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形成SIMOX结构的PIII新技术的研究 被引量:3
1
作者 闵靖 Chu,PK 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第8期636-640,共5页
本文报道了一种形成SIMOX结构的等离子体浸没离子注入(PIII)的新技术.与传统的离子注入相比,这种新技术具有高离子束流,大面积离子注入,极短的注入时间和低成本等优点.实验中,衬底硅片浸没在高离子密度的氧的等离子体... 本文报道了一种形成SIMOX结构的等离子体浸没离子注入(PIII)的新技术.与传统的离子注入相比,这种新技术具有高离子束流,大面积离子注入,极短的注入时间和低成本等优点.实验中,衬底硅片浸没在高离子密度的氧的等离子体中.在衬底所加的负高压的作用下,氧离子直接注入硅片之中.我们研究了PIII的工艺条件,用PIII制得了具有20到50nm厚的顶层硅层和20到50nm厚的氧化硅埋层的超薄SIMOX硅片,并用RBS、XTEM等技术对样品进行了测试. 展开更多
关键词 SIMOX结构 piii SOI
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PIII技术制备c-BN硬化层 被引量:1
2
作者 王钧石 《材料开发与应用》 CAS 2006年第6期18-22,共5页
采用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术(PIII)在渗硼后的50Mn钢试样上制备出了厚度为0.15-0.2mm的立方氮化硼(c-BN)表面硬化层。经X光电子能谱(XPS)和X光衍射分析(XRD),发现硬化层中的组织有立方氮化硼(c-BN)、六方氮... 采用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术(PIII)在渗硼后的50Mn钢试样上制备出了厚度为0.15-0.2mm的立方氮化硼(c-BN)表面硬化层。经X光电子能谱(XPS)和X光衍射分析(XRD),发现硬化层中的组织有立方氮化硼(c-BN)、六方氮化硼(h-BN)、B2O3、FeB和Fe2B。在表层60nm的深度范围内,c-BN的含量较高。采用球盘式无润滑滑动摩擦试验和维氏显微硬度试验分别对渗硼+PIII复合处理以及单独渗硼的50Mn钢试样的性能进行了对比试验。结果表明,与单独渗硼的试样相比,渗硼+PIII复合处理的试样具有高得多的硬度(高达Hv0.1N44GPa)和耐磨性。该项技术在电缆压模上进行了应用试验。获得了较好的应用效果。 展开更多
关键词 立方氮化硼(c-BN) 渗硼 等离子体浸没式离子注A(piii)
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等离子体浸没离子注入(PIII)过程中初始离子阵鞘层尺度内各物理量的时空演化 被引量:10
3
作者 黄永宪 田修波 +3 位作者 杨士勤 黄志俊 Ricky Fu Paul K.Chu 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期115-119,共5页
等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了... 等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了一维粒子模型(PIC)对其进行了数值模拟,该模型通过求解空间电势的Poisson方程,电子的Bolzmann分布以及离子在网格中受力运动的Newton运动方程来完成。本文重点研究了一个初始离子阵鞘层内电势、离子浓度、离子注入靶体的速度和动能以及离子流密度的时空演化规律。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 离子注人 鞘层 子阵 PⅢ 物理量 Poisson方程 材料表面改性 Newton 时空演化规律 离子流密度 脉冲偏压 数值模拟 粒子模型 求解空间 运动方程 离子浓度 靶体 电势 一维 电子 动能
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用pIII及pVIII噬菌体展示系统展示抗原和抗原表位的免疫原性的研究 被引量:2
4
作者 吴国球 劳心珍 +5 位作者 孙宏伟 黄立新 张粉梅 钱娟英 卢惠霞 沈子龙 《中国药科大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期581-586,共6页
