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Silvaco TCAD仿真软件的应用对于学生实践能力的培养 被引量:3
1
作者 黄玮 徐振邦 《教育教学论坛》 2018年第24期246-247,共2页
高职院校学生实践能力的培养是重中之重,针对微电子专业学生,本文讨论了工艺和器件仿真软件Silvcaco在教学和创新实践培养中的应用,通过软件的使用,使学生锻炼了自己的分析能力,加强了对专业知识的认知,提高了自身的实践能力。
关键词 silvaco TCAD 实践能力 仿真应用
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利用SILVACO TCAD软件改进集成电路实践教学的研究 被引量:8
2
作者 朱筠 《数字技术与应用》 2012年第7期114-116,共3页
日益成熟的集成电路工艺与器件计算机辅助设计工具有助于缩短半导体工艺和器件的开发周期、降低开发成本,因而越来越被广泛应用。通过模拟软件Silvaco TCAD对工艺进行仿真,了解实际集成电路生产涉及的氧化、扩散、淀积、光刻、刻蚀、平... 日益成熟的集成电路工艺与器件计算机辅助设计工具有助于缩短半导体工艺和器件的开发周期、降低开发成本,因而越来越被广泛应用。通过模拟软件Silvaco TCAD对工艺进行仿真,了解实际集成电路生产涉及的氧化、扩散、淀积、光刻、刻蚀、平坦化等一系列工艺过程;对器件的仿真,熟悉专业基础课程内容如器件的基本结构、材料的性能、载流子的浓度和工作电压等对器件各种性能的影响。并可以加深学生对课程理论的理解,同时提高学习兴趣,从而获得良好教学效果。 展开更多
关键词 silvaco TCAD 工艺仿真 器件仿真
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浅谈SILVACO TCAD在VDMOS功率器件设计中的应用
3
作者 张海磊 陆建恩 +2 位作者 严古响 徐成保 孟欢 《电子技术与软件工程》 2016年第9期92-93,共2页
SILVACO TCAD是一款半导体工艺和器件仿真的专用软件,具有良好的界面,精确的模型设计被广泛应用。本文利用SILVACO TCAD软件对VDMOS功率器件的工艺和器件参数进行仿真,根据仿真过程及结果,提出了该仿真软件应用过程应该注意的一些问题。
关键词 silvaco 半导体工艺 器件仿真 VDMOS
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Silvaco TCAD仿真软件在《半导体物理与器件》科研导向型教学中的应用 被引量:5
4
作者 薛俊俊 徐鑫池 +3 位作者 朱清凡 汪金 智婷 李培丽 《信息记录材料》 2020年第10期92-94,共3页
作为微电子、集成电路等专业高年级本科生和研究生的核心专业课程,《半导体物理与器件》相关课程对信息技术产业的作用已经处于无法取代的地位。本文讨论了展示了利用Silvaco TCAD模拟仿真软件在《半导体物理与器件》科研导向型教学中... 作为微电子、集成电路等专业高年级本科生和研究生的核心专业课程,《半导体物理与器件》相关课程对信息技术产业的作用已经处于无法取代的地位。本文讨论了展示了利用Silvaco TCAD模拟仿真软件在《半导体物理与器件》科研导向型教学中的重要辅助作用,从四个方面分析了该软件在学生科研能力培养工作的促进作用。对提升人才培养质量和促进学生科研能力进行了新探索。 展开更多
关键词 silvaco TCAD 半导体物理与器件 科研导向型教学
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基于Silvaco的RFSOICMOS工艺仿真
5
作者 张剑 商世广 《纳米科技》 2013年第5期5-9,20,共6页
近年来,随着便携式系统和无线通讯系统的迅速发展,电子产品的消费已经转移到射频领域。这为SOI技术的应用开辟了广阔的前景:一方面,由于射频领域的便携式系统和无线通讯系统多数是使用电池作为能源的,因此降低系统功耗和驱动电压... 近年来,随着便携式系统和无线通讯系统的迅速发展,电子产品的消费已经转移到射频领域。这为SOI技术的应用开辟了广阔的前景:一方面,由于射频领域的便携式系统和无线通讯系统多数是使用电池作为能源的,因此降低系统功耗和驱动电压就成为需要解决的首要问题。在这方面,SOIcMOS技术由于寄生电容小而成为解决功耗问题的一项关键技术。另一方面,射频领域的发展要求集成水平和工作频率提高,藕合噪声问题变得更加关键。采用全氧隔离的SOICMOS技术实现了器件和基片之间的完全隔离,显著降低了高频RF和数字、混合信号器件之间的串扰现象,从而使藕合噪声问题得到很大改善。文章详细介绍了0.5umSOICMOS的工艺流程,并利用silvaco软件对工艺进行仿真。 展开更多
关键词 射频SOI CMOS 工艺仿真 silvaco
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Silvaco TCAD仿真在《微电子工艺》实验教学中的应用
6
作者 于文娟 董可秀 +3 位作者 王炳庭 周昌海 付翔 胡毅 《廊坊师范学院学报(自然科学版)》 2022年第4期118-121,128,共5页
为支撑微电子工艺实验课程建设,采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件,加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工艺的直观理解,搭建了从网格建设、工艺仿真、PN结分析到NMOS器件全工艺流程设计的系统化仿真实例,让学... 为支撑微电子工艺实验课程建设,采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件,加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工艺的直观理解,搭建了从网格建设、工艺仿真、PN结分析到NMOS器件全工艺流程设计的系统化仿真实例,让学生在熟悉半导体器件基本结构、载流子参数等性能的同时,深刻理解微电子器件的工艺过程。软件仿真直观的图形展现,既可加深学生课程知识理解,又能提升实践能力,为应用型人才的培养提供坚实基础。 展开更多
