期刊文献+
共找到1,182篇文章
< 1 2 60 >
每页显示 20 50 100
Ga-N共同掺杂CoP催化氨硼烷制氢机理的理论研究
1
作者 覃海川 陈晓 李来才 《原子与分子物理学报》 北大核心 2024年第5期17-21,共5页
本文通过密度泛函理论(DFT),计算研究了金属原子Ga和非金属原子N共同掺杂磷化钴(CoP)作为催化剂催化氨硼烷(NH_(3) BH_(3))的脱氢过程.在这里,我们设计了四条可行的反应路径,并且计算了每条路径中间体过渡态的能量.通过研究结果得出结论... 本文通过密度泛函理论(DFT),计算研究了金属原子Ga和非金属原子N共同掺杂磷化钴(CoP)作为催化剂催化氨硼烷(NH_(3) BH_(3))的脱氢过程.在这里,我们设计了四条可行的反应路径,并且计算了每条路径中间体过渡态的能量.通过研究结果得出结论,路径Ⅱ为最优反应路径.这将为金属和非金属共同掺杂CoP催化NH_(3) BH_(3)脱氢反应提供一定的理论基础. 展开更多
关键词 密度泛函理论 nH_(3)BH_(3) ga-n双掺杂CoP 脱氢反应
下载PDF
Au-AlGaN/GaN HFET研制与器件特性 被引量:14
2
作者 张锦文 闫桂珍 +3 位作者 张太平 王玮 宁宝俊 武国英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期424-427,共4页
报道了栅长为 1.5 μm Au- Al Ga N/ Ga N HFET器件的研制和器件的室温特性测试结果 .同时 ,研究了器件经30 0℃、30 min热处理对器件性能的影响 ,并对比了热处理前后器件的室温特性 .实验证明 :室温下 ,器件具有良好的输出特性和肖特... 报道了栅长为 1.5 μm Au- Al Ga N/ Ga N HFET器件的研制和器件的室温特性测试结果 .同时 ,研究了器件经30 0℃、30 min热处理对器件性能的影响 ,并对比了热处理前后器件的室温特性 .实验证明 :室温下 ,器件具有良好的输出特性和肖特基结伏安特性 ,反向漏电流较小 ,最大跨导可达 47m S/ mm;经过 30 0℃、30 m in热处理后器件的室温输出特性有显著改善 ,而且器件饱和压降明显降低 ,说明 30 展开更多
关键词 ALgan/gan HFET 输出特性 器件特性
下载PDF
电子辐照对AlGaN/GaN HEMT器件电特性的影响 被引量:1
3
作者 谷文萍 全思 +3 位作者 张林 徐小波 刘盼芝 杨丽媛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期278-283,共6页
采用能量为1 Me V的电子对几种不同结构的Al Ga N/Ga N HEMT器件进行了最高注量为8.575×1014cm-2的辐照。实验发现:电子辐照后,最高注量下器件欧姆接触性能也几乎没有退化。辐照后未钝化器件的正反向栅电流有所增加,而且肖特基势... 采用能量为1 Me V的电子对几种不同结构的Al Ga N/Ga N HEMT器件进行了最高注量为8.575×1014cm-2的辐照。实验发现:电子辐照后,最高注量下器件欧姆接触性能也几乎没有退化。辐照后未钝化器件的正反向栅电流有所增加,而且肖特基势垒高度随着辐照注量的增加而降低。几种结构HEMT器件的辐照结果表明,电子辐照后只有未钝化器件的特性有所退化,随着辐照注量增加,器件漏电流和跨导下降越明显,而且线性区退化大于饱和区,而阈值电压变化很小。分析表明,HEMT器件参数性能退化的主要原因是栅源和栅漏间隔区辐照感生表面态负电荷的产生。此外实验结果也说明Si N钝化、MOS结构和场板结构都是很好的抗辐照加固的手段。 展开更多
关键词 Al ga n/ga n HEMT 电子辐照 表面态 辐照加固 辐照损伤
下载PDF
N极性GaN基HEMT研究进展 被引量:1
4
作者 王现彬 赵正平 +1 位作者 房玉龙 冯志红 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第12期881-892,904,共13页
