基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计

介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS力平衡闭环加速度计。实验结果表明:设计的MEMS加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能。

基于MS3110的微小电容读取电路设计

MS3110具有良好的微电容测量性能,可以满足电容法在气/固两相流测量中的应用。提供一种基于通用电容读取芯片MS3110的微小电容读取电路,并对MS3110的可编程参数设置做详细介绍。电路设计中使用89S52单片机对MS3110芯片进行编程控制和数据读取,最终实现对静态电容和动态电容的测量,并通过串口传输至上位机实时显示。

基于MS3110的微电容读出电路设计

电容式MEMS加速度计是MEMS加速度计的一种主要的形式。通过对MS3110的应用研究,了解其使用性能和参数设置方法,在此基础上将该芯片用作电容式MEMS加速度计的电容输出接口,实现对该类传感器的高分辨率微电容检测。实验结果表明,设计的基于MS3110的微电容读出电路有良好的稳定性和线性度。

基于MS3110的微电容加速度计信号处理电路的设计与实现

三明治式电容微加速度计利用检测微弱差分信号的原理实现对加速度计的应用，但由于工艺等方面的原因可能导致无法准确的对该微弱信号进行检测，进而致使后续电路无法正常应用。通常的检测方法可能存在一些噪声和稳定性上的缺陷。本文采用一种通用的电容读出芯片MS3110实现对电容式微加速度计的检测，检测前使用单片机将程序写入该芯片，调节其内部参数，使之具有艮好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明该芯片可满足一定输入范围内的电容差分信号，并具有较好的对称性。

微机械电容式加速度计的结构及检测技术研究

三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性,严重的将导致不能正常工作,通常的检测方法难以检测到该缺陷。设计了一种具有自检功能的微加速度计,能够方便的通过外部电路对自身结构进行对称性检测。采用MS3110芯片对设计加工的微加速度计进行测试,测试前使用单片机将程序写入该芯片,调节其内部参数,使之工作在良好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明加工出的微加速度计具有较好的对称性。

小型电容式倾角测量仪系统设计

基于弹性优良的铍青铜材料制作了一种具有双梁三明治式电容倾角传感器,并采用专用电容检测芯片MS3110将倾角传感器的差分电容信号转换为电压信号,同时通过微控制器STM32的控制芯片检测参数实现对传感器非线性的补偿,使倾角测量仪系统具有良好的线性度;通过模数转换器(ADC)采集和转换将数据显示在屏幕上。实验证明:设计的电容式倾角测量仪系统具有测量范围广、稳定性高、线性度好的特点。

基于电容检测芯片的电容检测系统设计

针对电容式传感器研发过程中缺乏有效的微小电容检测仪器的问题,设计了一种基于电容检测芯片MS3110的电容式传感器检测系统,给出了系统的硬件设计以及单片机和上位机部分的软件设计,并对系统的检测精度进行了测试。结果证明,该系统具有较高的检测精度。

一种高精度粮食水分测量传感器电路设计

针对目前粮食水分测量精度较低的问题,根据介电常数模型分析了在交变电场下介电常数的损耗特性与电容特性、介电常数与电场变化频率的关系,设计了在确定频率的激励下将待测粮食水分转化为电容值的介电常数型的平行板电容传感器。提出了基于MS3110集成粮食水分测量电路的设计方法。相比于传统的基于交流电桥平衡原理搭建的测试电路,该系统电路具有高稳定性、集成度高、可编程控制等优点。实验表明该传感器电路测得的粮食含水量更精确。

一种高精度粮食水分测量传感器电路设计

针对目前粮食水分测量精度较低的问题,根据介电常数模型分析了在交变电场下介电常数的损耗特性与电容特性、介电常数与电场变化频率的关系,设计了在确定频率的激励下将待测粮食水分转化为电容值的介电常数型的平行板电容传感器。提出了基于MS3110集成粮食水分测量电路的设计方法。相比于传统的基于交流电桥平衡原理搭建的测试电路,该系统电路具有高稳定性、集成度高、可编程控制等优点。实验表明该传感器电路测得的粮食含水量更精确。

微电容阵列检测系统的设计

通过实验分析了电容读取芯片MS3110P各项性能指标,并设计了一款能自适应匹配模拟开关产生的电荷注入效应的P控制器;开发出一款具有单电容阵列测量模式和差分电容阵列测量模式的微电容阵列检测电路,并探讨了其寄生电容产生的原因。测试结果表明,该检测电路克服了各种寄生电容对传感器的影响,提高了测量精度,能够应用于MEMS触觉传感器微电容阵列的测量。

电容式加速度计结构与检测电路的研究

提出一种基于水银电容式加速度传感器的接口电路。从根本上解决加速度传感器在大冲击或恶劣环境下的测量数据难采集的问题。在此接口电路中,采用MS3110芯片对设计加工的电容式加速度计进行测试,通过单片机写入程序来控制该芯片,调节内部各参数,使MS3110工作在线性度和灵敏度最佳状态。实验结果表明,此接口电路具有很高的稳定性、灵敏度和线性度。该测量电路主要包括硬件设计和软件设计。该电路能够高精度测量微小电容,有很好的应用前景。