大核心 2016年第5期10-14,共5页
聚合物基微环谐振器作为低成本和易制备的集成光子器件受到了广泛的关注。利用多模干涉的自映像理论设计了微环谐振器,在直波导和环之间以2×2多模干涉耦合实现50∶50的分光比。在输入/输出波导和多模干涉耦合区连接部分引入了锥形... 聚合物基微环谐振器作为低成本和易制备的集成光子器件受到了广泛的关注。利用多模干涉的自映像理论设计了微环谐振器,在直波导和环之间以2×2多模干涉耦合实现50∶50的分光比。在输入/输出波导和多模干涉耦合区连接部分引入了锥形结构以提高性能。分析了TE/TM波多模干涉区制备容差对附加损耗和均衡度的影响。分析了不同残留层厚度下正脊型波导的弯曲损耗。进一步仿真了半径为200μm微环的光谱响应。仿真结果表明设计极大的提高了微环的性能。 展开更多
关键词 多模干涉耦合器 微环谐振器 束传播方法 正脊型
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采用绝缘体上的半导体技术制备集成的多模干涉型光耦合器和光开关(英文) 被引量:1
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作者 余金中 魏红振 +2 位作者 严清峰 夏金松 张小峰 《中国科学院研究生院学报》 CAS CSCD 2003年第1期1-6,共6页
在光学系统中,SOI(绝缘体上的半导体)上制备集成的MMI(多模干涉)型光耦合器已成为一种愈来愈引人注目的无源器件.由于Si和SiO2 之间具有大的折射率差,在SOI波导中可以采用SiO2 薄膜( <1.0 μm)作限制层,这与超大规模集成电路工艺相兼... 在光学系统中,SOI(绝缘体上的半导体)上制备集成的MMI(多模干涉)型光耦合器已成为一种愈来愈引人注目的无源器件.由于Si和SiO2 之间具有大的折射率差,在SOI波导中可以采用SiO2 薄膜( <1.0 μm)作限制层,这与超大规模集成电路工艺相兼容.描述了采用SOI技术制备集成的MMI型光耦合器和光开关的设计和制造结果.业已证实,2× 2MMI MZI(多模干涉 麦赫 曾德干涉)型热光开关的开关时间小于 2 0 μs. 展开更多
关键词 绝缘体 半导体 制备 多模干涉 光耦合器 光开关 集成光学 SOI技术
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用于波分复用的1×4多模干涉耦合器 被引量:1
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作者 宁春梅 陈才和 +2 位作者 高洪宇 唐东林 崔宇明 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期188-191,共4页
根据多模干涉 (MMI)技术和波分复用原理 ,设计并研制出应用于波分复用系统的 1× 4钛扩散铌酸锂 (Ti:LiNbO3 /LiNbO3 )多模干涉耦合器。对MMI耦合器进行了理论研究和设计计算 ,完成了结构参数的优化设计、特性参数 (损耗 ,分光比 )... 根据多模干涉 (MMI)技术和波分复用原理 ,设计并研制出应用于波分复用系统的 1× 4钛扩散铌酸锂 (Ti:LiNbO3 /LiNbO3 )多模干涉耦合器。对MMI耦合器进行了理论研究和设计计算 ,完成了结构参数的优化设计、特性参数 (损耗 ,分光比 )的计算和实验验证 ,并与常规的M -Z型耦合器进行了对比。设计出的 1× 4MMI耦合器的长度为6mm ,损耗为 1 4dB ,而使用三个M -Z型耦合器构成 1× 4耦合器 ,总长度为 6 0mm ,总损耗为 1 5dB ;因此 ,采用MMI耦合器 ,具有结构紧凑、损耗低、工艺简单、容差性好等一系列独特的优点。 展开更多
关键词 波分复用 mmi耦合器 损耗
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光通信中的无源光功分器 被引量:1
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作者 马慧莲 杨建义 王明华 《微电子技术》 2000年第1期24-30,共7页
光功分器是光通信系统和光信息处理系统中的关键器件 ,也是构成其他光器件的重要组成部分。本文综述了几种典型的无源光功分器结构 ,并对其性能进行了相互比较。
关键词 无源光功分器 光通信 光纤 耦合器
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Performance Study of Silica-on-Silicon Based Multimode Interference (MMI) Optical Coupler 被引量:2
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作者 A. Zahed Chowdhury (1) 《Photonic Sensors》 SCIE EI CAS 2014年第1期34-42,共9页
In recent years, the silica-on-silicon based multimode interference (MMI) optical waveguide is an interesting research topic. It is being advanced various researches on the silica based MMI coupler. This paper repre... In recent years, the silica-on-silicon based multimode interference (MMI) optical waveguide is an interesting research topic. It is being advanced various researches on the silica based MMI coupler. This paper represents the considerations of the optimal design of the silica-on-silicon based MMI optical coupler for better performance. For that, we have illustrated the simulation results on a particular case of the 4x4 silica-on-silicon based MMI coupler. From the simulation results, it is seen that the performance of the MMI coupler depends on multiple width and length combinations of the MMI waveguide. The results also show that the width of the multimode waveguide could not be too small or too large for optimal performance, and at the widths, 100~tm, 120~tm and 130~tm, the performance could be optimized and be almost 0.62 - 0.64 in a given length range. Finally, the results have been compared with the optical coupler presently available in the market and show that the silica-on-silicon based MMI coupler is much more efficient in terms of losses and the performance associated with it and the size of the coupler. 展开更多
关键词 Optical coupler planar lightwave circuits (PLCs) silica-on-silicon waveguide multimode interference(mmi coupler performance (PF)