N极性GaN材料借助与传统Ga极性GaN极性相反这一特征,以低接触电阻、高2DEG限阈性,在高频、大功率微波晶体管、增强型器件及传感器等应用方面显示出了极大的优势。首先分析了N极性GaN材料与HEMT器件的特性,指出了其和Ga极性材料与器件的... N极性GaN材料借助与传统Ga极性GaN极性相反这一特征,以低接触电阻、高2DEG限阈性,在高频、大功率微波晶体管、增强型器件及传感器等应用方面显示出了极大的优势。首先分析了N极性GaN材料与HEMT器件的特性,指出了其和Ga极性材料与器件的区别及优势。同时研究了N极性GaN材料的生长、HEMT器件结构及性能发展趋势,分析表明随着材料生长及器件制作工艺水平的逐步提高,N极性GaN材料与HEMT器件性能提升很快。特别是AlN插入层的引入、AlGaN背势垒层Si掺杂及Al组分渐变式处理,结合新型绝缘层、源漏凹槽、自对准与InN/InGaN欧姆再生、长颈T型栅、双凹栅槽等新技术,使N极性GaN HEMT器件小信号特性逐步提高。而MOCVD、MBE工艺在N极性GaN材料生长方面的优化,也促进了N极性GaN HEMT器件在C波段和X波段功率放大应用方面的进一步发展。 展开更多
关键词 gan n极性 ga极性 高电子迁移率晶体管(HEMT) Aln插入层
下载PDF
新型复合沟道Al_(0.3)Ga_(0.7)N/Al_(0.05)Ga_(0.95)N/GaN HEMT低相位噪声微波单片集成压控振荡器(英文) 被引量:2
5
作者 程知群 蔡勇 +3 位作者 刘杰 周玉刚 刘稚美 陈敬 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期241-245,共5页
设计并研制了一种新型复合沟道Al0.3Ga0.7N/Al0.05Ga0.95N/GaN HEMT(CC-HEMT)微波单片集成压控振荡器(VCO),且测试了电路的性能。CC-HEMT的栅长为1μm,栅宽为100μm。叉指金属-半导体-金属(MSM)变容二极管被设计用于调谐VCO频率。为提... 设计并研制了一种新型复合沟道Al0.3Ga0.7N/Al0.05Ga0.95N/GaN HEMT(CC-HEMT)微波单片集成压控振荡器(VCO),且测试了电路的性能。CC-HEMT的栅长为1μm,栅宽为100μm。叉指金属-半导体-金属(MSM)变容二极管被设计用于调谐VCO频率。为提高螺旋电感的Q值,聚酰亚胺介质被插入在电感金属层与外延在蓝宝石上GaN层之间。当CC-HEMT的直流偏置为Vgs=-3V,Vds=6V,变容二极管的调谐电压从5.5V到8.5V时,VCO的频率变化从7.04GHz到7.29GHz,平均输出功率为10dBm,平均功率附加效率为10.4%。当加在变容二极管上电压为6.7V时,测得的相位噪声为-86.25dBc/Hz(在频偏100KHz时)和-108dB/Hz(在频偏1MHz时),这个结果也是整个调谐范围的平均值。据我们所知,这个相位噪声测试结果是文献报道中基于GaN HEMT单片VCO的最好结果。 展开更多
关键词 Al0.3ga0.7n/Al0.05ga0.95n/gan高电子迁移率晶体管 微波单片集成电路 压控振荡器 相位噪声
下载PDF
用于多结叠层太阳电池的GaInAsN材料研究进展 被引量:3
6
作者 张启明 张恒 +2 位作者 刘如彬 唐悦 孙强 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2321-2324,共4页
1.0eV的GaInAsN材料是实现与Ge或GaAs衬底晶格匹配的高效多结叠层太阳电池的理想材料。但是,目前制备高质量的GaInAsN材料较为困难,使得相应电池性能低下,未能达到预想的效果。介绍了几种生长GaInAsN材料的外延工艺,探讨了各种外延方法... 1.0eV的GaInAsN材料是实现与Ge或GaAs衬底晶格匹配的高效多结叠层太阳电池的理想材料。但是,目前制备高质量的GaInAsN材料较为困难,使得相应电池性能低下,未能达到预想的效果。介绍了几种生长GaInAsN材料的外延工艺,探讨了各种外延方法导致材料生长困难的原因和相应的改进工艺,并在总结了GaInAsN太阳电池研究现状的基础上对其未来发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 ga In As n 多节叠层太阳电池 金属有机气相沉积 分子束外延 化学束外延
