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离子发动机栅极材料差分溅射产额分布特性仿真
1
作者
朱政羲
苗龙
+4 位作者
耿海
郭德洲
杨统勋
何梓豪
王宁飞
《航天器环境工程》
CSCD
2024年第4期450-458,共9页
针对离子发动机栅极溅射原子空间分布不明确导致栅极腐蚀模型预测偏差大的问题,采用SDTrimSP程序模拟离子轰击栅极材料的溅射过程;系统研究离子入射能量、入射角度以及离子种类对钼栅极材料差分溅射产额的影响。发现正入射条件下的差分...
针对离子发动机栅极溅射原子空间分布不明确导致栅极腐蚀模型预测偏差大的问题,采用SDTrimSP程序模拟离子轰击栅极材料的溅射过程;系统研究离子入射能量、入射角度以及离子种类对钼栅极材料差分溅射产额的影响。发现正入射条件下的差分溅射产额仿真结果与实验具有较好的一致性。重点关注斜入射条件下差分溅射产额在不同方位角下的分布轮廓,并通过Modified-Zhang公式对差分溅射产额进行拟合,以拟合结果作为材料边界条件输入溅射腐蚀—再沉积模型,较为真实地模拟了栅极材料的腐蚀过程。以上研究可为离子发动机栅极组件腐蚀形貌的精确预测提供参考。
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关键词
离子发动机
钼栅极材料
差分溅射产额
斜入射
腐蚀—再沉积模型
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职称材料
镀铂栅极抑制电子发射性能研究
被引量:
2
2
作者
蒋军
江炳尧
+5 位作者
任琮欣
张福民
冯涛
王曦
柳襄怀
邹世昌
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第11期1810-1813,共4页
利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面上沉积Pt膜,采用试验二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba,BaO蒸发到镀铂栅极和纯钼栅极表面上后的电子发射性能。采用XRD,EDX,XPS等测试手段对其栅极表面进行对比分析和表征。实验结果表明:...
利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面上沉积Pt膜,采用试验二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba,BaO蒸发到镀铂栅极和纯钼栅极表面上后的电子发射性能。采用XRD,EDX,XPS等测试手段对其栅极表面进行对比分析和表征。实验结果表明:镀铂栅极具有明显的抑制电子发射性能,并初步探讨了离子束辅助沉积Pt膜抑制栅电子发射的机理。
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关键词
电子发射
离子束辅助沉积
钼栅极
铂膜
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职称材料
离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射性能研究
被引量:
2
3
作者
蒋军
江炳尧
+5 位作者
郑志宏
任琮欣
冯涛
王曦
柳襄怀
邹世昌
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第11期1673-1675,共3页
利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面沉积铪膜,采用模拟二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba、BaO蒸发在镀铪和纯钼栅极表面的电子发射性能。实验结果表明,镀铪栅极抑制电子发射性能较好,并初步探讨了离子束辅助沉积铪膜抑制栅电...
利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面沉积铪膜,采用模拟二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba、BaO蒸发在镀铪和纯钼栅极表面的电子发射性能。实验结果表明,镀铪栅极抑制电子发射性能较好,并初步探讨了离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射的机理。
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关键词
抑制电子发射
铪
离子束辅助沉积
钼栅极
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职称材料
金属钼栅极高温定型处理技术研究
被引量:
3
4
作者
郑茂繁
黄永杰
+1 位作者
唐福俊
张天平
《真空与低温》
2015年第6期334-336,共3页
栅极组件是离子推力器的关键组件,其功能是引出并加速离子束流形成推力。栅极形状直接决定着栅极组件的性能和可靠稳定性。基于金属钼烧氢处理技术,对栅极形状、定型温度和保温时间以及定型处理程序进行优化试验研究,并确定金属钼栅极...
