大角度离子注入机控制系统软件设计

大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。

符合ASME要求的承压设备焊缝超声相控阵检测(一)

结合国际权威法规ASME最新要求,研讨承压设备焊缝超声检测使用相控阵(PA)技术的重要条件和方法要领,突出该技术的工程应用实际和装置选项须知。旨在为国内承压设备推广应用PA技术、制定相应行业标准和刷新、升级UT人员的操作技能,提供有用借鉴。

GEM标准在CMP系统上的应用

以当代最先进的自动化工厂(FA)走势为依据,结合化学机械抛光(CMP)系统的实际应用需求,提出了解决工业自动化通信协议SECS\GEM的应用问题。叙述了GEM的通信状态、控制状态和实现GEM的设计思路,并举例说明了GEM中的消息配方。实践表明,我国自动化设备领域对GEM的需求是非常迫切的。