关键词 微电子工艺 集成电路 实验课程建设 silvaco TCAD
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基于Silvaco Atlas的SOI器件性能仿真研究
7
作者 黄玮 杨月霞 林慧敏 《电子制作》 2017年第12期26-27,共2页
本文主要针对SOI器件结构展开研究,对于SOIMOS器件的结果和特性进行分析,讨论,并利用SILVACO TCAD软件来对SOI的器件结构与性能进行仿真,与研究分析结果进行比对,可以看出SOI器件能够有效改善MOS器件的阈值和亚阈值特性。
关键词 silvaco ATLAS SOI结构 SOIMOS器件
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Silvaco TCAD仿真在《集成电路工艺》课程教学中的应用 被引量:4
8
作者 唐云 《湖南科技学院学报》 2018年第10期27-29,共3页
《集成电路工艺》是电子科学与技术专业的必修课,是承上启下的一门课程。通过本门课程的学习,使学生对半导体集成电路制造工艺及原理有一个较为完整和系统的认识,并具有一定工艺分析和设计以及解决工艺问题和提高产品质量的能力,但由于... 《集成电路工艺》是电子科学与技术专业的必修课,是承上启下的一门课程。通过本门课程的学习,使学生对半导体集成电路制造工艺及原理有一个较为完整和系统的认识,并具有一定工艺分析和设计以及解决工艺问题和提高产品质量的能力,但由于本课程所需的集成电路工艺线建设成本太高,无法开设实验课程。于是,特提出在《集成电路工艺》课程中采用Silvaco TCAD软件进行集成电路工艺仿真,从而培养学生工艺分析、设计和解决工艺问题的能力。 展开更多
关键词 集成电路 工艺原理 silvaco TCAD仿真 课程教学
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Numerical Analysis of Efficiency Enhancement in Plasmonic Thin-Film Solar Cells by Using the SILVACO TCAD Simulator
9
作者 金恩哲 江晓清 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2012年第6期246-248,共3页
A physical model for simulating plasmonic solar cells (SCs) using the SILVACO TCAD simulator is establisled and the effects of some factors on the efficiency enhancement of the amorphous silicon thin film SCs are simu... A physical model for simulating plasmonic solar cells (SCs) using the SILVACO TCAD simulator is establisled and the effects of some factors on the efficiency enhancement of the amorphous silicon thin film SCs are simulated.Through this simulation,it is demonstrated that our method can successfully simulate the optical and electrical properties of plasmonic solar cells without the overestimation of the characteristics and without the neglect of parameter change in the device operation process.It is shown that not only the size and kind of metal nanoparticles but also other factors,such as the surrounding medium,the distance from the bottom of particles to the device surface,and the light incident angle,play important roles in the optical and electrical properties of plasmonic SCs. 展开更多
关键词 silvaco EFFICIENCY SOLAR
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Simulation of electric properties of MFIS capacitor with BNT ferroelectric thin film using Silvaco/Atlas 被引量:1
10
作者 郑学军 张俊杰 +3 位作者 周益春 唐明华 杨博 陈义强 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2007年第A02期752-755,共4页
