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Sub-nano Layers of Li, Be, and Al on the Si(100) Surface: Electronic Structure and Silicide Formation
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作者 Victor Zavodinsky Oga Gorkusha 《Semiconductor Science and Information Devices》 2023年第1期11-17,共7页
Within the framework of the density functional theory and the pseudopotential method,the electronic structure calculations of the“metal-Si(100)”systems with Li,Be and Al as metal coverings of one to four monolayers(... Within the framework of the density functional theory and the pseudopotential method,the electronic structure calculations of the“metal-Si(100)”systems with Li,Be and Al as metal coverings of one to four monolayers(ML)thickness,were carried out.Calculations showed that band gaps of 1.02 eV,0.98 eV and 0.5 eV,respectively,appear in the densities of electronic states when the thickness of Li,Be and Al coverings is one ML.These gaps disappear with increasing thickness of the metal layers:first in the Li-Si system(for two ML),then in the Al-Si system(for three ML)and then in the Be-Si system(for four ML).This behavior of the band gap can be explained by the passivation of the substrate surface states and the peculiarities of the electronic structure of the adsorbed metals.In common the results can be interpreted as describing the possibility of the formation of a two-dimensional silicide with semiconducting properties in Li-Si(100),Be-Si(100)and Al-Si(100)systems. 展开更多
关键词 Kohn-Sham method PSEUDOPOTENTIALS si(100)surface Sub-nano metal layers Density of states Two-dimensional silicides Semiconducting properties
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Si(100)和蓝宝石(0001)衬底上3C-SiC的Raman研究(英文) 被引量:4
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作者 孙国胜 罗木昌 +5 位作者 王雷 赵万顺 孙艳玲 曾一平 李晋闽 林兰英 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期421-425,共5页
单晶Si和蓝宝石 (0 0 0 1)是两种重要的 3C SiC异质外延衬底材料 ,然而 ,由于Si及蓝宝石和 3C SiC之间大的晶格失配度和热膨胀系数失配度 ,在 3C SiC中会产生很大的内应力 ,直接影响 3C SiC的电学特性。Raman散射测试是一个功能很强的... 单晶Si和蓝宝石 (0 0 0 1)是两种重要的 3C SiC异质外延衬底材料 ,然而 ,由于Si及蓝宝石和 3C SiC之间大的晶格失配度和热膨胀系数失配度 ,在 3C SiC中会产生很大的内应力 ,直接影响 3C SiC的电学特性。Raman散射测试是一个功能很强的测试方法 ,其强度、宽度、Raman位移等有关Raman参数可以给出有关SiC晶体质量的信息 ,其中包括内应力。利用背散射几何构置的Raman方法研究了Si(10 0 )和蓝宝石 (0 0 0 1)衬底上LPCVD方法生长的SiC外延薄膜 ,在生长的所有样品中均观察到了典型的 3C SiC的TO和LO声子峰 ,在3C SiC/Si材料中 ,这两个声子峰分别位于 970 3cm-1和 796 0cm-1,在 3C SiC/蓝宝石材料中 ,分别位于96 5 1cm-1和 80 1 2cm-1,这一结果表明这两种外延材料均为 3C SiC晶型。利用一个 3C SiC自由膜作为无应力标准样品 ,并根据 3C SiC/Si和 3C SiC/蓝宝石的TO和LO声子峰Raman位移相对于自由膜的移动量 ,得到 3C SiC中的内应力约分别为 1GPa和 4GPa。实验发现在这两种材料的TO声子峰的Raman位移移动方向相反 ,通过比较 3C SiC、Si和蓝宝石的热膨胀系数 ,预期Si衬底上的 3C SiC外延膜受到的应力为张应力 ,而蓝宝石衬底上 3C SiC受到的应力则为压应力。 展开更多
关键词 3C-siC 碳化硅 拉曼光谱 RAMAN光谱 蓝宝石(0001)衬底 晶格失配度 热膨胀系数失配度 背散射
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Si(100)衬底上n-3C-SiC/p-Si异质结构研究 被引量:2
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作者 孙国胜 孙艳玲 +5 位作者 王雷 赵万顺 罗木昌 李建平 曾一平 林兰英 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期130-134,共5页
