基于WO_3-Pd复合膜的D型光纤光栅氢气传感器

采用磁控溅射方法在侧边抛磨的光纤光栅(D型光纤光栅)上溅射40 nm WO3-Pd复合薄膜,制作了D型光纤光栅氢气传感器.40 nm WO3-Pd复合薄膜是由5 nm的WO3、5 nm的WO3/Pd混合膜和30 nm的Pd薄膜组成.实验中,首先采用射频溅射技术向D型光纤光栅溅射5 nmWO3薄膜,再利用共溅射技术溅射5 nm WO3/Pd混合膜,最后用直流溅射技术溅射30 nm的Pd薄膜.SEM结果显示在多次通氢气后WO3-Pd薄膜仍然具有较好的表面形貌,这说明WO3-Pd复合薄膜具有较好的机械性能.实验结果表明:该氢气传感器具有较好的重复性,同镀有同样氢气敏感膜的普通FBG相比,D型光纤光栅的灵敏度提高了200%;在氢气体积浓度为6%时,D型光纤光栅传感器的波长变化为15pm.

基于CCD动态传感器的线径测量系统设计

提出一种基于89S52单片机和线阵CCD传感器μPD3570D测量物体线径的方法,详细论述了线径测量系统的工作原理,即通过单片机对被遮挡像元计数得到待测物体的线径,并介绍了该测量系统的软硬件设计。

开关电容氢敏传感器研究

详细分析了用Ｐｄ栅ＭＯＳ电容器测量空气中氢含量的方法，设计了用开关电容电路实现模数转换的循环型Ａ／Ｄ转换器的接口电路，提出的开关电容氢敏传感器特别适合于用大规模集成电路实现。