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AlGaN双势垒结构对高In组分InGaN/GaN MQWs太阳能电池材料晶体质量和发光性能的影响
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作者 单恒升 李明慧 +4 位作者 李诚科 刘胜威 梅云俭 宋一凡 李小亚 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第1期83-88,124,共7页
本文利用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在(001)面图形化蓝宝石衬底(PSS)上生长了一种含有AlGaN-InGaN/GaN MQWs(multiple quantum wells)-AlGaN双势垒结构的高In组分太阳能电池外延材料。高分辨率X射线衍射(HRXRD)和光致发光(... 本文利用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在(001)面图形化蓝宝石衬底(PSS)上生长了一种含有AlGaN-InGaN/GaN MQWs(multiple quantum wells)-AlGaN双势垒结构的高In组分太阳能电池外延材料。高分辨率X射线衍射(HRXRD)和光致发光(PL)谱分析表明,与含有AlGaN电子阻挡层的低In组分的量子阱结构太阳能电池外延材料相比,该结构材料具有较小的半峰全宽(FWHM),计算表明:此结构材料的位错密度降低了一个数量级,达到10^(7)cm^(-2);同时,有源区中的应变弛豫降低了51%;此外,此结构材料的发光强度增强了35%。研究结果表明含有AlGaN双势垒结构的外延材料可以减小有源区的位错密度,降低非辐射复合中心的数目,增大有源区有效光生载流子的数目,为制备高质量太阳能电池提供实验依据。 展开更多
关键词 金属有机化合物化学气相沉积 太阳能电池外延材料 AlGaN双势垒结构 InGaN/GaN mqws 位错密度 光生载流子
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Dynamic characteristics in an external-cavity multi-quantum-well laser
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作者 颜森林 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第6期185-194,共10页
This paper outlines our studies of bifurcation, quasi-periodic road to chaos and other dynamic characteristics in an external-cavity multi-quantum-well laser with delay optical feedback. The bistable state of the lase... This paper outlines our studies of bifurcation, quasi-periodic road to chaos and other dynamic characteristics in an external-cavity multi-quantum-well laser with delay optical feedback. The bistable state of the laser is predicted by finding theoretically that the gain shifts abruptly between two values due to the feedback. We make a linear stability analysis of the dynamic behavior of the laser. We predict the stability scenario by using the characteristic equation while we make an approximate analysis of the stability of the equilibrium point and discuss the quantitative criteria of bifurcation. We deduce a formula for the relaxation oscillation frequency and prove theoretically that this formula function relates to the loss of carriers transferring between well regime and barrier regime, the feedback level, the delayed time and the other intrinsic parameters. We demonstrate the dynamic distribution and double relaxation oscillation frequency abruptly changing in periodic states and find the multi-frequency characteristic in a chaotic state. We illustrate a road to chaos from a stable state to quasi-periodic states by increasing the feedback level. The effects of the transfers of carriers and the escaping of carriers on dynamic behavior are analyzed, showing that they are contrary to each other via the bifurcation diagram. Also,we show another road to chaos after bifurcation through changing the linewidth enhancement factor, the photon loss rate and the transfer rate of carriers. 展开更多
关键词 BIFURCATION CHAOS multi-quantum-well laser optical feedback
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MQW EA调制器用于短脉冲光子源驱动条件的优化设计 被引量:3
