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自然崩落法矿山矿岩赋存特征精细调查与辅助致裂崩落效果研究
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作者 李文 刘育明 +6 位作者 夏长念 王鑫 吴岩 彭华 陈小伟 杨成虎 王泽泽 《中国矿山工程》 2024年第1期15-24,共10页
自然崩落法采矿技术对矿岩赋存特征要求严苛,矿岩崩落特性直接影响自然崩落法矿山矿岩崩落速率及出矿块度。通过人工辅助致裂增加矿岩体内部裂隙发育程度实现矿岩预处理,是当前国外自然崩落法矿山生产过程的重要技术手段。本文以我国首... 自然崩落法采矿技术对矿岩赋存特征要求严苛,矿岩崩落特性直接影响自然崩落法矿山矿岩崩落速率及出矿块度。通过人工辅助致裂增加矿岩体内部裂隙发育程度实现矿岩预处理,是当前国外自然崩落法矿山生产过程的重要技术手段。本文以我国首座自然崩落法矿山铜矿峪矿向深部转移首采区开采工程为背景,开展了矿岩赋存特征精细调查与水压致裂矿岩预处理试验研究。结果表明:铜矿峪矿410 m中段5号矿体首采区矿岩坚硬、中等完整~较完整,岩体质量等级为Ⅱ~Ⅲ类,矿岩中等可崩~难崩,矿岩崩落破碎特性为中等破碎~大块较多;岩体赋存特征精细调查对于深入了解矿岩崩落特性意义重大;通过钻孔摄像技术获取了水压致裂矿岩预处理试验前后钻孔孔壁图像并揭示了水压致裂过程产生的新裂隙,有效改善了矿岩结构面发育程度;通过对崩落顶板监测及出矿口块度统计分析显示首采区生产期崩落速率提高了3倍多、出矿口大块率降低了58.3%,为铜矿峪矿转深部开采过渡期产能平稳衔接提供了坚实保障;初步形成了水压致裂矿岩预处理技术及装备体系,可支撑我国现代自然崩落法采矿技术进一步推广应用。 展开更多
关键词 自然崩落采矿法 矿岩预处理 水压致裂法 地应力测试 出矿块度 崩落速率
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某型精密跟踪成像雷达模拟训练系统设计
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作者 邱磊 《科技资讯》 2024年第5期61-65,共5页
针对航天工程大学雷达工程专业装备操作教学需求,开展精密跟踪成像雷达模拟训练系统设计。首先设计精密跟踪成像雷达模拟训练系统架构,分为应用层、服务层、数据层和基础层4个层次,然后对关键模块包括推演导调、综合模拟、任务规划、训... 针对航天工程大学雷达工程专业装备操作教学需求,开展精密跟踪成像雷达模拟训练系统设计。首先设计精密跟踪成像雷达模拟训练系统架构,分为应用层、服务层、数据层和基础层4个层次,然后对关键模块包括推演导调、综合模拟、任务规划、训练评估以及信号处理、跟踪处理、宽带成像、特征提取与识别等分别进行设计。研究表明:所提系统架构和模块设计可以为同领域相控阵雷达等开展模拟训练研究等提供技术参考,具有一定的工程应用价值。 展开更多
关键词 跟踪测量雷达 实战化 成像雷达 识别
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智能浮选控制系统在中心选煤厂的应用
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作者 侯玉茂 杨文娣 +4 位作者 贺文鹏 孔春朋 张鹏 郭英真 王绍敏 《煤炭加工与综合利用》 CAS 2024年第6期40-42,共3页
新矿内蒙古能源有限责任公司洗煤分公司中心洗煤厂为提高浮选控制精度,降低人为操作误差,对现有二次浮选工艺系统进行智能化改造,根据入料流量、浓度等数预先判定加药量,利用一次尾矿灰分反馈调节一次浮选加药量,实现浮选过程数据化、... 新矿内蒙古能源有限责任公司洗煤分公司中心洗煤厂为提高浮选控制精度,降低人为操作误差,对现有二次浮选工艺系统进行智能化改造,根据入料流量、浓度等数预先判定加药量,利用一次尾矿灰分反馈调节一次浮选加药量,实现浮选过程数据化、可视化,保证了浮选过程控制稳定。 展开更多
关键词 选煤厂 二次浮选 智能化 药剂计量 浮选尾矿 图像特征
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基于CGAN的抽油机电参数反演示功图研究
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作者 李翔宇 邓昱航 袁春华 《沈阳理工大学学报》 CAS 2024年第3期1-9,共9页
示功图的精准测量在有杆抽油系统故障诊断中非常重要,针对载荷传感器直接测量法维护成本高、稳定性差,电参数间接测量法精度低、应用性不强的问题,提出一种基于条件生成对抗网络(CGAN)的电参数反演示功图混合模型。首先建立将电参数和... 示功图的精准测量在有杆抽油系统故障诊断中非常重要,针对载荷传感器直接测量法维护成本高、稳定性差,电参数间接测量法精度低、应用性不强的问题,提出一种基于条件生成对抗网络(CGAN)的电参数反演示功图混合模型。首先建立将电参数和机构参数转化光杆位移和负载的机理模型,生成粗糙的示功图样本数据;然后利用CGAN在图像转换领域的应用,建立粗糙示功图数据细化器,实现粗糙示功图与实测示功图之间的图像转化,使粗糙示功图与实测示功图更加相似;此外,为了使CGAN能更好地提取示功图轮廓,在生成器中加入自注意力机制进行改进。通过现场实测的电参数和示功图历史数据进行验证,结果表明该方法对比纯机理模型反演示功图的精度有显著提高。 展开更多