利用LPCVD方法在Si(100)衬底上获得了3C SiC外延膜,扫描电子显微镜(SEM)研究表明3C SiC/p Si界面平整、光滑,无明显的坑洞形成。研究了以In和Al为接触电极的3C SiC/p Si异质结的I V,C V特性及I V特性的温度依赖关系,比较了In电极的3C Si... 利用LPCVD方法在Si(100)衬底上获得了3C SiC外延膜,扫描电子显微镜(SEM)研究表明3C SiC/p Si界面平整、光滑,无明显的坑洞形成。研究了以In和Al为接触电极的3C SiC/p Si异质结的I V,C V特性及I V特性的温度依赖关系,比较了In电极的3C SiC/p Si异质结构和以SiGe作为缓冲层的3C SiC/SiGe/p Si异质结构的I V特性,实验发现引入SiGe缓冲层后,器件的反向击穿电压由40V提高到70V以上。室温下Al电极3C SiC/p Si二极管的最大反向击穿电压接近100V,品质因子为1 95。 展开更多
关键词 硅衬底 si(100)衬底 n-3C-siC/p-si异质结 结构研究 3C-siC外延膜 碳化硅 扫描电子显微镜 SEM
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Ti/Si(100)样品在快速退火(RTA)时的界面反应的研究 被引量:4
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作者 朱永法 曹立礼 +1 位作者 林惠旺 陈立 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第1期34-42,共9页
运用俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)以及卢瑟福背散射谱(RBS)研究了Ti/Si(100)样品在快速热退火(RTA)过程中的界面反应机理及物种分布。研究结果表明,Ti/Si(100)样品在600℃快速热退火10s后,界面上的钛和硅就发生了明显的界... 运用俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)以及卢瑟福背散射谱(RBS)研究了Ti/Si(100)样品在快速热退火(RTA)过程中的界面反应机理及物种分布。研究结果表明,Ti/Si(100)样品在600℃快速热退火10s后,界面上的钛和硅就发生了明显的界面反应,形成了TiSi_2金属硅化物相。在750℃RTA后,TiSi_2相已基本形成完善,再提高RTA温度,TiSi_2相增加甚少。快速热退火过程不同于一般的慢退火过程,主要通过TiSi_2晶格传递Si,从而促使界面处的钛和硅的继续反应。界面扩散的速度很快,TiSi_2物相的形成速度由Ti和Si的反应速度限制,不受Si扩散效应的影响。此外,俄歇线形分析还揭示了,在硅化物的形成过程中,钛硅物相在各界面层中的存在形式。 展开更多
关键词 TI si(100) 退火 界面反应 硅化钛
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Si(100)—As表面钝化作用和氧吸附 被引量:1
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作者 钟战天 王大文 +1 位作者 范越 李承芳 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第2期104-110,共7页
利用自己研制的具有分子束外延系统的表面分析联合谱仪研究了氧与Si(100)—As表面的相互作用。本文进一步证实了As层是Si表面的很好的钝化层,并首次研究了Si(100)—As表面的氧吸附全过程。实验表明,氧的饱和覆盖量为0.5单原子层,即Si表... 利用自己研制的具有分子束外延系统的表面分析联合谱仪研究了氧与Si(100)—As表面的相互作用。本文进一步证实了As层是Si表面的很好的钝化层,并首次研究了Si(100)—As表面的氧吸附全过程。实验表明,氧的饱和覆盖量为0.5单原子层,即Si表面上存在As原子层而使吸附位置减少一半。另外,通过吸附动力学分析得知,Si(100)—As表面的初始粘附系数是5.6×10^(-3),比清洁的Si(100)表面小一个数量级。Si表面上As的钝化作用是Si原子的悬挂键态被As原子的占有孤立对态代替而形成。 展开更多
关键词 si-As表面 纯化效应 氧吸附
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用单纯形法研究si(100)2×1表面的再构 被引量:1
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作者 资剑 张开明 《计算物理》 CSCD 北大核心 1989年第1期67-70,共4页
本文用单纯形方法,研究Si(100)2×1表面及以下几层原子的驰豫。对金刚石、Ge的(100)2×1结构也做了计算。
关键词 单纯形法 si(100)2*1 再构
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Si(100)面的STM观察 被引量:1
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作者 张兆祥 井藤浩志 市ノ川竹男 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第1期49-55,共7页
使用超高真空扫描隧道显微镜(STM)观察了Si(100)面,得到了清洁Si(100)面的STM像。从Chadi模型的形成和表面原子的各向异性扩散分析了STM像的两种类型的台阶棱。Si(100)面的STM像存在许多缺陷,缺陷位置能从在同一区域样品上加正负偏压的... 使用超高真空扫描隧道显微镜(STM)观察了Si(100)面,得到了清洁Si(100)面的STM像。从Chadi模型的形成和表面原子的各向异性扩散分析了STM像的两种类型的台阶棱。Si(100)面的STM像存在许多缺陷,缺陷位置能从在同一区域样品上加正负偏压的STM像来确定。 展开更多
关键词 STM si(100) 表面结构
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Mn在Si(100)表面化学吸附电子结构的研究
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作者 危书义 马丽 +1 位作者 戴现起 汪建广 《河南师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2002年第4期47-50,共4页
用TB—LMTO方法研究单层Mn原子在理想的Si(10 0 )表面的化学吸附 .计算了Mn原子在不同位置的吸附能 .结果表明 ,Mn原子在C位 (四重位 )吸附最稳定 ,在Mn/Si(10 0 )界面存在Mn、Si混合层 .