下载PDF
GaN器件的LLC谐振变换器的优化设计 被引量:18
7
作者 马焕 王康平 +1 位作者 杨旭 甘永梅 《电源学报》 CSCD 2015年第1期21-27,共7页
首先介绍了LLC谐振变换器的工作原理,详细分析了基于增强型氮化镓(e Ga N)场效应晶体管的LLC谐振变换器的开关过程。分析结果表明,通过调节死区时间可以避免Ga N晶体管的反向导通,从而减小损耗;通过减小高频功率回路电感可以减小功率回... 首先介绍了LLC谐振变换器的工作原理,详细分析了基于增强型氮化镓(e Ga N)场效应晶体管的LLC谐振变换器的开关过程。分析结果表明,通过调节死区时间可以避免Ga N晶体管的反向导通,从而减小损耗;通过减小高频功率回路电感可以减小功率回路的振荡。再对死区时间和功率回路布线分别进行了优化,由于Ga N晶体管栅源电压安全裕量很小,为确保器件安全,对驱动回路布线进行优化;最后设计了1台输入电压为48 V、输出电压为12 V、输出功率为100 W、开关频率为1 MHz的LLC实验样机,并进行了实验验证。实验结果表明,高频功率回路电感从5.6 n H降为0.4 n H时,下管关断时的漏源电压超调由15%下降到6.7%,另外驱动功率回路采用单层布线带屏蔽层的布线方式后,开关管的驱动电压几乎没有振荡。 展开更多
关键词 LLC 氮化镓器件 死区时间 寄生电感 布线
下载PDF
GA_3、IAA和C/N对马铃薯试管匍匐茎及试管薯形成的影响 被引量:15
8
作者 连勇 刘蕾 +4 位作者 屈冬玉 金黎平 纪颖彪 卞春松 杨琳 《马铃薯杂志》 1999年第1期3-6,共4页
以马铃薯栽培品种中薯3号、大西洋、米拉脱毒试管苗为材料,着重研究了离体条件下,外源激素、培养基C/N对匍匐茎发生及试管薯形成的影响。结果表明:①GA3、IAA对诱导匍匐茎发生有明显的作用,处理时间和处理浓度的不同,对... 以马铃薯栽培品种中薯3号、大西洋、米拉脱毒试管苗为材料,着重研究了离体条件下,外源激素、培养基C/N对匍匐茎发生及试管薯形成的影响。结果表明:①GA3、IAA对诱导匍匐茎发生有明显的作用,处理时间和处理浓度的不同,对试管薯形成有不同的影响,以GA30.5mg/L+IAA1mg/L诱导匍匐茎发生6~9d,再转入结薯培养基培养,单株结薯量最大。②不同C/N处理匍匐茎发生数量不同,C/N值与成薯指数呈三次抛物线形式变化,C/N=17.669时,成薯指数最大。 展开更多
关键词 马铃薯 匍匐茎 试管薯 ga3 IAA C/n
下载PDF
Cr掺杂纤锌矿GaN的磁性和光学性质 被引量:2
9
作者 黄保瑞 张富春 王海洋 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2016年第10期34-38,共5页
采用自旋极化密度泛函理论方法,对Cr掺杂纤锌矿GaN的能带结构和态密度进行计算,通过计算的能带结构和光学线性响应函数,系统讨论了Cr掺杂对纤锌矿GaN电子结构、磁学和光学属性的影响。计算结果显示:Cr掺杂纤锌矿GaN的反铁磁态具有半金... 采用自旋极化密度泛函理论方法,对Cr掺杂纤锌矿GaN的能带结构和态密度进行计算,通过计算的能带结构和光学线性响应函数,系统讨论了Cr掺杂对纤锌矿GaN电子结构、磁学和光学属性的影响。计算结果显示:Cr掺杂纤锌矿GaN的反铁磁态具有半金属特征,铁磁态具有金属特性和磁性,磁矩主要源于费米能级附近的Cr 3d和N 2p能带发生劈裂导致自旋向上和自旋向下的电子的态密度不同所致。光学性质计算结果显示,Cr掺杂纤锌矿GaN的费米能级附近出现极大的介电峰,具有优异的发光性能,峰值对应于紫外波段,在高能区吸收峰发生了红移现象,在低能区红外波吸收增强。理论计算表明,Cr掺杂纤锌矿GaN可能是一种性能优异的磁光材料。 展开更多
关键词 电子结构 纤锌矿ga n 稀磁半导体 密度泛函理论 铁磁态 反铁磁态
