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溅射功率和淀积时间对Mg_xZn_(1-x)O薄膜结构特性的影响
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作者 张锡健 马洪磊 +4 位作者 王卿璞 马瑾 宗福建 肖洪地 计峰 《山东大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期49-52,共4页
用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出MgxZn1xO薄膜,研究了溅射功率和淀积时间对薄膜结构特性的影响.X射线衍射(XRD)谱和原子力显微镜(AFM)图像表明:MgxZn1xO薄膜为六角纤锌矿结构,且具有非常好的沿垂直于衬底的c轴的择优取向.随着溅射功... 用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出MgxZn1xO薄膜,研究了溅射功率和淀积时间对薄膜结构特性的影响.X射线衍射(XRD)谱和原子力显微镜(AFM)图像表明:MgxZn1xO薄膜为六角纤锌矿结构,且具有非常好的沿垂直于衬底的c轴的择优取向.随着溅射功率和淀积时间的增加,X射线衍射峰的衍射角变大,半高宽(FWHM)减小,平均晶粒尺寸增加,薄膜结晶质量显著提高. 展开更多
关键词 mgxzn1-x O薄膜 射频磁控溅射 XRD AFM
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Mg_xZn_(1-x)O薄膜样品制备及其结构与带隙分析 被引量:1
2
作者 王炫力 王金颖 +2 位作者 袁浩然 姚成宝 孙文军 《哈尔滨师范大学自然科学学报》 CAS 2015年第2期109-112,共4页
利用共溅射技术制备了MgxZn1-xO薄膜样品,研究了Mg的掺杂浓度对其晶体结构、光学带隙的影响,退火环境与温度对其晶体结构、表面形貌的影响.通过对XRD图的分析表明,所制MgxZn1-xO薄膜样品为六角纤锌矿结构,且随着x值的增大,样品的晶格常... 利用共溅射技术制备了MgxZn1-xO薄膜样品,研究了Mg的掺杂浓度对其晶体结构、光学带隙的影响,退火环境与温度对其晶体结构、表面形貌的影响.通过对XRD图的分析表明,所制MgxZn1-xO薄膜样品为六角纤锌矿结构,且随着x值的增大,样品的晶格常数c逐渐减小;对比真空环境下,氧气中退火温度为500~600℃时更有利于提高样品的结晶质量.对吸收谱的分析表明随着Mg掺杂浓度增大,样品的吸收边向短波方向移动,带隙增大. 展开更多
关键词 共溅射 mgxzn1-xO薄膜 退火 蓝移 带隙
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Electronic structure and optical properties of Mg_xZn_(1-x)S bulk crystal using first-principles calculations 被引量:2
3
作者 余志强 徐智谋 武兴会 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第10期441-446,共6页
We perform the first-principles calculations within the framework of density functional theory to determine the elec- tronic structure and optical properties of MgxZnl-xS bulk crystal. The results indicate that the el... We perform the first-principles calculations within the framework of density functional theory to determine the elec- tronic structure and optical properties of MgxZnl-xS bulk crystal. The results indicate that the electronic structure and optical properties of MgxZnl_xS bulk crystal are sensitive to the Mg impurity composition. In particular, the MgxZnl-xS bulk crystal displays a direct band structure and the band gap increases from 2.05 eV to 2.91 eV with Mg dopant compo- sition value x increasing from 0 to 0.024. The S 3p electrons dominate the top of valence band, while the Zn 4s electrons and Zn 3p electrons occupy the bottom of conduction band in MgxZnl_xS bulk crystal. Moreover, the dielectric constant decreases and the optical absorption peak obviously has a blue shift. The calculated results provide important theoretical guidance for the applications of MgxZn1-xS bulk crystal in optical detectors. 展开更多
关键词 FIRST-PRINCIPLES mgxzn1-xS electronic structure optical properties
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