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作者 丁永奎 谭莉 +2 位作者 田贺斌 贾东方 李世忱 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期536-540,共5页
本文分析了多量子阱电吸收调制器(MQW EAM)的非线性损耗特性,从时域和频域两个方面讨论了MQW EAM驱动条件与输出光脉冲特性的关系.数值计算结果证明EAM产生的脉冲形状比较接近Gauss脉冲,具有较小的啁啾,接近于变换限的光脉冲,十分适... 本文分析了多量子阱电吸收调制器(MQW EAM)的非线性损耗特性,从时域和频域两个方面讨论了MQW EAM驱动条件与输出光脉冲特性的关系.数值计算结果证明EAM产生的脉冲形状比较接近Gauss脉冲,具有较小的啁啾,接近于变换限的光脉冲,十分适用于高速时分复用系统. 展开更多
关键词 mqw EA 短脉冲 光子源 驱动条件 优化设计 多量子阱电吸收调制器 量子限制 STARK效应 啁啾 线宽增强因子 时间带宽积 光通信
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MOCVD制备In_xGa_(1-x)N/GaN MQWs的温度依赖性 被引量:2
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作者 李培咸 郝跃 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期34-38,共5页
利用方势阱模型对Inx Ga1-xN/GaN MQWs结构的光特性进行了量子力学定性理论分析.并在MO源流量恒定条件下,在570℃~640℃范围内进行了不同生长温度的多量子阱制备实验,对Inx Ga1-xNs制备过程中的In组份掺入效率的温度依赖关系进行... 利用方势阱模型对Inx Ga1-xN/GaN MQWs结构的光特性进行了量子力学定性理论分析.并在MO源流量恒定条件下,在570℃~640℃范围内进行了不同生长温度的多量子阱制备实验,对Inx Ga1-xNs制备过程中的In组份掺入效率的温度依赖关系进行研究.通过对制备样品的PL谱测量分析,得到了587℃~600℃的In组份最佳掺入温度区间. 展开更多
关键词 MOCVD INX Ga1-xN GAN mqws 生长温度
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1.55μm InGaAsP-MQW自对准压缩台面高速DFB激光器 被引量:2
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作者 张静媛 刘国利 +4 位作者 朱洪亮 周帆 孙洋 汪孝杰 王圩 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第2期51-53,57,共4页
采用一种自对准压缩台面结构制作高速 1.5 5 μmDFB激光器。激光器的典型阈值为 12mA ,单面斜率效率达 0 .15 7mW /mA ,出光功率大于 2 0mW。由于采用窄条p InP作为电流阻挡层 ,因此激光器的寄生电容可降至 2 .5 pF ,- 3dB调制带宽可达 9.
关键词 自对准压缩台面结构 DFB激光器 高速激光器 多量子阱 局域网
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用于高质量InGaN/GaN MQWs制备的MOCVD配气系统 被引量:3
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作者 李培咸 郝跃 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期313-316,共4页
本文提出了一种新型的MOCVD恒流配气系统,该配气系统可有效地稳定控制温度和压力等关键工艺条件,在多层复杂结构的生长中改善材料质量。本文给出了该配气系统同传统配气方式生长效果的比较,PL对比测试结果表明,该配气系统在多量子阱结... 本文提出了一种新型的MOCVD恒流配气系统,该配气系统可有效地稳定控制温度和压力等关键工艺条件,在多层复杂结构的生长中改善材料质量。本文给出了该配气系统同传统配气方式生长效果的比较,PL对比测试结果表明,该配气系统在多量子阱结构的制备中具有良好的效果。 展开更多
关键词 金属有机化学气相淀积 多量子阱 配气系统
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通过诱导载流子的V坑传输提升GaN基绿光LED的空穴注入效率
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作者 张东皓 杨东锴 +2 位作者 徐畅 刘信佑 包立君 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期800-808,共9页
为了提升GaN基多量子阱LED的空穴注入效率,设计了具有不同最后势垒层结构的GaN基多量子阱外延结构,并将其制备为绿光mini-LED发光芯片,利用低温电致发光光谱、电流电压特性测试对其载流子传输机制进行了研究。结果表明,在采用AlGaN或GaN... 为了提升GaN基多量子阱LED的空穴注入效率,设计了具有不同最后势垒层结构的GaN基多量子阱外延结构,并将其制备为绿光mini-LED发光芯片,利用低温电致发光光谱、电流电压特性测试对其载流子传输机制进行了研究。结果表明,在采用AlGaN或GaN/AlN最后势垒层的样品中,有更多载流子可以传输到深层量子阱,空穴注入效率获得提升。本文对这一现象中的载流子运输机制以及V坑缺陷在其中所起的作用进行了研究,发现这种提升主要来自空穴V坑注入比例的增大。实验还发现,过大的V坑注入比例也会造成非辐射复合率上升,从而抑制了AlGaN最后势垒层样品的电光转换效率。 展开更多
关键词 发光二极管 最后势垒层 空穴注入 INGAN/GAN多量子阱 V坑
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LP-MOVPE生长的低阈值1.3μm InGaAsP/InP压、张应变交替MQW激光器特性 被引量:1
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作者 王志杰 陈博 +6 位作者 王圩 张济志 朱洪亮 周帆 王玉田 金才政 马朝华 《光子学报》 EI CAS CSCD 1997年第5期418-421,共4页
本文国内首次报道了LP-MOVPE法生长高质量的压、张应变交替InGaAsP多量子阱结构的研制过程及其材料的高精度X-ray双晶摇摆衍射曲线和荧光光谱特性表征.在此材料基础之上制作的宽接触激光器阈值电流密度小于300A/cm2(腔长800μm)... 本文国内首次报道了LP-MOVPE法生长高质量的压、张应变交替InGaAsP多量子阱结构的研制过程及其材料的高精度X-ray双晶摇摆衍射曲线和荧光光谱特性表征.在此材料基础之上制作的宽接触激光器阈值电流密度小于300A/cm2(腔长800μm),平面掩埋条形结构激光器平面掩埋异质结(PBH)条形结构多量子阱激光器阈值电流13~15mA.经过双腔面镀增透射膜后,其TE模与TM模自发发射谱光强差为3dBm,呈现偏振补偿特性. 展开更多