下载PDF
AlGaN/GaN异质结材料的中子辐照效应 被引量:2
10
作者 谷文萍 全思 +2 位作者 张林 徐小波 刘盼芝 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期217-221,共5页
采用归一化能量1 Me V的中子脉冲反应堆对Al Ga N/Ga N异质结材料进行了辐照研究。实验发现,经1015cm-2注量的中子辐照后,异质结材料的二维电子气(2DEG)载流子浓度(ns)下降,而2DEG迁移率由于受到ns的调制作用略有增加,同时辐照导致的载... 采用归一化能量1 Me V的中子脉冲反应堆对Al Ga N/Ga N异质结材料进行了辐照研究。实验发现,经1015cm-2注量的中子辐照后,异质结材料的二维电子气(2DEG)载流子浓度(ns)下降,而2DEG迁移率由于受到ns的调制作用略有增加,同时辐照导致的载流子浓度ns下降造成了沟道串联电阻的增加和异质结构阈值电压(VTH)的正向漂移。分析认为,辐照感生类受主缺陷是造成ns下降和阈值电压漂移的原因。原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)的测试结果表明,辐照后材料的表面形貌有所恶化,材料应变基本不变,而材料的螺位错和刃位错密度辐照后都略有增加。此外,实验结果还表明初始材料质量越好,辐照退化越小。 展开更多
关键词 Algan/gan异质结构 中子辐照 受主缺陷 表面形貌 晶格应力
下载PDF
用热反射测温技术测量GaNHEMT的瞬态温度 被引量:14
11
作者 翟玉卫 梁法国 +2 位作者 郑世棋 刘岩 李盈慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期76-80,共5页
利用具备亚微米量级空间分辨率和纳秒级时间分辨率的热反射测温技术对工作在脉冲偏置条件下的CGH4006P型Ga N HEMT进行了瞬态温度检测。测量了Ga N器件表面栅极、漏极和源极金属各部位在20μs内的瞬态温度幅度、分布及变化速度等数据。... 利用具备亚微米量级空间分辨率和纳秒级时间分辨率的热反射测温技术对工作在脉冲偏置条件下的CGH4006P型Ga N HEMT进行了瞬态温度检测。测量了Ga N器件表面栅极、漏极和源极金属各部位在20μs内的瞬态温度幅度、分布及变化速度等数据。栅极、漏极和源极的温度幅度有着非常明显的差距,器件表面以栅为中心呈现较大的温度分布梯度。器件表面栅金属温度变化幅度最高、变化速度最快,其主要温度变化发生在5μs之内。经过仔细分析,器件各部位温度差异的主要原因是器件的传热方向、不同区域与发热点的距离。 展开更多
关键词 热反射测温 氮化镓(gan) 高电子迁移率晶体管(HEMT) 瞬态温度 脉冲条件
下载PDF
高响应度Al_(0.1)Ga_(0.9)N薄膜紫外探测器研究 被引量:1
12
作者 王兰喜 陈学康 +1 位作者 王瑞 曹生珠 《真空与低温》 2009年第1期5-8,共4页
在有机金属化学气相沉积的Al0.1Ga0.9N薄膜上设计并制作了光导型的紫外探测器。测试表明在波长为345nm光照下器件具有峰值响应度1050A/W,说明Al0.1Ga0.9N薄膜的禁带宽度被调至3.6eV,与计算结果吻合。在时间响应测试中,器件表现出持续光... 在有机金属化学气相沉积的Al0.1Ga0.9N薄膜上设计并制作了光导型的紫外探测器。测试表明在波长为345nm光照下器件具有峰值响应度1050A/W,说明Al0.1Ga0.9N薄膜的禁带宽度被调至3.6eV,与计算结果吻合。在时间响应测试中,器件表现出持续光电导(PPC)现象,这使得器件的响应时间延长,然而,器件中可能存在的陷阱效应能够降低载流子复合几率,延长载流子寿命,从而导致了器件的高响应度,这将有利于器件在静态目标的高灵敏度探测领域的应用。 展开更多
关键词 Al0.1ga0.9n薄膜 紫外探测器 陷阱效应
下载PDF
用于无线能量传输的高效GaN HEMTF类放大器设计 被引量:2
13
作者 王颖 董士伟 +1 位作者 董亚洲 付文丽 《空间电子技术》 2015年第1期48-51,共4页
