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Platinum-Iridium Alloy Films Prepared by MOCVD
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作者 WEI Yan CHEN Li +3 位作者 CAI Hongzhong ZHENG Xu YANG Xiya HU Changyi 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2012年第A01期141-145,共5页
Platinum-Iridium alloy films were prepared by MOCVD on Mo substrate using metal-acetylacetonate precursors. Effects of deposition conditions on composition, microstructure and mechanical properties were determined. In... Platinum-Iridium alloy films were prepared by MOCVD on Mo substrate using metal-acetylacetonate precursors. Effects of deposition conditions on composition, microstructure and mechanical properties were determined. In these experimental conditions, the purities of films are high and more than 99.0%. The films are homogeneous and monophase solid solution of Pt and Ir. Weight percentage of platinum are much higher than iridium in the alloy. Lattice constant of the alloy changes with the platinum composition. Iridium composition showing an up-down-up trend at the precursor temperature of 190~230℃ and the deposition temperature at 400~ 550℃. The hardness of Pt-Ir alloys prepared by MOCVD is three times more than the alloys prepared by casting. 展开更多
关键词 platinum-Iridium alloy filmS metalorganic chemical vapor deposition deposition parameters
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Abnormal IR Spectra of CO Adsorbed on the Surface of Glass Carbon Electrode Modified with Polypyrrole Film with Platinum Microparticles
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作者 Hui YANG Tian Bong LU +3 位作者 Kuau Hong XUE Guo Qiang LU Shen Pei CHEN Shi Gang SUN(ChangChun Institute of Applied Chemistry, Chinese Academy of Scierees, Changchun 130022)(Department of Chemistry, Nanjing Normal Universty, Nanjing 210097)(Department of Chemi 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 1997年第4期343-344,共2页
Abnormal IR spectra of CO adsorbed at the surface of glass carbon electrode modified with polypyrrole film with Pt microparticles are reported.
关键词 Abnormal IR Spectra of CO Adsorbed on the Surface of Glass Carbon Electrode Modified with Polypyrrole film with platinum Microparticles CO IR
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卫星展开机构用热刀切割器大气失效机理分析
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作者 陈炜 李庆林 +3 位作者 王鹏 强志青 崔琦峰 乔丽 《装备环境工程》 CAS 2024年第8期83-95,共13页
目的分析图案化电阻Pt薄膜在大气环境下使用寿命下降的原因。方法基于此,选取现有型号热刀切割器图案化电阻薄膜,制备不同厚度Pt/Ti膜,重点考察大气环境下薄膜表界面形貌、成分、晶体结构随温度的变化规律及其对电阻率特性以及力学性能... 目的分析图案化电阻Pt薄膜在大气环境下使用寿命下降的原因。方法基于此,选取现有型号热刀切割器图案化电阻薄膜,制备不同厚度Pt/Ti膜,重点考察大气环境下薄膜表界面形貌、成分、晶体结构随温度的变化规律及其对电阻率特性以及力学性能影响。结果大气高温下,Ti过渡层从底层扩散至表面与Pt形成合金,部分Ti扩散至表面被氧化,合金化与氧化导致薄膜电阻率先升高后降低。同时,充当Pt薄膜与基底之间“黏合剂”的Ti过渡层扩散耗尽,导致Pt薄膜与氮化硅基底结合力降低。结论以上因素最终导致了图案化薄膜热刀大气高温环境下切割寿命下降。 展开更多
关键词 图案化薄膜 热刀切割器 磁控溅射 失效机理 铂基薄膜 热稳定性
