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基于有限元分析的MEMS热电制冷器仿真设计研究
被引量:
1
1
作者
薛伟
何野
+1 位作者
张一鸣
徐帆
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2013年第12期55-57,60,共4页
优化的结构对设计具有较高热电转换效率的微型MEMS热电制冷器具有重要的意义。应用伽辽金有限元法构造了热电效应的耦合控制方程组,通过计算机仿真,采用数值计算的方法考察了微型MEMS热电制冷器模型中P,N级材料长短,横截面积和基底材料...
优化的结构对设计具有较高热电转换效率的微型MEMS热电制冷器具有重要的意义。应用伽辽金有限元法构造了热电效应的耦合控制方程组,通过计算机仿真,采用数值计算的方法考察了微型MEMS热电制冷器模型中P,N级材料长短,横截面积和基底材料厚度的变化对微型MEMS热电制冷器件热电转换效率的影响,对设计高效的微型MEMS热电制冷器件提供了一种理论依据。
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关键词
微机电系统
热电制冷器
有限元分析
塞贝克效应
帕尔贴效应
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职称材料
题名
基于有限元分析的MEMS热电制冷器仿真设计研究
被引量:
1
1
作者
薛伟
何野
张一鸣
徐帆
机构
南京工业大学电子与信息工程学院
江苏英特神斯科技有限公司
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2013年第12期55-57,60,共4页
文摘
优化的结构对设计具有较高热电转换效率的微型MEMS热电制冷器具有重要的意义。应用伽辽金有限元法构造了热电效应的耦合控制方程组,通过计算机仿真,采用数值计算的方法考察了微型MEMS热电制冷器模型中P,N级材料长短,横截面积和基底材料厚度的变化对微型MEMS热电制冷器件热电转换效率的影响,对设计高效的微型MEMS热电制冷器件提供了一种理论依据。
关键词
微机电系统
热电制冷器
有限元分析
塞贝克效应
帕尔贴效应
Keywords
MEMS
thermoelectric cooler
finite element analysis
seebeek effect
Peltier
effect
分类号
TP39 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名
作者
出处
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被引量
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1
基于有限元分析的MEMS热电制冷器仿真设计研究
薛伟
何野
张一鸣
徐帆
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2013
1
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