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基于GPGPU-sim的多kernel场景下GPGPU性能优化实验方法
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作者 张军 魏继桢 +2 位作者 沈凡凡 谭海 何炎祥 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2024年第7期87-93,共7页
该文介绍了基于GPGPU-sim的多kernel环境下GPGPU性能优化实验方法,旨在为初学者开展多kernenl场景下GPGPU性能优化研究提供实验方法参考,也能为计算机系统结构教学提供案例。文中重点分析讨论了基于GPGPU-sim模拟器、多kernel场景下的... 该文介绍了基于GPGPU-sim的多kernel环境下GPGPU性能优化实验方法,旨在为初学者开展多kernenl场景下GPGPU性能优化研究提供实验方法参考,也能为计算机系统结构教学提供案例。文中重点分析讨论了基于GPGPU-sim模拟器、多kernel场景下的一种自适应线程块调度方法的改进思想、实验方法及过程,还对GPGPU的微系统结构、GPGPU-sim模拟器及源代码结构进行了介绍。实验结果表明,该文阐述的实验方法可行,相对于基准方法,该文提出的改进策略可以提升多kernel场景下GPGPU的执行效率。 展开更多
关键词 多kernel场境 GPGPU GPGPU-sim 性能优化
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GC-MS/SIM法同时测定山苍子精油中主要成分的绝对含量
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作者 胡竞月 梅小平 +2 位作者 吴斌 陈方方 莫开林 《四川林业科技》 2024年第3期137-141,共5页
为了探究山苍子精油中主要成分的绝对含量,建立了一种气相色谱-质谱/选择离子扫描(gas chromatography mass spectrometry/selective ion monitoring,GC-MS/SIM)方法,对其中主要成分(α-蒎烯、β-蒎烯、D-柠檬烯、1,8-桉叶素、芳樟醇、... 为了探究山苍子精油中主要成分的绝对含量,建立了一种气相色谱-质谱/选择离子扫描(gas chromatography mass spectrometry/selective ion monitoring,GC-MS/SIM)方法,对其中主要成分(α-蒎烯、β-蒎烯、D-柠檬烯、1,8-桉叶素、芳樟醇、香茅醛、柠檬醛)进行了定性和定量分析。该方法简便、高效,在25 min内山苍子精油中各成分分离良好。各成分在一定范围内均线性关系良好(R2>0.999),精密度、稳定性及重复性均符合要求,平均加标回收率为93.40%~107.35%。结果表明:该方法符合方法学验证要求,可用于山苍子精油的多成分含量测定,并为其质量评价提供依据。 展开更多
关键词 山苍子精油 气相色谱法 离子扫描(sim)
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高速SPI接口在SIM卡上的应用设计
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作者 王海涛 衣莉莉 +1 位作者 孙阳阳 刘觅 《邮电设计技术》 2024年第6期47-50,共4页
通过对当前物联网的安全威胁进行深入分析,发现SIM卡安全方案在实际使用过程中存在的一些问题。鉴于此,结合安全元件(SE)的SPI接口优点,设计了SPI接口应用在SIM卡上的全新方案,详述了该方案的软硬件架构,最后阐述了该方案在实际应用中... 通过对当前物联网的安全威胁进行深入分析,发现SIM卡安全方案在实际使用过程中存在的一些问题。鉴于此,结合安全元件(SE)的SPI接口优点,设计了SPI接口应用在SIM卡上的全新方案,详述了该方案的软硬件架构,最后阐述了该方案在实际应用中所具有的优势。 展开更多
关键词 SPI sim SE 物联网安全
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5G SIM卡集成身份鉴别凭证应用技术研究
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作者 于晓敏 张新彬 +3 位作者 管毅 黄炜耀 林晓飞 王颖 《警察技术》 2024年第1期37-40,共4页
