具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构

根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元同时具有驱动功能和流量检测功能，并且制作工艺简单，为进一步实现与控制电路集成的集成微流量泵系统奠定了基础。

基于微流驱动效应的汽车前风挡除水机制研究

基于微流驱动效应的优越性,提出了一种汽车前风挡玻璃振动除水技术。首先采用Stokes长波理论构建了液滴的二维数学模型,然后借助COMSOL MULTIPHYSICSICS多物理场分析软件对玻璃板上的液滴进行二维建模。研究了对称低频振动、正交对称低频运动、非对称振动和对称低频振动对液滴移动状态和移动速度的关系。仿真结果表明:液滴在振动激励下始终保持一种非对称的往复振荡运动,这种非对称运动合成为液滴在宏观上的位移,验证了微流驱动效应除水技术的可行性与有效性。

微流量泵与微流量传感器的系统集成

介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能，为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。