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MoS2薄膜负极材料的制备及其电化学行为 被引量:1
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作者 邓文昕 吴爱民 +3 位作者 周抒予 黄慧慧 邱治文 黄昊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期8105-8110,共6页
采用射频磁控溅射技术,以MoS2为溅射靶材,在不同溅射功率下制备了系列MoS2薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜进行表征,探讨循环过程中薄膜结构与形貌变化及其对电池循... 采用射频磁控溅射技术,以MoS2为溅射靶材,在不同溅射功率下制备了系列MoS2薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜进行表征,探讨循环过程中薄膜结构与形貌变化及其对电池循环性能的影响。结果表明,所制备的薄膜为富S的MoS2非晶态薄膜;SEM分析表明薄膜中S与Mo元素分布均匀,不存在偏聚现象;XPS分析表明所制备的薄膜中存在单质S相,单质S相在整体薄膜中含量大体占14%(原子分数)左右。在初始充放电循环过程中,这些均匀分布的单质S和Li^+反应生成多硫化锂,产生不可逆损耗,从而原位形成分布均匀的多孔结构,可有效缓解薄膜后续循环过程中的体膨胀,同时增加活性材料比表面积,有利于改善薄膜比容量及循环稳定性。当靶功率为100 W时,薄膜电极循环20圈,放电比容量为429.8 mAh/g,经300圈循环,放电比容量仍可保持在420.4 mAh/g,表现出优异的循环稳定性。 展开更多
关键词 锂离子电池 负极材料 二硫化钼薄膜 多孔结构 循环性能 射频磁控溅射
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垂直型MoS2/C60范德华异质结的研究
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作者 潘志伟 邓金祥 +5 位作者 张浩 白志英 李瑞东 王贵生 段苹 王吉有 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第1期20-26,共7页
研究了采用垂直堆垛方式构筑的MoS2/C60范德华异质结的特性。利用直流磁控溅射法制备Mo薄膜,对Mo薄膜进行硫化退火处理得到MoS2薄膜,采用真空蒸镀法在MoS2薄膜上沉积C60进而形成MoS2/C60范德华异质结,并制备了Au/MoS2/C60/Al结构的器件... 研究了采用垂直堆垛方式构筑的MoS2/C60范德华异质结的特性。利用直流磁控溅射法制备Mo薄膜,对Mo薄膜进行硫化退火处理得到MoS2薄膜,采用真空蒸镀法在MoS2薄膜上沉积C60进而形成MoS2/C60范德华异质结,并制备了Au/MoS2/C60/Al结构的器件。对MoS2薄膜的晶体结构进行了分析,对MoS2,C60及MoS2/C60薄膜的喇曼光谱及光吸收特性进行了测试和表征。结果表明:经过750℃退火后的MoS2晶型为2H型;由于在MoS2和C60薄膜之间范德华力的存在,相对于生长在Si/SiO2衬底上,沉积在MoS2上的C60薄膜喇曼特征峰发生红移;MoS2/C60薄膜在可见光范围内具有明显的光吸收特性;异质结表现出良好的整流特性,通过电子导电模型分析得出电子的传输机制包含热电子发射,空间电荷限制电流传导(SCLC)和隧穿现象。 展开更多
关键词 mos2 C60 薄膜 异质结 导电模型
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磁控溅射MoS_2薄膜的结构和微观摩擦磨损特性 被引量:11
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作者 王吉会 张化一 +1 位作者 路新春 温诗铸 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期25-27,共3页
利用磁控溅射法制取了MoS_2薄膜,通过X光电子能谱、X射线衍射和AFM/FFM方法对薄膜的表面形貌、成分、化学价态、结构和微观摩擦磨损性能进行了研究.实验结果表明:MoS_2薄膜表面呈蠕虫状,微观结构为(100)面平行于基面的非晶态,表面膜由Mo... 利用磁控溅射法制取了MoS_2薄膜,通过X光电子能谱、X射线衍射和AFM/FFM方法对薄膜的表面形貌、成分、化学价态、结构和微观摩擦磨损性能进行了研究.实验结果表明:MoS_2薄膜表面呈蠕虫状,微观结构为(100)面平行于基面的非晶态,表面膜由MoS_2和少量的MoO_3组成.在微观摩擦磨损过程中,MoS_2薄膜的摩擦系数较大,且而磨性能高;微摩擦过程中没有磨合阶段,不存在摩擦机理的转变. 展开更多
