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制备工艺对磁控溅射Mo-N薄膜微结构和性能的影响 被引量:2
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作者 鞠洪博 喻利花 许俊华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期469-472,共4页
采用射频磁控溅射法,研究靶功率、氩氮比对Mo-N薄膜相结构、显微硬度和摩擦性能的影响。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜对薄膜的成分、结构和性能进行表征。研究表明:靶功率对Mo-N薄膜相结构、硬度和摩... 采用射频磁控溅射法,研究靶功率、氩氮比对Mo-N薄膜相结构、显微硬度和摩擦性能的影响。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜对薄膜的成分、结构和性能进行表征。研究表明:靶功率对Mo-N薄膜相结构、硬度和摩擦性能的影响不大;随氩氮比的降低,薄膜相结构由单一的立方γ-Mo2N转变为立方γ-Mo2N与六方δ-MoN两相共存,硬度发生大幅下降,薄膜平均摩擦系数升高。 展开更多
关键词 磁控溅射 mo-n薄膜 相结构 硬度和摩擦性能
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热处理对25Cr-7Ni-4Mo-N钢力学性能及显微组织的影响 被引量:7
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作者 陈炜 王晓燕 +1 位作者 王冬颖 张会国 《热处理》 CAS 2013年第3期45-47,共3页
研究了固溶温度对25Cr-7Ni-4Mo-N双相不锈钢组织及力学性能的影响。结果表明,该钢固溶处理温度过低,将有σ相析出,影响其冲击韧度;固溶处理温度过高,组织再结晶长大,造成强度下降。25Cr-7Ni-4Mo-N双相不锈钢的固溶处理温度应高于1025℃... 研究了固溶温度对25Cr-7Ni-4Mo-N双相不锈钢组织及力学性能的影响。结果表明,该钢固溶处理温度过低,将有σ相析出,影响其冲击韧度;固溶处理温度过高,组织再结晶长大,造成强度下降。25Cr-7Ni-4Mo-N双相不锈钢的固溶处理温度应高于1025℃,其最佳的固溶温度为1025~1100℃。 展开更多
关键词 25Cr-7Ni-4mo-n双相不锈钢 力学性能 显微组织
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N_2气流量比对磁控溅射Mo-N涂层结构和性能的影响 被引量:1
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作者 齐东丽 宋健宇 沈龙海 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期173-178,共6页
目的研究N_2气流量比对直流反应磁控溅射Mo-N涂层结构、力学性能和摩擦性能的影响。方法采用直流反应磁控溅射技术在304不锈钢基体表面制备Mo-N涂层,对涂层结构进行X射线衍射(XRD)分析,对涂层形貌和磨痕形貌进行扫描电镜(SEM)分析,采用... 目的研究N_2气流量比对直流反应磁控溅射Mo-N涂层结构、力学性能和摩擦性能的影响。方法采用直流反应磁控溅射技术在304不锈钢基体表面制备Mo-N涂层,对涂层结构进行X射线衍射(XRD)分析,对涂层形貌和磨痕形貌进行扫描电镜(SEM)分析,采用维氏显微硬度计测试涂层的显微硬度,采用划痕法表征涂层的结合强度,采用球盘式摩擦磨损试验仪评价涂层的摩擦磨损性能。结果随着N_2气流量比R从0.3增加至0.7,涂层主要由面心立方γ-Mo2N相构成,当R为0.7时,制备的涂层中出现少量的六方δ-MoN相。涂层的显微硬度先降低后增加,最高硬度可达3060HV。结合强度先增加后降低,当R为0.4和0.5时,涂层的结合力较高,约为40N,且具有较好的摩擦学性能,平均摩擦系数约为0.22,磨损形式主要为磨粒磨损。结论在基体温度为300℃时制备涂层,N_2气流量比在0.3~0.7的范围变化对涂层相结构的影响较小。硬度相对较高时,结合力越好,摩擦学性能越好。 展开更多
关键词 磁控溅射 mo-n涂层 N2气流量比 显微硬度 结合强度 摩擦磨损性能
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Mo-N基薄膜的研究进展 被引量:1
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作者 刘晨凯 鞠洪博 +2 位作者 赵子彤 许俊华 喻丽花 《装备机械》 2020年第2期7-11,共5页
Mo-N基薄膜具有较高的硬度和较强的稳定性,在刀具行业中有广泛应用。从Mo2N薄膜、纳米多层膜、纳米复合膜等角度介绍了Mo-N基薄膜的研究进展。
关键词 mo-n基薄膜 研究 进展
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金属Y掺杂Mo-N薄膜的机械性能和摩擦学性质研究
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作者 栾书多 张佳鑫 顾广瑞 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2020年第2期122-128,共7页
利用射频磁控和直流磁控共溅射的方法制备了金属Y掺杂的Mo-N薄膜.对制备的薄膜样品进行元素组成、微观结构、表面形貌、摩擦学性质分析显示:薄膜的择优取向由未掺杂时的γ-Mo2N (111)改变为Y掺杂后的γ-Mo2N (200).与未掺杂的Mo-N薄膜... 利用射频磁控和直流磁控共溅射的方法制备了金属Y掺杂的Mo-N薄膜.对制备的薄膜样品进行元素组成、微观结构、表面形貌、摩擦学性质分析显示:薄膜的择优取向由未掺杂时的γ-Mo2N (111)改变为Y掺杂后的γ-Mo2N (200).与未掺杂的Mo-N薄膜相比较,所制备的MoYN薄膜的硬度明显降低,但耐磨性和平均摩擦系数均有所改善.其中Y掺杂含量为9.44at%时,薄膜的耐磨性为最佳,平均摩擦系数为最小(0.283),硬度为(24.13±3.15) GPa. 展开更多
关键词 磁控共溅射 mo-n薄膜 摩擦学性能
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Corrosion Resistance of Molybdenum Nitride Modified Ti6Al4V Alloy in HCl Solution 被引量:1