栅极组件是离子推力器的关键组件,其功能是引出并加速离子束流形成推力。栅极形状直接决定着栅极组件的性能和可靠稳定性。基于金属钼烧氢处理技术,对栅极形状、定型温度和保温时间以及定型处理程序进行优化试验研究,并确定金属钼栅极高温定型处理的方法和技术参数。通过对30 cm直径金属钼栅极的高温烧氢定型处理,结果表明:金属钼栅极高温烧氢定型处理程序和技术参数合理可行,定型处理的钼栅极形状轮廓度误差控制在0.1 mm以内,并将栅极组件栅间距的误差控制在0.1 mm以内,改善了栅极组件的性能和可靠性。
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关键词
电推进
金属钼栅极
烧氢处理
高温定型
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职称材料
基于Taguchi方法的钼栅网微细光刻电解试验研究
被引量:
2
5
作者
何铁军
汪炜
+1 位作者
冯海娣
刘正埙
《电加工与模具》
2011年第1期11-14,共4页
影响钼栅网电解加工尺寸均一性的因素有电解液浓度、电流密度、阴极直径以及极间间隙等。利用Taguchi方法对这些因素进行综合分析及试验验证,阴极直径和极间间隙作用显著。通过ANSYS软件对电解过程中的电场进行分析,得出了阴极直径和极...
影响钼栅网电解加工尺寸均一性的因素有电解液浓度、电流密度、阴极直径以及极间间隙等。利用Taguchi方法对这些因素进行综合分析及试验验证,阴极直径和极间间隙作用显著。通过ANSYS软件对电解过程中的电场进行分析,得出了阴极直径和极间间隙大小的改变对阳极表面电场的影响规律。在此基础上,采用酸性活化电解液对钼栅网进行微细光刻电解加工,取得了较好的试验结果。
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关键词
光刻电解
Taguchi方法
电场分析
钼栅网
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职称材料
无束流条件下钼栅极电击穿特性的试验研究
6
作者
雷伟
杨福全
郭德洲
《真空与低温》
2020年第4期323-327,共5页
离子推力器栅极间较小的间距、较高的工作电压,使其具备了高比冲、高效率的优点,但也导致其在正常工作时,容易在工作条件变化的情况下发生打火放电,引起工作不稳定和不可靠。因此,研究离子推力器栅极打火放电的影响因素及其关系是十分...
离子推力器栅极间较小的间距、较高的工作电压,使其具备了高比冲、高效率的优点,但也导致其在正常工作时,容易在工作条件变化的情况下发生打火放电,引起工作不稳定和不可靠。因此,研究离子推力器栅极打火放电的影响因素及其关系是十分必要的。论文在无束流引出的状态下,对离子推力器钼栅极的高压击穿特性进行了研究。结果表明,当压力低于1×10^-2Pa,栅间距为0.7 mm且栅极表面无损伤时,击穿电压和击穿电场随真空度降低而减小;栅间距为0.4 mm且栅极表面有损伤时,击穿电压和击穿电场随压力增大而先增大,后减小。当压力大于1×10^-2Pa,两种栅间距下,击穿电压和击穿电场均随压力增大而减小,下降速度均比低压力下快。
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关键词
钼栅极
栅间距
真空度
真空击穿
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职称材料
对基于既有电网的大惯量风机起动的分析与计算
7
作者
费斌斌
《硫酸工业》
CAS
2019年第10期53-56,共4页
某钼冶炼厂在原厂内新建一烟气脱硫制硫酸环保装置,其大功率大惯量烟气风机及其配电驱动系统的选型需基于厂内原有电网容量进行分析考虑。采用离散微元方法对独立单体风机的起动时间作计算,再辅以软件对配电系统进行建模以对风机在背景...
