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Comparative Investigation of Mo(CO)6 Adsorption on Clean and OxidiZed Si(111) Surfaces
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作者 姜志全 黄伟新 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2011年第6期729-734,I0004,共7页
Mo(CO)6 adsorption on the clean, oxygen-precovered and deeply oxidized Si(lll) surfaces was comparatively investigated by high-resolution electron energy loss spectroscopy. The downward vibrational frequency shift... Mo(CO)6 adsorption on the clean, oxygen-precovered and deeply oxidized Si(lll) surfaces was comparatively investigated by high-resolution electron energy loss spectroscopy. The downward vibrational frequency shift of the C-O stretching mode in adsorbed Mo(CO)6 illustrates that different interactions of adsorbed Mo(CO)6 occur on clean Si(111) and SiO2/Si(111) surfaces, weak on the former and strong on the latter. The strong interaction on SiO2/Si(111) might lead to the partial dissociation of Mo(CO)6, consequently the formation of molybdenum subcarbonyls. Therefore, employing Mo(CO)6 as the precursor, metallic molybdenum could be successfully deposited on the SiO2/Si(111) surface but not on the clean Si(111) surface. A portion of the deposited metallic molybdenum is transformed into the MoOa on the SiO2/Si(111) surface upon heating, and the evolved MoO3 finally desorbs from the substrate upon annealing at elevated temperatures. 展开更多
关键词 Molybdenum hexacarbonyl siO2/si(111) Interaction High-resolution electron energy loss spectroscopy
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First-principles Study on Geometric and Electronic Structures of Si(111)-√7× √3-In Surface Reconstruction
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作者 商波 袁岚峰 杨金龙 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2012年第4期403-408,I0003,共7页
In order to determine the structures of Si(111)-√7 √3-In surfaces and to understand their electronic properties, we construct six models of both hexagonal and rectangular types and perform first-principles calcula... In order to determine the structures of Si(111)-√7 √3-In surfaces and to understand their electronic properties, we construct six models of both hexagonal and rectangular types and perform first-principles calculations. Their scanning tunneling microscopic images and work functions are simulated and compared with experimental results. In this way, the hex-H3' and rect-T1 models are identified as the experimental configurations for the hexagonal and rectangular types, respectively. The structural evolution mechanism of the In/Si(lll) surface with indium coverage around 1.0 monolayer is discussed. The 4×1 and -√7× √3 phases are suggested to have two different types of evolution mechanisms, consistent with experimental results. 展开更多
