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一种抗总剂量辐照的新型PD SOI器件 被引量:1
1
作者 李孟窈 刘云涛 蒋忠林 《微电子学》 CAS 北大核心 2021年第1期101-105,共5页
提出了一种具有叠层埋氧层的新栅型绝缘体上硅(SOI)器件。针对SOI器件的抗总电离剂量(TID)加固方案,对绝缘埋氧层(BOX)采用了叠层埋氧方案,对浅沟槽隔离(STI)层采用了特殊S栅方案。利用Sentaurus TCAD软件,采用Insulator Fixed Charge... 提出了一种具有叠层埋氧层的新栅型绝缘体上硅(SOI)器件。针对SOI器件的抗总电离剂量(TID)加固方案,对绝缘埋氧层(BOX)采用了叠层埋氧方案,对浅沟槽隔离(STI)层采用了特殊S栅方案。利用Sentaurus TCAD软件,采用Insulator Fixed Charge模型设置固定电荷密度,基于0.18μm CMOS工艺对部分耗尽(PD)SOI NMOS进行了TID效应仿真,建立了条栅、H栅、S栅三种PD SOI NMOS器件的仿真模型。对比三种器件辐照前后的转移特性曲线、阈值电压漂移量、跨导退化量,验证了该器件的抗TID辐照性能。仿真结果表明,有S栅的器件可以抗kink效应,该PD SOI NMOS器件的抗TID辐照剂量能力可达5 kGy。 展开更多
关键词 STI pd soi NMOS 总剂量辐照 S栅体接触 KINK效应
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基于PD SOI工艺的8Kb抗辐照静态存储器
2
作者 刘必慰 陈书明 +2 位作者 梁斌 陈川 徐再林 《计算机工程与科学》 CSCD 北大核心 2009年第7期81-84,共4页
SOI工艺具有内在的抗辐照能力,因此被广泛地应用于航天、军事等高可靠领域。本文基于我国目前最先进的0.5μm的PD SOI工艺设计了8Kb的SRAM,并且采用体引出、环形栅等多种技术对其进行了抗辐射加固。模拟表明该SRAM的读写时间小于20ns,50... SOI工艺具有内在的抗辐照能力,因此被广泛地应用于航天、军事等高可靠领域。本文基于我国目前最先进的0.5μm的PD SOI工艺设计了8Kb的SRAM,并且采用体引出、环形栅等多种技术对其进行了抗辐射加固。模拟表明该SRAM的读写时间小于20ns,50MHz下平均功耗小于55.8mW。 展开更多
关键词 抗辐照 pd soi 静态存储器
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0.8μm PD SOI MOS器件研究 被引量:1
3
作者 肖志强 洪根深 张波 《电子与封装》 2005年第6期35-39,共5页
本文重点介绍了0.8μm PD SOI MOS器件的结构、KINK效应、热载流子效应和自加热效应等,并对这些特性从物理机理上进行了简要的阐述。
关键词 pd soi KINK效应 热载流子效应 自加热效应
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倒掺杂结构PD SOI器件的抗辐射研究
4
作者 韩本光 吴龙胜 +2 位作者 陈超 方勇 刘佑宝 《科学技术与工程》 2009年第20期6013-6016,共4页
为了提高SOI器件抗总剂量能力,采用了倒掺杂结构。研究了倒掺杂结构PD SOI器件抗总剂量能力的增强,介绍了该结构对寄生NPN晶体管的抑制作用。发现倒掺杂结构不仅提高了器件的抗总剂量能力,对器件的抗单粒子能力也有所提高。基于0.35μm ... 为了提高SOI器件抗总剂量能力,采用了倒掺杂结构。研究了倒掺杂结构PD SOI器件抗总剂量能力的增强,介绍了该结构对寄生NPN晶体管的抑制作用。发现倒掺杂结构不仅提高了器件的抗总剂量能力,对器件的抗单粒子能力也有所提高。基于0.35μm SOI工艺线,结合ISE TCAD软件对器件的电学特性进行仿真,比较了流片测试数据和仿真数据。着重研究倒掺杂结构PD SOI器件较常规PD SOI器件抗SEU能力的改善,并对SOI器件单粒子辐射的电荷收集效应进行了模拟与仿真。 展开更多
关键词 倒掺杂 pd soi 单粒子翻转 电荷收集 线性能量转移值
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PD SOI MOSFET低频噪声研究进展 被引量:1
5
作者 范雪梅 毕津顺 +1 位作者 刘梦新 杜寰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期817-822,共6页
随着器件尺寸的不断减小,PD SOI器件的低频噪声特性对电路稳定性的影响越来越大。研究了PD SOI器件低频过冲噪声现象,分析了此类器件在发生浮体效应、栅致浮体效应以及前背栅耦合效应时低频过冲噪声的产生机理及影响因素。最后指出,可... 随着器件尺寸的不断减小,PD SOI器件的低频噪声特性对电路稳定性的影响越来越大。研究了PD SOI器件低频过冲噪声现象,分析了此类器件在发生浮体效应、栅致浮体效应以及前背栅耦合效应时低频过冲噪声的产生机理及影响因素。最后指出,可以通过添加体接触或将PD SOI器件改进为双栅结构,达到有效抑制低频过冲噪声的目的。 展开更多