微波功率传输是实现空间太阳能电站的关键技术之一,本文给出了2.45GHz高效Ga N F类功率放大器的设计。仿真得到该功放功率附加效率为78.8%,输出功率40.3d Bm,该结果预示了其在相关领域的应用。最终对放大器电路进行了测试,实测得到放大... 微波功率传输是实现空间太阳能电站的关键技术之一,本文给出了2.45GHz高效Ga N F类功率放大器的设计。仿真得到该功放功率附加效率为78.8%,输出功率40.3d Bm,该结果预示了其在相关领域的应用。最终对放大器电路进行了测试,实测得到放大器在2.45GHz工作频点上漏极效率为67.3%,饱和输出功率38.2d Bm,增益8d B。 展开更多
关键词 ga n F类 功率放大器
下载PDF
基于ECR-PEMOCVD生长的稀磁半导体(Ga,Mn)N的特性
14
作者 宋世巍 秦福文 +5 位作者 吴爱民 何欢 王叶安 姜辛 徐茵 顾彪 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1473-1476,共4页
利用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术,在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上生长出Mn含量约为3%的(Ga,Mn)稀磁半导体薄膜。利用反射高能衍射(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)表征(Ga,Mn)N薄膜的表面... 利用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术,在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上生长出Mn含量约为3%的(Ga,Mn)稀磁半导体薄膜。利用反射高能衍射(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)表征(Ga,Mn)N薄膜的表面形貌和结构特征。(Ga,Mn)N薄膜具有良好的(0002)择优取向和纤锌矿结构,表面形貌是由许多亚微米量级的晶粒按一致的取向规则堆砌而成。光致发光(PL)测量发现3.27eV附近出现施主-受主对(DAP)发光峰。超导量子干涉仪(SQUID)测量表明薄膜在室温下具有铁磁性,没有发现超顺磁性和自旋玻璃态,居里温度可达400K。 展开更多
关键词 (ga Mn)n ECR—PEMOCVD 室温铁磁 居里温度
下载PDF
肖特基C-V法研究Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结界面二维电子气 被引量:2
15
作者 周玉刚 沈波 +6 位作者 刘杰 俞慧强 周慧梅 钱悦 张荣 施毅 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1420-1424,共5页
通过对 Pt/ Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N肖特基二极管的 C- V测量 ,研究分析了 Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面二维电子气 (2 DEG)浓度及其空间分布 .测量结果表明 ,Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面 2 DEG浓度峰值对应的深度在界面... 通过对 Pt/ Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N肖特基二极管的 C- V测量 ,研究分析了 Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面二维电子气 (2 DEG)浓度及其空间分布 .测量结果表明 ,Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面 2 DEG浓度峰值对应的深度在界面以下 1.3nm处 ,2 DEG分布峰的半高宽为 2 .3nm ,2 DEG面密度为 6 .5× 10 1 2 cm- 2 .与 Alx Ga1 - x As/ Ga As异质结相比 ,其 2 DEG面密度要高一个数量级 ,而空间分布则要窄一个数量级 .这主要归结于 Alx Ga1 - x N层中~ MV / cm量级的压电极化电场和自发极化电场对 Alx Ga1 - x N/ Ga N异质结能带的调制和 Alx Ga1 - x N/ Ga 展开更多