关键词 Surface reconstruction si(111)-√7× √3In Density functional theory Scanning tunnueling microscopic image
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Formation and local electronic structure of Ge clusters on Si(111)-7×7 surfaces
3
作者 马海峰 徐明春 +4 位作者 杨冰 时东霞 郭海明 庞世瑾 高鸿钧 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第9期2661-2664,共4页
We report the formation and local electronic structure of Ge clusters on the Si(111)-7×7 surface studied by using variable temperature scanning tunnelling microscopy (VT-STM) and low-temperature scanning tunn... We report the formation and local electronic structure of Ge clusters on the Si(111)-7×7 surface studied by using variable temperature scanning tunnelling microscopy (VT-STM) and low-temperature scanning tunnelling spectroscopy (STS). Atom-resolved STM images reveal that the Ce atoms are prone to forming clusters with 1.0 nm in diameter for coverage up to 0.12 ML. Such Ce clusters preferentially nucleate at the centre of the faulted-half unit cells, leading to the 'dark sites' of Si centre adatoms from the surrounding three unfaulted-half unit cells in filled-state images. Biasdependent STM images show the charge transfer from the neighbouring Si adatoms to Ce clusters. Low-temperature STS of the Ce clusters reveals that there is a band gap on the Ce cluster and the large voltage threshold is about 0.9 V. 展开更多
关键词 scanning tunnelling microscopy si(111)-7× 7 surface Ge cluster
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超高真空原子尺度Au_(x)/Si(111)-(7×7)表面吸附的电荷分布测量
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作者 冯婕 郭强 +6 位作者 舒鹏丽 温阳 温焕飞 马宗敏 李艳君 刘俊 伊戈尔·弗拉基米罗维奇·雅明斯基 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期165-175,共11页
原子尺度表面吸附Au原子的物理化学性质对研究纳米器件的制备以及表面催化等起着非常重要的作用.利用调频开尔文探针力显微镜研究了室温下Au在Si(111)-(7×7)表面吸附的电荷分布的特性.首先,利用自制超高真空开尔文探针力显微镜成... 原子尺度表面吸附Au原子的物理化学性质对研究纳米器件的制备以及表面催化等起着非常重要的作用.利用调频开尔文探针力显微镜研究了室温下Au在Si(111)-(7×7)表面吸附的电荷分布的特性.首先,利用自制超高真空开尔文探针力显微镜成功得到了原子尺度Au在Si(111)-(7×7)不同吸附位的表面形貌与局域接触电势差(LCPD);其次,通过原子间力谱与电势差分析了Au/Si(111)-(7×7)特定原子位置的原子特性,实现了原子识别;并通过结合差分电荷密度计算解释了Au/Si(111)-(7×7)表面间电荷转移与Au的吸附特性.结果显示,Au原子吸附有单原子和团簇形式.其中,Au团簇以6个原子为一组呈六边形结构吸附于Si(111)-(7×7)的层错半单胞内的3个中心原子位;单个Au原子吸附于非层错半单胞的中心顶戴原子位;同时通过电势差测量得知单个Au原子和Au团簇失去电子呈正电特性.表面差分电荷密度结果显示金在吸附过程中发生电荷转移,失去部分电荷,使得吸附原子位置上的功函数局部减少.在短程力、局域接触势能差和差分电荷密度发生变化的距离范围内,获得了理论和实验之间的合理一致性. 展开更多
关键词 开尔文探针力显微镜 si(111)-(7×7) 局域接触势能差 表面电荷
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Si(111)衬底上GaN的MOCVD生长 被引量:3