关键词 MN si(100)表面 化学吸附 电子结构 层投影态密度 电子转移 TB-LMTO方法
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有机分子PTCDA在P型Si单晶(100)晶面的生长机理
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作者 张旭 张杰 张福甲 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期790-794,共5页
对PTCDA的分子结构及其化学键的形成进行了分析,并讨论了晶面指数(100)Si单晶的晶格结构。在此基础上,评述了PTCDA分子在P-Si单晶(100)晶面上生长的机理,并制备了样品PTCDA/P-Si(100)。利用XRD对样品测试得出,在P-Si(100)晶面上沉积的PT... 对PTCDA的分子结构及其化学键的形成进行了分析,并讨论了晶面指数(100)Si单晶的晶格结构。在此基础上,评述了PTCDA分子在P-Si单晶(100)晶面上生长的机理,并制备了样品PTCDA/P-Si(100)。利用XRD对样品测试得出,在P-Si(100)晶面上沉积的PTCDA薄膜中仅存在α物相。利用XPS对样品测试得出,在其界面层中PTCDA酸酐中的4个羟基O原子与C原子结合,其结合能为532.4 e V;苝核基团外围的8个C、H原子以共价键结合,其结合能为289.0 e V;在界面处,悬挂键上的Si原子与PTCDA酸酐中的C、O原子结合,形成C—Si—O键及C—Si键,构成了界面层的稳定结构。 展开更多
关键词 有机半导体材料PTCDA P-si(100)晶面 生长机理
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抛光前Si(100)单晶片表面粗糙度的研究
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作者 张秀芳 杜红文 +3 位作者 张瑞丽 张亚萍 孙法 席珍强 《浙江理工大学学报(自然科学版)》 2010年第2期283-286,共4页
采用光学显微镜、原子力显微镜和表面轮廓仪等测试方法系统研究了温度和NaOH浓度对Si(100)单晶片表面粗糙度的影响,结果表明:低温下,硅片表面的缺陷和损伤引起的局部腐蚀速率较大,是造成硅片表面粗糙度大的主要原因;而高温下温... 采用光学显微镜、原子力显微镜和表面轮廓仪等测试方法系统研究了温度和NaOH浓度对Si(100)单晶片表面粗糙度的影响,结果表明:低温下,硅片表面的缺陷和损伤引起的局部腐蚀速率较大,是造成硅片表面粗糙度大的主要原因;而高温下温度的影响大于表面缺陷和损伤的影响,局部腐蚀速率差减小,硅片表面较为平整。另外,硅片在质量分数为20%~30%的NaOH溶液中腐蚀后粗糙度较小,是因为硅片在此浓度范围的腐蚀液中腐蚀速率较快,而浓度较高时腐蚀速率反而变慢的缘故。 展开更多
关键词 si(100)单晶片 表面粗糙度 温度 NaOH浓度
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氢原子与H-Si(100)表面作用提取的氢分子角分布研究
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作者 阳生红 CHATELET Marc 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期30-33,共4页
利用可旋转四极质谱仪对氢原子束与氢化Si(100)表面作用中氢提取反应产生的氢分子角分布进行了系统的分析。发现氢原子束与氢化Si(100)表面作用中,从氢化Si(100)表面脱附的氢分子具有较宽的角分布,并可以用函数cosnθf(其中n<1)拟合... 利用可旋转四极质谱仪对氢原子束与氢化Si(100)表面作用中氢提取反应产生的氢分子角分布进行了系统的分析。发现氢原子束与氢化Si(100)表面作用中,从氢化Si(100)表面脱附的氢分子具有较宽的角分布,并可以用函数cosnθf(其中n<1)拟合氢分子角分布。脱附的氢分子角分布与Si(100)表面温度和表面重构模型无关。根据硅表面重构机制,用非活性脱氢模型对实验结果进行了合理的解释。 展开更多
关键词 四极质谱仪 氢化si(100)表面 脱附 氢分子角分布
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金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积 被引量:2
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作者 常开朋 程文娟 +3 位作者 江锦春 张阳 朱鹤孙 沈德忠 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期610-612,共3页
采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在sj(100)衬底上金刚石膜的选择沉积。用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析。并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了... 采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在sj(100)衬底上金刚石膜的选择沉积。用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析。并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了比较。结果发现,采用模板后,金刚石膜的成核密度和质量都得到很大提高。 展开更多
关键词 金刚石膜 si(100) 硅衬底 微波等离子体化学气相沉积 铜网 模板 选择沉积
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靶基距对Cu/Si(100)薄膜结构和残余应力的影响 被引量:2