Metal-ferroelectric-insulator-silicon(MFIS) capacitors with Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNT) ferroelectric thin film were simulated using a commercial software Silvaco/Atlas,and the effects of applied voltage and insulator lay... Metal-ferroelectric-insulator-silicon(MFIS) capacitors with Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNT) ferroelectric thin film were simulated using a commercial software Silvaco/Atlas,and the effects of applied voltage and insulator layer on capacitance-voltage(C-V) hysteresis loops and memory windows were investigated. For the MFIS capacitors with CeO2 insulator,with the increase of applied voltage from 2 V to 15 V,the C-V loops become wider and memory windows increase from 0.15 V to 1.27 V. When the thickness of CeO2 layer increases from 1 nm to 5 nm at the applied voltage of 5 V,the C-V loops become narrower and the memory windows decrease from 1.09 V to 0.36 V. For MFIS capacitors with different insulator layers(CeO2,HfO2,Y2O3,Si3N4 and SiO2),the high dielectric constants can make the C-V loops wider and improve the capacitor's memory window. The simulation results prove that Silvaco/Atlas is a powerful simulator for MFIS capacitor,and they are helpful to the fabrication of MFIS nonvolatile memory devices. 展开更多
关键词 MFIS电容器 铁电薄膜 介电性能 模拟
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Silvaco TCAD仿真软件在《光电子学》课程教学中的应用
11
作者 王云姬 《进展》 2023年第2期82-83,共2页
本文主要阐述了Silvaco TCAD软件仿真在光电子学这门课程中的应用价值,并以雪崩二极管为例,说明了具体的应用。Silvaco TCAD仿真教学在光电子学中的辅助教学,可以帮助学生更好的理解光电子学中的光电探测器,提升学生的综合实践能力。
关键词 silvaco TCAD仿真软件 光电子学 器件仿真
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Silvaco软件在《半导体器件》教学实践中的应用 被引量:2
12
作者 丛嘉伟 周志强 +2 位作者 佟艳群 姚红兵 吕柳 《才智》 2016年第15期93-93,共1页
《半导体器件》课程是电子信息类,尤其是光电信息专业的重要基础课程。目前智能电子设备的飞速发展,要求光电专业人才具备丰富的半导体器件的前沿知识。在本科和研究生教学中,将半导体器件的原理讲授与专业软件Silvaco的仿真分析有机地... 《半导体器件》课程是电子信息类,尤其是光电信息专业的重要基础课程。目前智能电子设备的飞速发展,要求光电专业人才具备丰富的半导体器件的前沿知识。在本科和研究生教学中,将半导体器件的原理讲授与专业软件Silvaco的仿真分析有机地结合起来,有助于激发学生的学习兴趣,加深对物理概念的理解,培养学生的器件分析和设计能力,为日后的深造研究或研发工作打好坚实基础。 展开更多
关键词 半导体器件课程 silvaco软件 教学
原文传递
4H-SiC光导开关性能的仿真研究
13
作者 蓝华英 罗尧天 +2 位作者 崔海娟 肖建平 孙久勋 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第2期195-199,共5页
碳化硅光导开关是相关领域的研究热点,但是文献中对4H-SiC光导开关的理论研究仍然以集总元件模型为主,仅能给出定性结果,典型文献中瞬态条件下的实验数据还没有定量的理论解释。文章使用SilvacoTCAD软件中的器件-电路混合模式,结合自编... 碳化硅光导开关是相关领域的研究热点,但是文献中对4H-SiC光导开关的理论研究仍然以集总元件模型为主,仅能给出定性结果,典型文献中瞬态条件下的实验数据还没有定量的理论解释。文章使用SilvacoTCAD软件中的器件-电路混合模式,结合自编的载流子迁移率接口程序,对4H-SiC光导开关的光学电学特性进行模拟仿真。单脉冲响应的仿真结果表明,器件在瞬态条件下的峰值光电流随光能的变化与文献中的实验数据相符合,表明所用模型和参数具有合理性。对影响单脉冲响应的主要因素,包括脉冲能量、脉冲宽度、碳化硅厚度,进行了计算和分析。同时,针对两种碳化硅厚度的器件,进行了多脉冲串响应的计算和分析。文章得到的结果和结论对碳化硅光导开关的进一步研究具有较好的参考价值。 展开更多