关键词 pd soi MOSFET 低频噪声 浮体效应 前背栅耦合效应
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PD SOI NMOSFET翘曲效应的温度模型 被引量:2
6
作者 张海鹏 魏同立 +2 位作者 冯耀兰 姚炜 宋安飞 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期1320-1324,共5页
报道了一个部分耗尽 (PD) SOI NMOSFET翘曲效应的温度解析模型 .该模型从 PD SOI NMOSFET器件的物理结构 ,即由顶部的 NMOSFET和底部的寄生 BJT构成这一特点出发 ,以一定温度下 PD SOI NMOSFET体-射结电流与漏 -体结电流的动态平衡为核... 报道了一个部分耗尽 (PD) SOI NMOSFET翘曲效应的温度解析模型 .该模型从 PD SOI NMOSFET器件的物理结构 ,即由顶部的 NMOSFET和底部的寄生 BJT构成这一特点出发 ,以一定温度下 PD SOI NMOSFET体-射结电流与漏 -体结电流的动态平衡为核心 ,采用解析迭代方法求解 ,得出漏 -体结碰撞电离产生的空穴在体区中近源端积累达到饱和时的体 -射结电压 ,及漏 -体结和体 -射结电流的各主要分量 ,进而得到了 PD SOI NMOSFET翘曲效应漏电流的温度解析模型 ,并将一定条件下的模拟结果与实验结果进行了比较 。 展开更多
关键词 pd soi NMOSFET 翘曲效应 温度解析模型 场效应晶体管
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引入射频诱导效应的BCT PD-SOI MOSFET建模技术研究 被引量:1
7
作者 黎莹 王军 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第3期347-353,共7页
为了精确模拟高漏源电压(V_(DS))条件下体接触(Body Contact,BCT)部分耗尽型(Partial Depletion,PD)绝缘体上硅(Silicon-on-Insulator,SOI)MOSFET器件的异常射频诱导效应,建立了一个基于碰撞电离和寄生BJT机理的RL网络模型。首先分析了S... 为了精确模拟高漏源电压(V_(DS))条件下体接触(Body Contact,BCT)部分耗尽型(Partial Depletion,PD)绝缘体上硅(Silicon-on-Insulator,SOI)MOSFET器件的异常射频诱导效应,建立了一个基于碰撞电离和寄生BJT机理的RL网络模型。首先分析了SCBE模型的体区输出导纳参数,并利用该参数的解析式推导出一种电阻与电感串联的网络拓扑;然后基于直接提取法准确提取RL网络模型的参数;最后,通过仿真得出S21、S22参数分别在史密斯圆图的下半圆和上半圆按顺时针旋转的现象,同时在0.01~20 GHz范围内模型模拟的S参数与实测的S参数的相对误差为2.1%,验证了RL网络模型的有效性和准确性。 展开更多
关键词 BCT pd-soi MOSFET 小信号等效电路 射频诱导效应 S参数
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薄硅膜SOI N型LDMOS浮体效应优化研究
8
作者 纪旭明 邵红 +3 位作者 李金航 顾祥 张庆东 谢儒彬 《中国集成电路》 2024年第6期72-74,81,共4页
为避免PD SOI浮体效应对高压N型LDMOS器件的击穿电压的影响,本文从SOI LDMOS器件的结构和工艺出发,分析了N型LDMOS衬底电荷积累的影响,研究体引出优化方法,通过流片验证了方案的可行,规避了浮体效应引起的击穿电压的降低及漏电增加,为SO... 为避免PD SOI浮体效应对高压N型LDMOS器件的击穿电压的影响,本文从SOI LDMOS器件的结构和工艺出发,分析了N型LDMOS衬底电荷积累的影响,研究体引出优化方法,通过流片验证了方案的可行,规避了浮体效应引起的击穿电压的降低及漏电增加,为SOI功率集成工艺的发展提供了相关解决方法。 展开更多
关键词 pd soi LDMOS 浮体效应 击穿电压 功率集成
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用于GPS接收机的130 nm PD-SOI低噪声放大器
9
作者 王志鹏 孙浩 +3 位作者 刘艳艳 关鸿 周曙光 朱红卫 《微电子学》 CAS 北大核心 2019年第5期609-612,617,共5页