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铂薄膜电阻温度传感器玻璃密封材料的稳定性能研究
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作者 吴昊 侯彬 +6 位作者 洪嘉旺 王耀成 李志凯 汪伟 杜少杰 李丽 王晓春 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2024年第2期290-299,共10页
针对铂薄膜电阻温度传感器中绝缘封装过程中存在的气密、绝缘等性能问题,研究了两种玻璃与铂薄膜温度传感器氧化铝基底间浸润性、气密性、绝缘性及热循环稳定性等性能,优选性能最佳的玻璃密封材料应用在铂薄膜温度传感器中。研究结果表... 针对铂薄膜电阻温度传感器中绝缘封装过程中存在的气密、绝缘等性能问题,研究了两种玻璃与铂薄膜温度传感器氧化铝基底间浸润性、气密性、绝缘性及热循环稳定性等性能,优选性能最佳的玻璃密封材料应用在铂薄膜温度传感器中。研究结果表明,热稳定性存在差异SiO_(2)-Ba O-Al_(2)O_(3)-CaO系微晶玻璃与SiO_(2)-B_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)-CaO系微晶玻璃在800℃~1000℃间与氧化铝基底均具有良好的浸润性。SiO_(2)-Ba O-Al_(2)O_(3)-CaO系玻璃与SiO_(2)-B_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)-CaO系玻璃密封材料在800℃、通气压力在20.7 k Pa下的漏气率分别约为0.0073 sccm·cm^(-1)和0.0065 sccm·cm^(-1),绝缘电阻率分别约为21.6×106Ω·cm和31.1×106Ω·cm。此外,在30℃~800℃热循环500次后,两种玻璃表面出现尺寸不一的孔洞,其中,SiO_(2)-Ba O-Al_(2)O_(3)-CaO玻璃经历500次热循环后孔洞尺寸由0.13μm增至15.62μm,而SiO_(2)-B_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)-CaO系玻璃孔洞尺寸变化较小,表面形貌较为致密。以上研究结果表明,SiO_(2)-B_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)-CaO系玻璃具有更加优异的密封性能、高温绝缘性能及热循环稳定性,更适合用于铂薄膜电阻温度传感器的封装工艺。 展开更多
关键词 铂薄膜电阻温度传感器 玻璃密封材料 浸润性能 密封性能 绝缘性能 热循环稳定性
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Formation and Characterization of Pd,Pt and Pd-Pt Alloy Films on Polyimide by Catalyst-Enhanced Chemical Vapor Deposition
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作者 周锦兰 俞开潮 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2007年第1期161-164,共4页
Platinum, palladium and their alloy films on polyimide were formed by catalyst-enhanced chemical vapor deposition (CVD) in the carrier gas (N2, O2) at 220-300℃ under reduced pressure and normal pressure. The depo... Platinum, palladium and their alloy films on polyimide were formed by catalyst-enhanced chemical vapor deposition (CVD) in the carrier gas (N2, O2) at 220-300℃ under reduced pressure and normal pressure. The deposition of palladium complexes [ Pd((η3-allyl)(hfac) and Pd(hfac)2 ] gives pure palladium film, while the deposition of platinum needs the enhancement of palladium complex by mixing precursor platinum complex Pt(COD)Me2 and palladium complex in the same chamber. The co-deposition of Pd and Pt metals was used for the deposition of alloy films. During the CVD of palladium-platinum alloy, the Pd/Pt atomic ratios vary under different co-deposition conditions. These metal films were characterized by XPS and SEM, and show a good adhesive property. 展开更多
关键词 polyimide (PI) catalyst-enhanced chemical vapor deposition (CECVD) platinum metal film palladium-platinum alloy film
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STS study of TiO_2 film and Pt-deposited TiO_2 film in air
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作者 Zhang Min Jin Zhensheng 《合成化学》 CAS CSCD 2004年第z1期159-159,共1页
关键词 scanning TUNNELING spectroscopy TiO2 film platinum doping.