目的探索用pIII和pVIII噬菌体展示系统展示抗原和抗原表位的免疫源性以及用噬菌体展示颗粒为免疫原制备抗体的可能性。方法从人心肌组织中获得cTnI基因,突变后克隆入pMDT18载体及pFD5pIII型噬菌体展示载体。合成两条互补寡聚核苷酸单链... 目的探索用pIII和pVIII噬菌体展示系统展示抗原和抗原表位的免疫源性以及用噬菌体展示颗粒为免疫原制备抗体的可能性。方法从人心肌组织中获得cTnI基因,突变后克隆入pMDT18载体及pFD5pIII型噬菌体展示载体。合成两条互补寡聚核苷酸单链,退火后变成编码cTnI95~108位氨基酸的双链,与PC89pVIII型噬菌体展示载体连接。含有cTnI及其抗原表位基因的重组质粒转化辅助噬菌体敏感的XL1Blue细胞,用VCSM13超感染获得展示有cTnI及其抗原表位的噬菌体颗粒,测定其表达量。并以此为免疫源免疫新西兰白兔获得抗体,用ELISA方法测定抗体滴度。结果cTnI及其抗原表位在噬菌体颗粒表面得到成功展示,展示量分别为5ng/ml和96ng/ml。免疫后得到的抗体滴度为1∶300和1∶1800。结论制备具有一定空间结构的大分子蛋白的抗体时,可用pIII噬菌体展示系统,制备小分子肽线性表位的抗体时,pVIII展示系统具有独特的优势。 展开更多
关键词 pⅢ噬菌体展示 pⅧ噬菌体展示 免疫原
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PIII方法制备的TiN膜的性能 被引量:6
5
作者 王钧石 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第11期19-21,共3页
用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术(PIII),在Cr12MoV钢基体上制备了TiN膜,经XPS分析发现,膜中的组织为TiN、TiO2和Ti2O3。对有与无TiN膜的Cr12MoV钢试样进行对比,测定了维氏硬度,耐磨性以及磨痕。结果表明:TiN膜具有高的硬度和优... 用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术(PIII),在Cr12MoV钢基体上制备了TiN膜,经XPS分析发现,膜中的组织为TiN、TiO2和Ti2O3。对有与无TiN膜的Cr12MoV钢试样进行对比,测定了维氏硬度,耐磨性以及磨痕。结果表明:TiN膜具有高的硬度和优良的抗摩擦性能。 展开更多
关键词 等离子体浸没式离子注入 TIN膜 显微硬度 摩擦性能
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PIII技术在制备c-BN硬化层中的应用 被引量:1
6
作者 王钧石 柳襄怀 王曦 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期690-694,共5页
采用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术 (PIII)在渗硼后的 5 0Mn钢试样上制备出了厚度为 0 .15~ 0 .2mm的立方氮化硼 (c BN)表面硬化层。经X射线电子能谱 (XPS)和X射线衍射分析 (XRD) ,发现硬化层中的组织有立方氮化硼 (c BN)、六... 采用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术 (PIII)在渗硼后的 5 0Mn钢试样上制备出了厚度为 0 .15~ 0 .2mm的立方氮化硼 (c BN)表面硬化层。经X射线电子能谱 (XPS)和X射线衍射分析 (XRD) ,发现硬化层中的组织有立方氮化硼 (c BN)、六方氮化硼 (h BN)、B2 O3,FeB和Fe2 B。在表层 60nm的深度范围内 ,c BN的含量较高。采用球盘式无润滑滑动摩擦实验和维氏显微硬度实验分别对渗硼 +PIII复合处理以及单独渗硼的 5 0Mn钢试样的性能进行了对比实验。结果表明 :与单独渗硼的试样相比 ,经渗硼 +PIII复合处理的试样具有高得多的硬度 (高达HV0 .1N44GPa) 展开更多
关键词 立方氮化硼(c-BN) 渗硼 等离子体浸没式离子入注(PⅢ)
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PIII中工作气压和占空比优化关系的数值研究
7
作者 李义 敬晓丹 +1 位作者 李久会 雷明凯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1162-1168,共7页
等离子体浸没离子注入中的等离子体扩散过程和鞘层演化行为分别由低压非稳态扩散流体模型与鞘层碰撞流体模型来进行描述,数值模拟研究了工作气压与占空比对离子注入剂量和能量的影响。计算结果表明,工作气压不变时,随占空比变化,一定时... 等离子体浸没离子注入中的等离子体扩散过程和鞘层演化行为分别由低压非稳态扩散流体模型与鞘层碰撞流体模型来进行描述,数值模拟研究了工作气压与占空比对离子注入剂量和能量的影响。计算结果表明,工作气压不变时,随占空比变化,一定时间内的离子注入剂量有极大值,并且极大值对应的占空比会随着工作气压降低而减小。工作气压较高时,占空比越小离子碰撞能量越高;而工作气压较低时,占空比越大离子碰撞能量越高。相同工作气压下占空比对离子注入剂量的影响要比离子碰撞能量显著。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 多脉冲鞘层 流体模型 工作气压 占空比