关键词 低阈值 激光器 MOCVD 铟镓砷 mqw
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采用AlGaN/GaN阻挡层的大功率InGaN/GaN MQWs蓝光LED 被引量:1
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作者 齐胜利 陈志忠 +8 位作者 潘尧波 郝茂盛 邓俊静 田朋飞 张国义 颜建锋 朱广敏 陈诚 李士涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期216-218,共3页
大功率InGaN/GaN多量子阱蓝光发光二极管在大注入电流下,载流子泄漏而引起的效率下降问题是目前限制大功率发光二极管光电特性及其应用的突出问题。本文通过在p型GaN和InGaN/GaN多量子阱(MQW)有源区之间插入p型AlGaN/GaN多量子势垒(MQB... 大功率InGaN/GaN多量子阱蓝光发光二极管在大注入电流下,载流子泄漏而引起的效率下降问题是目前限制大功率发光二极管光电特性及其应用的突出问题。本文通过在p型GaN和InGaN/GaN多量子阱(MQW)有源区之间插入p型AlGaN/GaN多量子势垒(MQB)电子阻挡层,利用多量子势垒对电子的量子反射作用,有效地解决了大注入下载流子泄漏问题。与未使用多量子势垒电子阻挡层的样品相比,MQB样品的光功率和外量子效率分别提高了约80%和100%。 展开更多
关键词 氮化镓 多量子阱 发光二极管 铝镓氮/氮化镓 多量子势垒 外量子效率
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Thermal Characterization of 1.3 μm InAsP/InGaAsP Ridge Waveguide MQW Lasers Based on Spectroscopy Method 被引量:2
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作者 NANKJ ZHANGYG 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2002年第2期86-91,共6页
An experimental way to analyze the thermal characterization of semiconductor lasers based on spectroscopy method under pulse driving conditions has been developed. By using this way the thermal characteristics of stra... An experimental way to analyze the thermal characterization of semiconductor lasers based on spectroscopy method under pulse driving conditions has been developed. By using this way the thermal characteristics of strain compensated 1.3 μm InAsP/InGaAsP ridge waveguide MQW laser diodes have been investigated. Results show that by measuring and analyzing the lasing spectra under appropriate driving parameters and temperature ranges, the thermal resistance of the laser diodes could be deduced easily. A higher thermal resistance of 640 K/W has been measured on a narrow ridge laser chip without soldering. Other thermal and spectral properties of the lasers have also been measured and discussed. 展开更多
关键词 半导体激光 热特性 脊形波导 分光镜
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Transient Thermal Analysis of Ridge Waveguide InAsP/InGaAsP MQW Lasers Operating in Pulse Driving Conditions
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作者 HE You jun, ZHANG Yong gang, LI Ai zhen (State Key Lab.of Function. Mater.for Inform., Shanghai Institute of Microsyst.and Inform.Technol.,CAS,Shanghai 200050,CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2003年第4期205-208,共4页
The transient thermal characteristics of the ridge waveguide InAsP/InGaAsP MQW lasers, especially in various pulse driving conditions,have been simulated by using FEM. The temperature at the active core of the laser v... The transient thermal characteristics of the ridge waveguide InAsP/InGaAsP MQW lasers, especially in various pulse driving conditions,have been simulated by using FEM. The temperature at the active core of the laser versus the time has been calculated as well as pulse width dependence of the apparent thermal resistance.The results show that the thermal characteristics of the lasers are related to both the thermal conductivity and the specific heat of the materials. 展开更多