关键词 异质结 肖特基C-V法 二维电子气 半导体材料
下载PDF
S波段GaN功率放大器MMIC 被引量:3
16
作者 王会智 吴洪江 +2 位作者 张力江 冯志红 崔玉兴 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期271-275,共5页
基于0.25μm Ga N HEMT工艺,研制了一款S波段Ga N功率放大器单片微波集成电路(MMIC)。该电路采用三级拓扑放大结构,提高了放大器的增益;采用电抗匹配方式,减小了电路输出级的损耗,提高了MMIC的功率和效率。输出级有源器件的布局优化,... 基于0.25μm Ga N HEMT工艺,研制了一款S波段Ga N功率放大器单片微波集成电路(MMIC)。该电路采用三级拓扑放大结构,提高了放大器的增益;采用电抗匹配方式,减小了电路输出级的损耗,提高了MMIC的功率和效率。输出级有源器件的布局优化,改善了放大器芯片的温度分布特性。测试结果表明,在2.8~3.6 GHz测试频带内,在脉冲偏压28 V(脉宽100μs,占空比10%)时,峰值输出功率大于60W,功率附加效率大于45%,小信号增益大于34 d B,增益平坦度在±0.3 d B以内,输入电压驻波比在1.7以下;在稳态偏压28 V时,连续波饱和输出功率大于40 W,功率附加效率38%以上。该MMIC尺寸为4.2 mm×4.0 mm。 展开更多
关键词 氮化镓 功率放大器 S波段 单片微波集成电路(MMIC) 连续波(CW) 脉冲
下载PDF
Na,NBA-Ga-Si-ZSM-5杂原子沸石分子筛的表征 被引量:1
17
作者 高志贤 程昌瑞 +1 位作者 谭长瑜 李源 《催化学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1996年第6期556-558,共3页
Na,NBA┐Ga┐Si┐ZSM┐5杂原子沸石分子筛的表征高志贤程昌瑞谭长瑜李源(中国科学院山西煤炭化学研究所,太原030001)关键词Ga-Si-ZSM-5沸石分子筛,正丁胺,表征,模板作用近年来的研究结果表明,使... Na,NBA┐Ga┐Si┐ZSM┐5杂原子沸石分子筛的表征高志贤程昌瑞谭长瑜李源(中国科学院山西煤炭化学研究所,太原030001)关键词Ga-Si-ZSM-5沸石分子筛,正丁胺,表征,模板作用近年来的研究结果表明,使用不同类型的有机胺或醇作引导剂,甚... 展开更多
关键词 沸石 分子筛 正丁胺 表征 模板作用
下载PDF
玻璃衬底上制备GaN薄膜的研究进展 被引量:1
18
作者 汪金 张卿 +2 位作者 杨国锋 高淑梅 李果华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第11期801-809,834,共10页
近年来,Ga N基发光二极管(LED)的发展异常迅速,以玻璃为衬底的LED具有成本低、可大面积化生产等优点而引起了国内外许多科研机构的广泛研究兴趣。但由于普通玻璃较低的软化温度(500~600℃)以及与Ga N之间存在较大的晶格失配问题,一... 近年来,Ga N基发光二极管(LED)的发展异常迅速,以玻璃为衬底的LED具有成本低、可大面积化生产等优点而引起了国内外许多科研机构的广泛研究兴趣。但由于普通玻璃较低的软化温度(500~600℃)以及与Ga N之间存在较大的晶格失配问题,一直阻碍其发展。重点综述了玻璃衬底上生长Ga N薄膜的方法以及改善外延层晶体质量的技术。分别介绍了两种在普通玻璃上生长Ga N的方法,即低温生长和局部加热生长,同时详述了采用缓冲层和横向外延过生长(ELO)技术对外延Ga N晶体质量的影响。对局部加热、ELO等技术在玻璃衬底LED方面的应用进行了分析和预测,认为以玻璃为衬底的LED终会取得快速地发展。 展开更多
