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基于Fuzzy-PID的PZT微纳扫描控制算法 被引量:22
1
作者 邹文栋 魏永强 纪海燕 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期932-937,共6页
针对压电陶瓷的特性,提出了基于Fuzzy-PID的复合控制算法。该算法在整个过程中的不同阶段采用不同的控制方式,即根据误差信号e的大小有选择性的使用模糊控制或PID控制,因此不需要建立被控对象的精确数学模型,而且还继承了常规PID控制静... 针对压电陶瓷的特性,提出了基于Fuzzy-PID的复合控制算法。该算法在整个过程中的不同阶段采用不同的控制方式,即根据误差信号e的大小有选择性的使用模糊控制或PID控制,因此不需要建立被控对象的精确数学模型,而且还继承了常规PID控制静差小、静态稳定性好的特点,同时又兼有模糊控制适应能力强、动态性能好的优势。实验中采用此算法获得闭环控制电压最大误差为18mV,置位重复精度为6nm,系统相对误差0.15%;在位移量为10μm的时间-位移阶跃响应曲线中阶越响应时间约为20ms,且在电压为80V的蠕动曲线中,3min内的蠕变为3.6%,3min以后变化开始缓慢。由此可知该控制方法能够有效地降低压电陶瓷非线性所引起的位移误差,提高定位精度,而且还能改善压电陶瓷的蠕动特性。 展开更多
关键词 压电陶瓷 FUZZY-PID控制 PID控制 模糊控制 蠕动特性
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基于PZT的微驱动定位控制方法的研究 被引量:3
2
作者 孙立宁 孙绍云 +2 位作者 曲东升 王力 蔡鹤皋 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第5期436-438,共3页
介绍了基于PZT的一维微动工作台,采用平行板机构,对其进行了有限元分析设计。使用精密光栅进行位移闭环检测,采用模糊PI控制算法对系统进行控制,既具有模糊控制灵活而且适应性强的优点,又具有PI控制精度高的特点。实验证明了该方法的有... 介绍了基于PZT的一维微动工作台,采用平行板机构,对其进行了有限元分析设计。使用精密光栅进行位移闭环检测,采用模糊PI控制算法对系统进行控制,既具有模糊控制灵活而且适应性强的优点,又具有PI控制精度高的特点。实验证明了该方法的有效性。 展开更多
关键词 平行板 pzt驱动 模糊控制
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基于PZT的微驱动定位系统及控制方法的研究 被引量:46
3
作者 孙立宁 孙绍云 +1 位作者 曲东升 蔡鹤皋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第1期55-59,共5页
介绍了基于PZT驱动的一维微动工作台。该微动台采用柔性平行板铰链机构,对其进行了出力和位移关系的分析,并且进行了ANSYS的有限元分析设计,求得了系统的固有频率和最大位移。其理论分析、有限元计算和试验测试结果的对比分析的一致性... 介绍了基于PZT驱动的一维微动工作台。该微动台采用柔性平行板铰链机构,对其进行了出力和位移关系的分析,并且进行了ANSYS的有限元分析设计,求得了系统的固有频率和最大位移。其理论分析、有限元计算和试验测试结果的对比分析的一致性说明了理论分析的正确性和数值分析的可靠性。使用精密光栅进行微位移闭环检测,使用哈工大博实精密测控公司研制的压电陶瓷驱动电源。采用单神经元自适应PID控制算法对系统进行控制,单神经元具有自学习和自适应能力,而且结构简单易于计算;而传统的PID调节器也具有结构简单、调整方便和参数整定与工程指标联系密切等特点。推导了单神经元自适应PID控制器,并进行了实验,微位移为20μm时的响应时间为12ms,实验证明了该方法的有效性。 展开更多
关键词 微动工作台 平行板 pzt驱动 单神经元 自适应PID控制 定位系统 微位移机构
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溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT薄膜 被引量:1
4
作者 吴亚雷 吴建华 褚家如 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1792-1795,共4页
首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜,分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点,系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点,并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄膜沉积过程温度等... 首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜,分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点,系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点,并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄膜沉积过程温度等因素对于PZT压电陶瓷薄膜的表面质量的影响.针对整个工艺过程进行了优化,最终得到了表面质量较好的PZT压电陶瓷薄膜. 展开更多
关键词 溶胶-电雾化法 pzt薄膜 升温控制
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一种基于温度和PZT双控制的光锁相技术研究
5
作者 朱一峰 刘泉 +1 位作者 杨絮 于林韬 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期718-721,共4页
对空间相干光通信系统进行了简单描述,对相干光锁相环(OPLL)技术进行了详细的分析,提出了一种基于激光器温度控制和PZT腔长控制的激光锁相技术。该技术集双重控制体系于一体,和传统OPLL相比,具有更快的频率扫描速度、更高的相位灵敏度... 对空间相干光通信系统进行了简单描述,对相干光锁相环(OPLL)技术进行了详细的分析,提出了一种基于激光器温度控制和PZT腔长控制的激光锁相技术。该技术集双重控制体系于一体,和传统OPLL相比,具有更快的频率扫描速度、更高的相位灵敏度。实验证明,该技术在空间相干光通信解调中大大地提高了系统效率。 展开更多
关键词 光锁相环 温控 pzt 双重控制
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带PZT相移控制器的光纤干涉系统 被引量:3
6
作者 郑光昭 《广东工业大学学报》 CAS 2002年第4期34-37,共4页
简要介绍带PZT相移控制器的光纤干涉系统的组成部分,介绍该系统的干涉原理、PZT移相原理以及光纤干涉仪的检测原理,并提出一种应用相移技术检测不随时间变化的非调制待测量信号的方案.