关键词 示功图测量 电参反演 条件生成对抗网络 图像转化
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基于图像识别的二次安全措施布置工具开发
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作者 廖卉莲 李帅兵 +3 位作者 彭华坤 杨凯楠 王笑倩 卢晓光 《电工电气》 2024年第6期40-43,共4页
为提升特高压换流站二次安全措施的标准化作业流程,提高工作效率,降低失误率,开发了基于图像识别的二次安全措施布置工具。设计了带自锁功能可测电流的便携式试验线,通过在接线过程中实时显示电流和接触压力避免端子虚接,利用自锁功能... 为提升特高压换流站二次安全措施的标准化作业流程,提高工作效率,降低失误率,开发了基于图像识别的二次安全措施布置工具。设计了带自锁功能可测电流的便携式试验线,通过在接线过程中实时显示电流和接触压力避免端子虚接,利用自锁功能解决接线误碰脱落;开发了基于图像识别的复原校核装置,实现端子连片及保护压板复原自动校核。该工具在某换流站进行了应用试验,结果表明,压板首次复原失误率为3.56%,软件复原效验检出率可达100%,提升了特高压换流站供电的可靠性。 展开更多
关键词 图像识别 二次安全措施 边缘检测 特高压 自锁功能 保护压板
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Assessing Users’ Perceptions of the Current Maintenance Disorder of Public Secondary School in Ogun, Nigeria
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作者 Oladunni Oluwatoyin Izobo-Martins Eghosa Noel Ekhaese +1 位作者 Emmanuel Olakunle Ayo-Vaghan Abiodun Olukayode Olotuah 《Journal of Building Construction and Planning Research》 2018年第2期90-101,共12页
The challenges facing public schools are multifaceted and include: teachers dissatisfaction, non-commitment of educators, chronic absenteeism by educators, low morale, poor work ethics by educators, late coming of bot... The challenges facing public schools are multifaceted and include: teachers dissatisfaction, non-commitment of educators, chronic absenteeism by educators, low morale, poor work ethics by educators, late coming of both educators and learners, overcrowding in classes, lack of technical resources and many more. A cursory investigation of public secondary school buildings in Ado-Odo/Ota L.G.A shows its deplorable conditions of structural, aesthetical and decorative disrepair. Therefore the paper focused on examining users “perception of the present deplorable physical condition and neglect of public secondary school. The study engaged the use of quantitative method of analysis, employing the use of questionnaire administered randomly and distributed face-to-face