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作者 胡加辉 朱军山 +4 位作者 冯玉春 张建宝 李忠辉 郭宝平 徐岳生 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期517-520,i0002,共5页
利用LP-MOCVD在S i(111)衬底上,以高温A lN为缓冲层,分别用低温GaN(LT-GaN)和偏离化学计量比富Ga高温GaN(HT-GaN)为过渡层外延生长六方相GaN薄膜。采用高分辨率双晶X射线衍射(DCXRD),扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)和室温光致... 利用LP-MOCVD在S i(111)衬底上,以高温A lN为缓冲层,分别用低温GaN(LT-GaN)和偏离化学计量比富Ga高温GaN(HT-GaN)为过渡层外延生长六方相GaN薄膜。采用高分辨率双晶X射线衍射(DCXRD),扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)和室温光致荧光光谱(RT-PL)进行分析。结果表明,有偏离化学计量比富Ga HT-GaN为过渡层生长的GaN薄膜质量和光致荧光特性均明显优于以LT-GaN为过渡层生长的GaN薄膜,得到GaN(0002)和(10ī2)的DCXRD峰,其半峰全宽(FWHM)分别为698 s和842 s,室温下的光致荧光光谱在361 nm处有一个很强的发光峰,其半峰全宽为44.3 m eV。 展开更多
关键词 氮化镓 si(111) 金属有机化学气相沉积 双晶X射线衍射
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表面台阶对超高真空下Si(111)基片表面银原子吸附与重构的影响 被引量:2
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作者 邓冬梅 于新彪 +2 位作者 曹世勋 白丽华 张金仓 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期775-779,共5页
利用真空蒸发技术制备出了良好的Si(111)-3×3-Ag和Si(111)-3×1-Ag重构表面。通过低能电子衍射法和光学表面二次谐波法研究了两种类型切割角的单晶硅基片在超高真空银蒸镀过程中表面结构随衬底温度和蒸镀量的变化情况。vicina... 利用真空蒸发技术制备出了良好的Si(111)-3×3-Ag和Si(111)-3×1-Ag重构表面。通过低能电子衍射法和光学表面二次谐波法研究了两种类型切割角的单晶硅基片在超高真空银蒸镀过程中表面结构随衬底温度和蒸镀量的变化情况。vicinal样品产生的弱SinPout信号表明表面台阶的存在对Si(111)-3×3-Ag表面的成核生长过程有显著影响。低能电子衍射图片显示,500℃以上的高温下两种基片表面所形成的Si(111)-3×1-Ag重构分别为类单畴和三畴结构。类单畴和三畴结构Si(111)-3×1-Ag的光学表面二次谐波SinSout信号的一致性可能揭示了Si(111)-3×1-Ag结构中孪畴结构的存在。 展开更多
关键词 表面台阶 表面重构 si(111)-3×3-Ag si(111)-3×1-Ag 表面二次谐波法
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SiO_2/Si(111)表面Ge量子点的生长研究 被引量:3
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作者 王科范 盛斌 +3 位作者 刘金锋 徐彭寿 潘海滨 韦世强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期358-361,366,共5页
Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化... Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化学反应,并形成与Si(111)表面直接外延的Ge量子点。在650℃时,只有Ge的厚度达到0.5nm时,Ge量子点才开始形成。 展开更多
关键词 GE量子点 siO2薄膜 si(111) 原子力显微镜(AFM) 反射高能电子衍射(RHEED)
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Si(111)基片上Mg_2Si薄膜的脉冲激光沉积 被引量:2
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作者 杨梅君 王传彬 沈强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1112-1117,共6页
采用脉冲激光沉积方法在Si(111)基片上制备了Mg2Si薄膜。研究了激光能量密度、退火气氛及压强、退火温度、退火时间等工艺条件对Mg2Si薄膜生长的影响。用X射线衍射仪分析了Mg2Si薄膜的物相,用原子力显微镜、高分辨场发射扫描电镜表征了... 采用脉冲激光沉积方法在Si(111)基片上制备了Mg2Si薄膜。研究了激光能量密度、退火气氛及压强、退火温度、退火时间等工艺条件对Mg2Si薄膜生长的影响。用X射线衍射仪分析了Mg2Si薄膜的物相,用原子力显微镜、高分辨场发射扫描电镜表征了薄膜的形貌。实验结果表明:在激光能量密度为2.36 J/cm2,Si(111)基片上室温、真空(真空度10-6Pa)条件下沉积,在Ar气压强为10 Pa,500℃,30 min条件下原位退火得到了纯相、结构均匀、表面平整、厚度约为900 nm的Mg2Si多晶薄膜。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 Mg2si薄膜 si(111)基片 多晶薄膜
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隧道电子和局域场对固液界面纳米区域反应的影响——控电位下的Si(111)表面的STM诱导纳米刻蚀 被引量:3
9