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改善AISI M2钢机械性能的PIII
8
作者 李豫 《等离子体应用技术快报》 1999年第11期4-5,共2页
关键词 高速钢 机械性能 离子植入 piii 等离子体
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In vivo study of Ti-O thin films fiolms fabricated by PIII
9
《Chinese Journal of Biomedical Engineering(English Edition)》 2002年第1期18-18,共1页
关键词 piii TI
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Experimental Study of Static Contact-angle on Peak-like Microstructural Surfaces Produced by PIII Technology
10
作者 YANG Runhua YANG Lixin 《Journal of Thermal Science》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第3期241-248,共8页
Plasma immersion ion implantation(PIII) was used to fabricate micro/nano structures on monocrystalline Si surfaces with different ratios of mixed gases(SF_6/O_2). The micro/nano structures on the surfaces of the sampl... Plasma immersion ion implantation(PIII) was used to fabricate micro/nano structures on monocrystalline Si surfaces with different ratios of mixed gases(SF_6/O_2). The micro/nano structures on the surfaces of the sample were characterized by scanning electron microscopy(SEM) and atomic force microscopy(AFM). The results showed that with increasing ratio of mixed gases(SF_6/O_2), the height of the micro/nano structures first increased and then decreased. Contact-angle measurements indicated that the surfaces' micro/nano structures have an obvious effect on the contact-angle, and could cause a change in surface wettability. The theoretical analysis of contact-angle showed that the Wenzel and Cassie theories cannot predict the contact-angle of a roughened surface accurately, and should be corrected for practical applications using an actual model. Moreover, the contact-angle first increased and then decreased with increasing ratio of mixed gases(SF_6/O_2), which is in accordance with the change of the height of micro/nano structures. 展开更多
关键词 Plasma Immersion Ion Implantation piii Scanning Electron Microscopy (SEM) Atomic Frce Microscopy (AFM) Micro/nano Structure Surface CONTACT-ANGLE
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江苏水稻品种稻瘟病主效抗性基因鉴定及应用评价 被引量:12
11
作者 刘辉 孟德龙 +1 位作者 査日扬 徐大勇 《福建农业学报》 CAS 北大核心 2015年第5期452-458,共7页