随着数字经济的发展,为推进身份鉴别凭证技术、警用技术创新和应用落地,对5G SIM卡集成身份鉴别凭证应用技术展开研究。该研究内容以网络身份空间安全地址为核心,并结合5G SIM卡的安全新特性,实现一种创新、安全、可靠的5G SIM卡集成身... 随着数字经济的发展,为推进身份鉴别凭证技术、警用技术创新和应用落地,对5G SIM卡集成身份鉴别凭证应用技术展开研究。该研究内容以网络身份空间安全地址为核心,并结合5G SIM卡的安全新特性,实现一种创新、安全、可靠的5G SIM卡集成身份鉴别凭证应用技术模型,助力数字经济高质量发展、加快落实国家网络实名制要求,为公安网络空间治理提供新手段。 展开更多
关键词 网络身份安全空间地址 5G sim 身份鉴别凭证 网络空间治理
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基于超级SIM卡的可信数字身份应用
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作者 王性国 王昊 +1 位作者 张宋好 果艳红 《警察技术》 2024年第4期7-10,共4页
数字化转型席卷生活各领域,数字身份在数字空间中的作用愈发关键,已经成为现代生活的重要组成部分,涉及到数字生活的各个方面。随之而来的个人信息泄露和滥用也日益严重。基于国家“互联网+”可信身份认证平台(CTID平台),结合运营商超级... 数字化转型席卷生活各领域,数字身份在数字空间中的作用愈发关键,已经成为现代生活的重要组成部分,涉及到数字生活的各个方面。随之而来的个人信息泄露和滥用也日益严重。基于国家“互联网+”可信身份认证平台(CTID平台),结合运营商超级SIM卡安全硬件载体特性,提出了一种基于硬件的可信数字身份方案,为用户提供一种安全、便捷的身份认证服务。 展开更多
关键词 数字身份 超级sim CTID平台
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量子通信技术与超级SIM卡融合的研究与应用
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作者 马晓凯 《通讯世界》 2024年第6期31-33,共3页
随着科技的飞速发展,量子通信技术与超级SIM卡融合正成为信息技术领域的研究热点。介绍了量子通信技术的定义及应用领域,详细阐述了量子通信与超级SIM卡两种技术融合的研究、应用场景以及潜在的应用案例和发展前景。
关键词 量子通信 量子密钥 超级sim
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基于5G超级SIM卡的反电诈方案探讨
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作者 张子轩 张艳培 《互联网周刊》 2024年第7期63-65,共3页
本文深入探讨了5G超级SIM卡在信息安全和反诈骗应用中的重要作用。首先介绍了智能卡、动态口令认证、生物特征识别等身份认证技术的原理和应用场景,并强调了双因素识别方式在防止身份盗窃方面的优势。文章详细阐述了5G超级SIM卡如何利... 本文深入探讨了5G超级SIM卡在信息安全和反诈骗应用中的重要作用。首先介绍了智能卡、动态口令认证、生物特征识别等身份认证技术的原理和应用场景,并强调了双因素识别方式在防止身份盗窃方面的优势。文章详细阐述了5G超级SIM卡如何利用其内置安全元素(SE)提供的信息安全处理功能,实现移动终端APP的身份认证和授权,从而确保信息安全。此外,本文还讨论了5G超级SIM卡在支付应用过程中的安全性,特别是通过结合运营商大数据能力和数据短信功能,为交易安全提供了有效保障。在反电诈应用方面,文章介绍了5G超级SIM卡作为数字身份认证载体的优势,包括与可信身份认证平台的互通、支持访客认证以及高安全性等特点。同时,探讨了运营商如何利用大数据手段建立反电信诈骗数据库,并通过与银行反诈中心的合作,实现对风险电话的预警和拦截。此外,本文还总结了5G超级SIM卡在反诈骗方面的其他应用,包括采用高级加密技术、支持多种安全防护功能以及与其他反诈骗技术的结合使用。通过这些措施,5G超级SIM卡有助于保护用户隐私和安全,降低被骗风险。 展开更多
关键词 5G超级sim 身份认证 安全元素(SE) 反诈骗
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粤北南雄断裂带花岗质糜棱岩锆石SIMS U-Pb年龄及其地质意义 被引量:3
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作者 夏宗强 李伟林 +2 位作者 蔡煜琦 虞航 谢宗芸 《世界核地质科学》 CAS 2023年第2期208-216,共9页