关键词 马赫-詹德尔干涉仪 光纤干涉系统 pzt相移控制器 工作原理 检测原理 组成部分
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基于压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的二维微动工作台系统及控制方法的研究 被引量:2
7
作者 张建雄 孙宝元 王红艳 《机床与液压》 北大核心 2006年第7期11-12,49,共3页
介绍了基于PZT驱动的二维微动工作台,该微动台采用双柔性平行四连杆结构。用ANSYS对其进行有限元分析,使用自制的电容位移传感器进行位移检测,采用前馈与模糊控制相结合的复合控制方法对系统进行控制,结果表明:该控制方法既具有开环控... 介绍了基于PZT驱动的二维微动工作台,该微动台采用双柔性平行四连杆结构。用ANSYS对其进行有限元分析,使用自制的电容位移传感器进行位移检测,采用前馈与模糊控制相结合的复合控制方法对系统进行控制,结果表明:该控制方法既具有开环控制的稳定性,又具有闭环控制高精度的特点。实验证明了该方法的有效性。 展开更多
关键词 pzt 微动工作台 柔性铰链 前馈 模糊控制
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利用PZT执行器的噪声主动控制实验研究
8
作者 陈伟民 张玉璘 +1 位作者 朱永 黄尚廉 《振动工程学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第4期419-423,共5页
根据噪声主动控制原理 ,建立了以 PZT为执行器的噪声主动控制模型 ,研究了用于多输入多输出系统的自适应控制算法。开发出了单输出单输入噪声自适应主动控制系统 ,并且在外界激励分别为单频、多频情况下 ,进行了噪声控制实验 ,在 5 0~ ... 根据噪声主动控制原理 ,建立了以 PZT为执行器的噪声主动控制模型 ,研究了用于多输入多输出系统的自适应控制算法。开发出了单输出单输入噪声自适应主动控制系统 ,并且在外界激励分别为单频、多频情况下 ,进行了噪声控制实验 ,在 5 0~ 45 0 Hz的频段内取得了良好的降噪效果 ,其中 6 5 Hz时的最大降噪达到 2 5 .6 d B。 展开更多
关键词 噪声试验控制 自适应控制 pzt执行器 在线识别
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光纤PZT相移控制器移相特性参数的测定 被引量:3
9
作者 陈华平 郑光昭 《广东工业大学学报》 CAS 2004年第2期33-35,40,共4页
提出了一种利用相移技术测定光纤PZT相移控制器相移特性参数的方法.这种方法采用步距任意的四步步进移相,并结合分组处理方式来求得所求参数.这种方法也可用于光纤PZT相移控制器移相特性自我校验.