以28个抗稻瘟病单基因系和740个水稻品种为材料,在江苏省连云港市的水稻种植区进行稻瘟病抗性的田间鉴定。结果表明,28个单基因系中藤板5号(Pii)、砦1号(Pizt)、F-80-1(Pik)、F-124-1(Pita)、F-98-1(Pikm)、F-128-1(Pita2)、C101LACC[Pi... 以28个抗稻瘟病单基因系和740个水稻品种为材料,在江苏省连云港市的水稻种植区进行稻瘟病抗性的田间鉴定。结果表明,28个单基因系中藤板5号(Pii)、砦1号(Pizt)、F-80-1(Pik)、F-124-1(Pita)、F-98-1(Pikm)、F-128-1(Pita2)、C101LACC[Pi1(t)]、C101A51[Pi2(t)]和C104PKT[Pi3(t)]等表现较高的抗性,供试材料中高抗、抗、中抗、中感、感和高感的品种数分别是97、230、200、93、48和55个。从中选出Pii、Pikh、Pi1、Pi2、Pita、Pik、Pikm、Pikp和Pib,并增加了广谱高抗基因Pi9,对其中的195个高抗、高感和重要品种进行抗性基因功能标记分析,结果表明,含有Pii、Pikh、Pita、Pib、Pi2和Pik的品种数分别有28、40、52、110、11和2个,未检测到含有Pi1、Pikm、Pikp和Pi9的品种。除Pib外,其他3个检测到的基因基本都存在于抗性或高抗品种中。 展开更多
关键词 水稻 田间鉴定 单基因系 piii/Pikh/Pi1/Pi2/Pita/Pik/Pikm/Pikp/Pib/Pi9 稻瘟病 piii/Pikh/Pi1Pi2/Pita/Pik/Pikm/Pikp/Pib/Pi9
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涤纶材料表面类金刚石薄膜的沉积及其抗菌性能研究 被引量:16
12
作者 王进 潘长江 +2 位作者 李鹏 孙鸿 黄楠 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期563-565,共3页
 采用乙炔等离子体浸没离子注入与沉积(PIII D),对医用涤纶(PET)缝合环材料进行表面改性,Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)和衰减全反射傅立叶变换红外光谱(ATR FTIR)的分析结果表明:在涤纶材料表面有效地沉积了一层类金刚石(DLC)薄膜...  采用乙炔等离子体浸没离子注入与沉积(PIII D),对医用涤纶(PET)缝合环材料进行表面改性,Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)和衰减全反射傅立叶变换红外光谱(ATR FTIR)的分析结果表明:在涤纶材料表面有效地沉积了一层类金刚石(DLC)薄膜。原子力显微镜(AFM)的图像分析进一步证明表面平均粗糙度从58.9nm降低到11.2nm。细菌粘附实验结果证明沉积了类金刚石薄膜的表面对5种细菌———金黄色葡萄球菌(SA)、表皮葡萄球菌(SE)、大肠杆菌(EC)、绿浓杆菌(PA)和白色念珠菌(CA)的粘附均有明显抑制作用,其中从培养时间为15h的吸附情况比较来看,金黄色葡萄球菌的粘附率降低了70%,表皮葡萄球菌降低了86%。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 细菌粘附 等离子体浸没离子注入与沉积(piii0D) 涤纶 表面改性
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铀表面全方位离子注入渗氮处理研究 被引量:4
13
作者 龙重 刘柯钊 +2 位作者 白彬 梁宏伟 严东旭 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期139-142,共4页
利用全方位离子注入技术在金属铀表面进行渗氮处理。结果表明,离子注入温度和脉宽是关键工艺参数;提高基体温度,明显增加氮离子在铀中的注入深度。利用俄歇电子能谱(AES)分析注入工艺参数与渗氮层深度间的关系,增加注入脉宽能明显提升... 利用全方位离子注入技术在金属铀表面进行渗氮处理。结果表明,离子注入温度和脉宽是关键工艺参数;提高基体温度,明显增加氮离子在铀中的注入深度。利用俄歇电子能谱(AES)分析注入工艺参数与渗氮层深度间的关系,增加注入脉宽能明显提升含氮层深度。在其它工艺参数不变的情况下,采用60μs脉宽的渗氮层深度比40μs有显著增加,而80μs注入脉宽的渗氮层深度比低温氮离子注入深度提高一个数量级。脉冲负高压对渗氮层深度影响并不明显,但会提高氮的保持剂量。 展开更多
关键词 全方位离子注入(piii) 渗氮 注入温度
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基于PDS/GP模型分析汉江流域降雨极值特征 被引量:5
14
作者 李丹 郭生练 洪兴骏 《水资源研究》 2015年第2期120-129,共10页