南雄断裂带是诸广山岩体东南边缘一条多期活动的断裂带,与诸广南部矿田铀成矿关系密切。基于系统的野外地质观察、岩相学研究,结合精细的锆石SIMS U-Pb定年,进一步探讨了南雄断裂带的构造活动时代。南雄断裂带糜棱岩中岩浆锆石年龄为239... 南雄断裂带是诸广山岩体东南边缘一条多期活动的断裂带,与诸广南部矿田铀成矿关系密切。基于系统的野外地质观察、岩相学研究,结合精细的锆石SIMS U-Pb定年,进一步探讨了南雄断裂带的构造活动时代。南雄断裂带糜棱岩中岩浆锆石年龄为239.3±3.1 Ma,代表原岩年龄,与断裂下盘的花岗岩形成年龄一致,表明糜棱岩的原岩为印支期花岗岩;热液锆石年龄为235.2±2.5 Ma,略晚于岩浆结晶年龄,代表早期构造活动年龄。认为南雄断裂带具有多期活动历史,最早的构造活动可追溯到中三叠世早期,早期韧性剪切活动形成糜棱岩带,后期发生多期次脆性构造活动。糜棱岩的形成早于铀成矿,韧性剪切活动与铀成矿无直接关系,但是糜棱岩是铀成矿的有利围岩,尤其是叠加后期构造破碎和流体交代作用的糜棱岩是铀成矿有利部位。 展开更多
关键词 糜棱岩 韧性剪切带 锆石simS U-Pb定年 南雄断裂 粤北
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层厚对使用CT/SIM Check模体联合iQA软件检测CT模拟机的影响
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作者 时飞跃 程龙 +3 位作者 王敏 秦伟 赵环宇 魏晓为 《中国医疗设备》 2023年第7期17-22,共6页
目的探讨层厚大小对使用CT/SIM Check模体联合iQA软件检测放疗CT模拟机数据结果的影响。方法对1台西门子Sensation Open CT模拟机,使用6种放疗扫描协议扫描1套CT/SIM Check模体,扫描完成后重建1.5、2、3、4和5 mm共5种层厚的CT图像序列... 目的探讨层厚大小对使用CT/SIM Check模体联合iQA软件检测放疗CT模拟机数据结果的影响。方法对1台西门子Sensation Open CT模拟机,使用6种放疗扫描协议扫描1套CT/SIM Check模体,扫描完成后重建1.5、2、3、4和5 mm共5种层厚的CT图像序列。使用iQA软件对这些CT图像序列进行自动分析并生成报表,对报表上的质控数据结果进行分析和比较。结果通过对报表数据进行分析,得到了6种扫描协议和5种层厚情形下22种参数的质控数据,对5种不同层厚的数据计算得到了相应的四分位数间距值。由数据结果可见,HU均一性和插件4内标准差的数据随层厚的增加而减小;扫描中心纵向坐标的数值随层厚的增加有下降的趋势;线宽比-灵敏度截面的数据随层厚的增加而变大。结论使用CT/SIM Check模体联合iQA软件检测CT模拟机,层厚对HU均一性、插件4内标准差、扫描中心纵向坐标和线宽比-灵敏度截面的质控数据结果有较大影响,对其他参数的数据也有不同程度的影响。本研究为物理师使用CT/SIM Check模体联合iQA软件检测放疗CT模拟机的质控工作,提供了有益的数据参考。 展开更多
关键词 CT模拟机 质控 CT/sim Check模体 iQA软件 层厚
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JAVACARD SIM内存管理方法优化研究
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作者 黄健文 黄健 +1 位作者 蔡秋艳 杨光 《邮电设计技术》 2023年第12期63-66,共4页
在移动通信网络中,SIM主要负责移动通信网络接入鉴权认证,并承载各种行业应用,当前SIM芯片物理内存资源有限,需提升SIM内存利用率从而加载更多行业应用。首先对SIM的内存架构进行分析,将物理内存分为固定内存和剩余待分配内存。其次明... 在移动通信网络中,SIM主要负责移动通信网络接入鉴权认证,并承载各种行业应用,当前SIM芯片物理内存资源有限,需提升SIM内存利用率从而加载更多行业应用。首先对SIM的内存架构进行分析,将物理内存分为固定内存和剩余待分配内存。其次明确了待分配内存中DTR和RTR内存的管理原则。最后结合应用的安装、删除等管理操作,阐述了待分配内存申请占用、释放回收、内存溢出等管理原则。通过对待分配内存优化管理可提升SIM物理内存利用率,加载并运行更多的行业应用。 展开更多
关键词 JAVACARD sim 内存申请 内存释放 内存溢出 RTR DTR
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江西庐山星子群片麻岩的变质年龄和变质机制:独居石和锆石SIMS年代学 被引量:2
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作者 侯莹玲 莫佳君 +2 位作者 何斌 徐义刚 王继林 《大地构造与成矿学》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期249-259,共11页