to targeted despondences”. The result of findings revealed performance/productivity of building users depends largely on working and learning condition of building. The outcomes of the research would help policy makers, facilities maintenance experts and professionals alike to device a policy for regular maintenance of public building in other to enhance performance and increase productivity amongst users. 展开更多
关键词 Users’ PERCEPTIONS measuring PERCEPTIONS Maintenance Maintenance condition PUBLIC secondary SCHOOL
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复合式二次边缘检测的红宝石球直径高精度测量
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作者 高睿喆 田爱玲 +2 位作者 陈锋 杨栋 马跃洋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期1741-1751,共11页
为了对红宝石球直径进行非接触式、高精度测量,本文提出了一种复合式二次边缘检测法。首先,对拍摄到的红宝石球图像进行预处理后使用自适应阈值的Canny边缘检测算法对红宝石球图像进行一次边缘检测;其次,采用基于像素加权平均的图像融... 为了对红宝石球直径进行非接触式、高精度测量,本文提出了一种复合式二次边缘检测法。首先,对拍摄到的红宝石球图像进行预处理后使用自适应阈值的Canny边缘检测算法对红宝石球图像进行一次边缘检测;其次,采用基于像素加权平均的图像融合算法对红宝石球二值化图像与边缘检测图像进行融合,对融合后的图像进行边缘提取,选择三次样条插值法对边缘图像进行插值,通过曲线拟合获得图像边缘的亚像素坐标,根据坐标进行圆拟合,结合标定得到检测结果,完成复合式二次边缘检测,从而实现对红宝石球直径的高精度测量。实验结果表明:对6 mm的红宝石球直径测量,测量精度可达1.5μm,定位精度不超过0.1个像素,满足企业测量要求,为后续实现工业自动化检测提供了较好的技术支持。 展开更多
关键词 复合式二次边缘检测 高精度测量 图像融合 三次样条插值 曲线拟合
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陆基高光谱成像用于核驱动模型测量与地物分类
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作者 王强辉 沈学举 +3 位作者 周冰 华文深 应家驹 赵佳乐 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期614-622,共9页
高光谱成像是一种先进的图像获取技术,其在获得地物空间信息的同时还可以获得地物的光谱信息,得到“图谱合一”的三维图像数据。其光谱分辨率高,光谱曲线近似连续,可以有效探测用多光谱成像技术中无法探测的地物,在目标检测、地物分类... 高光谱成像是一种先进的图像获取技术,其在获得地物空间信息的同时还可以获得地物的光谱信息,得到“图谱合一”的三维图像数据。其光谱分辨率高,光谱曲线近似连续,可以有效探测用多光谱成像技术中无法探测的地物,在目标检测、地物分类与图像压缩等领域取得了广泛的应用。地物分类的分类结果是专题制图的基础数据,在军事、农业、地质等领域有重要地位了良好的效果。地物分类是指将图像中的像元赋予类别标签,即将同类地物赋予相同标签,不同类地物赋予不同标签。根据分类前是否已经获取目标的光谱信息,地物分类分为监督分类、半监督分类和无监督分类。然而,地物光谱受成像条件的影响较大,特别是陆基成像,不同成像条件的地物光谱会发生一定的改变,不再具有严格的唯一性,因此无法根据未知成像条件下的地物光谱数据进行准确分类。但是同种地物的散射系数(由特定算法获得的散射占比)具有唯一性,与成像条件或探测方向无关,不受二向反射特性的影响,只与地物类型及波长有关,是一种反映地物本质属性的物理量,因此可以作为地物的分类依据。基于陆基成像条件下测量了多种地物的散射系数,详细描述了散射系数的测量过程并且验证了核驱动模型的拟合能力。通过对比发现不同地物的散射系数具有较大的差异,进而提出了利用散射系数进行地物分类的方法。采用两组数据对该分类方法进行验证,并分别用投影、距离、信息量三种相似性度量指标定量地衡量了分类结果。实验表明,同种地物的散射系数几乎一致,与成像条件无关,只与地物类型有关,不同种地物的散射系数各不相同,利用散射系数可以有效地实现地物分类,取得了良好的效果。 展开更多