以汉江流域15个气象站1961~2010年的实测逐月降雨系列为例,将平均超出量函数和参数估计量变化两种阈值选取方法相结合,确定了各系列的合理阈值,并采用拟合残差法来减小阈值选取的不确定性。采用超定量(PDS)和年最大(AM)取样方法,选... 以汉江流域15个气象站1961~2010年的实测逐月降雨系列为例,将平均超出量函数和参数估计量变化两种阈值选取方法相结合,确定了各系列的合理阈值,并采用拟合残差法来减小阈值选取的不确定性。采用超定量(PDS)和年最大(AM)取样方法,选择广义Pareto(GP)和皮三型(PIII)分布,分别构建PDS/GP和AM/PIII模型,分析汉江流域降雨极值变化特征,预测汉江流域各站20年、50年、100年和200年一遇的月降雨极值。对比分析两种模型的计算结果,AM/PIII模型的估计值普遍大于PDS/GP模型,但受月降雨极值年际变化和空间差异的影响,差别不显著。 展开更多
关键词 降雨极值 汉江流域 重现期 PDS/GP模型 AM/piii模型
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离子注入与沉积TiN膜层中的残余应力 被引量:3
15
作者 刘洪喜 蒋业华 +2 位作者 周荣 冷崇燕 汤宝寅 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期161-165,共5页
利用掠入射X射线衍射(GIAXRD)研究了GCr15轴承钢表面等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)氮化钛(TiN)薄膜后膜层表面的应力状态。用X射线衍射(XRD)分析了处理后膜层的化学组成。探讨了薄膜厚度和掠入射角对表面膜层中应力变化规律... 利用掠入射X射线衍射(GIAXRD)研究了GCr15轴承钢表面等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)氮化钛(TiN)薄膜后膜层表面的应力状态。用X射线衍射(XRD)分析了处理后膜层的化学组成。探讨了薄膜厚度和掠入射角对表面膜层中应力变化规律的影响。结果表明,表面膜层中主要存在TiN相,同时含有少量的TiO2和钛氮氧的化合物。不同工艺下,TiN/GCr15轴承钢试样表面膜层中存在的应力均为压应力;且应力值随着掠入射角度的增大而减小,随着薄膜厚度的增加而降低。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入与沉积(piii&D) 掠入射X射线衍射(GIAXRD) TIN薄膜 残余应力 GCR15钢
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平面介质靶周围离子体鞘的特征 被引量:1
16
作者 施芸城 《华东师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期59-63,共5页
该文研究了在等离子体浸没离子注入(PIII) 中介质材料( 高聚物、半导体等) 为被注入对象时,其周围离子体鞘的扩展厚度和电势特征。在常规应用中,薄膜型介质材料的厚度和相对介电常数对离子体鞘的厚度和离子集群势能分布及大... 该文研究了在等离子体浸没离子注入(PIII) 中介质材料( 高聚物、半导体等) 为被注入对象时,其周围离子体鞘的扩展厚度和电势特征。在常规应用中,薄膜型介质材料的厚度和相对介电常数对离子体鞘的厚度和离子集群势能分布及大小影响不大。因此在现有的等离子体处理、沉积、聚合。 展开更多
关键词 离子体鞘 等离子体浸没 离子注入 piii技术
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中心螺线圈式大面积均匀金属等离子体形成方法
17
作者 黄磊 王浪平 +3 位作者 王小峰 闫久春 解志文 陆洋 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期229-232,共4页
传统的磁过滤阴极真空弧系统的金属等离子体输出面积较小且出口处的密度呈高斯分布,阻碍了等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)技术的工业化应用,使得大面积均匀金属等离子体的产生成为了业内研究的热点。本文提出了一种基于多阴极... 传统的磁过滤阴极真空弧系统的金属等离子体输出面积较小且出口处的密度呈高斯分布,阻碍了等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)技术的工业化应用,使得大面积均匀金属等离子体的产生成为了业内研究的热点。本文提出了一种基于多阴极脉冲真空弧源对称配置的中心螺线圈式大面积均匀金属等离子体形成方法,可输出直径约为600mm的金属等离子体。沉积探针结果表明:载流螺线圈对沉积均匀性有较大的影响。单源X方向的沉积均匀性优于Y方向的沉积均匀性;四弧源的离子流密度约为单源的5.5倍,沉积均匀性最高可达83.8%。 展开更多
关键词 piii&D 大面积 金属等离子体 沉积均匀性
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聚四氟乙烯膜表面改性后成骨细胞相容性研究 被引量:2
18