关键词 二硫化钼薄膜 结构 微观摩擦学 磁控溅射 润滑剂
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磁控溅射W-T-iN/MoS_2薄膜及其摩擦学性能研究 被引量:6
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作者 胡志立 李长生 +5 位作者 莫超超 唐华 孙建荣 杨峰 郭志成 李洪苹 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1061-1066,共6页
采用W靶、Ti靶及MoS2靶,先制备W-T-iN薄膜,然后再在其上面沉积MoS2纳米薄膜得到W-T-iN/MoS2纳米双层薄膜,通过多次实验得到溅射W-T-iN/MoS2薄膜的最佳工艺如下:溅射气压1.0 Pa,靶基距为100 mm,溅射功率为:W靶,Ti靶均为200W,MoS2靶为150... 采用W靶、Ti靶及MoS2靶,先制备W-T-iN薄膜,然后再在其上面沉积MoS2纳米薄膜得到W-T-iN/MoS2纳米双层薄膜,通过多次实验得到溅射W-T-iN/MoS2薄膜的最佳工艺如下:溅射气压1.0 Pa,靶基距为100 mm,溅射功率为:W靶,Ti靶均为200W,MoS2靶为150 W;制备W-T-iN薄膜溅射时间为1 h,样品台加热600℃;制备MoS2纳米层时间为0.5 h。使用X射线衍射仪,扫描电子显微镜对薄膜的成分和结构进行分析。采用纳米压痕测试系统测试薄膜的纳米硬度和弹性模量,采用VEECOWYKONT1100非接触光学表面轮廓仪测试薄膜的表面及磨痕粗糙度;UMT-3摩擦磨损试验机在大气、室温、无润滑条件下对薄膜摩擦磨损性能分析,结果表明:在大气环境中,W-T-iN/MoS2薄膜摩擦性能要优于纯W-T-iN薄膜。 展开更多
关键词 W-Ti-N mos2薄膜 磁控溅射 摩擦学性能
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基于薄膜退火的MoS_2/SiO_2/Si异质结太阳能电池光伏性能提高 被引量:4
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作者 许贺菊 张彬 +2 位作者 张瑜 丛日东 于威 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期597-602,共6页
为了制备高效的MoSi/SiO_2/Si异质结太阳能电池,利用磁控溅射技术制备MoS_2薄膜,并在硫气氛下对MoS_2薄膜进行退火处理。分别用退火和未退火的MoS_2薄膜制备MoS_2/SiO_2/Si异质结太阳能电池,研究了退火对MoS_2薄膜的微观结构和MoS_2/SiO... 为了制备高效的MoSi/SiO_2/Si异质结太阳能电池,利用磁控溅射技术制备MoS_2薄膜,并在硫气氛下对MoS_2薄膜进行退火处理。分别用退火和未退火的MoS_2薄膜制备MoS_2/SiO_2/Si异质结太阳能电池,研究了退火对MoS_2薄膜的微观结构和MoS_2/SiO_2/Si异质结太阳能电池光电性能的影响。实验结果显示,相比于未退火的,经过退火处理的MoS_2薄膜的拉曼峰半高宽(FWHM)变窄,峰强增强,显微荧光光谱中也出现明显的激子发光峰。由此表明,退火处理使MoS_2薄膜由非晶向晶态转变,薄膜的体缺陷减少,异质结太阳能电池的开路电压和填充因子得到提升,器件转换效率从0.94%提高到1.66%。不同光照强度下的J-V测量和暗态的J-V测量结果表明,经退火处理的MoS_2薄膜的异质结太阳能电池具有较高的收集电压和更接近于1的理想因子,这归因于退火导致MoS_2薄膜的体缺陷的减少,近而降低了MoS_2/SiO_2/Si异质结太阳能电池器件的体缺陷复合。 展开更多
关键词 太阳能电池 mos2薄膜 退火 光伏性能
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离子束增强沉积和磁控溅射硫化钼薄膜的摩擦磨损性能研究 被引量:4
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作者 庄大明 刘家浚 +3 位作者 朱宝亮 李文治 张绪寿 杨生荣 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期341-347,共7页
