基于TDC的一种微小电容高精度测量系统设计

针对电容原理传感器中对微小电容的测量要求,利用PcapΦ2芯片具有的高精度计时能力,设计了一个基于时间-数字转换的微小电容高精度测量系统。详细阐述了整个测量系统的实现原理和软硬件设计方法,给出了内部和外部寄生电容的补偿方法,并提出了一个适用于大多电容传感器设计的一个外围电路较为简单的高集成度单芯片解决方案。