基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性

讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所设计的界面过渡层 ,成功地在不锈钢基底上沉积了一定厚度的DLC膜。通过优化沉积参数 ,所沉积的DLC膜在与 10 0Cr6钢球对磨时摩擦系数低于 0 0 2 0。在摩擦过程中DLC膜的磨损机制借助SEM、Raman分析进行了研究。

常温生长类金刚石薄膜的实验研究

利用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺在常温下实现在不锈钢、硅片、玻璃等基底上大面积沉积类金刚石 (DL C)膜。薄膜表面光滑致密 ,与衬底的结合力较高。用 Raman,FTIR,SEM,EDX研究了薄膜的形貌、结构与组分。用栓 -盘摩擦磨损试验机测试了薄膜的摩擦系数。通过优化沉积参数 ,所沉积的DL C膜在与 10 0 Cr6钢球对磨时摩擦系数低于 0 .0 1。在摩擦过程中 DL C膜的磨损机制借助

Ti/TiN/TiC/DLC固体膜润滑特性实验研究

提出一种新型复合固体润滑膜,并讨论了该复合膜的结构和作用机理。复合结构的基本组成是传统硬质涂层TiN和TiC的结合,最上面的固体润滑膜是用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)方法沉积的类金刚石(DLC)膜。分别用紫外拉曼光谱仪和扫描电子显镜分析薄膜的显微结构和表面形貌,用摩擦磨损实验机测定薄膜的摩擦学特性。结果表明,所制备的薄膜为类金刚石膜,薄膜表面含有大量的类石墨的sp2,能有效的担负固体润滑膜的功能。摩擦过程中产生的转移层也有助于减摩功能的实现。

计算机模拟类金刚石薄膜的光学性能研究

采用射频等离子体化学气相法在BK7玻璃样品上合成了类金刚石薄膜，基于介电模型对样品的光学透射谱进行计算机拟合，得到类全刚石薄膜的折射率和膜厚等性能指标。研究了甲烷浓度，射频功率密度和沉积压力等工艺参数对类金刚石薄膜的光学特性影响规律。试验表明折射率和生长速率均随甲烷浓度和功率密度增加而增加；气体压力对生长速率的影响最显著。