江西庐山地区星子群片麻岩的构造属性对认识江西甚至华南的大地构造具有重要意义。对星子群片麻岩穹窿不同构造部位的4个片麻岩中独居石进行高精度SIMS U-Pb年龄测定,结果显示它们的206Pb/238U加权平均年龄分别为141.0±1.0 Ma、143... 江西庐山地区星子群片麻岩的构造属性对认识江西甚至华南的大地构造具有重要意义。对星子群片麻岩穹窿不同构造部位的4个片麻岩中独居石进行高精度SIMS U-Pb年龄测定,结果显示它们的206Pb/238U加权平均年龄分别为141.0±1.0 Ma、143.0±1.0 Ma、143.5±1.0 Ma和144.2±1.6 Ma,因此将星子群的峰期变质时代限定于141.0~144.2 Ma。同时本文首次报道了庐山观音尖辉长岩的锆石SIMS U-Pb定年,确定其侵位年龄为141.1±1.5 Ma,这与星子群片麻岩独居石获得的峰期变质年龄在误差范围内一致。结合星子群的变质温度和变质分带特征,推测庐山片麻岩穹窿可能是中生代岩浆热穹窿,其角闪岩相的变质作用可能是岩浆热动力变质的产物。本研究不仅为庐山地区构造变形属性的厘定提供了详实的定年证据,还能为中国东部中生代板内强烈变质变形的研究提供重要参考。 展开更多
关键词 星子群片麻岩 辉长岩 独居石simS U-Pb年龄 锆石simS U-Pb年龄 热动力变质 江西庐山
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GPGPU-Sim兼容性问题解决方案及脚本自动化运行方法的研究
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作者 曹建立 仲怡宁 赵晨阳 《洛阳师范学院学报》 2023年第8期25-29,共5页
分析了GPGPU-Sim模拟器在高版本Ubuntu操作系统上运行时发生的动态链接库不兼容的问题,通过实验发现了解决方案,在此基础上提出了无需编译GPGPU-Sim源代码便可使用GPGPU-Sim模拟运行CUDA程序的办法,并给出了利用脚本自动化运行和采集数... 分析了GPGPU-Sim模拟器在高版本Ubuntu操作系统上运行时发生的动态链接库不兼容的问题,通过实验发现了解决方案,在此基础上提出了无需编译GPGPU-Sim源代码便可使用GPGPU-Sim模拟运行CUDA程序的办法,并给出了利用脚本自动化运行和采集数据的方法.提出的兼容性解决方案和并行运行方式可以提高模拟器部署和工作的效率,对于该模拟器的使用者和研究者有积极借鉴意义. 展开更多
关键词 GPGPU-sim模拟器 动态链接库 编译 SHELL脚本
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飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)在矿物包裹体研究中的应用 被引量:2
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作者 王梦琴 蔡克大 李展平 《岩石矿物学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期451-464,共14页
矿物包裹体的化学成分研究在地质学、矿床学和油气勘探等方面具有重要意义。目前对包裹体化学成分分析的主要分析方法有激光烧蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)、电子探针(EPMA)、显微激光拉曼光谱(LRS)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、... 矿物包裹体的化学成分研究在地质学、矿床学和油气勘探等方面具有重要意义。目前对包裹体化学成分分析的主要分析方法有激光烧蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)、电子探针(EPMA)、显微激光拉曼光谱(LRS)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、质子诱发X射线光谱分析(PIXE)、同步辐射X射线荧光光谱(SXRF)和(传统的)二次离子质谱分析(SIMS)等。本文在对上述方法的分析特点进行简单介绍的基础上,重点阐述了对于矿床学样品表征具有广泛应用潜力的飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)的原理、特点和技术优势,总结了国内外学者应用TOF-SIMS对矿物包裹体化学成分分析的研究进展与存在问题,并做了相关领域的展望。 展开更多
关键词 矿物包裹体 TOF-simS 表面分析
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一种基于RFID和SIM800C的远程防盗智能门禁与安防系统的设计 被引量:1
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作者 李小敏 赵艳丽 杨延宁 《电子设计工程》 2023年第14期113-117,共5页