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作者 范爱兰 唐宾 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2008年第3期358-361,共4页
The Mo-N surface modified layer on Ti6Al4V alloy was obtained by the plasma surface alloying technique. The structure and composition of the Mo-N modified Ti6Al4V alloy were investigated by X-ray diffraction (XRD) a... The Mo-N surface modified layer on Ti6Al4V alloy was obtained by the plasma surface alloying technique. The structure and composition of the Mo-N modified Ti6Al4V alloy were investigated by X-ray diffraction (XRD) and glow discharge optical emission spectroscopy (GDOES). The Mo-N modified layer contains Mo-N coating on subsurface and diffusion layers between the subsurface and substrate. The X- ray diffraction analysis of the Mo-N modified Ti6Al4V alloy reveals that the outmost surface of the Mo-N modified Ti6Al4V alloy is composed of phase Mo2N (fcc) and Mo2N (tetr). The electrochemical corrosion performance of the Mo-N modified Ti6Al4V alloy in 0.5 mol/L HCl solution was investigated and compared with that of Ti6Al4V alloy. The chemical corrosion performance of the Mo-N modified Ti6Al4V alloy in boiling 37% HCl solution was investigated and compared with that of Ti6Al4V alloy. Results indicate that self-corroding electric potentials and corrosion-rate of the Mo-N modified Ti6Al4V alloy are higher than that of Ti6Al4V alloy in 0.5 mol/L HCl solution. The corrosion-rate of the Mo-N modified Ti6Al4V alloy is lower than that of Ti6Al4V alloy in boiling 37% HCl solution. 展开更多
关键词 TI6AL4V mo-n modified Ti6Al4V alloy corrosion performance
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EFFECT OF ALUMINIUM AND BORON ON SURFACE MODIFICATION OF SOME MATERIALS
7
作者 Dai Zhongxing Yang Zixia(Mechanical Engineering Department, Xiangtan University, Xiangtan 411105) 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 1995年第1期101-106,共6页
EFFECTOFALUMINIUMANDBORONONSURFACEMODIFICATIONOFSOMEMATERIALSDai;ZhongxingYang;Zixia(MechanicalEngineeringDe... EFFECTOFALUMINIUMANDBORONONSURFACEMODIFICATIONOFSOMEMATERIALSDai;ZhongxingYang;Zixia(MechanicalEngineeringDepartment,Xiangtan... 展开更多
关键词 Al-B co-diffusion microstructure co-diffusion LAYER surface MODIFICATION
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铜与硅之间W/Mo-N薄膜的扩散阻挡层性能 被引量:2
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作者 宋双喜 刘玉章 +1 位作者 毛大立 李明 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期197-201,共5页
研究了铜与硅之间W/Mo-N薄膜的扩散阻挡性能。在Si(100)基片上利用反应溅射沉积一层Mo-N薄膜,然后再利用直流溅射在Mo-N上面沉积Cu/W薄膜。样品在真空下退火,并利用四点探针、X射线衍射分析、扫描电镜分析、俄歇电子能谱原子深度剖析等... 研究了铜与硅之间W/Mo-N薄膜的扩散阻挡性能。在Si(100)基片上利用反应溅射沉积一层Mo-N薄膜,然后再利用直流溅射在Mo-N上面沉积Cu/W薄膜。样品在真空下退火,并利用四点探针、X射线衍射分析、扫描电镜分析、俄歇电子能谱原子深度剖析等测试方法研究了Cu/W/Mo-N/Si的热稳定性及W/Mo-N薄膜对铜与硅的扩散阻挡性能。实验分析表明,Cu/W/Mo-N/Si结构具有非常好的热稳定性,在600oC退火30min仍未发生相变,并能有效的阻挡铜与硅之间的扩散。 展开更多
关键词 W/mo-n 扩散阻挡层 溅射 热稳定性
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