某钼冶炼厂在原厂内新建一烟气脱硫制硫酸环保装置,其大功率大惯量烟气风机及其配电驱动系统的选型需基于厂内原有电网容量进行分析考虑。采用离散微元方法对独立单体风机的起动时间作计算,再辅以软件对配电系统进行建模以对风机在背景系统工况下起动时对电网的影响进行分析计算,以便在设计阶段充分全面地论证技术方案可行性,降低技术风险,确保该项目风机顺利投人运行。
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关键词
钼冶炼
湿法制酸
烟气风机
电网
起动
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职称材料
题名
离子发动机栅极材料差分溅射产额分布特性仿真
1
作者
朱政羲
苗龙
耿海
郭德洲
杨统勋
何梓豪
王宁飞
机构
北京理工大学宇航学院
北京理工大学重庆创新中心
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《航天器环境工程》
CSCD
2024年第4期450-458,共9页
基金
国家重点研发计划项目(编号:2022YFB3403500)
国家自然科学基金项目(编号:52202460)。
文摘
针对离子发动机栅极溅射原子空间分布不明确导致栅极腐蚀模型预测偏差大的问题,采用SDTrimSP程序模拟离子轰击栅极材料的溅射过程;系统研究离子入射能量、入射角度以及离子种类对钼栅极材料差分溅射产额的影响。发现正入射条件下的差分溅射产额仿真结果与实验具有较好的一致性。重点关注斜入射条件下差分溅射产额在不同方位角下的分布轮廓,并通过Modified-Zhang公式对差分溅射产额进行拟合,以拟合结果作为材料边界条件输入溅射腐蚀—再沉积模型,较为真实地模拟了栅极材料的腐蚀过程。以上研究可为离子发动机栅极组件腐蚀形貌的精确预测提供参考。
关键词
离子发动机
钼栅极材料
差分溅射产额
斜入射
腐蚀—再沉积模型
Keywords
ion engine
molybdenum grid
materials
differential sputtering yield
oblique incidence
erosionredeposition model
分类号
V439 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
镀铂栅极抑制电子发射性能研究
被引量:
2
2
作者
蒋军
江炳尧
任琮欣
张福民
冯涛
王曦
柳襄怀
邹世昌
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第11期1810-1813,共4页
基金
国家重点基础研究发展规划项目"973"资助(G2000067207-2)
文摘
利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面上沉积Pt膜,采用试验二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba,BaO蒸发到镀铂栅极和纯钼栅极表面上后的电子发射性能。采用XRD,EDX,XPS等测试手段对其栅极表面进行对比分析和表征。实验结果表明:镀铂栅极具有明显的抑制电子发射性能,并初步探讨了离子束辅助沉积Pt膜抑制栅电子发射的机理。
关键词
电子发射
离子束辅助沉积
钼栅极
铂膜
Keywords
electron emission
ion beam assisted deposition
molybdenum grid
Platinum film
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射性能研究
被引量:
2
3
作者
蒋军
江炳尧
郑志宏
任琮欣
冯涛
王曦
柳襄怀
邹世昌
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体功能薄膜工程技术研究中心
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第11期1673-1675,共3页
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(G2000067207-2)
文摘
利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面沉积铪膜,采用模拟二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba、BaO蒸发在镀铪和纯钼栅极表面的电子发射性能。实验结果表明,镀铪栅极抑制电子发射性能较好,并初步探讨了离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射的机理。
关键词
抑制电子发射
铪
离子束辅助沉积
钼栅极
Keywords
anti-emission
hafnium
ion beam assisted deposition
molybdenum grid
分类号
TG146.4 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
金属钼栅极高温定型处理技术研究
被引量:
3
4
作者
郑茂繁
黄永杰
唐福俊
张天平
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《真空与低温》
2015年第6期334-336,共3页
文摘
栅极组件是离子推力器的关键组件,其功能是引出并加速离子束流形成推力。栅极形状直接决定着栅极组件的性能和可靠稳定性。基于金属钼烧氢处理技术,对栅极形状、定型温度和保温时间以及定型处理程序进行优化试验研究,并确定金属钼栅极高温定型处理的方法和技术参数。通过对30 cm直径金属钼栅极的高温烧氢定型处理,结果表明:金属钼栅极高温烧氢定型处理程序和技术参数合理可行,定型处理的钼栅极形状轮廓度误差控制在0.1 mm以内,并将栅极组件栅间距的误差控制在0.1 mm以内,改善了栅极组件的性能和可靠性。