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基于载流子注入的SOI4×4MMI-MZ光开关阵列 被引量:8
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作者 杨健 陈伟伟 +2 位作者 王皖君 王明华 杨建义 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期16-20,共5页
采用0.8μm CMOS工艺线制作了一种基于载流子注入的SOI 4×4马赫-曾德(MZ)光开关阵列,其由4个2×2基于多模干涉(MMI)耦合器的MZ(MMI-MZ)光开关单元组成。通过对调制臂施加电压,利用Si的载流子色散效应引起调制区的折射率变化实... 采用0.8μm CMOS工艺线制作了一种基于载流子注入的SOI 4×4马赫-曾德(MZ)光开关阵列,其由4个2×2基于多模干涉(MMI)耦合器的MZ(MMI-MZ)光开关单元组成。通过对调制臂施加电压,利用Si的载流子色散效应引起调制区的折射率变化实现开关功能。测试结果表明,当输入光为1 510~1 580nm的宽带光源时,光开关阵列的不同路径间的串扰低于-8.02dB,支持的公共带宽为35nm(1 530~1 565nm),开关阵列的上升和下降时间分别为17.4ns和21ns。 展开更多
关键词 光开关阵列 马赫-曾德(MZ) 多模干涉(mmi)耦合器 SOI 载流子色散
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双梯形多模干涉耦合器用于提高半导体激光器电光效率
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作者 宫梓傲 虞顺超 +2 位作者 邹永刚 徐英添 范杰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第14期100-108,共9页
设计并制作了一种含有双梯形多模干涉(DT-MMI)耦合器结构的有源MMI半导体激光器(DTM-LD)。基于双梯形MMI多模波导的自映像分布重构效应,该激光器在保持与传统矩形有源MMI激光器(MMI-LD)相同有源区面积的同时,具有更短的器件腔长,有利于... 设计并制作了一种含有双梯形多模干涉(DT-MMI)耦合器结构的有源MMI半导体激光器(DTM-LD)。基于双梯形MMI多模波导的自映像分布重构效应,该激光器在保持与传统矩形有源MMI激光器(MMI-LD)相同有源区面积的同时,具有更短的器件腔长,有利于器件电光转换效率的提升。实验制得了双梯形底宽为15μm、腰宽为30μm的DTM-LD器件。在保持有源面积约为3.33×10^(4)μm^(2)的情况下,该激光器件的腔长相比于MMI-LD减小了4.2%。在注入电流为1 A的情况下,DTM-LD的电光转换效率由14.5%提升至16.3%,相对提升了12.4百分点,同时其最高输出功率由355 mW小幅提升至360 mW。当MMI多模波导的宽度减小0.5μm时,相比于MMI-LD,DTM-LD的输出功率损耗由51 mW减小至40 mW,降低了21.6%,这表明DTM-LD具有较低的制造误差敏感性。 展开更多
关键词 半导体激光器 mmi耦合器 双梯形 电光转换效率
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Experimental research on an integrated thermooptic switch based on multimode interference couplers
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作者 WAN Zhujun WU Yaming LI Sihua 《Frontiers of Electrical and Electronic Engineering in China》 CSCD 2007年第1期78-82,共5页
The experimental results of a 2x2 integrated thermooptic Mach-Zehnder interferometer(MZI)switch based on multimode interference(MMI)couplers are reported.The insertion loss(IL)is 3.40 dB,the polarization dependent los... The experimental results of a 2x2 integrated thermooptic Mach-Zehnder interferometer(MZI)switch based on multimode interference(MMI)couplers are reported.The insertion loss(IL)is 3.40 dB,the polarization dependent loss is 0.47 dB,the extinction ratio(ER)at bar state and cross state is 32.01 dB and 16.42 dB respectively,the response time is less than 3 ms,and the power consumption is 658 mW.Regarding the asymmetry of extinction ratio at bar state and cross state,theoretical analysis is first presented.The coupling ratio of the two MMI couplers deviates from 50׃50 but the deviation is nearly the same,which is decided by good uniformity of semiconductor planar lightwave circuit(PLC)process.This property affects the extinction ratio at bar state and cross state in different mechanisms.Adding a metal electrode on the waveguide affects its effective index and analysis based on experimental results is given.The increment of waveguide effective index is in the order of 2x10^(-4). 展开更多
关键词 integrated optics thermooptic switch mmi coupler MZI
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锥形多模干涉耦合器一般成像特性分析 被引量:6
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作者 乐孜纯 黄孙港 +2 位作者 胡劲华 付明磊 张明 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期67-73,共7页
锥形多模干涉耦合器克服了传统多模干涉(MMI)耦合器结构尺寸大的缺点,满足当前集成光器件高集成度的要求,其成像特性对设计基于它的集成光器件至关重要。根据多模干涉耦合器的自映像原理,对锥形多模干涉耦合器成像特性进行分析,发现成... 锥形多模干涉耦合器克服了传统多模干涉(MMI)耦合器结构尺寸大的缺点,满足当前集成光器件高集成度的要求,其成像特性对设计基于它的集成光器件至关重要。根据多模干涉耦合器的自映像原理,对锥形多模干涉耦合器成像特性进行分析,发现成像特性与输入场位置、位置数、多模波导初始宽度及渐变率等参量密切相关,得到成像位置的解析表达式并总结出规律。最后采用导模传输分析法进行数值模拟和有限差分束传输法(FDBPM)进行仿真,验证了理论分析的正确性。根据成像位置表达式和规律,得到锥形多模干涉耦合器的一般成像特性,为用锥形多模干涉耦合器设计集成光器件的研究提供了理论依据和设计参考。 展开更多
关键词 集成光学 锥形多模干涉耦合器 成像位置 导模传输分析法 有限差分光束传输法
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