关键词 薄膜 氮化镓 玻璃衬底 发光二极管(LED) 横向外延过生长(ELO)
下载PDF
Influence of Al Composition on Transport Properties of Two-Dimensional Electron Gas in Al_xGa_(1-x)N/GaN Heterostructures
19
作者 唐宁 沈波 +7 位作者 王茂俊 杨志坚 徐科 张国义 桂永胜 朱博 郭少令 褚君浩 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期235-238,共4页
Magnetotransport properties of two-dimensional electron gases (2DEG) in AlxGa1-x N/GaN heterostructures with different Al compositions are investigated by magnetotransport measurements at low temperatures and in hig... Magnetotransport properties of two-dimensional electron gases (2DEG) in AlxGa1-x N/GaN heterostructures with different Al compositions are investigated by magnetotransport measurements at low temperatures and in high magnetic fields. It is found that heterostructures with a lower Al composition in the barrier have lower 2DEG concentration and higher 2DEG mobility. 展开更多
关键词 Alx ga1-x n/gan heterostructure two-dimensional electron gas transport property
下载PDF
调制掺杂Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结构的微应变 被引量:1
20
作者 谭伟石 沙昊 +6 位作者 沈波 蔡宏灵 吴小山 蒋树声 郑文莉 贾全杰 姜晓明 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第10期799-804,共6页
用MOCVD方法在 (0 0 0 1)取向的蓝宝石 (α -Al2 O3)衬底上生长了不同势垒层厚度的Al0 .2 2Ga0 .78N/GaN异质结构 ,利用高分辨X射线衍射 (HRXRD)测量了其对称反射 (0 0 0 2 )和非对称反射 (10 14 )的倒易空间图 (RSM )。分析结果表明 ,... 用MOCVD方法在 (0 0 0 1)取向的蓝宝石 (α -Al2 O3)衬底上生长了不同势垒层厚度的Al0 .2 2Ga0 .78N/GaN异质结构 ,利用高分辨X射线衍射 (HRXRD)测量了其对称反射 (0 0 0 2 )和非对称反射 (10 14 )的倒易空间图 (RSM )。分析结果表明 ,势垒层内部微结构与应变状态和下层i -GaN的微结构与应变状态互相关联 ,当厚度大于 75 0 时 ,势垒层开始发生应变弛豫 ,临界厚度大于5 0 0 。势垒层具有一种“非常规”应变弛豫状态 ,这种状态的来源可能与n -AlGaN的内部缺陷以及i-GaN/α -Al2 展开更多
关键词 调制掺杂 微应变 Alxga1-x/gan 异质结构 高分辨X射线衍射 微结构 驰豫线模型 半导体材料 氮化镓
下载PDF
上一页 1 2 60 下一页 到第
使用帮助 返回顶部