TDDI产品Mo-Al-Mo膜层腐蚀原因分析及改善

为降低TDDI产品Lead Open型线不良发生率,本文对Lead Open的发生机理进行了研究及改善验证。对TDDI产品生产数据进行了对比,对Mo-Al-Mo结构的SD膜层进行研究,根据以上结果确定改善方案并投入验证。首先,明确了Lead Open发生率与Delay Time的关系。接着,对SD膜层的微观结构进行了表征。然后,根据膜层结构和不同金属的电化学特征,建立了SD膜层电偶腐蚀模型。分析表明:Mo、Al两种金属间存在1.47V的电极电位差,具有很强的电偶腐蚀倾向性,且表层Mo中存在10nm级别的贯穿性孔洞,直径为0.4nm的水分子可轻易渗入,进而引发电偶腐蚀。表层Mo厚度增加25%后,其腐蚀速度较量产条件降低30%,Lead Open发生率降低1.4个百分点,维持在0.1%的较低水平,满足TDDI产品量产对该类不良发生率的要求。

Mo对猝冷Ni-Mo骨架催化剂结构和催化性能的影响

采用猝冷法制备了不同Mo含量的Ni Mo Al合金 ,经碱处理活化后得到猝冷Ni Mo骨架催化剂 .以ICP ,N2 物理吸附 ,XRD ,H2 TPD等手段对合金及催化剂的物化性质进行了表征 .结果表明 ,随着Mo含量的增加 ,合金中依次出现Ni16Mo10 Al74,MoAl3 物相 ,同时NiAl3 相减少 ,Ni2 Al3 相增加 .Mo的存在使合金中更多的铝被抽提 ,减少了催化剂中残留的Ni2 Al3 物相 ,催化剂的比表面积、平均孔径、孔容和晶粒尺寸均随Mo含量增加而减小 .将催化剂用于 2 乙基蒽醌加氢反应 ,发现Mo加快了反应速率 ,同时抑制了降解产物的产生 .在催化剂中Mo含量达到 2 47wt%时 ,双氧水的得率可达到 10 0 % .结合Ni晶粒大小、表面吸附氢状态、Mo的化学态 ,进一步讨论了Mo对猝冷Ni Mo骨架催化性能的修饰作用 .

TiO_2负载氮化钼催化剂的HDS活性与反应动力学的研究

在合成出纯相氮化物γ-Mo2 N的基础上 ,制备了以 Ti O2 为载体负载金属氮化物 ( Mo2 N/Ti O2 )的加氢脱硫( HDS)催化剂 ,并对其晶体结构进行了 XRD表征。用不同的预处理条件 ,以脉冲微型反应器和色谱联用的方法 ,研究了 Mo2 N/Ti O2 的 HDS活性及其反应动力学 ,同时制备了以 Al2 O3为载体负载 Mo2 N的催化剂 ( Mo2 N/Al2 O3)

混捏法制备的Ni-Mo／γ-Al_2O_3加氢催化剂中活性组分存在状态的研究

利用ＸＲＤ、ＴＥＭ、ＵＶ－漫反射光谱分析等手段，探讨了混捏法制备的Ｎｉ－Ｍｏ／γ－Ａｌ２Ｏ３催化剂中活性组分的存在状态及其随Ｎｉ、Ｍｏ原子比ρ和焙烧温度Ｔ变化而变化的情况。结合样品的加氢活性测定结果，得出样品表面上的新相ｘＮｉＯ·ｙＭｏＯ３·ｚＨ２Ｏ的相对含量的变化规律以及表面八面体配位状态Ｎｉ〔Ｏ〕的相对含量的变化规律与样品加氢活性的变化规律相同。研究认为，新相ｘＮｉＯ·ｙＭｏＯ３·ｚＨ２Ｏ为Ｎｉ－Ｍｏ／γ－Ａｌ２Ｏ３催化剂的活性相，ｘＮｉＯ－ｙＭｏＯ３·ｚＨ２Ｏ中的Ｎｉ为八面体配位状态的Ｎｉ。