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作者 孟笛 蒋智韬 +2 位作者 李玉阁 高剑英 雷明凯 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期86-92,共7页
采用高功率调制脉冲磁控溅射(MPPMS)技术在Si(100)基体上沉积Cu薄膜,SEM观察薄膜厚度及生长特征、XRD分析薄膜晶体结构、nanoindentor测量薄膜纳米硬度和弹性模量、Stoney公式计算薄膜残余应力,研究沉积过程靶基距对Cu/Si(100)薄膜沉积... 采用高功率调制脉冲磁控溅射(MPPMS)技术在Si(100)基体上沉积Cu薄膜,SEM观察薄膜厚度及生长特征、XRD分析薄膜晶体结构、nanoindentor测量薄膜纳米硬度和弹性模量、Stoney公式计算薄膜残余应力,研究沉积过程靶基距对Cu/Si(100)薄膜沉积速率、微结构及残余应力的影响。随着靶基距的增大,薄膜沉积速率降低,薄膜的生长结构由致密T区向I区转变,Cu(111)择优生长的晶粒逐渐减小,薄膜纳米硬度和弹性模量也相应降低,残余拉应力约为400 MPa。较小靶基距时增加的沉积离子通量和能量,决定了薄膜晶粒合并长大体积收缩过程的主要生长形式,导致了Cu/Si(100)薄膜具有的残余拉应力状态。MPPMS工艺的高沉积通量和粒子能量可实现对Cu/Si(100)薄膜残余应力的调控。 展开更多
关键词 高功率调制脉冲磁控溅射(MPPMS) Cu/si(100) 薄膜 靶基距 残余应力 Stoney公式
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乙炔和乙烯分子在Si(100)表面吸附的几何和电子结构的密度泛函研究
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作者 秦改萍 蔡亚萍 +3 位作者 邢伯蕾 李奕 章永凡 李俊 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第14期1305-1312,共8页
采用基于第一性原理的密度泛函理论和平板模型对Si(100)表面吸附乙炔和乙烯分子的构型稳定性以及电子结构进行系统研究.结果表明:无论是吸附乙炔还是乙烯分子,当覆盖度为0.5ML时,最为稳定的吸附方式为dimerized模型;当覆盖度增大到1.0ML... 采用基于第一性原理的密度泛函理论和平板模型对Si(100)表面吸附乙炔和乙烯分子的构型稳定性以及电子结构进行系统研究.结果表明:无论是吸附乙炔还是乙烯分子,当覆盖度为0.5ML时,最为稳定的吸附方式为dimerized模型;当覆盖度增大到1.0ML时,end-bridge模型为最稳定的吸附方式.通过对各吸附模型的能带结构分析可知,体系的带隙变化可以通过考察表层Si—Si二聚体中Si原子的配位环境来确定.对于相同的吸附模型,无论吸附分子是乙炔还是乙烯,都具有非常相近的带隙.吸附构型以及吸附分子的覆盖度对最小带隙及其来源有较大影响.此外,研究结果还表明,杂化密度泛函方法更适合于描述Si(100)表面的电子结构,尤其是对end-bridge吸附模型. 展开更多
关键词 密度泛函理论 si(100)表面 乙烯 乙炔 能带结构
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Si(100)衬底上制备液氮温区超导薄膜
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作者 胡倾宇 赵航炜 +2 位作者 闻立时 王永忠 乔桂文 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1989年第3期B218-B220,共3页
本文报道用离子束溅射法在单晶Si(100)衬底上沉积YBaCuO超导薄膜的实验结果。Y稳定ZrO_2层作为衬底和超导膜的中间层,具有良好的扩散阻止效果。薄膜具有强烈的c轴织构,其化学组成接近123相。薄膜的超导起始转变温度为100K,零电阻温度为... 本文报道用离子束溅射法在单晶Si(100)衬底上沉积YBaCuO超导薄膜的实验结果。Y稳定ZrO_2层作为衬底和超导膜的中间层,具有良好的扩散阻止效果。薄膜具有强烈的c轴织构,其化学组成接近123相。薄膜的超导起始转变温度为100K,零电阻温度为78K。 展开更多
关键词 超导薄膜 si(100) si衬底 超导材料
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Si(100)表面吸附Sr的建模与第一性原理计算
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作者 李松 李克 +1 位作者 姚立峰 周耐根 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1363-1369,1382,共8页
为了研究Sr在Si(100)表面的稳定吸附结构和吸附特性,采用基于密度泛函理论的第一性原理平面波赝势法,通过改变Sr在Si(100)表面的覆盖度和吸附位置,计算了Si(100)表面吸附Sr的吸附能、电子态密度、电子布居、电荷密度和差分电荷密度。计... 为了研究Sr在Si(100)表面的稳定吸附结构和吸附特性,采用基于密度泛函理论的第一性原理平面波赝势法,通过改变Sr在Si(100)表面的覆盖度和吸附位置,计算了Si(100)表面吸附Sr的吸附能、电子态密度、电子布居、电荷密度和差分电荷密度。计算结果表明,三种吸附位置中,空位的吸附能最低,Sr与Si(100)表面的作用力最大,结构最稳定;覆盖度越低,吸附能越小,Sr与Si(100)表面的作用力越大,吸附结构越稳定。Sr、Si原子间的作用力主要由Sr的3d轨道电子和Si的3s、3p轨道电子杂化耦合作用(d-sp3杂化)贡献,包括共价键和离子键。共价键和离子键的强度均随覆盖度增大而减弱,这可能是由于Sr与Sr之间的排斥力减弱了Sr与Si之间的作用力,并且这种排斥力随覆盖度增大而增大。 展开更多
关键词 si(100) SR 吸附 第一性原理