关键词
电推进
金属钼栅极
烧氢处理
高温定型
Keywords
ion thruster
molybdenum grid
heat treatment under hydrogen circumstance
heat treatment
分类号
V439.1 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
基于Taguchi方法的钼栅网微细光刻电解试验研究
被引量:
2
5
作者
何铁军
汪炜
冯海娣
刘正埙
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《电加工与模具》
2011年第1期11-14,共4页
文摘
影响钼栅网电解加工尺寸均一性的因素有电解液浓度、电流密度、阴极直径以及极间间隙等。利用Taguchi方法对这些因素进行综合分析及试验验证,阴极直径和极间间隙作用显著。通过ANSYS软件对电解过程中的电场进行分析,得出了阴极直径和极间间隙大小的改变对阳极表面电场的影响规律。在此基础上,采用酸性活化电解液对钼栅网进行微细光刻电解加工,取得了较好的试验结果。
关键词
光刻电解
Taguchi方法
电场分析
钼栅网
Keywords
electrolytic photo etching
Taguchi method
analysis of electric field
molybdenum grid
分类号
TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
无束流条件下钼栅极电击穿特性的试验研究
6
作者
雷伟
杨福全
郭德洲
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《真空与低温》
2020年第4期323-327,共5页
基金
民用航天预研项目(D010509)。
文摘
离子推力器栅极间较小的间距、较高的工作电压,使其具备了高比冲、高效率的优点,但也导致其在正常工作时,容易在工作条件变化的情况下发生打火放电,引起工作不稳定和不可靠。因此,研究离子推力器栅极打火放电的影响因素及其关系是十分必要的。论文在无束流引出的状态下,对离子推力器钼栅极的高压击穿特性进行了研究。结果表明,当压力低于1×10^-2Pa,栅间距为0.7 mm且栅极表面无损伤时,击穿电压和击穿电场随真空度降低而减小;栅间距为0.4 mm且栅极表面有损伤时,击穿电压和击穿电场随压力增大而先增大,后减小。当压力大于1×10^-2Pa,两种栅间距下,击穿电压和击穿电场均随压力增大而减小,下降速度均比低压力下快。
关键词
钼栅极
栅间距
真空度
真空击穿
Keywords
molybdenum grid
s
grid
s spacing
vacuum degree
vacuum breakdown
分类号
V439 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
对基于既有电网的大惯量风机起动的分析与计算
7
作者
费斌斌
机构
科洋环境工程(上海)有限公司
出处
《硫酸工业》
CAS
2019年第10期53-56,共4页
文摘
某钼冶炼厂在原厂内新建一烟气脱硫制硫酸环保装置,其大功率大惯量烟气风机及其配电驱动系统的选型需基于厂内原有电网容量进行分析考虑。采用离散微元方法对独立单体风机的起动时间作计算,再辅以软件对配电系统进行建模以对风机在背景系统工况下起动时对电网的影响进行分析计算,以便在设计阶段充分全面地论证技术方案可行性,降低技术风险,确保该项目风机顺利投人运行。
关键词
钼冶炼
湿法制酸
烟气风机
电网
起动
Keywords
molybdenum
smelting
wet acid production
off-gas fan
power
grid
start-up
分类号
TQ111.16 [化学工程—无机化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离子发动机栅极材料差分溅射产额分布特性仿真
朱政羲
苗龙
耿海
郭德洲
杨统勋
何梓豪
王宁飞
《航天器环境工程》
CSCD
2024
0
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职称材料
2
镀铂栅极抑制电子发射性能研究
蒋军
江炳尧
任琮欣
张福民
冯涛
王曦
柳襄怀
邹世昌
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
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职称材料
3
离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射性能研究
蒋军
江炳尧
郑志宏
任琮欣
冯涛
王曦
柳襄怀
邹世昌
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
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职称材料
4
金属钼栅极高温定型处理技术研究
郑茂繁
黄永杰
唐福俊
张天平
《真空与低温》
2015
3
下载PDF
职称材料
5
基于Taguchi方法的钼栅网微细光刻电解试验研究
何铁军
汪炜
冯海娣
刘正埙
《电加工与模具》
2011
2
下载PDF
职称材料
6
无束流条件下钼栅极电击穿特性的试验研究
雷伟
杨福全
郭德洲
《真空与低温》
2020
0
下载PDF
职称材料
7
对基于既有电网的大惯量风机起动的分析与计算
费斌斌
《硫酸工业》
CAS
2019
0
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职称材料
已选择
0
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