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氧化铂、钛过渡层对铂薄膜温度传感器性能的影响 被引量:1
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作者 吕振杰 庞雅文 +2 位作者 杨伸勇 高向向 张丛春 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第10期9-12,20,共5页
铂(Pt)薄膜电阻具有体积小、结构简单、电阻温度系数(TCR)高和响应速度快的优点,结合MEMS技术可以实现发动机叶片温度的检测,但纯Pt与衬底之间的结合力较差,易导致薄膜失效。采用磁控溅射分别制备了氧化铂(Pt_(x)O_(y))和钛(Ti)过渡层... 铂(Pt)薄膜电阻具有体积小、结构简单、电阻温度系数(TCR)高和响应速度快的优点,结合MEMS技术可以实现发动机叶片温度的检测,但纯Pt与衬底之间的结合力较差,易导致薄膜失效。采用磁控溅射分别制备了氧化铂(Pt_(x)O_(y))和钛(Ti)过渡层的Pt薄膜电阻,分析了不同过渡层在不同温度(800,900,1000℃)下退火的微观形貌和电学性能,并分别测试了2种Pt电阻在900℃和1000℃下的稳定性。结果表明:1000℃退火的Pt/Pt_(x)O_(y)薄膜电阻的TCR值最大,达到了3434×10^(-6)/℃,Pt/Pt_(x)O_(y)薄膜电阻的电学性能优于Pt/Ti薄膜电阻,综合分析,900℃退火的Pt/Pt_(x)O_(y)薄膜电阻性能最优。 展开更多
关键词 磁控溅射 铂薄膜电阻 过渡层 退火温度 温度传感器
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微纳光纤镀铂金膜锁模光纤激光器
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作者 张澍霖 朱国利 董光焰 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期8-15,共8页
采用有限元法仿真了微纳光纤中模式在镀膜前后的能量、电场及有效折射率变化,分析了HE_(11)、TE_(01)、HE_(21)和TM_(01)模式在微纳光纤中的传输特性以及与铂金膜的相互作用原理。采用缓冲氧化物刻蚀液制作了微纳光纤并用离子喷溅法镀... 采用有限元法仿真了微纳光纤中模式在镀膜前后的能量、电场及有效折射率变化,分析了HE_(11)、TE_(01)、HE_(21)和TM_(01)模式在微纳光纤中的传输特性以及与铂金膜的相互作用原理。采用缓冲氧化物刻蚀液制作了微纳光纤并用离子喷溅法镀铂金膜,得到直径为13.2μm、铂金膜厚度为40 nm的微纳光纤器件,测试了其可饱和吸收特性,调制深度和饱和强度分别为0.57%和0.8 MW/cm^(2)。制作了全光纤锁模激光器,锁模阈值为180 mW。锁模脉冲重复频率为17.93 MHz,脉冲宽度为103 ps,中心波长为1031.6 nm,半高宽约为3.5 nm。 展开更多
关键词 光纤激光器 锁模 可饱和吸收体 微纳光纤 铂金膜
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铂电阻薄膜温度传感器设计与动态特性研究 被引量:2
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作者 吕晓霖 侯文 +3 位作者 王俊强 刘佳政 张海坤 李孟委 《舰船电子工程》 2023年第1期204-208,共5页
传统铂电阻温度传感器的特性稳定,具有广泛的温度测量范围,但在瞬时变化时响应速度较慢。为此论文设计了一种薄膜型铂电阻温度传感器,该传感器由内部芯片与外部陶瓷管壳组成,利用传感器电阻值随环境温度变化而变化的原理进行测温,通过CO... 传统铂电阻温度传感器的特性稳定,具有广泛的温度测量范围,但在瞬时变化时响应速度较慢。为此论文设计了一种薄膜型铂电阻温度传感器,该传感器由内部芯片与外部陶瓷管壳组成,利用传感器电阻值随环境温度变化而变化的原理进行测温,通过COMSOL有限元仿真验证传感器内部芯片的技术原理与参数设计的可行性,并通过工艺加工出传感器样品,该样品在经过激光加热法测试后,得到该铂电阻薄膜温度传感器响应时间为6.3ms。 展开更多
关键词 铂电阻 温度传感器 响应时间 薄膜 激光加热法
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Skin temperature measurement method 被引量:3
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作者 彭友辉 连之伟 潘黎 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2010年第2期258-261,共4页