基于130nm PD-SOI工艺,设计了一种用于GPS接收机射频前端的单片低噪声放大器(LNA)。利用SOI工艺特有的低噪声特性,降低了衬底耦合到电路的噪声。采用单独的带隙基准源和LDO为低噪声放大器供电,降低了电源纹波和高频噪声对放大器噪声性... 基于130nm PD-SOI工艺,设计了一种用于GPS接收机射频前端的单片低噪声放大器(LNA)。利用SOI工艺特有的低噪声特性,降低了衬底耦合到电路的噪声。采用单独的带隙基准源和LDO为低噪声放大器供电,降低了电源纹波和高频噪声对放大器噪声性能的影响。测试结果表明,在3.3V电源电压、1.575GHz工作频率下,该LNA的噪声系数仅为1.49dB,增益为13.7dB,输入回波损耗S11、输出回波损耗S22均小于-15dB,输入P1dB为-13dBm,IIP3为-0.34dBm。 展开更多
关键词 低噪声放大器 pd-soi 全球定位系统 单片 噪声系数
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Novel SEU hardened PD SOI SRAM cell
10
作者 谢成民 王忠芳 +2 位作者 汪西虎 吴龙胜 刘佑宝 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期162-166,共5页
A novel SEU hardened 10T PD SOI SRAM cell is proposed. By dividing each pull-up and pull-down transistor in the cross-coupled inverters into two cascaded transistors, this cell suppresses the parasitic BJT and source-... A novel SEU hardened 10T PD SOI SRAM cell is proposed. By dividing each pull-up and pull-down transistor in the cross-coupled inverters into two cascaded transistors, this cell suppresses the parasitic BJT and source-drain penetration charge collection effect in PD SOI transistor which causes the SEU in PD SOI SRAM. Mixed-mode simulation shows that this novel cell completely solves the SEU, where the ion affects the single transistor. Through analysis of the upset mechanism of this novel cell, SEU performance is roughly equal to the multiple-cell upset performance of a normal 6T SOI SRAM and it is thought that the SEU performance is 17 times greater than traditional 6T SRAM in 45nm PD SOI technology node based on the tested data of the references. To achieve this, the new cell adds four transistors and has a 43.4% area overhead and performance penalty. 展开更多
关键词 SEU pd soi SRAM parasitic BJT mixed-mode simulation
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Enhanced radiation-induced narrow channel effects in 0.13-μm PDSOI nMOSFETs with shallow trench isolation
11
作者 张梦映 胡志远 +2 位作者 毕大炜 戴丽华 张正选 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期619-624,共6页