作者 谢兆雄 蔡雄伟 +2 位作者 施财辉 毛秉伟 田昭武 《电化学》 CAS CSCD 1997年第2期132-135,共4页
隧道电子和局域场对固液界面纳米区域反应的影响①——控电位下的Si(111)表面的STM诱导纳米刻蚀谢兆雄*蔡雄伟施财辉毛秉伟田昭武(厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室物理化学研究所化学系厦门361005)扫描隧道... 隧道电子和局域场对固液界面纳米区域反应的影响①——控电位下的Si(111)表面的STM诱导纳米刻蚀谢兆雄*蔡雄伟施财辉毛秉伟田昭武(厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室物理化学研究所化学系厦门361005)扫描隧道显微技术(STM)目前已成为纳米加... 展开更多
关键词 硅表面 局域场 STM 纳米加工 刻蚀 隧道电子
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Si(111)面电子结构、表面能和功函数的第一性原理研究(英文) 被引量:1
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作者 刘其军 刘正堂 冯丽萍 《中山大学研究生学刊(自然科学与医学版)》 2009年第2期71-77,共7页
本文采用基于密度泛函理论(DFT)框架下的平面波超软赝势法研究了体相Si和Si(111)面。计算得到的体相Si的晶格常数、体积模量和结合能较好地与其它文献结果吻合。在表面结构中,由于Si-3p态的影响导致键长和电荷密度的改变。键长在第一二... 本文采用基于密度泛函理论(DFT)框架下的平面波超软赝势法研究了体相Si和Si(111)面。计算得到的体相Si的晶格常数、体积模量和结合能较好地与其它文献结果吻合。在表面结构中,由于Si-3p态的影响导致键长和电荷密度的改变。键长在第一二层,二三层和三四层之间由2.338(?)变为2.286(?),2.382(?),2.352(?),电荷密度由0.57946×10~3 electrons/nm^3变为0.60419×10~3,0.5143×10~3和0.55925×10~3electrons/nm^3。计算得到的Si(111)的表面能和功函数为Si的应用提供了理论依据。 展开更多
关键词 si(111) 电子结构 表面能 功函数 第一性原理
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直流电场作用下Au吸附Si(111)表面Ag薄膜的电迁移和相变 被引量:1
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作者 时方晓 《沈阳建筑大学学报(自然科学版)》 CAS 2008年第6期1014-1019,共6页
目的研究直流电场作用下不同覆盖度Au吸附Si(111)表面上Ag薄膜的电迁移扩散和相变行为,探索外电场控制制备纳米结构的新途径.方法在超高真空条件下制备了具有不同表面结构的Au吸附Si(111)表面,并在其上沉积几个单原子层厚的Ag薄膜,利用... 目的研究直流电场作用下不同覆盖度Au吸附Si(111)表面上Ag薄膜的电迁移扩散和相变行为,探索外电场控制制备纳米结构的新途径.方法在超高真空条件下制备了具有不同表面结构的Au吸附Si(111)表面,并在其上沉积几个单原子层厚的Ag薄膜,利用扫描电镜和反射高能电子衍射原位动态分析了Ag在外电场下的电迁移和相变过程.结果在清洁的和Au吸附的Si(111)表面Ag均向负极方向迁移,但迁移速率和扩展能力有显著差异,Au覆盖度及相应的表面吸附结构类型是电迁移的控制因素;在(5×2+α-3^(1/2)×3^(1/2))混合结构表面上迁移扩散达到峰值,而由3^(1/2)×3^(1/2)-(Ag+Au)向(21)^(1/2)×(21)^(1/2)-(Ag+Au)的相转变在Ag薄膜的电迁移过程中起决定作用.结论半导体表面金属薄膜的电迁移具有结构敏感性,覆盖度低于单原子层的Au可作为调控Ag薄膜电迁移动力学的有效手段. 展开更多
关键词 直流电场 相变 Ag薄膜 Au/si(111)吸附表面 电迁移 结构敏感性
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Si(111)外延GaN的表面形貌及形成机理研究
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作者 朱军山 徐岳生 +2 位作者 刘彩池 赵丽伟 滕晓云 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1167-1170,共4页
用高温A lN作缓冲层在Si(111)上外延生长出GaN薄膜。通过对薄膜表面扫描电子显微镜(SEM)和高分辨率双晶X射线衍射(DCXRD)的分析,确定缓冲层对外延层形貌的影响,分析解释了表面形貌中凹坑的形成及缓冲层生长温度对凹坑的影响。结果表明:... 用高温A lN作缓冲层在Si(111)上外延生长出GaN薄膜。通过对薄膜表面扫描电子显微镜(SEM)和高分辨率双晶X射线衍射(DCXRD)的分析,确定缓冲层对外延层形貌的影响,分析解释了表面形貌中凹坑的形成及缓冲层生长温度对凹坑的影响。结果表明:温度的高低通过影响缓冲层初始成核密度和成核尺寸来影响外延层表面形貌。 展开更多
关键词 si(111) GAN MOCVD DCXRD
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Preparation of 50mm 3C-SiC/Si(111) as Substrates Suited for Ⅲ-Nitrides
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作者 孙国胜 张永兴 +6 位作者 高欣 王军喜 王雷 赵万顺 王晓亮 曾一平 李晋闽 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1205-1210,共6页