To improve the accuracy of skin temperature measurements in thermal comfort research,a new measurement method based on a new thermometer is proposed.A platinum film resistance(Pt1000)sensor of the thermometer is wel... To improve the accuracy of skin temperature measurements in thermal comfort research,a new measurement method based on a new thermometer is proposed.A platinum film resistance(Pt1000)sensor of the thermometer is welded on a printed circuit board to eliminate the heat loss from the leads and avoid the influence of the surrounding thermal environment.In order to determine the suitable thickness of the board,a steady heat conduction model is established.The simulation results reveal that when the thickness of the board is 0.2 mm,the influence of the surrounding air can be effectively prevented and the skin temperature does not obviously increase.The experimental results of verification show that the maximum measurement error of the skin temperature measured by the thermometer is 0.24 ℃,and the average measurement error of the skin temperature is 0.04 ℃.The proposed method provides an effective and reliable option for the skin temperature measurement in thermal comfort research. 展开更多
关键词 thermal comfort skin temperature MEASUREMENT platinum film resistance
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基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究 被引量:22
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作者 肖素艳 车录锋 +1 位作者 李昕欣 王跃林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期674-680,共7页
采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰... 采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰亚胺衬底上的铂薄膜热敏电阻与温度的变化具有良好的线性,其电阻温度系数达0.0023/℃。与固态聚酰亚胺膜衬底相比,采用旋涂液态聚酰亚胺解决了制备中遇到的两大主要困难:其一,消除了涂聚酰亚胺衬底与载体界面之间的气泡,聚酰亚胺衬底表面能保持良好平整度;其二,制备过程中由于热循环而使柔性衬底产生的热膨胀明显减小。这种柔性温度传感器阵列易贴于高曲率物体表面以探测小面积温度场分布。 展开更多
关键词 皮肤技术 聚酰亚胺 柔性衬底 铂薄膜电阻 温度传感器
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镍铂合金溅射靶材在半导体制造中的应用及发展趋势 被引量:12
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作者 王一晴 郭俊梅 +4 位作者 管伟明 闻明 谭志龙 张俊敏 王传军 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期87-92,共6页
镍铂合金靶材广泛应用于半导体工业。通过磁控溅射,镍铂合金靶材在硅器件表面沉积并反应生成镍铂硅化物薄膜,实现半导体接触及互连。对镍铂硅化物在肖特基二极管制造和半导体集成电路中的应用进行了分析,综述了镍铂合金结构与性质研究... 镍铂合金靶材广泛应用于半导体工业。通过磁控溅射,镍铂合金靶材在硅器件表面沉积并反应生成镍铂硅化物薄膜,实现半导体接触及互连。对镍铂硅化物在肖特基二极管制造和半导体集成电路中的应用进行了分析,综述了镍铂合金结构与性质研究成果及制备方法,提出了镍铂合金靶材高纯化、提高磁透率和控制晶粒度的发展趋势。 展开更多
关键词 金属材料 镍铂合金薄膜 镍铂硅化物 溅射靶材 半导体 发展趋势
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MOCVD制备的Pt/C薄膜的结构与性能研究 被引量:3