Total ionizing dose responses of different transistor geometries after being irradiated by ^(60)Co γ-rays, in 0.13-μm partially-depleted silicon-on-insulator(PD SOI) technology are investigated. The negative thr... Total ionizing dose responses of different transistor geometries after being irradiated by ^(60)Co γ-rays, in 0.13-μm partially-depleted silicon-on-insulator(PD SOI) technology are investigated. The negative threshold voltage shift in an n-type metal-oxide semiconductor field effect transistor(nMOSFET) is inversely proportional to the channel width due to radiation-induced charges trapped in trench oxide, which is called the radiation-induced narrow channel effect(RINCE).The analysis based on a charge sharing model and three-dimensional technology computer aided design(TCAD) simulations demonstrate that phenomenon. The radiation-induced leakage currents under different drain biases are also discussed in detail. 展开更多
关键词 partiallydepleted silicon-on-insulator(pd soi totalionizingdose(TID) radiationinduced narrow channel effect(RINCE) drain induced barrier lowering(DIBL) effect
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栅长对PD SOI NMOS器件总剂量辐照效应影响的实验研究 被引量:1
12
作者 彭里 卓青青 +1 位作者 刘红侠 蔡惠民 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第24期125-130,共6页
本文对PD SOI NMOS器件进行了60Coγ射线总剂量辐照的实验测试,分析了不同的栅长对器件辐射效应的影响及其物理机理.研究结果表明,短沟道器件辐照后感生的界面态密度更大,使器件跨导出现退化.PD SOI器件的局部浮体效应是造成不同栅长器... 本文对PD SOI NMOS器件进行了60Coγ射线总剂量辐照的实验测试,分析了不同的栅长对器件辐射效应的影响及其物理机理.研究结果表明,短沟道器件辐照后感生的界面态密度更大,使器件跨导出现退化.PD SOI器件的局部浮体效应是造成不同栅长器件辐照后输出特性变化不一致的主要原因.短沟道器件输出特性的击穿电压更低.在关态偏置条件下,由于背栅晶体管更严重的辐射效应,短沟道SOI器件的电离辐射效应比同样偏置条件下长沟道器件严重. 展开更多
关键词 pd soi NMOS 总剂量辐照效应 栅长 偏置状态
原文传递
亚微米PD CMOS/SOI工艺及H栅单边体引出研究
13
作者 李宁 刘存生 +1 位作者 孙丽玲 薛智民 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期448-453,共6页
研究开发了0.4μm PD CMOS/SOI工艺,试制出采用H栅双边体引出的专用电路。对应用中如何克服PD SOI MOSFET器件的浮体效应进行了研究;探讨在抑制浮体效应的同时减少对芯片面积影响的途径,对H栅双边体引出改为单边体引出进行了实验研究。... 研究开发了0.4μm PD CMOS/SOI工艺,试制出采用H栅双边体引出的专用电路。对应用中如何克服PD SOI MOSFET器件的浮体效应进行了研究;探讨在抑制浮体效应的同时减少对芯片面积影响的途径,对H栅双边体引出改为单边体引出进行了实验研究。对沟道长度为0.4μm、0.5μm、0.6μm、0.8μm的H栅PD SOI MOSFET单边体引出器件进行工艺加工及测试,总结出在现有工艺下适合单边体引出方式的MOSFET器件尺寸,并对引起短沟道PMOSFET漏电的因素进行了分析,提出了改善方法;对提高PD CMOS/SOI集成电路的设计密度和改进制造工艺具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 亚微米工艺 H栅 pdCMOS/soi 浮体效应 单边体引出
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Effect of an Asymmetric Doping Channel on Partially Depleted SOI MOSFETs
14
作者 唐俊雄 唐明华 +3 位作者 杨锋 张俊杰 周益春 郑学军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1070-1074,共5页