关键词 光纤Pzr相移控制器 相移技术 M-Z光纤干涉系统 相位测量
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液压放大式PZT-DDV建模与控制仿真 被引量:2
10
作者 俞军涛 焦宗夏 吴帅 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1354-1359,共6页
研制基于液压位移放大原理的压电陶瓷直接驱动伺服阀(PZT-DDV,Piezoelectric-Direct Drive Valve),实现大流量高频响的要求.分析其结构特点,建立系统数学模型,基于AMESim和Simulink的协同仿真环境,对其进行仿真控制研究.采用AMESim建立... 研制基于液压位移放大原理的压电陶瓷直接驱动伺服阀(PZT-DDV,Piezoelectric-Direct Drive Valve),实现大流量高频响的要求.分析其结构特点,建立系统数学模型,基于AMESim和Simulink的协同仿真环境,对其进行仿真控制研究.采用AMESim建立了PZTDDV的模型和虚拟液压测试系统,利用Simulink建立了数字控制器模型,通过接口组成协同仿真环境.针对PZT-DDV的迟滞、摩擦和液压位移放大结构的负载敏感特性,采用前馈控制改善迟滞,提高动态响应.基于LuGre摩擦力模型以及密闭腔压力监测,采用自适应backstepping方法实现摩擦及负载变化对放大机构输出位移的扰动补偿.仿真结果表明:前馈控制提高了系统的动态性能,自适应backstepping控制方法提高了系统的稳态控制精度. 展开更多
关键词 压电陶瓷直驱阀 液压放大 迟滞、摩擦、负载敏感 前馈控制 BACKSTEPPING控制
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基于可控剥离技术的柔性PZT薄膜的制备及其铁电性质
11
作者 张晶 石树正 +2 位作者 何剑 穆继亮 丑修建 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第3期233-238,共6页
可控剥离技术(CST)作为一种薄膜制备方式已被广泛应用于柔性领域,例如硅基柔性太阳电池等。首先采用溶胶-凝胶法先后在普通硅基底上制备镍酸镧(LaNiO3)缓冲层和锆钛酸铅(PZT)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)进行材料表... 可控剥离技术(CST)作为一种薄膜制备方式已被广泛应用于柔性领域,例如硅基柔性太阳电池等。首先采用溶胶-凝胶法先后在普通硅基底上制备镍酸镧(LaNiO3)缓冲层和锆钛酸铅(PZT)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)进行材料表征,发现PZT薄膜结晶良好,而且表面致密均匀,表明LaNiO3缓冲层有利于PZT薄膜的成膜。之后通过基于电镀镍方法的可控剥离技术实现了硅基底柔性PZT薄膜的制备。PZT薄膜弯曲之后,采用铁电测试仪测试了电滞回线。电滞回线表明该PZT薄膜的极化强度随着施加电压的增加而增大,而且随着电压的增加,电滞回线逐渐趋于饱和,饱和极化强度为38μC/cm^2。最终得出该柔性PZT薄膜不仅具有良好的机械性能,而且具有很好的铁电性能。 展开更多
关键词 可控剥离技术(CST) 电镀 柔性pzt铁电薄膜 溶胶-凝胶 镍酸镧(LaNiO3)
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基于温度和PZT协同控制的激光器频率锁定技术研究 被引量:6
12
作者 雷明 于怀勇 +3 位作者 方圆 向强 杨怿 张丽哲 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第9期55-61,共7页
本文针对谐振式光纤陀螺应用需求,提出一种基于激光器温度和PZT协同控制的频率跟踪锁定控制方案,综合利用激光器温度调谐所具有的大范围、PZT电压调谐的高精度高动态技术优势,实现光纤激光器中心频率对谐振腔谐振频率的跟踪锁定。进行... 本文针对谐振式光纤陀螺应用需求,提出一种基于激光器温度和PZT协同控制的频率跟踪锁定控制方案,综合利用激光器温度调谐所具有的大范围、PZT电压调谐的高精度高动态技术优势,实现光纤激光器中心频率对谐振腔谐振频率的跟踪锁定。进行了透射式谐振信号的数学仿真,对温度和PZT协同控制方案进行了硬件设计和算法仿真,重点分析了频率跟踪锁定方案中控制参数对锁定稳定性的影响情况。完成了激光器频率锁定系统的研制,实现了激光器中心频率对谐振腔谐振频率的高精度、长时间跟踪锁定,常温条件下1h频率跟踪锁定精度为4.8×10^-9,变温条件下5.5 h频率跟踪锁定精度低至9.74×10^-8。上述研究工作为谐振式光纤陀螺长期性能提升奠定了重要的技术基础。 展开更多
关键词 谐振式光纤陀螺 频率锁定 温度调谐 pzt控制
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Structural Design and Control Strategy Analysis of Micro/Nano Transmission Platform
13
作者 林超 纪久祥 +3 位作者 陶友淘 霍德鸿 才立忠 程凯 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI 2014年第5期484-491,共8页
