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沉积时间对Au/Si-NPA电学特性的影响
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作者 富笑男 程莉娜 +2 位作者 罗艳伟 刘琨 王信春 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期40-42,47,共4页
采用浸渍法在硅纳米孔柱阵列(Silicon Nanoporous Pillar Array,Si-NPA)衬底上制得了一系列金/硅纳米孔柱阵列(Au/Si-NPA),不同Au/Si-NPA所用沉积时间不同。通过测试分析所制Au/Si-NPA的I-V特性曲线,研究了沉积时间对Au/Si-NPA电学特性... 采用浸渍法在硅纳米孔柱阵列(Silicon Nanoporous Pillar Array,Si-NPA)衬底上制得了一系列金/硅纳米孔柱阵列(Au/Si-NPA),不同Au/Si-NPA所用沉积时间不同。通过测试分析所制Au/Si-NPA的I-V特性曲线,研究了沉积时间对Au/Si-NPA电学特性的影响。结果表明:在沉积时间小于30 min时,Au/Si-NPA的正向电流随沉积时间的延长而减小;而当沉积时间超过30 min时,Au/Si-NPA的正向电流随沉积时间的延长而增大。这种电学特性变化主要是由Au/Si-NPA的表面形貌及成分出现变化引起的。 展开更多
关键词 硅纳米孔柱阵列(si-npa) I-V曲线 Au/si-npa 整流特性
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基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜的电容湿敏性能研究 被引量:3
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作者 李隆玉 肖顺华 +3 位作者 董永芬 冯春岳 姜卫粉 李新建 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2558-2562,共5页
采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜(BaTiO_3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO_3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO_3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能... 采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜(BaTiO_3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO_3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO_3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%~95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决. 展开更多
关键词 湿度传感器 硅纳米孔柱阵列(si-npa) BATIO3 饱和盐水溶液
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Ag/Si-NPA基底上共吸附R6G和CV的表面增强拉曼散射 被引量:6
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作者 王永强 王海燕 +1 位作者 马省 李新建 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1306-1311,共6页
以硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)为基底,采用浸渍沉积技术制备了具有较高表面增强拉曼散射(SERS)活性的Ag/Si-NPA衬底,并采用扫描电子显微镜和透射电子显微镜对其表面形貌和结构进行了表征.在此基础上,选择罗丹明6G(R6G)和结晶紫(CV)2种生物... 以硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)为基底,采用浸渍沉积技术制备了具有较高表面增强拉曼散射(SERS)活性的Ag/Si-NPA衬底,并采用扫描电子显微镜和透射电子显微镜对其表面形貌和结构进行了表征.在此基础上,选择罗丹明6G(R6G)和结晶紫(CV)2种生物染料分子并采用不同的混合吸附程序对其共吸附状态下的SERS光谱进行了探测.结果表明,当2种分子的溶液浓度均为10-7 mol/L时,无论采用何种浸渍吸附程序,其SERS谱中CV的特征拉曼峰都被R6G完全掩盖.对溶液采用错级配置(R6G和CV的浓度分别为10-9和10-7 mol/L)后,所测SERS谱上获得了分别对应于R6G和CV的分离良好、相对强度匹配、分辨率高的2个SERS特征峰组,从而有利于简化现实混合探测过程中对SERS特征峰的指认和判断. 展开更多
关键词 罗丹明6G 结晶紫 硅纳米孔柱阵列 Ag/Si—NPA 表面增强拉曼散射 共吸附
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BST/Si-NPA复合薄膜的湿敏电容特性研究 被引量:1