Asymmetric doping channel (AC) partially depleted (PD) silicon-on-insulator (SOI) devices are simulated using two-dimensional simulation software. The electrical characteristics such as the output characteristic... Asymmetric doping channel (AC) partially depleted (PD) silicon-on-insulator (SOI) devices are simulated using two-dimensional simulation software. The electrical characteristics such as the output characteristics and the breakdown voltage are studied in detail. Through simulations,it is found that the AC PD SOI device can suppress the floating effects and improve the breakdown characteristics over conventional partially depleted silicon-on-insulator devices. Also compared to the reported AC FD SOI device,the performance variation with device parameters is more predictable and operable in industrial applications. The AC FD SO1 device has thinner silicon film, which causes parasitical effects such as coupling effects between the front gate and the back gate and hot electron degradation effects. 展开更多
关键词 AC pd soi MOSFETs output characteristics breakdown voltage
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氢化大豆卵磷脂Pd/C催化剂制备工艺优化 被引量:3
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作者 宋兰 张敏 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期132-135,162,共5页
应用浸渍法制备Pd/C催化剂,以大豆卵磷脂氢化反应前后碘值的变化作为指标,考察了制备条件对Pd/C活性的影响,并借助透射电镜的表征手段分析催化剂的形貌变化。结果表明,制备大豆卵磷脂氢化Pd/C催化剂的优化工艺为:原料炭经10%硝酸预处理... 应用浸渍法制备Pd/C催化剂,以大豆卵磷脂氢化反应前后碘值的变化作为指标,考察了制备条件对Pd/C活性的影响,并借助透射电镜的表征手段分析催化剂的形貌变化。结果表明,制备大豆卵磷脂氢化Pd/C催化剂的优化工艺为:原料炭经10%硝酸预处理后,在40℃的3.5 mg/mL H2PdC l4溶液中浸渍2 h,在30%甲醛、还原温度80℃、pH值1~2的条件下还原5 h,并经80℃真空干燥获得成品。催化剂Pd粒径为7.8 nm,制备的催化剂可使大豆卵磷脂氢化后碘值下降到18.6 gI/(100 g)。在制备过程中前浸体溶液pH值对催化剂活性的影响很大。Pd粒径较小时,催化剂活性更强。 展开更多
关键词 大豆卵磷脂 氢化 pd/C催化剂 制备
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部分耗尽SOI NMOSFET总剂量辐照的最坏偏置(英文) 被引量:1
16
作者 卜建辉 刘梦新 +1 位作者 胡爱斌 韩郑生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期65-68,共4页
通过模拟对ON、OFF、TG三种偏置下PD SOI NMOSFET的总剂量辐照效应进行了研究。模拟发现正沟道的最坏偏置是ON偏置,背沟道的最坏偏置与总剂量有关。当总剂量大时,背沟道的最坏偏置是OFF偏置;当总剂量小时则是TG偏置。而NMOSFET的最坏偏... 通过模拟对ON、OFF、TG三种偏置下PD SOI NMOSFET的总剂量辐照效应进行了研究。模拟发现正沟道的最坏偏置是ON偏置,背沟道的最坏偏置与总剂量有关。当总剂量大时,背沟道的最坏偏置是OFF偏置;当总剂量小时则是TG偏置。而NMOSFET的最坏偏置则取决于起主要作用的是正栅还是背栅。由于辐照产生电子空穴对的过程与电场分布强相关,通过分析不同偏置下电场分布的差异确定最坏偏置的内在机制。 展开更多