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作者 胡昌义 戴姣燕 +4 位作者 方颖 欧阳远良 闫革新 刘伟平 程勇 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期546-549,共4页
以乙酰丙酮铂为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)法在石英及YSZ基体上制备Pt/C薄膜,研究了Pt/C薄膜的结构和电化学性能。沉积过程中通入一定量的氧气可以大幅降低Pt/C薄膜中的含C量,含C较高的Pt/C薄膜的XRD谱线低而宽,具... 以乙酰丙酮铂为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)法在石英及YSZ基体上制备Pt/C薄膜,研究了Pt/C薄膜的结构和电化学性能。沉积过程中通入一定量的氧气可以大幅降低Pt/C薄膜中的含C量,含C较高的Pt/C薄膜的XRD谱线低而宽,具有非晶态衍射特征。在500℃测量温度下,以Pt/C薄膜为电极的YSZ氧气浓差电池的电动势及电流输出高于传统的Pt电极。 展开更多
关键词 MOCVD Pt/C薄膜 成分 结构 性能
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组合铂膜探头线性风速仪的研究 被引量:4
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作者 杨松迎 梁国伟 +1 位作者 黄震威 赵伟国 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第7期941-945,共5页
介绍了一种用于测量风速的组合铂膜探头,由于其输出特征曲线是非线性的,会直接影响风速仪的精度,根据正交多项式最小二乘拟合算法,运用单片机处理器电路,设计了组合铂膜探头线性化输出风速仪,输出方式可通过跳线方便地切换为标准的0~10... 介绍了一种用于测量风速的组合铂膜探头,由于其输出特征曲线是非线性的,会直接影响风速仪的精度,根据正交多项式最小二乘拟合算法,运用单片机处理器电路,设计了组合铂膜探头线性化输出风速仪,输出方式可通过跳线方便地切换为标准的0~10V电压或4~20mA电流,可使用11~30V交流或直流电压,较好适应工业用低压电源电压不稳定的场合,并在风洞实验中得以验证。本设计利用最小二乘拟合算法计算出的拟合误差在±0.5%以内,线性度优于1.5%。 展开更多
关键词 风速仪 组合铂膜探头 线性化 最小二乘
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聚酰亚胺上催化剂增强化学气相沉积钯-铂双层膜(英文) 被引量:2
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作者 郑建华 周锦兰 +2 位作者 俞开潮 葛学贵 于澍燕 《催化学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第6期465-467,共3页
以N2和O2为载气,采用催化剂增强化学气相沉积法于聚酰亚胺上获得了Pt和Pd-Pt双层金属薄膜.当使用Pd(hfac)2和Pt Me2(COD)为前驱体,在同一反应器内共沉积时,只有Pt被沉积.金属Pd和Pt顺序沉积可形成Pd-Pt双层膜.
关键词 催化剂增强化学气相沉积 聚酰亚胺 铂膜 钯-铂双层膜
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预镀铋膜修饰铂电极差分脉冲溶出伏安法测定痕量铅、镉 被引量:42
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作者 公维磊 杜晓燕 +2 位作者 王舒然 姜宪尘 孙倩 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期177-181,共5页
采用预镀铋膜法修饰铂电极,用该电极对痕量Pd、Cd同时进行了差分脉冲溶出伏安法测定,Pd、Cd在富集中和铋形成类似于汞齐的合金,溶出峰良好。讨论了在不同沉积液和沉积时间下得到的铋膜电极的性能和富集时间、富集电位及底液pH对金属... 采用预镀铋膜法修饰铂电极,用该电极对痕量Pd、Cd同时进行了差分脉冲溶出伏安法测定,Pd、Cd在富集中和铋形成类似于汞齐的合金,溶出峰良好。讨论了在不同沉积液和沉积时间下得到的铋膜电极的性能和富集时间、富集电位及底液pH对金属离子测定的影响。在优化的实验条件下,分别对10—100μg/L、20~200μg/L和50~500μg/L3个不同浓度系列的Pb^2+、Cd^2+进行了同时测定,Pb、Cd溶出峰电流与Pb^2+、Cd^2+浓度呈良好的线性关系(r≥0.999),Pb^2+、Cd^2+浓度的线性范围均为10~500μg/L;富集时间为180s时,Pb^2+、Cd^2+的检出限分别为0.38μg/L和0.82μg/L。利用本方法测定了蔬菜中Pb的含量,并与原子荧光分析法做了对比,结果令人满意。 展开更多
关键词 预镀铋膜 铂电极 差分脉冲溶出伏安法 重金属离子