为了提高小区管理的数字智能化,设计了一种基于射频识别技术(RFID)和SIM800C的远程防盗智能门禁与安防系统。采用硬软件结合的方法,以STC89C52为控制核心,通过RFID读取用户的IC卡,利用SPI通信协议将IC卡号传输至上位机,以进行用户身份... 为了提高小区管理的数字智能化,设计了一种基于射频识别技术(RFID)和SIM800C的远程防盗智能门禁与安防系统。采用硬软件结合的方法,以STC89C52为控制核心,通过RFID读取用户的IC卡,利用SPI通信协议将IC卡号传输至上位机,以进行用户身份的核对与确认,验证通过后继电器开门。通过MQ-2烟雾传感器和HC-SR501热释电传感器获取烟雾浓度和非法用户闯入的信息。该系统以SIM800C进行无线通信,实现远程短信提示功能。调试结果表明,系统可在1 min内实现声光报警和防盗短信的远程监控,具有成本低、响应快、功能强的特点,有较强的实用价值。 展开更多
关键词 RFID sim800C 门禁安防 单片机 报警
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CTCS-3级列控系统无线超时GSM-R电台SIM卡故障分析及解决措施 被引量:4
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作者 张晓东 陈延春 陈铮 《铁路通信信号工程技术》 2023年第1期52-55,87,共5页
CTCS-3无线超时故障是CTCS-3级列控系统的重点和难点问题,因SIM卡造成的超时问题一直没有找到具体的原因,重点对SIM卡的表面形貌分析(SEM)、成分分析(EDS)以及设备运用中SIM工作状态的研究,通过检测发现了SIM卡表面存在不导电颗粒物,在... CTCS-3无线超时故障是CTCS-3级列控系统的重点和难点问题,因SIM卡造成的超时问题一直没有找到具体的原因,重点对SIM卡的表面形貌分析(SEM)、成分分析(EDS)以及设备运用中SIM工作状态的研究,通过检测发现了SIM卡表面存在不导电颗粒物,在设备运用中造成电台不识卡,导致无线通信超时故障,并就该问题提出了对策措施。 展开更多
关键词 无线超时 sim SEM分析 EDS分析 措施
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基于超级SIM的5G端云安全体系架构与关键技术
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作者 李佩源 刘建伟 《中兴通讯技术》 2023年第1期13-19,共7页
基于超级用户身份识别模块(SIM)卡的增强型安全功能,以及终端、云、端云协同3个方面的安全需求,结合区块链、雾计算、轻量认证等技术,设计了适配于5G大规模物联网场景下的安全高效且去中心化的端云鉴权认证机制。该机制以端云联动、主... 基于超级用户身份识别模块(SIM)卡的增强型安全功能,以及终端、云、端云协同3个方面的安全需求,结合区块链、雾计算、轻量认证等技术,设计了适配于5G大规模物联网场景下的安全高效且去中心化的端云鉴权认证机制。该机制以端云联动、主动立体防御为核心实现了终端应用全生命周期的安全防护,构建起云、端、卡协同运作的安全体系,为5G+业务安全赋能。 展开更多
关键词 端云安全 超级sim 访问控制 隐私保护 终端安全
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基于YOLOv5s的SIM卡壳缺陷检测方法研究
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作者 王兴智 欧阳八生 《机电工程技术》 2023年第1期133-137,共5页
针对目前SIM卡壳的外观缺陷检测准确率低及检测速度慢这一问题。提出了一种基于深度学习YOLOv5s模型实现对SIM卡壳细微缺陷的检测方法。首先搭建打光平台,通过工业相机采集缺陷图片整合成图片数据集,再利用Halcon算法包里的emphasize算... 针对目前SIM卡壳的外观缺陷检测准确率低及检测速度慢这一问题。提出了一种基于深度学习YOLOv5s模型实现对SIM卡壳细微缺陷的检测方法。首先搭建打光平台,通过工业相机采集缺陷图片整合成图片数据集,再利用Halcon算法包里的emphasize算子对获取的数据集进行图像增强处理,使缺陷易显,然后使用LabelImg数据标注工具对数据集进行标注,在GPU上把标注好的训练集放到YOLOv5s网络模型中进行迭代训练,优化检测模型,使模型收敛,最后使用最优权重在CPU上对测试集进行测试。通过实验比较,该优化模型的平均检测准确率与检测速度皆高于SSD、YOLOv3、YOLOv4三种模型,其检测平均准确度高达97.8%,单张图片平均检测时间为297 ms。结果表明该研究对SIM卡壳的缺陷检测上有一定的实用性,可满足工业检测需求。 展开更多
关键词 sim卡壳 缺陷检测 深度学习 YOLOv5s
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基于超级SIM卡的数字人民币硬钱包应用研究 被引量:1