关键词 高光谱成像 陆基条件 散射系数 地物分类 相似性度量
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基于红外成像技术的变电二次设备状态检修及故障诊断
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作者 许婷 《通信电源技术》 2023年第24期225-228,共4页
目前,变电二次设备状态检修及故障诊断的特征提取处理效率较低,导致故障诊断红外温度特征向量的误差增加,为此提出分析与研究基于红外成像技术的变电二次设备状态检修及故障诊断。分割电力二次设备红外图像,采用多层级的方式,提高处理效... 目前,变电二次设备状态检修及故障诊断的特征提取处理效率较低,导致故障诊断红外温度特征向量的误差增加,为此提出分析与研究基于红外成像技术的变电二次设备状态检修及故障诊断。分割电力二次设备红外图像,采用多层级的方式,提高处理效率,提取多层级检修特征,实现输出检修结果及故障诊断节点部署,构建红外成像故障诊断模型,采用相对温差法实现最终故障诊断。测试结果表明,与传统声学变电二次设备状态检修及故障诊断测试组、传统深度学习变电二次设备状态检修及故障诊断测试组相比,设计的红外成像变电二次设备状态检修及故障诊断测试组最终得出的故障诊断红外温度特征向量误差被较好的控制在0.25以下,对于二次设备的状态检修及故障诊断处理效果更好,安全度更高,误差可控,具有实际的应用价值。 展开更多
关键词 红外成像技术 变电站 二次设备处理 状态检修 故障诊断 电力设备搭接
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PMMA微流控芯片微通道尺寸的检测 被引量:3
10
作者 文伟力 左春柽 +4 位作者 于建群 张学军 刘庆民 陈向伟 刘岩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期212-218,共7页
研究了一种基于光电耦合器件(CCD)及图像处理技术的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片微通道几何尺寸的测量系统,论述了该系统的关键技术及其实现方法,包括图像的预处理、二值化、轮廓提取以及微通道尺寸的测量等。利用该系统测量的微... 研究了一种基于光电耦合器件(CCD)及图像处理技术的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片微通道几何尺寸的测量系统,论述了该系统的关键技术及其实现方法,包括图像的预处理、二值化、轮廓提取以及微通道尺寸的测量等。利用该系统测量的微通道几何尺寸(1-1 000μm)与轮廓仪和万能工具显微镜的测量结果吻合很好,最大测量误差为2μm(半深宽度),分析了测量误差产生的原因。检测实验结果表明:该检测方法提供的微通道几何尺寸评定正确可行、通用性好、应用简便,还可以避免轮廓仪在深结构测量中的误差。 展开更多
关键词 微流控芯片 微细加工 CCD图像检测 尺寸测量 图像处理 二次标定
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固体火箭冲压发动机补燃室燃烧过程显示 被引量:6
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作者 胡建新 夏智勋 +5 位作者 张龙 郭健 张炜 申慧君 王德全 黄利亚 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期337-341,共5页
采用二维开窗式固体火箭冲压发动机试验系统,对补燃室内的燃烧现象进行观察,以火焰图像的形式直观形象地描述了进气道位置对补燃室内燃烧过程的影响,试验所采用的装药为含硼贫氧推进剂。并通过高速数字摄影仪摄取补燃室内部某个时刻瞬... 采用二维开窗式固体火箭冲压发动机试验系统,对补燃室内的燃烧现象进行观察,以火焰图像的形式直观形象地描述了进气道位置对补燃室内燃烧过程的影响,试验所采用的装药为含硼贫氧推进剂。并通过高速数字摄影仪摄取补燃室内部某个时刻瞬时火焰图像,借助于光学理论和计算机图像处理技术计算出整个补燃室内部的温度分布。 展开更多
关键词 固体火箭冲压发动机 补燃室 含硼推进剂 燃烧试验 温度测量 图像处理
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轴流泵非稳定工况下叶轮进口流场试验研究 被引量:19
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作者 杨华 孙丹丹 +1 位作者 汤方平 张雪峰 《排灌机械工程学报》 EI 2011年第5期406-410,共5页
