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金刚石膜的拉曼光谱研究 被引量：2
1
作者 李哲奎 《延边大学学报（自然科学版）》 CAS 2000年第4期282-284,共3页
研究了利用微波等离子体化学气相沉积方法制备的金刚石膜的拉曼光谱 ,讨论了金刚石膜中的非金刚石碳相与甲烷浓度、基板温度之间的关系 .
关键词 金刚石膜 微波等离子体化学气相沉积 拉曼光谱 甲烷浓度 基板温度 非金刚石碳相
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