关键词 4H-SIC 光导开关 silvacoTCAD 仿真模型
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Silvaco辅助设计浮置环SAGCM-APD
14
作者 陈伟 迟殿鑫 田家齐 《电子技术(上海)》 2021年第7期14-16,共3页
以浮置环结构的分离吸收层、渐变成层、电荷层雪崩二极管(SAGCM-FGR-APD)为基础,结合化合物半导体材料的物理参数,采用Silvaco模拟软件对其横向、纵向电场分布、各功能层对器件性能参数的影响以及I-V特性进行了仿真模拟计算。通过对模... 以浮置环结构的分离吸收层、渐变成层、电荷层雪崩二极管(SAGCM-FGR-APD)为基础,结合化合物半导体材料的物理参数,采用Silvaco模拟软件对其横向、纵向电场分布、各功能层对器件性能参数的影响以及I-V特性进行了仿真模拟计算。通过对模拟结果的分析,实现了SAGCM-FGR-APD的理论优化设计。 展开更多
关键词 浮置环 雪崩光电二极管 silvaco
原文传递
基于非富勒烯受体的可见光-近红外有机光电探测器模拟研究
15
作者 陆之南 孙久勋 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第3期330-335,共6页
高灵敏度的有机光电探测器(OPD)具有从可见光到近红外(NIR)的宽带响应和优异的整体器件性能,在包括高质量生物成像在内的各种应用中起到了非常重要的作用。文章使用Silvaco TCAD模拟了一种活性层由宽带隙聚合物PBDTTT-C-T作为给体以及... 高灵敏度的有机光电探测器(OPD)具有从可见光到近红外(NIR)的宽带响应和优异的整体器件性能,在包括高质量生物成像在内的各种应用中起到了非常重要的作用。文章使用Silvaco TCAD模拟了一种活性层由宽带隙聚合物PBDTTT-C-T作为给体以及稠合八烷基小分子FOIC作为受体构成的混合物所制成的宽带有机光电探测器。模拟结果表明,器件的暗电流密度、外量子效益、可探测到的最低光强能力等各项指标达到了很好的水平,与实验数据吻合较好。由此,可认为模拟过程中所使用到的参数具有较好的可信度和使用价值,可以为同类型光电探测器的模拟与研究提供有益借鉴。 展开更多
关键词 silvaco TCAD 有机光电探测器 非富勒烯受体 暗电流密度 外量子效率
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高集成中央双向肖特基结型单管反相器研究
16
作者 刘畅 刘溪 《微处理机》 2023年第4期19-21,共3页
针对传统CMOS反相器在某些领域中的局限性,提出一种基于高集成中央双向肖特基结型单管的反相器。新器件采用深浅组合肖特基势垒隧道晶体管制造方法,具有中央双向肖特基结结构,该结构可有效隔离源漏两侧半导体内载流子的互通,从而避免隧... 针对传统CMOS反相器在某些领域中的局限性,提出一种基于高集成中央双向肖特基结型单管的反相器。新器件采用深浅组合肖特基势垒隧道晶体管制造方法,具有中央双向肖特基结结构,该结构可有效隔离源漏两侧半导体内载流子的互通,从而避免隧道电流导致的泄漏电流的产生,并且只需要一个晶体管即可实现反相器的基本功能。通过使用Silvaco TCAD对器件进行仿真,分析其工作情况并优化设计参数。仿真结果表明该设计能够实现反向器功能,且与传统CMOS反相器相比,具有更高的集成度和更低的功耗。 展开更多
关键词 反相器 肖特基势垒 silvaco TCAD仿真
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准垂直肖特基二极管电极间距对耐压的影响
17
作者 梁子彤 陈鹏 +4 位作者 徐儒 殷鑫燕 谢自力 陈敦军 赵红 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2023年第5期419-423,共5页
研究了不同电极间距对准垂直肖特基势垒二极管(SBD)正反向Ⅰ-Ⅴ特性,尤其是击穿电压和漏电的影响。通过制备不同电极间距的准垂直GaN SBD,测量不同电极间距器件的击穿电压和反向漏电变化。测量发现当电极间距小于器件台面刻蚀深度时,器... 研究了不同电极间距对准垂直肖特基势垒二极管(SBD)正反向Ⅰ-Ⅴ特性,尤其是击穿电压和漏电的影响。通过制备不同电极间距的准垂直GaN SBD,测量不同电极间距器件的击穿电压和反向漏电变化。测量发现当电极间距小于器件台面刻蚀深度时,器件的击穿电压随着电极间距的增大而增大;当电极间距大于台面刻蚀深度时,器件的击穿电压随着电极间距的增大而几乎不发生变化。利用Silvaco软件进行了一系列的仿真研究,发现SBD的峰值电场强度不仅取决于电极间距,同时还受限于台面高度。研究表明在准垂直SBD研制中,为得到高击穿电压,电极间距应匹配器件台面的高度。 展开更多
关键词 准垂直结构 肖特基二极管 silvaco 仿真 电极间距
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日盲紫外硅/金刚石异质结光电二极管的结构设计和仿真
18
作者 邓康宁 肖清泉 +2 位作者 陈豪 王傲霜 王江翔 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第20期1-6,共6页
金刚石作为新型宽禁带半导体材料具有成本低、无毒性和化学稳定性能好的优点,是紫外光电二极管的理想原材料之一,对代替目前普遍应用的含有稀有贵金属元素的紫外光电二极管有着积极的推动作用。在Silvaco软件Atlas模块上对日盲紫外硅/... 金刚石作为新型宽禁带半导体材料具有成本低、无毒性和化学稳定性能好的优点,是紫外光电二极管的理想原材料之一,对代替目前普遍应用的含有稀有贵金属元素的紫外光电二极管有着积极的推动作用。在Silvaco软件Atlas模块上对日盲紫外硅/金刚石异质结光电二极管进行深入的分析,探讨其厚度、掺杂浓度与光电二极管暗电流、光谱响应、瞬态响应之间的关系,得到了光电二极管优化后的暗电流、反向击穿电压和掺杂浓度值。模拟仿真结果显示,该pin型硅/金刚石异质结光电二极管在10~220 nm范围内的响应灵敏度优于pn型器件,当器件波长为220 nm时,其响应电流最高达1.7×10^(-11)A,并且pin型硅/金刚石异质结光电二极管的暗电流比该pn型器件低,约为5.6×10^(-15)A。此模拟计算数据为进一步优化硅/金刚石光电二极管结构及实验制备奠定了理论基础。 展开更多