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ScAlN缓冲层厚度对Si(100)衬底上GaN外延层的影响
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作者 尹浩田 丁广玉 +2 位作者 韩军 邢艳辉 邓旭光 《半导体光电》 CAS 北大核心 2022年第3期517-521,共5页
采用脉冲直流磁控溅射方法在Si(100)衬底上制备了ScAlN薄膜。以溅射的ScAlN作为缓冲层,在Si(100)衬底上用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术外延了GaN薄膜。使用高分辨X射线衍射、原子力显微镜和拉曼光谱研究了ScAlN缓冲层的厚度对ScAlN... 采用脉冲直流磁控溅射方法在Si(100)衬底上制备了ScAlN薄膜。以溅射的ScAlN作为缓冲层,在Si(100)衬底上用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术外延了GaN薄膜。使用高分辨X射线衍射、原子力显微镜和拉曼光谱研究了ScAlN缓冲层的厚度对ScAlN缓冲层和GaN外延层的影响。研究结果表明,ScAlN缓冲层的厚度是影响GaN薄膜晶体质量的重要因素。随着ScAlN厚度的增加,ScAlN的(002)面X射线衍射摇摆曲线半高宽持续减小,GaN的(002)面X射线衍射摇摆曲线半高宽先减小后增大。当ScAlN缓冲层厚度为500 nm时,得到的GaN晶体质量最好,其中GaN(002)面的X射线衍射摇摆曲线半高宽为0.38°,由拉曼光谱计算得到的张应力为398.38 MPa。 展开更多
关键词 si(100)衬底 氮化镓 ScAlN 磁控溅射
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Simulation of Nano Si and Al Wires Growth on Si(100) Surface 被引量:2
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作者 吴锋民 黄辉 吴自勤 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期1116-1121,共6页
Growth of nano Si and Al wires on the Si(100) surfaces is investigated by computer simulation, including the anisotropic diffusion and the anisotropic sticking. The diffusion rates along and across the substrate dimer... Growth of nano Si and Al wires on the Si(100) surfaces is investigated by computer simulation, including the anisotropic diffusion and the anisotropic sticking. The diffusion rates along and across the substrate dimer rows are different, so are the sticking probabilities of an adatom, at the end sites of existing islands or the side sites. Both one\|dimensional wires of Si and Al are perpendicular to the dimer rows of the substrate, though the diffusion of Si adatoms is contrary to that of Al adatoms, i.e. Si adatoms diffuse faster along the dimer rows while Al adatoms faster across the dimer rows. The simulation results also show that the shape anisotropy of islands is due to the sticking anisotropy rather than the diffusion anisotropy, which is in agreement with the experiments. 展开更多
关键词 硅表面 双向异性 毫线
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Structure and internal stress of Au films deposited on SiO_2/Si(100) and mica by dc sputtering 被引量:1
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作者 Hong Qiu, Jingchun Sun, Yue Tian, Yan Huang, Liqing Pan, Fengping Wang, and Ping WuDepartment of Physics, Applied Science School, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China 《Journal of University of Science and Technology Beijing》 CSCD 2004年第5期415-419,共5页
