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A Novel Integrated PZT-Driven Micropump and Microvalve
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作者 Zhaoxin Geng Dafu Cui Haining Wang Changchun Liu Bo Su 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A03期540-542,共3页
According to the'elastic buffer mechanism'and the'variable gap mechanism',a new device,which is both micropump and active microvalve actuated by PZT bimorph cantilever,was fabricated with polydimethyis... According to the'elastic buffer mechanism'and the'variable gap mechanism',a new device,which is both micropump and active microvalve actuated by PZT bimorph cantilever,was fabricated with polydimethyisiloxane (PDMS) and silicon chip.The thickness of the micropump membrance is about 180μm.The diameter and the depth of micropump chamber cavity are 6 mm and 40μm,respectively.The performances of the micropump,such as pump rate and backpressure,were characterized.As a flow-rectifying element,the diffusers and active valve were used instead of passive check valves.The flow rate and the backpressure of the micropump are about 420μL/min and 2 kPa when applying a 100 V square wave driving voltage at frequency of 35 Hz. 展开更多
关键词 MICROPUMP microvalve PZT PDMS
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Experimental study on unloading induced shear performances of 3D saw-tooth rock fractures 被引量:5
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作者 Qian Yin Xinxin Nie +3 位作者 Jiangyu Wu Qi Wang Kaiqi Bian Hongwen Jing 《International Journal of Mining Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第4期463-479,共17页
A fractal model governing saw-tooth fractures was first introduced to replicate sandstone samples containing an inclined 3D penetrating rough fracture surface with various joint roughness coefficients(JRC).In conventi... A fractal model governing saw-tooth fractures was first introduced to replicate sandstone samples containing an inclined 3D penetrating rough fracture surface with various joint roughness coefficients(JRC).In conventional triaxial compression,the peak strength for fractured samples increased with both confining pressure and JRC.During the unloading confining pressure process,the normal stress of fractures declined but the shear stress increased,resulting in shear sliding of fractures.The shear displacement of fractures exponentially increased,and the positive normal displacement decreased gradually to negative values under coupling effects of shear contraction caused by normal stress and shear dilation due to climbing effects of fractures.Transition from quasi-static to dynamic sliding of the fractures was identified.The sliding resistance duration increased with confining pressure but decreased with