作者 李翠侠 吴艳 +2 位作者 Dixon T.K.Kwok 张玉梅 王勤涛 《实用口腔医学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期333-336,共4页
目的:评价O2-PⅢ表面处理聚四氟乙烯(PTFE)膜后,其上培养生长的成骨细胞生物学相容性变化。方法:O2等离子体浸入离子植入技术(plasma immersion ion implantation,PⅢ)处理PTFE膜表面,进行膜表面改性;O2-Ⅲ处理组和未处理组的PTFE膜分... 目的:评价O2-PⅢ表面处理聚四氟乙烯(PTFE)膜后,其上培养生长的成骨细胞生物学相容性变化。方法:O2等离子体浸入离子植入技术(plasma immersion ion implantation,PⅢ)处理PTFE膜表面,进行膜表面改性;O2-Ⅲ处理组和未处理组的PTFE膜分别通过扫描电镜(SEM)观察表面形态、表面接触角测定分析其亲水性;分别在2组膜上接种成骨细胞,6h后SEM观察成骨细胞贴附情况,并分别于6、24、48h后4',6二脒基-2-苯吲哚盐酸(DAPI)核染色,荧光显微镜下观察成骨细胞的数量,进一步评估2种膜表面对成骨细胞生物相容性的影响。结果:O2-PIII处理改变了PTFE膜表面形态和增强了其亲水性。2组样本表面接种成骨细胞后SEM及荧光照片显示:O2-PⅢ处理组相对于未处理组更利于成骨细胞的吸附和增殖。结论:O2-PⅢ处理后可提高PTFE膜表面成骨细胞的相容性,可望在临床实际应用中促进组织的修复和再生。 展开更多
关键词 等离子体浸入植入技术(piii) 聚四氟乙烯(PTFE) 生物相容性 成骨细胞
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钛合金的等离子体浸没离子注入表面强化处理 被引量:18
19
作者 刘洪喜 汤宝寅 +1 位作者 王浪平 王小峰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1318-1321,共4页
研究了等离子体浸没离子注入(PIII)技术对Ti6Al4V合金表面性能的影响。分析比较了灯丝放电PIII和射频辉光放电PIII对基体表面进行氮离子注入后的改性效果。应用X射线衍射仪(XRD),扫描电镜(SEM)分析了注入层的相组成和组织结构;测试了经... 研究了等离子体浸没离子注入(PIII)技术对Ti6Al4V合金表面性能的影响。分析比较了灯丝放电PIII和射频辉光放电PIII对基体表面进行氮离子注入后的改性效果。应用X射线衍射仪(XRD),扫描电镜(SEM)分析了注入层的相组成和组织结构;测试了经不同PIII工艺参数处理后试样的显微硬度和摩擦磨损性能。结果表明:氮离子注入使Ti6Al4V的粗大晶粒(α-β相)转变为细小致密的晶粒,表面层中形成了耐磨相TiN;处理后试样表面的显微硬度提高了80%,摩擦系数降到0.16,抗磨损性能得到了显著提高。 展开更多
关键词 等离子浸没离子注入 TI6A14V 显微硬度 摩擦磨损性能
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等离子体浸没离子注入与沉积合成TiN薄膜的滚动接触疲劳寿命和机械性能 被引量:11
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作者 刘洪喜 蒋业华 +3 位作者 周荣 周荣锋 金青林 汤宝寅 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期325-330,共6页
采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在AISI 52100轴承钢表面合成了高硬耐磨的TiN薄膜.膜层元素分布、化学组成和表面形貌分别用XRD,XPS表征.合成薄膜前后试样的滚动接触疲劳寿命和摩擦磨损性能分别由球棒疲劳磨损试验机和... 采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在AISI 52100轴承钢表面合成了高硬耐磨的TiN薄膜.膜层元素分布、化学组成和表面形貌分别用XRD,XPS表征.合成薄膜前后试样的滚动接触疲劳寿命和摩擦磨损性能分别由球棒疲劳磨损试验机和球-盘磨损试验机测定;疲劳破坏后的微观形貌通过SEM观察;薄膜力学性能经纳米压痕和纳米划痕实验评价.结果表明,TiN膜中还含有少量的TiO_2和Ti,N,O的化台物.在优化条件下,TiN膜层致密均匀,与基体结合良好,纳米硬度和弹性模量分别达到25和350 GPa;最低摩擦系数由基体的0.92下降到0.2.被处理薄膜试件在90%置信区间下的最大L_(10),L_(50),L_a和(?)寿命较基体分别提高了约4.5,1.8,1.3和1.2倍,疲劳寿命的分散性得到了显著改善. 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入与沉积 TIN薄膜 机械性能 滚动接触疲劳寿命 轴承钢
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