有机聚合物光波导制作工艺综述

有机聚合物光波导光互连已成为实现短距离计算通信设计目标的最佳解决方法。短距离光互连是未来互连方向,综合性能优良的聚合物多模光波导是光互连中的重要组成部分。有机聚合物光波导的制作工艺对光波导的性能具有重要影响,故此对有机聚合物光波导的制作工艺进行了综述,并提出了一些未来的研发方向。

全聚合物SU8光波导制备工艺及其特性研究

对一种全聚合物SU8光波导的制备工艺和波导特性进行了研究。测试结果显示,所制备光波导在1550 nm的传输损耗为2.01 dB/cm,且具有高的侧壁陡直度。详细研究了光波导制备工艺过程中前烘温度和时间、光刻时间、后烘温度和时间以及显影时间等工艺参数对波导质量的影响,给出了4.5μm×4.0μm尺寸单模波导制备的优化工艺。讨论了采用稀释后的SU8材料所制备的光波导出现侧蚀的原因以及改进的方法。

注塑成型光学制品折射率分层模拟与实验研究

与玻璃制造光学制品相比,高分子注塑光学制品具有质量轻、易加工、抗冲击性好等优点,在航空航天、精密透镜等高端领域得到广泛应用。然而受注塑过程复杂压力场、温度场的耦合作用,注塑透明制品折射率通常呈非均匀的分布,存在角偏差、光畸变等光学缺陷。因此,开展注塑工艺对其折射行为影响的模拟与实验研究,对实现折射率可控光学制品的成型具有重要意义。基于HeleShaw注塑理论和LorentzLorenz物理光学理论,构建了注塑光学制品厚度方向折射行为分层预测模型,开发了相关模拟程序,基于自主研发的注塑模软件Z-Mold实现了注塑过程与折射率分布的一体化模拟。以聚碳酸酯注塑平板件为例,利用Brewster法对折射率模拟结果进行了验证。该方法成功应用到神舟系列航天舱外服面窗的研制。

聚合物合成及成型过程研究的近红外光谱技术

介绍目前聚合物合成及成型过程研究的近红外光谱技术。讨论光纤传感技术的应用及光谱信息处理的数学方法,探讨光谱解析的人工神经网络模型;并总结近红外光谱技术在监测聚合物合成及成型过程、测定聚合物的化学组成与结构,以及在线监控聚合物成型过程的应用进展。

OEPCB光波导层的工作原理、成型工艺与测试

本文对OEPCB的发展进程进行了阐述。介绍了光电印制电路板的结构原理和工作模式,尤其对光电印制电路板中的光电转换模块和激光器的原理进行阐述,同时阐述了几种主要的光波导材料,对比各种光波导材料的优缺点。最后介绍了光电印制电路板光波导层的多种制造工艺和基本性能要求,对OEPCB光波导层进行阐述。

聚合物波导条的超精密注塑制作

通过分析目前聚合物波导主要以微机电工艺的制造加工现状,提出了波导条的超精密注塑制作工艺。利用超精密飞切加工系统实现了波导条金属Al模具的飞切加工,通过超精密注塑机以PMMA为注塑材料得到了波导条的微结构,最后在波导微结构内旋涂上作为芯层紫外胶紫外光固化获得了所需要的梯形波导条。