在离子束增强沉积的Si3N4膜和TiN膜的表面,分别利用离子束增强沉积法和磁控溅射法制取了MoSx薄膜.在SRV摩擦磨损试验机上,对几种薄膜试样与52100钢试样作了对比试验研究,结果表明,两种MoSx薄膜都具有良好... 在离子束增强沉积的Si3N4膜和TiN膜的表面,分别利用离子束增强沉积法和磁控溅射法制取了MoSx薄膜.在SRV摩擦磨损试验机上,对几种薄膜试样与52100钢试样作了对比试验研究,结果表明,两种MoSx薄膜都具有良好的摩擦磨损性能.其中,磁控溅射MoSx膜的减摩性能更好,而减摩持久性则是以离子束增强沉积MoSx膜的更好;两种MoSx膜的耐磨性比Si3N4膜和TiN膜的高3-4倍,比52100钢的高8-20倍.两种MoSx薄膜显示出不同的减摩性能和耐磨寿命,主要原因在于MoSx溅射膜中的x值(x<2)不同,以及膜的微观结构和界面成分的混合状态不同. 展开更多
关键词 离子束增强沉积 磁控溅射 薄膜 磨损
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复合薄膜表面技术研究进展 被引量:2
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作者 张书明 邓浩江 罗崇泰 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 1998年第1期9-12,共4页
概述了复合薄膜表面技术研究进展以及在航空、航天等方面的应用,并提出了有待深入研究的问题。
关键词 复合薄膜 梯度功能材料 类金刚石 薄膜 硫化钼
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纳米二硫化钨和二硫化钼薄膜制备方法概述 被引量:4
8
作者 施凯烽 谢凤 《化工时刊》 CAS 2017年第1期32-35,共4页
二硫化钨和二硫化钼作为新型的优质固体润滑材料,具有很高的实用价值,国内外许多学者就二硫化钨和二硫化钼薄膜的性能及其结构的理论进行了研究。本文对纳米二硫化钨和二硫化钼薄膜的几种主要制备方法进行了一个系统的总结和论述,并进... 二硫化钨和二硫化钼作为新型的优质固体润滑材料,具有很高的实用价值,国内外许多学者就二硫化钨和二硫化钼薄膜的性能及其结构的理论进行了研究。本文对纳米二硫化钨和二硫化钼薄膜的几种主要制备方法进行了一个系统的总结和论述,并进行了对比,为实验室实际操作提供一个参考。 展开更多
关键词 二硫化钨 二硫化钼 薄膜 制备方法
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MoS_2薄膜制备和表征及光伏器件应用综合研究型实验设计 被引量:8
9
作者 郝兰众 刘云杰 +3 位作者 焦志勇 张亚萍 韩治德 薛庆忠 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2017年第4期39-42,共4页
为了让学生更好地认识二维层状半导体的特性,设计了二硫化钼(MoS_2)薄膜制备、表征及光伏器件应用综合研究型实验。该实验包括磁控溅射技术制备MoS_2薄膜、薄膜太阳能电池器件制作、晶格结构和表面形貌分析、电光性能测量等实验内容,形... 为了让学生更好地认识二维层状半导体的特性,设计了二硫化钼(MoS_2)薄膜制备、表征及光伏器件应用综合研究型实验。该实验包括磁控溅射技术制备MoS_2薄膜、薄膜太阳能电池器件制作、晶格结构和表面形貌分析、电光性能测量等实验内容,形象展示了MoS_2薄膜生长、独特结构和优异器件性能之间的内在联系,让学生对MoS_2新材料特征有整体的认知。该实验选题新颖,实验内容涵盖材料学、半导体物理、电子器件等知识点。教学实践表明,该综合研究实验全面培养了学生的综合素质和创新研究能力。 展开更多
关键词 综合型实验 二硫化钼薄膜 光伏太阳能电池
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原子层沉积二硫化钼薄膜的机理及生长薄膜的质量
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作者 黄亚洲 刘磊 +1 位作者 沙菁 陈云飞 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期933-937,共5页