在小流量工况下,由于轴流泵不稳定工况区(马鞍区)的存在,使其稳定运行的范围大大缩小.详细测量了轴流泵能量性能参数,获得了'双马鞍'形的扬程-流量曲线,采用PIV技术对0.73Qd,0.55Qd0,.43Qd及0.33Qd流量工况下的叶轮进口轴面流... 在小流量工况下,由于轴流泵不稳定工况区(马鞍区)的存在,使其稳定运行的范围大大缩小.详细测量了轴流泵能量性能参数,获得了'双马鞍'形的扬程-流量曲线,采用PIV技术对0.73Qd,0.55Qd0,.43Qd及0.33Qd流量工况下的叶轮进口轴面流场进行了二维流速测量.结果表明:小流量工况下,在叶轮进口靠近壁面处存在明显回流,回流区域随流量的减小而增大,同时叶轮进口轴面内湍流强度也随着流量减小而增大;相同工况下,轴向流速的湍流强度低于径向流速的湍流强度,靠近叶轮外壳处的湍流强度大于靠近轮毂处的湍流强度;通过流道壁面上的丝线示踪,显示了随着流量的减小,叶轮进口外壁处的流体由轴向流动向周向流动的演化过程.研究结果表明小流量工况下,轴流泵叶轮进口流场不稳定导致水泵效率偏低,为进一步提高水泵性能提供了参考. 展开更多
关键词 轴流泵 非稳定工况 PIV测量 流场 小流量
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基于黑白CCD传感器的近红外热像在线监测方法 被引量:12
13
作者 赵振兵 高强 +1 位作者 李然 俞晓雯 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2005年第8期83-86,共4页
设计了以黑白电荷耦合器件(CCD)传感器为核心器件的在线监测系统,该系统可通过探测 近红外辐射从而对变电站中一些电力设备进行监测;构建了测温模型,并分析了影响测温的一些因 素,计算了温度场分布;最后对发热设备进行了监测实验,采集... 设计了以黑白电荷耦合器件(CCD)传感器为核心器件的在线监测系统,该系统可通过探测 近红外辐射从而对变电站中一些电力设备进行监测;构建了测温模型,并分析了影响测温的一些因 素,计算了温度场分布;最后对发热设备进行了监测实验,采集了热图像并用小波算法进行了去噪 处理;实验结果表明了用该方法能探测到的最低温度为152℃。 展开更多
关键词 黑白CCD传感器 电力设备 在线监测 红外辐射 测温模型 热图像处理 小波去噪
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透平叶栅二次流瞬态特性的新测试方法 被引量:2
14
作者 王顺森 毛靖儒 +1 位作者 刘观伟 丰镇平 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1361-1366,共6页
为了解决常规粒子图像测速系统(PIV)对小于20%主流速度的弱次流场进行测量时无法得到可靠矢量场的问题,通过调整第二束片光使其沿主流方向偏移1~1.5mm来跟踪粒子运动,实现了对高速流动中弱二次流瞬态速度场的可靠测量.在此基础... 为了解决常规粒子图像测速系统(PIV)对小于20%主流速度的弱次流场进行测量时无法得到可靠矢量场的问题,通过调整第二束片光使其沿主流方向偏移1~1.5mm来跟踪粒子运动,实现了对高速流动中弱二次流瞬态速度场的可靠测量.在此基础上,组合调制4束激光片光的触发时序和空间位置,使不同时间触发的片光能跟踪粒子的运动,再结合2套互相关CCD和偏振光技术,可获得3组高时间分辨率的连续瞬态矢量场,从而实现了对非定常二次流质点运动及涡系结构演绎过程的跟踪测量. 展开更多
关键词 透平叶栅 粒子图像测速系统 非定常流 二次流 测试方法
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旋转气冷涡轮三维流场的实验与数值研究 被引量:4
15
作者 袁锋 竺晓程 杜朝辉 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第2期82-87,共6页
采用k-ε湍流模型对气冷涡轮在静止和旋转2种工况下三维流场进行数值计算,并与PIV测量结果进行对比。计算得到射流和主流的掺混区域三维速度以及射流尾迹区二次流动,k-ε湍流模型的计算结果与实验基本吻合。与静止涡轮流场相比,旋转状... 采用k-ε湍流模型对气冷涡轮在静止和旋转2种工况下三维流场进行数值计算,并与PIV测量结果进行对比。计算得到射流和主流的掺混区域三维速度以及射流尾迹区二次流动,k-ε湍流模型的计算结果与实验基本吻合。与静止涡轮流场相比,旋转状态下涡轮内部流场中存在的离心力、哥氏力的作用使射流与主流掺混流场三维速度发生改变,其中径向速度的改变明显。计算和实验结果表明,旋转对气冷涡轮叶片压力面侧流场的影响大于吸力面。同时,吹风比增大使射流与主流掺混流场区域以及射流尾迹区的范围扩大。 展开更多
关键词 气膜冷却涡轮 旋转状态 静止状态 三维流场 激光粒子测速仪测量 数值计算
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弹载星敏感器动态测角的分析 被引量:2
16
作者 王洪涛 罗长洲 +2 位作者 王渝 张兴华 赵述芳 《现代防御技术》 北大核心 2010年第1期37-41,共5页