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作者 袁媛 郑建兵 +1 位作者 许军 郭书芳 《江苏通信》 2023年第5期61-63,共3页
随着数字人民币技术的全域试点,基于数字人民币软钱包应用日益丰富,但硬钱包的案例却鲜有落地。数字人民币硬钱包是以安全芯片为载体,实现数字人民币的相关支付功能,支持离网状态下“碰一碰”使用,操作简单,对老人及儿童较为友好。本文... 随着数字人民币技术的全域试点,基于数字人民币软钱包应用日益丰富,但硬钱包的案例却鲜有落地。数字人民币硬钱包是以安全芯片为载体,实现数字人民币的相关支付功能,支持离网状态下“碰一碰”使用,操作简单,对老人及儿童较为友好。本文基于超级SIM卡安全芯片能力,存储数字人民币币串实现双离线交易,打造了具有运营商特色的数字人民币硬钱包产品SIMPAY。SIMPAY是超级SIM卡技术和数字人民币技术的创新融合,同时也为数字人民币硬钱包技术的实际应用提出了新的思路和解决方案。 展开更多
关键词 超级sim 数字人民币 软钱包 硬钱包 NFC
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LC-SIM-Orbitraq测定无土栽培水芹不同器官中有机酸含量
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作者 刘杰 刘吉祥 +4 位作者 常雅军 陈婷 刘晓静 孙林鹤 姚东瑞 《中国瓜菜》 CAS 北大核心 2023年第9期80-86,共7页
以水面无土栽培水芹品种金陵1号为材料,通过液相色谱串联电喷雾质谱法(LC-SIM-Orbitraq)测定不同器官中的有机酸种类和含量。经过色谱条件的优化,25种有机酸得到较好的分离,在1×10^(-3)~10μg·mL^(-1)的质量浓度范围内线性关... 以水面无土栽培水芹品种金陵1号为材料,通过液相色谱串联电喷雾质谱法(LC-SIM-Orbitraq)测定不同器官中的有机酸种类和含量。经过色谱条件的优化,25种有机酸得到较好的分离,在1×10^(-3)~10μg·mL^(-1)的质量浓度范围内线性关系良好,相关系数在0.9910~0.9999之间;在0.5、5、20μg·mL^(-1)的添加质量浓度下,加标回收率在50.39%~125.32%之间;样品稳定性较好,日内稳定性在0.28%~3.99%之间,日间稳定性在0.41%~6.63%之间。结果表明,金陵1号水芹不同器官中有机酸以草酸、苹果酸、琥珀酸、柠檬酸、奎尼酸和莽草酸为主,其中,根中草酸含量(w)最高,达(32094.08±1600.77)μg·g^(-1),这可能是水芹环境适应性强的主要原因之一;而茎、叶中苹果酸、琥珀酸和柠檬酸含量较高,说明茎、叶口感风味更佳;此外,奎尼酸和莽草酸在茎、叶中含量相对较高,可将水芹用于奎尼酸和莽草酸的提取或功能保健食品的开发,具有较大的资源化利用潜力。 展开更多
关键词 水芹 无土栽培 液相色谱串联电喷雾质谱法(LC-sim-Orbitraq) 有机酸 含量
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高分辨率钼/硅纳米多层膜TOF-SIMS和Pulsed-RF-GDOES深度谱的定量分析
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作者 马泽钦 李海鸣 +6 位作者 庄妙霞 李婷婷 李镇舟 蒋洁 连松友 王江涌 徐从康 《真空》 CAS 2023年第1期17-22,共6页
飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)和脉冲射频辉光放电发射光谱(Pulsed-RF-GDOES)是两种重要的深度剖析技术,前者广泛应用于半导体工业的质量控制,后者主要应用于工业涂层及表面氧(氮)化层的分析。Mo/Si纳米多层膜由于其出色的反射特性被... 飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)和脉冲射频辉光放电发射光谱(Pulsed-RF-GDOES)是两种重要的深度剖析技术,前者广泛应用于半导体工业的质量控制,后者主要应用于工业涂层及表面氧(氮)化层的分析。Mo/Si纳米多层膜由于其出色的反射特性被广泛应用于纳米光刻、极紫外显微镜等领域。本文利用原子混合-粗糙度-信息深度(MRI)模型分辨率函数,通过卷积及反卷积方法分别对Mo(3.5nm)/Si(3.5nm)多层膜的TOF-SIMS和Pulsed-RF-GDOES深度谱数据进行了定量分析,获得了相应的膜层结构、膜层间界面粗糙度及深度分辨率等信息。结果表明:GDOES深度剖析产生了较大的溅射诱导粗糙度,SIMS的深度分辨率优于GDOES。 展开更多
关键词 Pulsed-RF-GDOES TOF-simS MRI模型 深度分辨率 卷积 反卷积
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