关键词 绝缘体上硅 总剂量效应 最坏偏置 部分耗尽 辐照
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SOI技术问题和BSIM3SOIv1.3模型参数特点
17
作者 顾爱军 孙锋 《电子与封装》 2007年第11期31-34,38,共5页
SOI器件具有高速、低压、低功耗、抗辐照、耐高温等体硅器件不具备的优点,SOI CMOS技术开始用于深亚微米高速、低功耗、低电压大规模集成电路应用。但SOI技术还面临浮体效应、自加热效应等问题的挑战。作为SOI模型国际标准,BSIM3SOIv1.... SOI器件具有高速、低压、低功耗、抗辐照、耐高温等体硅器件不具备的优点,SOI CMOS技术开始用于深亚微米高速、低功耗、低电压大规模集成电路应用。但SOI技术还面临浮体效应、自加热效应等问题的挑战。作为SOI模型国际标准,BSIM3SOIv1.3提出了新的模型参数解决方案。BSIMPDSPICE器件模型是基于物理意义的模型,是在体硅MOS器件模型工业标准(BSIM3V3)的基础上开发而成,BSIMPD针对SOI固有的浮体效应引起的动态特性,自加热和体接触提出相应的模型参数。 展开更多
关键词 pd soi 体效应 自加热效应 BSIM3soi
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部分耗尽SOI静态存储器位线电路的研究 被引量:1
18
作者 姜凡 刘忠立 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期297-300,304,共5页
对部分耗尽SOICMOS静态存储器的位线电路进行了模拟和研究,详细分析了BJT效应对SRAM写操作过程的影响,给出了BJT效应在SRAM写操作过程的最坏条件和最好条件下存储单元门管的瞬态泄漏电流的模拟结果;在详细分析BJT效应影响的基础上,对“F... 对部分耗尽SOICMOS静态存储器的位线电路进行了模拟和研究,详细分析了BJT效应对SRAM写操作过程的影响,给出了BJT效应在SRAM写操作过程的最坏条件和最好条件下存储单元门管的瞬态泄漏电流的模拟结果;在详细分析BJT效应影响的基础上,对“FirstCycle”效应进行了全面的研究。结果表明,“FirstCycle”效应对写操作影响较大;研究了位线电容负载对存储单元门管体电位的依赖。最后,给出了研究结果。 展开更多
关键词 静态存储器 位线 部分耗尽 soi
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采用LOCOS隔离的部分耗尽SOI器件的窄沟道效应
19
作者 宋文斌 许高博 +1 位作者 郭天雷 韩郑生 《电子器件》 CAS 2007年第5期1535-1538,共4页
制备了不同沟宽的采用LOCOS隔离的PDSOI器件,通过实验数据分析器件的窄沟道效应.结果显示,1.2μmSOI器件的窄沟道效应跟体硅相似,主要是由边缘电场效应和"鸟嘴"效应引起的;0.8μmSOI器件的阈值电压随着沟道变窄而减小,出现反... 制备了不同沟宽的采用LOCOS隔离的PDSOI器件,通过实验数据分析器件的窄沟道效应.结果显示,1.2μmSOI器件的窄沟道效应跟体硅相似,主要是由边缘电场效应和"鸟嘴"效应引起的;0.8μmSOI器件的阈值电压随着沟道变窄而减小,出现反向窄沟道效应.我们认为,主要是由于杂质的重新分布降低了沟道边缘的杂质浓度所引起的. 展开更多
关键词 部分耗soi 鸟嘴效应 边缘电场效应 反向窄沟道效应 杂质重新分布
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质子辐照对130nm部分耗尽SOI MOS器件栅氧经时击穿可靠性的影响
20
作者 马腾 崔江维 +5 位作者 郑齐文 魏莹 赵京昊 梁晓雯 余学峰 郭旗 《现代应用物理》 2017年第4期48-51,共4页
利用10 MeV质子对130nm部分耗尽SOI MOS器件进行辐照,测试了在不同辐照吸收剂量下,器件的辐射诱导泄漏电流和栅氧经时击穿寿命等参数,分析了质子辐照对器件TDDB可靠性的影响。结果表明:质子辐照器件时,在Si-SiO_2界面产生的界面陷阱电荷... 利用10 MeV质子对130nm部分耗尽SOI MOS器件进行辐照,测试了在不同辐照吸收剂量下,器件的辐射诱导泄漏电流和栅氧经时击穿寿命等参数,分析了质子辐照对器件TDDB可靠性的影响。结果表明:质子辐照器件时,在Si-SiO_2界面产生的界面陷阱电荷,增加了电子跃迁的势垒高度,减少了电荷向栅极的注入,减小了器件的RILC,增加了器件的TDDB寿命。 展开更多
关键词 辐射诱导泄漏电流 栅氧经时击穿 可靠性 质子辐照 部分耗尽soi
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