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作者 肖顺华 李隆玉 +1 位作者 姜卫粉 李新建 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1369-1374,共6页
本文采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺,以Si-NPA为衬底,制备了钛酸锶钡(BST)/Si-NPA复合薄膜,并对其形貌、结构及湿敏电容特性进行了研究。结果表明,环境的相对湿度(RH)、测试信号频率和退火温度均对湿敏电容特性具有较大影响。在100Hz的测试... 本文采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺,以Si-NPA为衬底,制备了钛酸锶钡(BST)/Si-NPA复合薄膜,并对其形貌、结构及湿敏电容特性进行了研究。结果表明,环境的相对湿度(RH)、测试信号频率和退火温度均对湿敏电容特性具有较大影响。在100Hz的测试信号频率下,当环境的相对湿度从11%上升到95%时,BST/Si-NPA湿敏元件的电容增量可达起始值的4400%,显示出较高的湿度敏感性。同时,元件的响应时间和恢复时间均约为42s,表现出较快的时间响应和均衡的吸附/脱附。最后,通过复阻抗法讨论了元件的感湿机理。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 硅纳米孔柱阵列 复合薄膜 湿敏电容特性
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WO_3/Si-NPA复合薄膜的电容湿度传感性能研究
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作者 冯春岳 肖龙 +1 位作者 董永芬 李新建 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第11期57-60,64,共5页
制备了基于硅纳米孔柱阵列(Si—NPA)的WO3/Si—NPA复合薄膜,并对其表面形貌进行了表征,研究了其电容湿度传感性能和基点电容的温度漂移。研究表明:WO3/Si—NPA继承了衬底Si-NPA规则的阵列结构的表面形貌特征,WO3的沉积形成了连... 制备了基于硅纳米孔柱阵列(Si—NPA)的WO3/Si—NPA复合薄膜,并对其表面形貌进行了表征,研究了其电容湿度传感性能和基点电容的温度漂移。研究表明:WO3/Si—NPA继承了衬底Si-NPA规则的阵列结构的表面形貌特征,WO3的沉积形成了连续的WO3薄膜,WO3/Si—NPA是一种典型的纳米复合薄膜。室温下,WO3/Si—NPA的电容值随测试频率的增加而单调减小,但其灵敏度则在100Hz时达到最大值。在此测试频率下,当环境的相对湿度从11%RH增加到95%RH时,元件的电容增量高达16000%,显示WO3/Si-NPA对环境湿度有较高的灵敏度。同时,电容的湿度响应曲线显示出很好的线性。对其基点电容的温度稳定性研究表明:WO3/Si—NPA用作湿度传感的最佳工作温度区为15-50℃。 展开更多
关键词 硅纳米孔柱阵列 WO3 WO3/Si—NPA 电容式湿敏元件
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Au/Si-NPA复合纳米体系的SERS增强能力研究
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作者 富笑男 李坤 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期791-793,共3页
利用具有准周期结构的硅纳米孔柱阵列(silicon nanoprous pillar array,Si-NPA)为衬底使用浸渍法制备优化Au/Si-NPA活性基底。并利用最优化制备的Au/Si-NPA活性基底对罗丹明6G(Rhoda-mine 6G,R6G)进行探测,研究其表面增强拉曼散射(surfa... 利用具有准周期结构的硅纳米孔柱阵列(silicon nanoprous pillar array,Si-NPA)为衬底使用浸渍法制备优化Au/Si-NPA活性基底。并利用最优化制备的Au/Si-NPA活性基底对罗丹明6G(Rhoda-mine 6G,R6G)进行探测,研究其表面增强拉曼散射(surface enhanced Raman scattering,SERS)光谱并对其增强原理进行解释。 展开更多
关键词 金纳米颗粒 表面增强拉曼散射 多孔硅 硅纳米孔柱阵列 浸渍技术
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基于Si-NPA的WO_3薄膜电容湿敏性能 被引量:1
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作者 董永芬 李隆玉 +2 位作者 冯春岳 姜卫粉 李新建 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期955-960,共6页
采用匀胶旋涂技术将WO3溶胶沉积在硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底上,经500℃退火制得WO3/Si-NPA复合薄膜。场发射扫描电镜和X射线衍射的表面形貌和结构分析表明,WO3在Si-NPA表面形成连续薄膜,且复合薄膜保持了Si-NPA规则阵列结构的特点。... 采用匀胶旋涂技术将WO3溶胶沉积在硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底上,经500℃退火制得WO3/Si-NPA复合薄膜。场发射扫描电镜和X射线衍射的表面形貌和结构分析表明,WO3在Si-NPA表面形成连续薄膜,且复合薄膜保持了Si-NPA规则阵列结构的特点。湿敏测试结果显示:在11%到95%的相对湿度范围内,WO3/Si-NPA湿敏元件输出电容强,且随测试频率的增加而单调降低;随着WO3薄膜厚度的增加,湿敏元件灵敏度明显增大,但元件相应的响应/恢复时间却延长。 展开更多