关键词 硅/金刚石异质结 光谱响应 silvaco-TCAD
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Simulation Study on Optical Properties of GaN-based Blue LED
19
作者 Huilong BIAN Taiping HAN Xiaoming GU 《Mechanical Engineering Science》 2023年第2期17-22,共6页
The optical properties of GaN-based blue light-emitting diodes(LEDs)are extremely important to study as these LEDs are utilized in a great many industries due to their excellent qualities,including high brightness,hig... The optical properties of GaN-based blue light-emitting diodes(LEDs)are extremely important to study as these LEDs are utilized in a great many industries due to their excellent qualities,including high brightness,high energy efficiency,low energy consumption,and rapid reaction time.In this paper,Silvaco TCAD simulation software is used to do two-dimensional modeling and simulation of a GaN-based blue single quantum well vertical structure LED,with an emphasis on varied forward voltages,In components in InGaN,and quantum well thickness.The volt-ampere characteristic curve is compared and evaluated,as well as the energy band structure,carrier concentration,radiation recombination efficiency,electroluminescence spectrum,and internal current density distribution.The results show that when the forward voltage is 3.5V and the thickness of the quantum well is constant,the luminescence spectrum will show a red shift with the increase of the In content in the quantum well,and the luminescence spectrum will also show a red shift when the thickness of the quantum well is increased.However,when the quantum well thickness and In component are kept constant,the luminescence spectrum appears a red shift with increasing forward voltage. 展开更多
关键词 GAN-BASED Blue light LED SPECTRUM silvaco TCAD
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异面结构GaAs光导开关耐压特性研究 被引量:3
20
作者 李寅鑫 苏伟 刘娟 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第6期16-17,21,共3页
光导开关用于产生高功率脉冲,提高光导开关的耐压能力可有效提高器件的输出功率。用SILVACO软件对共面和异面电极结构的GaAs光导开关进行了仿真分析,比较了两者的击穿电压,指出异面开关耐压性能优于共面开关。对设计制作的3mm间隙宽度的... 光导开关用于产生高功率脉冲,提高光导开关的耐压能力可有效提高器件的输出功率。用SILVACO软件对共面和异面电极结构的GaAs光导开关进行了仿真分析,比较了两者的击穿电压,指出异面开关耐压性能优于共面开关。对设计制作的3mm间隙宽度的GaAs光导开关进行了耐压特性试验,并结合模拟结果进行分析。模拟结果和试验结果表明:和共面电极结构相比,异面结构的光导开关具有更高的耐压能力,击穿电场可达7.67 kV/mm。 展开更多
关键词 光导开关 异面开关 silvaco模拟 耐压特性
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