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铂薄膜化学气相沉积动力学规律探讨 被引量:8
17
作者 胡昌义 尹志民 +3 位作者 王云 万吉高 邓德国 高逸群 《贵金属》 CAS CSCD 2003年第1期21-25,共5页
以乙酰丙酮铂为沉积源物质 ,采用金属有机化合物化学气相沉积 (MOCVD )法在Mo基体上制备了Pt薄膜。研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体 (氩气 )流速等沉积参数的关系。Pt的沉积速率与沉积温度之间的关... 以乙酰丙酮铂为沉积源物质 ,采用金属有机化合物化学气相沉积 (MOCVD )法在Mo基体上制备了Pt薄膜。研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体 (氩气 )流速等沉积参数的关系。Pt的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程 :沉积速率与绝对温度的倒数呈现抛物线关系 ,当温度为 5 5 0℃时 ,Pt的沉积速率达到最大值 ;随着乙酰丙酮铂加热温度的升高 ,Pt的沉积速率直线增加 ;而氩气流速的增大则显著减少Pt的沉积速率。SEM波谱成分分析表明 ,Pt薄膜中含有少量的氧。 展开更多
关键词 复合材料 铂薄膜 化学气相沉积 动力学
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多探头热式气体流量传感器的设计与仿真 被引量:4
18
作者 沈平平 梁国伟 +1 位作者 赵伟国 冯洁 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第11期104-106,109,共4页
在组合铂膜探头的基础上,提出了一种多探头热式气体流量传感器的结构形式,运用FLUENT软件在不同直管段条件下对其所在的管道内的流场进行仿真研究。运用多传感器数据融合的方法对每个探头所在测量点的仿真流速值进行处理融合,并与单点... 在组合铂膜探头的基础上,提出了一种多探头热式气体流量传感器的结构形式,运用FLUENT软件在不同直管段条件下对其所在的管道内的流场进行仿真研究。运用多传感器数据融合的方法对每个探头所在测量点的仿真流速值进行处理融合,并与单点仿真结果进行比较。仿真结果表明:在直管段长度较短,流场分布不规则的情况下,多探头流量传感器的测量精度明显比单个探头要高。 展开更多
关键词 热式气体流量传感器 组合铂膜探头 数据融合 FLUENT软件
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铂粉物理特性对厚膜铂电阻温度系数的影响 被引量:3
19
作者 陈峤 贺昕 +2 位作者 朱晋 吴聪 李治宇 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期465-467,共3页
采用化学还原方法制备3种超细铂粉, 通过对铂粉物理特性的测试和微观结构分析, 解释了引起电阻温度系数(TCR)变化的原因. 发现粒度分布为0.1~0.6 μm, 比表面积1.45 m2·g-1, 松装密度0.85 g·cm-3, 表面光滑的2#球形铂粉,用... 采用化学还原方法制备3种超细铂粉, 通过对铂粉物理特性的测试和微观结构分析, 解释了引起电阻温度系数(TCR)变化的原因. 发现粒度分布为0.1~0.6 μm, 比表面积1.45 m2·g-1, 松装密度0.85 g·cm-3, 表面光滑的2#球形铂粉,用于制作厚膜铂电阻温度传感器生产工艺可行,电阻温度系数达到380×106·℃-1,是一种理想的电阻材料. 展开更多
关键词 铂粉 厚膜铂电阻 温度系数
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一种可直接脉冲调制的MEMS红外激发源 被引量:11
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作者 纪新明 吴飞蝶 +3 位作者 王建业 周嘉 谢海芬 黄宜平 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期144-150,共7页
针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源.该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300~800 K的红... 针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源.该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300~800 K的红外辐射,在温度T=1 106 K时有λ=2.62 μm峰值辐射波长;并且光源有足够强的辐射强度和2~15 μm红外辐射波段,能够满足大部分气体在2~14 μm波长范围内特征的吸收谱线的要求.经过对辐射元的动态测量可知,辐射源的动态调制频率可达到50 Hz,完全能够满足气体测量对所需红外光源调制频率的要求. 展开更多
关键词 红外传感 微机电系统 辐射系数
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