JRC.After prepeak unloading,the fracture surfaces presented a more significant surface wear response and JRC values decreased by 1.70%–59.20%due to more remarkable asperity degradation compared with those after conventional triaxial compression.The theoretical model for shear strength of fractures was established through improving the Ladanyi&Archambault model by introducing the relations between normal stress and surface wear ratios of fractures,which agreed well with the experimental results. 展开更多
关键词 saw-tooth fracture surfaces Pre-peak unloading Shear sliding Normal displacement JRC values
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Transportation of Two Coupled Particles in an Asymmetric Saw-Tooth Potential
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作者 孔令伟 万荣正 方海平 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第2期13-16,共4页
Based on a simple model, we theoretically show the transport behaviors of two harmonically coupled Brownian particles in an asymmetric saw-tooth potential with two slopes. The coupled particles are subject to stochast... Based on a simple model, we theoretically show the transport behaviors of two harmonically coupled Brownian particles in an asymmetric saw-tooth potential with two slopes. The coupled particles are subject to stochastic fluctuations. It is found that when the equilibrium distance of the coupled particles is between the two slopes of the potential, the transport direction of the coupled particles will be reversed with a certain harmonic coupling strength. This current reversal can be easily understood with the near rigid approximation, where the two coupled particles can be regarded as a single particle in an effective potential. Compared with the original saw-tooth potential, the asymmetry of the effective potential could be reversed when the equilibrium distance is between the two slopes of the original potential, which results in the current reversal. 展开更多
关键词 of on be in Transportation of Two Coupled Particles in an Asymmetric saw-tooth Potential for is that
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基于微阀流阻控制单液滴分离的研究
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作者 兰宇伟 周扬 +2 位作者 吴嫚 贾春平 赵建龙 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第12期54-57,共4页
目前的液滴分离方法难以克服流体中液滴随机分布的问题,导致难以实现稳定的单液滴分离,因此分离过程中存在较多的液滴损失。针对上述问题,通过对液滴进行密排减少其间距来消除这一影响,而后间距被增加来控制液滴的间隔。使用微阀将液滴... 目前的液滴分离方法难以克服流体中液滴随机分布的问题,导致难以实现稳定的单液滴分离,因此分离过程中存在较多的液滴损失。针对上述问题,通过对液滴进行密排减少其间距来消除这一影响,而后间距被增加来控制液滴的间隔。使用微阀将液滴间隔随压强变化的斜率降低了1000倍以上,从而实现精确的间隔控制。固定间隔的液滴通过毛细管被收集,稳定状态下可实现5滴/min的无损失分离。 展开更多
关键词 液滴分离 微阀 流阻控制 液滴转移
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微流控系统中微泵和微阀的研究与挑战
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作者 刘林波 蒋卓 +1 位作者 申旋旋 何叶 《食品与机械》 CSCD 北大核心 2024年第2期9-20,27,共13页