选择MoCl_5和H_2S作为前躯体,Si和Al_2O_3作为基底,利用原子层沉积制备高质量的MoS_2薄膜.利用X射线能谱仪,对在温度450~490℃下所生长的薄膜进行分析,分析结果表明,氧化铝更适合薄膜的生长,460℃是最佳的生长温度.利用扫描电子显微镜、... 选择MoCl_5和H_2S作为前躯体,Si和Al_2O_3作为基底,利用原子层沉积制备高质量的MoS_2薄膜.利用X射线能谱仪,对在温度450~490℃下所生长的薄膜进行分析,分析结果表明,氧化铝更适合薄膜的生长,460℃是最佳的生长温度.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱和透射电子显微镜对所生长薄膜的形态和晶体结构进行研究.结果表明,所生长的薄膜厚度均匀一致,100个循环后,薄膜厚度约为20 nm,薄膜的平均生长率为0.2 nm,表面成花瓣片状结构.所生长的2H-MoS_2薄膜,其(002)晶面平行于基底,(002)、(100)、(110)晶面的间距分别为0.62,0.28和0.17 nm,具有完美的六方晶体结构. 展开更多
关键词 mos2薄膜 原子层沉积 生长温度 晶体结构
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MoS_2/Si异质薄膜综合实验研究 被引量:1
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作者 刘云杰 郝兰众 +2 位作者 高伟 张亚萍 刘伟华 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2017年第3期43-46,共4页
为了让学生更好地了解研究前沿和激发学生对科研探索的兴趣,在大量科学研究工作基础上,设计了MoS_2/Si异质薄膜的制备、微结构表征和气敏性能测量综合实验。该实验选题新颖,涵盖知识点丰富,实验各环节联系紧密,有利于深化学生对理论知... 为了让学生更好地了解研究前沿和激发学生对科研探索的兴趣,在大量科学研究工作基础上,设计了MoS_2/Si异质薄膜的制备、微结构表征和气敏性能测量综合实验。该实验选题新颖,涵盖知识点丰富,实验各环节联系紧密,有利于深化学生对理论知识的理解和培养学生的创新思想,有利于培养学生综合运用所学知识独立进行科学研究的素质能力。 展开更多
关键词 mos2/Si异质薄膜 气体敏感性 综合实验
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All-optical modulator based on MoS_2-PVA thin film
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作者 Yifang Wang Kan Wu Jianping Chen 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期8-11,共4页
The all-optical approach plays an important role in ultrafast all-optical signal processing, and the all-fiber scheme has a wide application in optical communications. In this letter, we investigate an all-optical mod... The all-optical approach plays an important role in ultrafast all-optical signal processing, and the all-fiber scheme has a wide application in optical communications. In this letter, we investigate an all-optical modulator using few-layer molybdenum disulfide(MoS2)-polyvinyl alcohol(PVA) thin films based on the thermo-optic effect and obtain a long-time stable modulated output by applying polarization interference. By absorbing the injected 980 nm pump(control light), MoS2 generates heat, changes the refractive index of MoS2, and modulates the polarization of light. The obtained thermal all-optical modulator has a rise time of 526 μs. 展开更多
关键词 PVA Mo All-optical modulator based on mos2-PVA thin film
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