A fully flexure micro/nano transmission platform(MNTP)which has five degrees of freedom is designed on the basis of bridge type amplification mechanism.According to the kinematic theory and the elastic beam theory,the... A fully flexure micro/nano transmission platform(MNTP)which has five degrees of freedom is designed on the basis of bridge type amplification mechanism.According to the kinematic theory and the elastic beam theory,the theoretical output displacement equation of the platform is derived,and then piezoelectric actuator(PZT)is calibrated.Meanwhile,a full closed-loop control strategy of the platform is established using the feedforward proportional-integral-derivative(PID)compound control algorithm based on the Preisach model.Moreover,the total transfer function of the micro positioning system is derived,and the calculation method of output signal is acquired.Finally,the theoretical output displacement is verified by finite element analysis(FEA)and positioning experiments. 展开更多
关键词 bridge type amplification mechanism(BTAM) micro / nano transmission platform(MNTP) piezoelectric actuator(pzt) finite element analysis(FEA) control strategies
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压电陶瓷驱动系统及控制方法研究 被引量:32
14
作者 范伟 余晓芬 奚琳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期368-371,共4页
给出了一种压电陶瓷驱动系统的控制方法,利用VB中的Timer控件和压电陶瓷电源的DLL动态连接库函数,实现了控制电压的实时可编程输出。针对压电陶瓷驱动器的非线性和迟滞特性,应用MATLAB分别拟合出压电陶瓷驱动器在往返行程中电压与位移... 给出了一种压电陶瓷驱动系统的控制方法,利用VB中的Timer控件和压电陶瓷电源的DLL动态连接库函数,实现了控制电压的实时可编程输出。针对压电陶瓷驱动器的非线性和迟滞特性,应用MATLAB分别拟合出压电陶瓷驱动器在往返行程中电压与位移值的多项式拟合曲线,得到了电压与位移的关系式,为进一步修正和减少非线性及迟滞误差的影响、提高系统的定位精度,提供了分析的依据。 展开更多
关键词 压电陶瓷驱动器 控制方法 迟滞 非线性
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基于模糊PID融合的柔性机械臂振动压电主动控制研究 被引量:23
15
作者 余跃庆 周刚 方道星 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第15期1836-1841,共6页
针对含有压电智能结构的柔性机械臂,提出了基于模糊PID融合控制理论的柔性机械臂振动主动控制方法。搭建了悬臂梁和平面1R、2R柔性机械臂实验装置,并设计了相应的控制系统,通过实验实现了柔性机械臂振动的主动控制,实验结果显示,该方法... 针对含有压电智能结构的柔性机械臂,提出了基于模糊PID融合控制理论的柔性机械臂振动主动控制方法。搭建了悬臂梁和平面1R、2R柔性机械臂实验装置,并设计了相应的控制系统,通过实验实现了柔性机械臂振动的主动控制,实验结果显示,该方法可以抑制柔性机械臂振动,具有响应快、鲁棒性好等特点,且该方法不依赖于柔性机械臂动力学模型,算法简单,实时性好。 展开更多
关键词 模糊PID融合控制 柔性机械臂 压电陶瓷 振动主动控制
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压电智能悬臂梁的压电片位置、尺寸及控制融合优化设计 被引量:16
16
作者 朱灯林 吕蕊 俞洁 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期262-267,共6页