关键词 mqw激光器 温度分布 热敏电阻 FEM 波导 INASP/INGAASP
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TRANSIENT PHOTOCURRENT INVESTIGATION OF PHOTO PROCESSES OF LATTICE-MATCHED MQW GaAs/As_xGa_l-xAs ELECTRODE
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作者 Yao LIU Yuan LIN +3 位作者 Xu Rui XIAO Xue Ping LI(The Center of Photoelectrochemistry, Institute of Photopohic Chemistry Academia Sinica, Beijing 100101)Hai Qun ZHENG Yi Ping ZENG Dian Zhao SUN(Institute of Semiconductors, Academa Sinica, Beijing 100083) 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 1995年第9期795-796,共2页
Abstract: Transient photocurrents induced by shoft light pulses at lanice-mathed GaAs/Alx.Ga1-x multiple quantum well (MQW) electrodes were studied as a function of electrode potential. Dual exponential photocurrent d... Abstract: Transient photocurrents induced by shoft light pulses at lanice-mathed GaAs/Alx.Ga1-x multiple quantum well (MQW) electrodes were studied as a function of electrode potential. Dual exponential photocurrent decay indents were observed at various potentials. By analysis of the dual exponented decay transients, information on steady state photocurrents (Is). surface collection of photoexcoted mmority cCarriers(GO) and lifetimes of surfaCe states (Ts) was obtained. The kinetic behaviors of photoprocesses at illuminated MQW/electrolyte interface were discussed. 展开更多
关键词 GaAs/As_xGa_l-xAs LATTICE-MATCHED INVESTIGATION PHOTOCURRENT OF mqw ELECTRODE
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Structural Analysis of In xGa1−xN/GaN MQWs by Different Experimental Methods
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作者 丁斌峰 潘峰 +3 位作者 冯哲川 法涛 成枫锋 姚淑德 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2011年第7期305-308,共4页
Structural properties of InxGa_(1−x)N/GaN multi-quantum wells(MQWs)grown on sapphire by metal organic chemical vapor deposition are investigated by synchrotron radiation x-ray diffraction(SRXRD),Rutherford backscatter... Structural properties of InxGa_(1−x)N/GaN multi-quantum wells(MQWs)grown on sapphire by metal organic chemical vapor deposition are investigated by synchrotron radiation x-ray diffraction(SRXRD),Rutherford backscattering/channelling(RBS/C)and high-resolution transmission electron microscopy.The sample consists of eight periods of InxGa_(1−x)N/GaN wells of 2.1 nm thickness and 8.5 nm thickness of GaN barrier,and the results are very close,which verifies the accuracy of the three methods.The indium content in InxGa_(1−x)N/GaN MQWs by SRXRD and RBS/C is estimated,and results are in general the same.By RBS/C random spectra,the indium atomic lattice substitution rate is 94.0%,indicating that almost all indium atoms in InxGa_(1−x)N/GaN MQWs are at substitution,that the indium distribution of each layer in InxGa_(1−x)N/GaN MQWs is very homogeneous and that the InxGa_(1−x)N/GaN MQWs have a very good crystalline quality.It is not accurate to estimate indium content in InxGa_(1−x)N/GaN MQWs by photoluminescence(PL)spectra,because the result from the PL experimental method is very different from the results by the SRXRD and RBS/C experimental methods. 展开更多