用Al或Mo /Al /Mo低阻材料改善4-Mask工艺中Al腐蚀的方法(英文)

为了减少制造工艺的过程,改进的4-Mask工艺中采用Al基的数据线已得到进一步的完善。但这个工艺仍存在很多问题,主要是为减少工艺过程,而引入干法刻蚀对Al有腐蚀作用。本文应用CF4/O2等离子体处理,很好地阻止了对Al的腐蚀,得到很好的效果,对改进后4-Mask工艺的进一步应用具有非常重要的意义。

U-Mo微球与Al粉的混合工艺研究

采用垂直行星分罐式混料机进行U-Mo微球与Al粉混合,系统研究了混合时间、混合转速和料罐填充率对物料混合度的影响,并设计正交试验分析三因素对物料混合度的影响程度.采用变异系数法和体视显微镜分析了混合物料的混合度和微观形貌.结果表明,最佳混合工艺参数为:混合时间90min、混合转速30r/min和料罐填充率30%,其物料混合度为93.6%;三种混合因素对混合度的影响程度为:混合时间<料罐填充率<混合转速.

Mo/Al/Mo结构电极的坡度角和关键尺寸差研究

Mo/Al/Mo结构金属作为TFT的电极,刻蚀后的坡度角和关键尺寸差是重要的参数。明确影响坡度角和关键尺寸差的工艺参数,进而控制坡度角和关键尺寸差,这对工艺制程至关重要。本文探究了膜层结构、曝光工艺、刻蚀工艺对坡度角和关键尺寸差的影响,并对刻蚀工艺进行正交试验设计。实验结果表明:Al膜厚每减小60nm,坡度角下降约9°,关键尺寸差增加0.1μm。曝光工艺中,显影后烘烤会增加光阻粘附力,导致关键尺寸差减小0.1μm,同时坡度角增加约9°。刻蚀工艺中,过刻量每增加10%,坡度角下降3.3°,关键尺寸差增加0.14μm;正交试验结果表明,对关键尺寸差、刻蚀均一性、坡度角影响因素的重要性顺序是:液刀流量>Air Plasma电压>水刀流量。经上述探究表明,坡度角和关键尺寸差呈负相关关系,刻蚀程度增加,关键尺寸差增加,而坡度角则减小。可以通过调节工艺参数对坡度角和关键尺寸差进行控制。

自蔓延高温合成法制备 Mo-Al 系金属间化合物

以单质Ｍｏ粉和Ａｌ粉通过自蔓延高温合成方法（ＳＨＳ）制取了金属间化合物Ｍｏ３Ａｌ８．采用Ｘ射线衍射、差热分析和扫描电镜等分析手段对其自蔓延高温合成的过程及产物的特征进行了研究．结果表明，Ｍｏ３Ａｌ８的合成反应为扩散控制的固－液反应，Ａｌ粉的熔化促使合成反应迅速发生；Ｍｏ－Ａｌ间自蔓延过程发生之前有一个孕育期．

不同Si/Al比对Mo/ZSM-5催化性能的影响

采用浸渍法在不同Si/Al比的HZSM-5上制备了3种MoO3含量相同的Mo/ZSM-5样品,并在相同的实验条件下对其进行了活性测试,同时运用XRD、XPS、NO-TPD等技术分别对催化剂的体相和表面结构进行了表征.实验结果表明,Si/Al比对Mo/ZSM-5上NO的选择性催化还原性能有明显的影响,Si/Al比为28的1#样品其转化率在530℃达到94%以上,而Si/Al比较大的2#和3#样品最高转化率只有48%和41%.对3种Mo/ZSM-5样品的XRD表征只发现有HZSM-5和MoO3两种物相存在,分子筛骨架差异不大;而XPS表征却发现1#样品的表面Mo3d5/2含量远大于2#和3#样品,并且有Mo4+和(或)Mo\+5+存在,表明3种样品的表面性质存在很大差异.在3种样品中,1#样品具有最大的NO吸附能力,这与表面特性差异相吻合.