飞秒激光在光敏玻璃上制作微凹面

利用聚焦的飞秒激光(中心波长775nm、脉宽150fs)照射FOTURAN光敏玻璃,经热处理及浓度为8%的氢氟酸溶液室温腐蚀50min后,在FOTURAN玻璃表面制作了微凹面.利用原子力显微镜和扫描电子显微镜分析了微凹面的形貌,发现它具有光滑璧面和清晰边缘,直径约为几十微米.通过分别改变入射激光的单脉冲能量(970～3250nJ)和脉冲数目(10～3000个),研究了它们对微凹面制作结果的影响,发现了微凹面的直径随激光入射参量的饱和效应,并解释了其原因;指出了飞秒激光在FOTURAN上制作微结构的应用.