关键词 N/Ga mqws SAPPHIRE
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Energy Band Analysis of MQW Structure Based on Kronig-Penny Model
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作者 Yu Zhang Yi Wang 《Journal of Modern Physics》 2013年第7期968-973,共6页
The effects of different potential well depths, well widths and barrier widths on energy band of multiple quantum well (MQW) structures are discussed in detail based on Kronig-Penny model. The results show that if the... The effects of different potential well depths, well widths and barrier widths on energy band of multiple quantum well (MQW) structures are discussed in detail based on Kronig-Penny model. The results show that if the well and barrier width stay unchanged, the first and second band gaps increase linearly with the well depth. When the well depth is constant, the first and second band gaps increase exponentially with the barrier width in a wide well. However, in narrow well one, the second band gap saturates when the barrier width is wide enough. On condition that the well and barrier have equal width, the first band gap decreases exponentially with well-barrier width while the second gap still shows an exponential increase with the width. These results are insightful for the design of MQW structure optoelectronic devices. 展开更多
关键词 Kronig-Penny MODEL mqw STRUCTURE Potential Well Barrier
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p-NiO/MQWs/n-GaN异质结器件制备及其特性的研究
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作者 项国姣 高薇 +4 位作者 付宏远 周毅坚 彭文博 赵洋 王辉 《光电子技术》 CAS 北大核心 2020年第3期180-185,共6页
采用射频磁控溅射设备以NiO为空穴注入层在MQWs/n-GaN上制备了p-NiO/MQWs/n-GaN异质结发光器件。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外分光光度计(UV-2700)等测试系统对制备的NiO层结构、形貌及光学特性进行了测试,结果表明Ni... 采用射频磁控溅射设备以NiO为空穴注入层在MQWs/n-GaN上制备了p-NiO/MQWs/n-GaN异质结发光器件。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外分光光度计(UV-2700)等测试系统对制备的NiO层结构、形貌及光学特性进行了测试,结果表明NiO薄膜具有较好的结晶质量。对p-NiO/MQWs/n-GaN异质结器件进行了电流-电压(I-V)特性和电致发光(EL)特性测试。I-V特性测试结果显示,器件具有明显的整流特性,开启电压约为2.9 V。EL特性测试结果显示,该器件实现了室温下的蓝紫光发射,结合GaN的光致发光(PL)谱和器件的能带结构图,对器件的电致发光机理进行了深入研究。 展开更多
关键词 NIO 量子阱 磁控溅射 电致发光
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Low Distortion 1.31μm AlGaInAs/InP MQW DFB Laser Module for CATV Systems
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作者 YANG Xin-min, LIU Tao, ZHOU Ning, JIN Jin-yan, HUANG Tao, WANG Chang-hong, LI Tong-ning (Wuhan Telecommunication Devices Co.,Wuhan 430074,CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1999年第2期92-95,共4页
1IntroductionLonghaulopticalfibercommunication,multi-channeltransmisionandopticalfiberCATVsystemrequire1.31μ... 1IntroductionLonghaulopticalfibercommunication,multi-channeltransmisionandopticalfiberCATVsystemrequire1.31μmand1.55μmDFBlase... 展开更多
关键词 光纤通信 多量子阱 分布式反馈 激光二极管 有线电视 AlGaInAs/InP 半导体
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高应变InGaAs/GaAs多量子阱中的局域态问题 被引量:1
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作者 王曲惠 王海珠 +1 位作者 王骄 马晓辉 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期627-633,共7页