微流控芯片是由微流体系统中的驱动元件——微流体泵和控制元件——微流阀来实现微流体准确操纵。随着微流控芯片集成程度的不断提高,液体流道变得更加复杂且体积更加微小,如何在微小尺度上实现流体驱动和控制就成了芯片设计中的一个重... 微流控芯片是由微流体系统中的驱动元件——微流体泵和控制元件——微流阀来实现微流体准确操纵。随着微流控芯片集成程度的不断提高,液体流道变得更加复杂且体积更加微小,如何在微小尺度上实现流体驱动和控制就成了芯片设计中的一个重点。文章针对微泵与微阀的国内外研究现状、关键技术及发展趋势进行阐述,旨在为相关产业的发展及技术研究等方面提供借鉴与参考。 展开更多
关键词 微流控 芯片 微泵 微阀 微流体
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基于胶膜转印的气动微阀及微流控芯片
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作者 徐校杰 田浩为 +2 位作者 邱晔 吴梦希 刘军山 《微纳电子技术》 CAS 2024年第10期100-107,共8页
微阀是微流控芯片的重要部件,然而现有的微阀存在加工复杂、不利于批量生产等缺点,限制了微流控芯片的应用范围。研发了基于胶膜转印的胶粘键合方法,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流道和聚二甲硅氧烷(PDMS)柔性薄膜制备了带有气动微阀... 微阀是微流控芯片的重要部件,然而现有的微阀存在加工复杂、不利于批量生产等缺点,限制了微流控芯片的应用范围。研发了基于胶膜转印的胶粘键合方法,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流道和聚二甲硅氧烷(PDMS)柔性薄膜制备了带有气动微阀的微流控芯片。通过调节转印参数,在PDMS薄膜上可控地制备了厚度约为1μm胶膜,随后利用微米级的胶膜实现了PDMS薄膜与PMMA微流道层的胶粘键合,既避免了微流道的堵塞,又保证了微流道结构的精确性。设计并制备了由上层气体流道、中间柔性薄膜和下层液体流道构成的气动微阀,由上层气体流道内输入气压驱动PDMS薄膜向下层的液体流道变形以实现流体控制功能。构建了静力学模型分析微阀的关闭特性,根据薄膜变形的仿真结果优化微阀结构,确保微阀的有效截止。经测试,微阀具有优异的开关特性,关闭的响应时间为550ms,开启的响应时间为200ms。表征了不同气体和液体压强下的体积流量变化规律,验证了气动微阀可以实现对流体体积流量的精准调控。通过研发胶膜转印工艺实现了PMMA和PDMS的高效无损键合,开发了适合大规模制造的气动微阀,为微流控芯片进一步的实际应用开辟了新的途径。 展开更多
关键词 气动微阀 微流控芯片 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 胶粘键合 转印
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微流体系统中微阀的研究现状 被引量:9
7
作者 肖丽君 陈翔 +2 位作者 汪鹏 李以贵 陈迪 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第2期91-98,共8页
依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。... 依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。分别讨论了各种微阀的工作原理和性能,介绍了各类微阀的实验研究进展,指出了这些微阀的特点,突出了微阀作为微流体系统的主要元件之一,起到径流调节、开/关转换、密封生物分子和微/纳粒子等作用。回顾了微阀的发展历程,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了微阀今后的研究方向。 展开更多
关键词 微流体系统 有源微阀 无源微阀 常闭型微阀 常开型微阀
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悬臂梁式微型阀 被引量:10
8
作者 尹执中 庞江涛 +1 位作者 胡桅林 过增元 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第3期38-40,43,共4页
分析了悬臂梁微型阀的静态过流特性 ,得到了阀的静态压差 -流量曲线并与实验结果比较。采用悬臂梁的振动微分方程分析了悬臂梁式微型阀的动态过流特性。当阀片两侧的压差随时间变化时 ,阀片的启闭与压差的变化之间存在一定的相位差 ,有... 分析了悬臂梁微型阀的静态过流特性 ,得到了阀的静态压差 -流量曲线并与实验结果比较。采用悬臂梁的振动微分方程分析了悬臂梁式微型阀的动态过流特性。当阀片两侧的压差随时间变化时 ,阀片的启闭与压差的变化之间存在一定的相位差 ,有可能引起泄漏甚至反向流动。对阀片的几何尺寸对动态过流特性的影响进行了分析。 展开更多
关键词 微型阀 振动 流动 悬臂梁式
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微流动系统的发展概况 被引量:24
9
作者 尹执中 胡桅林 过增元 《流体机械》 CSCD 北大核心 2000年第4期33-36,共4页
概括介绍了微流动系统的发展情况 ,特别介绍了微型传感器、微型泵、微型阀。
关键词 微机电系统 微流动系统 微型传感器 微型泵
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微型泵和微型阀的进展 被引量:13
10
作者 李勇 周兆英 叶雄英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期56-60,共5页
微型泵、阀及微量流体控制系统由于其广泛的应用前景,成为微型机械研究中一活跃的分支。本文着重介绍微型泵、阀的研究现状,论述微型泵、阀的结构设计,致动原理及其实现性能等。
关键词 微型机械 阀门 制造
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微流体驱动与控制系统的研究进展 被引量:11
11