分析了弹载星敏感器在动态条件下的测角精度。明确了弹载星敏感器成像模型及其安装方式,并在系统设计所要求的动态条件下,定性定量分析了前向飞行和姿态变化所引入的像移量和测角误差。结果表明,前行飞行不会带来像移,姿态变化会带来像... 分析了弹载星敏感器在动态条件下的测角精度。明确了弹载星敏感器成像模型及其安装方式,并在系统设计所要求的动态条件下,定性定量分析了前向飞行和姿态变化所引入的像移量和测角误差。结果表明,前行飞行不会带来像移,姿态变化会带来像移。因而需要补偿姿态变化所引入的像移量,从而提高弹载星敏感器在动态条件下的测角精度。 展开更多
关键词 星敏感器 像移量 测角误差 动态条件
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基于时频域模型的噪声故障诊断 被引量:10
17
作者 吕琛 王桂增 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2005年第2期54-57,61,共5页
为了避免传统的基于振动信号的内燃机主轴承磨损故障诊断中安装传感器以及提取故障特征频率的麻烦,采用一种基于内燃机工作噪声信号和时频域分析的方法。首先讨论了对内燃机噪声信号进行小波包络谱分析,得到可以判断主轴承磨损故障的特... 为了避免传统的基于振动信号的内燃机主轴承磨损故障诊断中安装传感器以及提取故障特征频率的麻烦,采用一种基于内燃机工作噪声信号和时频域分析的方法。首先讨论了对内燃机噪声信号进行小波包络谱分析,得到可以判断主轴承磨损故障的特征频率。然后,进一步阐述了采用噪声信号小波包分解,可得到包含更多故障信息时-频分布图。基于此,运用图像处理技术建立基于图像匹配的内燃机主轴承诊断模型。结果表明此方法简单有效,充分利用了故障信息。 展开更多
关键词 小波包 时-频分布 图像匹配 图像处理 噪声 故障诊断 状态监测
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数码相机谱线成像技术探索 被引量:2
18
作者 胡建人 秦会斌 +3 位作者 徐江荣 张智丰 唐学哲 梅红 《实验室研究与探索》 CAS 2006年第5期558-560,590,共4页
分析比较了数码相机和摄像机的特点和优势,利用数码相机的长焦距镜头、高像素、高灵敏度和彩色成像特性拍摄低照度谱线,获得了清晰的图样。介绍实验过程参数设置和调整要点、参数计算方法以及更高性能的同类设备。解决了背景干扰下的弱... 分析比较了数码相机和摄像机的特点和优势,利用数码相机的长焦距镜头、高像素、高灵敏度和彩色成像特性拍摄低照度谱线,获得了清晰的图样。介绍实验过程参数设置和调整要点、参数计算方法以及更高性能的同类设备。解决了背景干扰下的弱光数字化成像问题,减少了磁场电流变动以及实验设备的不确定因素,改进实验效果和提高实验质量。 展开更多
关键词 数码相机 光谱测量 CCD 成像条件 相机参数设置 F-P干涉仪 短曝光 磁场变动
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位移法测凸透镜焦距的误差分析 被引量:1
19
作者 徐航 杜忠明 +1 位作者 熊飞峤 张真 《遵义师范学院学报》 2011年第6期100-102,共3页
焦距是透镜的重要参数之一,透镜成像的位置和性质与焦距有关。通过对位移法测凸透镜焦距的研究,得出在相同测量条件下D(物屏与像屏间距)的选取与测量误差的关系,总结出D值的大小对不确定度的影响规律。
关键词 凸透镜焦距 两次成像 测量条件 误差分析 不确定度
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绝缘膜负带电时的表面局部电场与二次电子返回特性 被引量:2
20
作者 冯仁剑 张海波 +1 位作者 王顺勇 Katsumi URA 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期87-92,共6页
为分析 IC多层版图扫描电镜 (SEM)对准检测所利用的负带电成像原理 ,采用 Mott弹性散射截面和修正的Bethe非弹性碰撞公式 ,对点照射入射电子在绝缘膜中的散射过程进行了 Monte Carlo模拟 ,得到负带电绝缘物表面的局部电位分布 .在此基... 为分析 IC多层版图扫描电镜 (SEM)对准检测所利用的负带电成像原理 ,采用 Mott弹性散射截面和修正的Bethe非弹性碰撞公式 ,对点照射入射电子在绝缘膜中的散射过程进行了 Monte Carlo模拟 ,得到负带电绝缘物表面的局部电位分布 .在此基础上计算了二次电子从表面出射后在局部场作用下的运动轨迹 ,获得了 SEM像的二次电子信号电流 .结果表明 ,在弱负带电条件下 ,照射点处表面电位越低 ,返回表面的二次电子就越多 ,对应的二次电子信号电流越弱 .此结果与 展开更多
关键词 扫描电镜 图像衬度 绝缘膜 负带电 二次电子 MONTE CARLO模拟 集成电路测试
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