mm SiC films with high electrical uniformity a re grown on Si(111) by a newly developed vertical low-pressure chemical vapor dep osition (LPCVD) reactor.Both in-situ n- and p-type doping of 3C-SiC are achi eved by in... mm SiC films with high electrical uniformity a re grown on Si(111) by a newly developed vertical low-pressure chemical vapor dep osition (LPCVD) reactor.Both in-situ n- and p-type doping of 3C-SiC are achi eved by intentional introduction of ammonia and boron into the precursor gases.T he dependence of growth rate and surface morphology on the C/Si ratio and optimi zed growth conditions is obtained.The best electrical uniformity of 50mm 3C-SiC films obtained by non-contact sheet resistance measurement is ±2.58%.GaN fil ms are grown atop the as-grown 3C-SiC/Si(111) layers using molecular beam epit axy (MBE).The data of both X-ray diffraction and low temperature photoluminesc e nce of GaN/3C-SiC/Si(111) show that 3C-SiC is an appropriate substrate or buff er layer for the growth of Ⅲ-nitrides on Si substrates with no cracks. 展开更多
关键词 C-siC/si(111) LPCVD GAN
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Si(111)衬底上六方YMnO_3薄膜的制备与铁电性质
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作者 刘越峰 郑海务 +3 位作者 马兴平 王超 张华荣 顾玉宗 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第16期18-20,34,共4页
采用化学溶液法在Si(111)衬底上制备了YMnO3薄膜。XRD结果表明,所制备的薄膜为六方纯相YMnO3,且具有部分择优取向生长。以Pt为顶电极,测试了YMnO3薄膜的电滞回线,结果表明,所制备的YMnO3薄膜具有良好的铁电性质。
关键词 六方YMnO3 薄膜 si(111) 择优生长 电滞回线
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AlN/Si(111)衬底上4H-SiC的CVD外延生长研究
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作者 吴军 王荣华 +6 位作者 韩平 梅琴 刘斌 谢自力 修向前 张荣 郑有炓 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期262-265,共4页
利用CVD的方法在Al N/Si(111)衬底上成功实现了4H-SiC薄膜的异质外延生长,用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、喇曼散射(Raman scattering)对所得样品的结构特征、表面形貌等进行了表征测量。XRD测量结果显示得到的SiC... 利用CVD的方法在Al N/Si(111)衬底上成功实现了4H-SiC薄膜的异质外延生长,用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、喇曼散射(Raman scattering)对所得样品的结构特征、表面形貌等进行了表征测量。XRD测量结果显示得到的SiC薄膜具有单一的晶体取向;Raman散射谱线初步表明得到的SiC薄膜为4H型态。衬底温度过低,不利于Si、C原子选择合适的格点位置成键,外延薄膜晶体质量不高;衬底温度过高,H2的刻蚀作用和表面原子的解吸附作用增强,不利于SiC的成核生长。C/Si比过小,薄膜表面会形成Si的小液滴;C/Si比过大,薄膜中会产生Si空位形式的微缺陷。因此,研究表明在Al N/Si(111)衬底上外延4H-SiC的最佳衬底温度为1230~1270℃,较为理想的C/Si比值为1.3。 展开更多
关键词 AlN/si(111)衬底 4H-siC薄膜 异质外延 碳硅比
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H原子在Si(111)-7×7表面吸附的STM研究
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作者 臧侃 于迎辉 +1 位作者 秦志辉 曹更玉 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期39-42,共4页