Au films with a thickness of about 300 nm were deposited on SiO_2/Si(100) andmica substrates by dc sputtering. X-ray diffraction spectroscopy and field emission scanningelectron microscopy were used to analyze the str... Au films with a thickness of about 300 nm were deposited on SiO_2/Si(100) andmica substrates by dc sputtering. X-ray diffraction spectroscopy and field emission scanningelectron microscopy were used to analyze the structure and internal stress of the Au films. Thefirms grown on SiO_2/Si(100) show a preferential orientation of [111] in the growth direction.However the films grown on mica have mixture crystalline orientations of [111], [200], [220] and[311] in the growth direction and the orientations of [200] and [311] are slightly more than thoseof [111] and [220]. An internal stress in the films grown on SiO_2/Si(100) is tensile. For Au filmsgrown on mica the internal stresses in the [111]- and [311]-orientation grains are compressive whilethose in the [200]- and [220]-orientation grains are tensile. Au films grown SiO_2/Si(100) havesome very large grains with a size of about 400 nm and have a wider grain size distribution comparedwith those grown on mica. 展开更多
关键词 gold film MICA siO_2/si(100) STRUCTURE internal stress
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Monolithic semi-polar(1■01) InGaN/GaN near white light-emitting diodes on micro-striped Si(100) substrate
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作者 Qi Wang Guo-Dong Yuan +5 位作者 Wen-Qiang Liu Shuai Zhao Lu Zhang Zhi-Qiang Liu Jun-Xi Wang Jin-Min Li 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第8期349-354,共6页
The epitaxial growth of novel GaN-based light-emitting diode(LED) on Si(100) substrate has proved challenging.Here in this work, we investigate a monolithic phosphor-free semi-polar InGaN/GaN near white light-emitting... The epitaxial growth of novel GaN-based light-emitting diode(LED) on Si(100) substrate has proved challenging.Here in this work, we investigate a monolithic phosphor-free semi-polar InGaN/GaN near white light-emitting diode, which is formed on a micro-striped Si(100) substrate by metal organic chemical vapor deposition. By controlling the size of micro-stripe, InGaN/GaN multiple quantum wells(MQWs) with different well widths are grown on semi-polar(1■01)planes. Besides, indium-rich quantum dots are observed in InGaN wells by transmission electron microscopy, which is caused by indium phase separation. Due to the different widths of MQWs and indium phase separation, the indium content changes from the center to the side of the micro-stripe. Various indium content provides the wideband emission. This unique property allows the semipolar InGaN/GaN MQWs to emit wideband light, leading to the near white light emission. 展开更多
关键词 INGAN/GAN MQWs NEAR white LIGHT-EMITTING diodes si(100)substrate
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