对压电智能悬臂梁振动控制中的压电片的位置、尺寸及其控制参数进行研究。在对压电片和基板的耦合特性进行分析的基础上,建立智能悬臂梁的压电传感、致动方程及基于闭环控制系统的状态方程,并以系统的存留能量作为目标函数,建立压电智... 对压电智能悬臂梁振动控制中的压电片的位置、尺寸及其控制参数进行研究。在对压电片和基板的耦合特性进行分析的基础上,建立智能悬臂梁的压电传感、致动方程及基于闭环控制系统的状态方程,并以系统的存留能量作为目标函数,建立压电智能悬臂梁压电片的位置、尺寸和控制参数的优化模型及一阶灵敏度分析表达式,并采用移动渐进线法(Method of moving asymptotes,MMA)对模型进行求解。采用Simulink对优化结果的动态响应特性进行仿真分析,仿真结果表明,采用提出的优化模型及算法对悬臂梁压电片的位置、尺寸和控制参数进行优化是合理的。 展开更多
关键词 智能悬臂梁 压电片振动控制 结构/控制融合设计
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结构噪声主动控制原理及方法 被引量:5
17
作者 李克强 段飞 +3 位作者 罗禹贡 张玉麟 黄尚廉 陈伟明 《声学技术》 CSCD 1998年第4期163-168,共6页
本文以矩形的板-箱系统作为研究模型。探讨了在外界声源激励下,弹性薄板受激振动,辐射入箱内噪声的形成机理。并分析了选用压电片作为激励器,进行箱内噪声主动控制的原理。在此基础上,对3种控制方案进行了分析比较,得出了最优方案。
关键词 主动控制 压电片 结构噪声 噪声控制
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压电陶瓷精密控制系统的自适应模糊控制器研究 被引量:5
18
作者 刘建秀 张杨 张段芹 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第5期806-809,817,共5页
针对压电陶瓷等非线性系统,建立压电陶瓷微精密位移系统模型,并将模糊控制器替换传统的比例、积分和微分(PID)控制器,实现对PID参数的在线自整定。对模糊控制器的控制变量及论域等级等进行了研究及制定,并对其进行MATLAB仿真。实验结果... 针对压电陶瓷等非线性系统,建立压电陶瓷微精密位移系统模型,并将模糊控制器替换传统的比例、积分和微分(PID)控制器,实现对PID参数的在线自整定。对模糊控制器的控制变量及论域等级等进行了研究及制定,并对其进行MATLAB仿真。实验结果表明,模糊逻辑控制器比传统PID控制器的响应速度快,超调量小,且控制策略简单易行。 展开更多
关键词 压电陶瓷 模糊控制 微定位系统 仿真模型 位移驱动器
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一种柔性机械臂旋转运动和振动的主动控制方法 被引量:2
19
作者 韩清鹏 于晓光 +1 位作者 唐玲 高培鑫 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2012年第4期685-688,共4页
利用PZT压电作动器和关节力矩控制相结合的方法实现对柔性机械臂旋转运动的控制和机械臂振动的主动控制。压电作动器可以对柔性机械臂的弹性振动进行控制,关节控制力矩使得柔性机械臂在有限时间内到达预定位置。利用Lagrange原理建立了... 利用PZT压电作动器和关节力矩控制相结合的方法实现对柔性机械臂旋转运动的控制和机械臂振动的主动控制。压电作动器可以对柔性机械臂的弹性振动进行控制,关节控制力矩使得柔性机械臂在有限时间内到达预定位置。利用Lagrange原理建立了柔性机械臂系统的动力学模型,并设计了相应的PZT压电作动器的控制律和关节控制力矩。对该控制方法进行数值仿真的结果证明:该方法对柔性机械臂振动控制和机械臂旋转运动是有效的。 展开更多
关键词 柔性机械臂 关节力矩控制 pzt压电作动器 振动控制
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一种新型微操作平台的精确运动控制 被引量:8
20
作者 胡俊峰 郝亚洲 +1 位作者 徐贵阳 姚钱 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2016年第2期216-221,共6页
设计一种具有2级放大的高精度微操作平台,建立压电陶瓷驱动的平台动态模型,采用PID控制策略综合平衡其性能。采用杠杆原理设计的2级放大机构,将平台设计为对称结构,提高了其运动精度。采用有限元法和振型截断法建立平台的传递函数,它可... 设计一种具有2级放大的高精度微操作平台,建立压电陶瓷驱动的平台动态模型,采用PID控制策略综合平衡其性能。采用杠杆原理设计的2级放大机构,将平台设计为对称结构,提高了其运动精度。采用有限元法和振型截断法建立平台的传递函数,它可等效为一质量-阻尼-弹簧系统。将压电陶瓷驱动器的电气特性等效为RC电路,力学特性等效为具有一定柔度的器件,建立整个系统的开环传递函数和闭环传递函数。以综合平衡系统的动态性能和稳定性为目的设计PID控制器。结果表明,在PID控制器作用下,系统的相位裕度和幅值裕度均增大,提高了系统的稳态性能,但剪切频率减小,降低了系统的快速响应性。同时,系统的调节时间和超调量减小,提高了系统的平稳性。驱动器时间常数对微操作平台动态性能有较大的影响,时间常数选择于0.2 ms附近可以得到较小的调节时间和合适的超调量。 展开更多
关键词 微操作平台 柔顺机构 动态性能 PID控制 压电驱动器
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