针对高应变InGaAs/GaAs多量子阱中存在的局域态问题,利用金属有机化合物气相外延(MOCVD)技术,设计并生长了五周期的In_(0.3)Ga_(0.7)As/GaAs高应变多量子阱材料。通过原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)和变温光致发光(Photolum... 针对高应变InGaAs/GaAs多量子阱中存在的局域态问题,利用金属有机化合物气相外延(MOCVD)技术,设计并生长了五周期的In_(0.3)Ga_(0.7)As/GaAs高应变多量子阱材料。通过原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)和变温光致发光(Photoluminescence,PL)测试,发现量子阱内部存在缺陷及组分波动的材料无序性表现,验证了多量子阱内部局域态的存在及起源。同时发现在不同测试位置,局域态在低温下对光谱的影响也不同,分别表现为双峰分布和峰位“S”型变化。这进一步说明材料内部无序化程度不同,导致局域态的深度也不同。依据温度-带隙关系的拟合,提出了包含局域态的多量子阱材料的电势分布,并揭示了局域态载流子和自由载流子的复合机制。并且借助变功率PL测试,研究了在不同激发功率密度下不同深度的局域态的发光特性。 展开更多
关键词 InGaAs/GaAs多量子阱 局域态 高应变 金属有机化合物气相外延(MOCVD)
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Application of nano-patterned InGaN fabricated by selfassembled Ni nano-masks in green InGaN/GaN multiple quantum wells
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作者 Ruoshi Peng Shengrui Xu +5 位作者 Xiaomeng Fan Hongchang Tao Huake Su Yuan Gao Jincheng Zhang Yue Hao 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2023年第4期86-91,共6页
The nano-patterned InGaN film was used in green InGaN/GaN multiple quantum wells(MQWs)structure,to relieve the unpleasantly existing mismatch between high indium content InGaN and GaN,as well as to enhance the light o... The nano-patterned InGaN film was used in green InGaN/GaN multiple quantum wells(MQWs)structure,to relieve the unpleasantly existing mismatch between high indium content InGaN and GaN,as well as to enhance the light output.The different self-assembled nano-masks were formed on InGaN by annealing thin Ni layers of different thicknesses.Whereafter,the InGaN films were etched into nano-patterned films.Compared with the green MQWs structure grown on untreated InGaN film,which on nano-patterned InGaN had better luminous performance.Among them the MQWs performed best when 3 nm thick Ni film was used as mask,because that optimally balanced the effects of nano-patterned InGaN on the crystal quality and the light output. 展开更多
关键词 GAN INGAN nano-mask nano-patterned mqws
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GaN基激光器多量子阱垒材料的研究 被引量:1
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作者 陈伟华 廖辉 +6 位作者 胡晓东 李睿 贾全杰 金元浩 杜为民 杨志坚 张国义 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1441-1444,共4页
在(0001)蓝宝石衬底上分别用金属有机化学气相沉积技术外延生长了InGaN/GaN,InGaN/In-GaN,InGaN/AlInGaN多量子阱激光器结构,并分别制作了脊形波导GaN基激光器。同步辐射X射线衍射,电注入受激发射光谱测试及光功率-电流(L-I)测试证明,... 在(0001)蓝宝石衬底上分别用金属有机化学气相沉积技术外延生长了InGaN/GaN,InGaN/In-GaN,InGaN/AlInGaN多量子阱激光器结构,并分别制作了脊形波导GaN基激光器。同步辐射X射线衍射,电注入受激发射光谱测试及光功率-电流(L-I)测试证明,相对于GaN垒材料,InGaN垒材料,AlInGaN四元合金垒材料更能改善多量子阱的晶体质量,提高量子阱的量子效率及降低激光器阈值电流。相关的机制为:组分调节合适的四元合金垒层中Al的掺入使得量子阱势垒高度增加,阱区收集载流子的能力增强;In的掺入能更多地补偿应力,减少了由于缺陷和位错所产生的非辐射复合中心密度;In的掺入还减小了量子阱中应力引致的压电场,电子空穴波函数空间交叠得以加强,使得辐射复合增加。 展开更多
关键词 GAN基激光器 多量子阱(mqws) ALINGAN 垒材料
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垂直入射Si_(0.7)Ge_(0.3)/Si多量子阱光电探测器 被引量:3
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作者 李成 杨沁清 +4 位作者 王红杰 罗丽萍 成步文 余金中 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期480-482,共3页
报道了正入射 Si0 .7Ge0 .3/Si多量子阱结构光电探测器的制作和实验结果 .测试了它的光电流谱和量子效率 .探测器的响应波长扩展到了 1 .3μm以上波段 .在 1 .3μm处量子效率为0 .1 % .量子效率峰值在 0 .95μm处达到 2 0 % .
关键词 光电探测器 多量子阱 锗化硅 垂直入射
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