作者 赵士明 赵静一 +2 位作者 李文雷 王立亚 郭锐 《制造技术与机床》 北大核心 2018年第7期40-47,共8页
随着微流控系统的应用越来越广泛,微米尺度和纳米尺度器件微通道内的流动逐渐成为了研究的热点。重点阐述了微流控系统的驱动元件——微泵、控制元件——微阀的研究现状,介绍了学者们研制的各种微泵、微阀的工作原理与结构特点,指出了... 随着微流控系统的应用越来越广泛,微米尺度和纳米尺度器件微通道内的流动逐渐成为了研究的热点。重点阐述了微流控系统的驱动元件——微泵、控制元件——微阀的研究现状,介绍了学者们研制的各种微泵、微阀的工作原理与结构特点,指出了微流体驱动控制系统泄漏、结构复杂、成本偏高等问题依然存在,并对微驱动控制的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 微流体 微通道 微泵 微阀
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形状记忆合金微型阀的研制 被引量:11
12
作者 米智楠 钱晋武 +2 位作者 龚振邦 李旻 智计龙 《机床与液压》 北大核心 2001年第1期20-21,共2页
本文阐述了形状记忆合金的特性,形状记忆合金作为驱动元件,具有结构紧凑、功率重量比大、易控制等优点,大大推动了微型机器人的发展。本课题利用形状记忆合金作为驱动元件,开发了微型气动阀,实现了与微机器人主体的集成。
关键词 形状记忆合金 气动微型阀 微型机器人 研制
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Parylene薄膜及其在MEMS中的应用 被引量:7
13
作者 王亚军 刘景全 +2 位作者 杨春生 沈修成 郭忠元 《微纳电子技术》 CAS 2008年第7期403-410,415,共9页
介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用... 介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。 展开更多
关键词 聚对二甲苯 微阀 微泵 微通道 人工耳蜗 视网膜假体 微机电系统
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丙酮污染对微型机械制冷机性能影响的实验研究 被引量:4
14
作者 杨宝玉 吴亦农 +1 位作者 府华 曲晓萍 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期25-29,共5页
设计微型高压阀直接向机械制冷机内在线、连续地添加污染杂质,提出了制冷机丙酮污染的强化加速实验方案,从量化角度深入研究了污染对回热式机械制冷机性能影响的规律。实验分析表明,随着丙酮添加量的增加,制冷能力首先稍微增强,然后在42... 设计微型高压阀直接向机械制冷机内在线、连续地添加污染杂质,提出了制冷机丙酮污染的强化加速实验方案,从量化角度深入研究了污染对回热式机械制冷机性能影响的规律。实验分析表明,随着丙酮添加量的增加,制冷能力首先稍微增强,然后在42 mg和121 mg时分别出现了性能衰变的拐点。在间歇性开机时还发现了制冷机污染效应的时延现象。结合传热、流阻等理论对实验规律进行了分析讨论,为机械制冷机的可靠性技术和寿命预测研究奠定了基础。 展开更多
关键词 机械制冷机 污染 丙酮 微型高压阀 回热器
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基于微通道构型的微流体流动控制研究 被引量:4
15
作者 黄永光 刘世炳 +1 位作者 陈涛 宋海英 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2009年第1期69-78,共10页
微通道不仅仅是作为流体流动的单元,更是进行流体控制的工具,微通道自身特性和特征用在实现微流体的驱动、进样、混合、分离以及液滴的产生、控制等方面已经表现出了良好的效果.由于微通道中比表面积非常大,表面效应极大影响流体流动,... 微通道不仅仅是作为流体流动的单元,更是进行流体控制的工具,微通道自身特性和特征用在实现微流体的驱动、进样、混合、分离以及液滴的产生、控制等方面已经表现出了良好的效果.由于微通道中比表面积非常大,表面效应极大影响流体流动,近年来多数研究集中在应用表面效应来实现微流体驱动与控制,而以利用微通道结构特征实现流体流动控制为目标的研究成果相对较少.为了提高对通道构型作用的认识,主要介绍了基于微通道构型的无可动部件的流体微阀和基于微通道构型微小液滴的产生及流动控制器两个方面的发展情况,表明微通道构型在微流体控制中同样可以发挥重要作用,甚至有望带来微流控技术的突破. 展开更多
关键词 微流体 微流控 微通道 流体控制 液滴 微阀
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新型压电微泵的结构设计与理论分析 被引量:4
16
作者 耿照新 崔大付 +1 位作者 王海宁 刘长春 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第12期82-84,88,共4页
微泵在微流控化学分析芯片中有很大的应用前景,日益成为人们研究的热点。从结构设计、理论分析和工艺加工3个方面研究了微阀与微泵,设计出用压电驱动和聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜的集成微阀与微泵,其特点是原理新颖、结构简单、易于... 微泵在微流控化学分析芯片中有很大的应用前景,日益成为人们研究的热点。从结构设计、理论分析和工艺加工3个方面研究了微阀与微泵,设计出用压电驱动和聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜的集成微阀与微泵,其特点是原理新颖、结构简单、易于加工、操作方便。结构主要是由PDMS泵膜、硅片和压电驱动器组成,其中,PDMS既是泵膜和缓冲单元,也是主动阀片。在直流电压的驱动下,其工作状态是微阀,阻止流体的单向流通,在方波信号的驱动下,其工作状态是微泵,实现流体的吸入与泵出。给出各种几何参数、工作原理和工艺流程。 展开更多
关键词 压电 微泵 微阀 聚二甲基硅氧烷