利用超高真空扫描隧道显微镜(UHV-STM),在液氮(78K)及液氦(4.2K)低温条件下研究了H/Si(111)-7×7吸附体系。H原子易于吸附在表面增原子(adatom)以及剩余原子(rest atom)的位置,导致表面局域电子态密度(LDOS)和STM图像发生明显的变... 利用超高真空扫描隧道显微镜(UHV-STM),在液氮(78K)及液氦(4.2K)低温条件下研究了H/Si(111)-7×7吸附体系。H原子易于吸附在表面增原子(adatom)以及剩余原子(rest atom)的位置,导致表面局域电子态密度(LDOS)和STM图像发生明显的变化。利用扫描隧道谱技术(STS)测量获得了H吸附前后这些位置的LDOS并阐明了产生这些变化的原因,又测量获得了表面单分子Si-H化学键的振动和摆动模式。 展开更多
关键词 H si(111)-7×7 局域电子态密度(LDOS) 单分子振动谱 扫描隧道显微镜(STM)
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Si(111)湿法腐蚀后表面形态的FTIR研究
17
作者 李静 吴孙桃 +1 位作者 叶建辉 S.F.YLi 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期145-148,182,共5页
运用偏振衰减全反射傅立叶变换红外光谱技术 (ATR-FTIR) ,研究了 Si(1 1 1 )在不同比例的 NH4F-HCl溶液中腐蚀后的表面形态。通过分析表面振动模型的偏振波长及红外粗糙因子 ,表明在较低的 PH值的NH4F-HCl溶液中腐蚀的 Si(1 1 1 )表面... 运用偏振衰减全反射傅立叶变换红外光谱技术 (ATR-FTIR) ,研究了 Si(1 1 1 )在不同比例的 NH4F-HCl溶液中腐蚀后的表面形态。通过分析表面振动模型的偏振波长及红外粗糙因子 ,表明在较低的 PH值的NH4F-HCl溶液中腐蚀的 Si(1 1 1 )表面粗糙度较大 ,与通过扫描隧道显微镜 (STM) 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 湿法腐蚀 表面形态 FTIR 偏振衰减全反射傅立叶变换红外光谱技术 硅片表面 111晶面
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脉冲激光沉积法在Si(111)衬底上生长高c轴取向LiNbO_3薄膜
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作者 曹亮亮 叶志镇 +1 位作者 王新昌 赵炳辉 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期211-213,221,共4页
在氧压20Pa,衬底温度600℃,靶材与衬底距离4cm的最优化条件下,利用脉冲激光沉积(PLD)技术首次在无诱导电压和任何缓冲层的情况下,在单晶Si(111)衬底上生长具有优良结晶品质和高c轴取向的LiNbO3晶体薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子... 在氧压20Pa,衬底温度600℃,靶材与衬底距离4cm的最优化条件下,利用脉冲激光沉积(PLD)技术首次在无诱导电压和任何缓冲层的情况下,在单晶Si(111)衬底上生长具有优良结晶品质和高c轴取向的LiNbO3晶体薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对LiNbO3薄膜的结晶品质,择优取向性以及表面形貌进行了系统的分析。结果表明生长出了具有优异晶体质量的c轴取向LiNbO3薄膜,表面光滑平整且无裂纹产生,表面粗糙度约4.8nm,有利于硅基光电子器件的制备和利用。 展开更多
关键词 LINBO3 si(111) C轴取向 脉冲激光沉积
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利用Al_xGa_(1-x)N在Si(111)上生长无裂纹GaN
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作者 王振晓 张锴 +2 位作者 李涛 王丹丹 韩孟序 《电子科技》 2014年第1期115-116,120,共3页
利用LP-MOCVD技术在Si(111)衬底上,用不同Al组分的AlGaN做缓冲层,再在缓冲层上生长GaN薄膜,采用XRD技术和原子力显微镜(AFM)分析样品知,样品整体的结晶质量良好。通过分析外延层的拉曼谱得出GaN中存在应力,而且是张应力,通过计算得出,... 利用LP-MOCVD技术在Si(111)衬底上,用不同Al组分的AlGaN做缓冲层,再在缓冲层上生长GaN薄膜,采用XRD技术和原子力显微镜(AFM)分析样品知,样品整体的结晶质量良好。通过分析外延层的拉曼谱得出GaN中存在应力,而且是张应力,通过计算得出,应力为0.23 GPa。 展开更多
关键词 MOCVD si(111) GAN 双晶X射线衍射
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STM研究Si(111)7×7表面畴界结构
20
作者 刘宁 杨海强 +4 位作者 古乾军 马自力 高鸿钧 薛增泉 庞世瑾 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第6期757-759,共3页
根据对Si(111)表面各种不同畴界的研究,我们发现并提出了在畴界形成过程中决定这些畴界结构的三个重要因素:二聚体(dimer)和顶戴原子(adatom,亦称吸附原子)之间的相互作用;7×7单胞中层错半单元(fa... 根据对Si(111)表面各种不同畴界的研究,我们发现并提出了在畴界形成过程中决定这些畴界结构的三个重要因素:二聚体(dimer)和顶戴原子(adatom,亦称吸附原子)之间的相互作用;7×7单胞中层错半单元(faultedhalf)和非层错半单元(unfaultedhalf)的差异;亚稳态的(2n+1)×(2n+1)结构的影响。 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 原子操纵 表面畴界结构
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