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基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制 被引量:4
17
作者 耿照新 邢冰冰 丁仁伟 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第2期113-119,共7页
为解决微泵自吸困难、难以实现流速精确控制等问题,利用MEMS技术研制出具有三明治结构和两被动阀的压电驱动微泵,其中泵腔、泵膜和阀片分别由硅、聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8构成.从理论上,分别对气体和液体微泵的工作原理、被动阀性能... 为解决微泵自吸困难、难以实现流速精确控制等问题,利用MEMS技术研制出具有三明治结构和两被动阀的压电驱动微泵,其中泵腔、泵膜和阀片分别由硅、聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8构成.从理论上,分别对气体和液体微泵的工作原理、被动阀性能以及结构参数对微泵工作性能的影响进行了分析.综合两类微泵特点,提出了气液两用微泵设计方案、工艺流程及其优化方案.在不同驱动电压条件下测试了具有不同形状泵腔、不同阀口尺寸和不同类型阀片结构的微泵.实验结果表明,该微泵可用于气体和液体介质,气、液体的最大流量分别达到53.6mL/min和1 280μL/min;泵腔高度影响到微泵的体积压缩比,是影响微泵自吸的一个重要因素.该泵具有结构简单、自吸、低成本、易于加工及操作方便的特点. 展开更多
关键词 MEMS 微泵 微阀 SU-8
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两种压电驱动自吸微泵的研制与性能比较 被引量:4
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作者 耿照新 崔大付 刘长春 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2006年第4期320-325,共6页
微泵是微全分析系统中的重要单元.为解决微泵加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题,研制了两种应用于微流控系统中的压电驱动微泵.一种是将聚二甲基硅氧烷(PDMS)泵膜、单主动阀片和弹性缓冲单元集于一体的微泵,另一种是主动阀片与被... 微泵是微全分析系统中的重要单元.为解决微泵加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题,研制了两种应用于微流控系统中的压电驱动微泵.一种是将聚二甲基硅氧烷(PDMS)泵膜、单主动阀片和弹性缓冲单元集于一体的微泵,另一种是主动阀片与被动阀相结合的微泵,这两种微泵都适用于气体和液体工作物质,实现自吸,具有结构简单、易于加工及操作方便的特点.讨论了微泵的工作原理、工艺流程、工作性能及结构参数对微泵工作性能的影响,解决了加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题.在电压100V(35Hz条件下)和零背压的工作条件下,单主动阀微泵的最大液体泵速为5000μL/min,最大背压为5kPa;主动阀与被动阀相结合微泵的最大液体泵速5410μL/min,最大背压15kPa.后者背压与流速明显比前者的性能要好很多,尤其是背压方面. 展开更多
关键词 压电 微泵 微阀 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
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基于微流控技术的新型PDMS平面微阀 被引量:3
19
作者 倪君辉 李蓓智 +1 位作者 杨建国 LIN Qiao 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第3期85-87,共3页
针对常规微阀结构较为复杂,存在着制作成本较高、难于加工和不易系统集成等问题,提出了一种设计简单的柔性阀片-阀塞结构的PDMS平面微阀的研究。微阀的制作采用了标准PDMS模塑法微细加工工艺。测试结果表明微阀工作性能良好,反向泄漏量... 针对常规微阀结构较为复杂,存在着制作成本较高、难于加工和不易系统集成等问题,提出了一种设计简单的柔性阀片-阀塞结构的PDMS平面微阀的研究。微阀的制作采用了标准PDMS模塑法微细加工工艺。测试结果表明微阀工作性能良好,反向泄漏量可以减少到0.1 mL/min,而微阀的正/反向流量比可以达到41∶1,满足了微流体控制系统对流量调节的要求,可广泛应用于各种微流控系统中。 展开更多
关键词 PDMS 微阀 微流控芯片 微机电系统
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基于声表面波聚二甲基硅氧烷薄膜形变研究 被引量:3
20
作者 章安良 付相庭 查燕 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期6-9,共4页
提出了一种新的聚二甲基硅氧烷薄膜形变方法。在128°YX-LiNbO3压电基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波在压电基片上亲水表面的阻力共同作用下挤压微槽内水相微流体,使得其上的聚二甲基硅氧烷薄膜发生形变。采用红色染料溶液微... 提出了一种新的聚二甲基硅氧烷薄膜形变方法。在128°YX-LiNbO3压电基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波在压电基片上亲水表面的阻力共同作用下挤压微槽内水相微流体,使得其上的聚二甲基硅氧烷薄膜发生形变。采用红色染料溶液微流体为实验对象进行聚二甲基硅氧烷薄膜形变实验,结果表明,所提出的方法可有效实现聚二甲基硅氧烷薄膜形变,且与激发声表面波的电信号功率、水相微流体的体积及薄膜厚度有关。在13μL水相微流体,薄膜厚为12.5μm,电信号功率为26.5dBm时,薄膜最小形变距离为280μm。 展开更多
关键词 薄膜 形变 声表面波 微阀 微流器件
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