关键词 硅纳米孔柱阵列(Si—NPA) WO3 电容型湿敏传感器
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一种图案化镍/硅纳米复合体系的制备 被引量:1
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作者 张焕云 姜卫粉 李新建 《科学技术与工程》 2007年第12期2767-2771,共5页
以水热制备的具有规则表面形貌和结构的硅纳米孔柱阵列(Silicon Nanoporous Pillar Array,Si-NPA)为衬底,采用浸渍沉积技术并通过调控溶液中Ni2+的浓度,制备了表面具有不同图案化结构的镍/硅纳米孔柱阵列复合体系。分析表明,Ni2+浓度对N... 以水热制备的具有规则表面形貌和结构的硅纳米孔柱阵列(Silicon Nanoporous Pillar Array,Si-NPA)为衬底,采用浸渍沉积技术并通过调控溶液中Ni2+的浓度,制备了表面具有不同图案化结构的镍/硅纳米孔柱阵列复合体系。分析表明,Ni2+浓度对Ni/Si-NPA表面形貌和结构有很大的影响:高的Ni2+浓度下制备的Ni/Si-NPA能够保持Si-NPA衬底的规则阵列结构特征;而低的Ni2+浓度下制备的Ni/Si-NPA其衬底规则的阵列结构几乎完全被破坏。优化了制备具有图案化结构特征的Ni/Si-NPA的实验条件,并对Ni/Si-NPA的形成机理进行了探讨。 展开更多
关键词 硅纳米孔柱阵列(si-npa) Ni/si-npa 浸渍沉积
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退火对电容型硅纳米孔柱阵列湿度传感器性能的影响 被引量:1
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作者 吉慧芳 董永芬 +3 位作者 李隆玉 姜卫粉 吕运朋 李新建 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1097-1101,共5页
基于硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)制备电容型湿度传感元件,并在250℃、450℃和550℃三个温度下对元件进行退火处理。测试数据显示,在测试温度低于550℃时,Si-NPA湿敏元件灵敏度随退火温度的升高而增大,但响应时间略微延长,湿滞回差略微增大;... 基于硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)制备电容型湿度传感元件,并在250℃、450℃和550℃三个温度下对元件进行退火处理。测试数据显示,在测试温度低于550℃时,Si-NPA湿敏元件灵敏度随退火温度的升高而增大,但响应时间略微延长,湿滞回差略微增大;550℃退火后,元件的灵敏度急剧降低。采用场发射扫描电镜(FE-SEM)对不同温度退火的硅纳米孔柱阵列表面形貌进行观察,发现550℃退火元件的微观多孔结构发生了明显变化,即多孔结构致密化。结果表明,通过合适温度退火可以显著提高Si-NPA湿敏元件灵敏度,同时仍然保持较快的响应速度和较小的湿滞回差。 展开更多
关键词 硅纳米孔柱阵列(si-npa) 湿敏 退火 温度
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沉积于硅纳米孔柱阵列上的铜纳米颗粒退火行为研究
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作者 柴花斗 杨晓辉 +1 位作者 富笑男 李新建 《科学技术与工程》 2006年第17期2728-2732,共5页
以具有规则表面形貌的硅纳米孔柱阵列(Silicon Nanoporous Pillar Array,Si-NPA)作为还原性衬底和组装模板,采用浸渍技术制备了铜/Si-NPA(Cu/Si-NPA)纳米复合体系。将新鲜制备的Cu/Si-NPA样品分别在400°C、600°C和800°C... 以具有规则表面形貌的硅纳米孔柱阵列(Silicon Nanoporous Pillar Array,Si-NPA)作为还原性衬底和组装模板,采用浸渍技术制备了铜/Si-NPA(Cu/Si-NPA)纳米复合体系。将新鲜制备的Cu/Si-NPA样品分别在400°C、600°C和800°C氮气气氛中退火,对比研究了沉积于Si-NPA衬底之上的铜纳米颗粒的表面形貌、晶粒尺寸随温度的演化规律。在较低、较高温度下退火时,铜纳米颗粒所发生的定向迁移、颗粒长大及中心凝聚现象分别在Ostwald成熟理论和团簇扩散理论的框架下得到了解释。 展开更多
关键词 硅纳米孔柱阵列(si-npa) Cu/si-npa纳米复合体系 Ostwald成熟理论 团簇扩散理论
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Forward and reverse electron transport properties across a CdS/Si multi-interface nanoheterojunction 被引量:2
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作者 李勇 王伶俐 +4 位作者 王小波 闫玲玲 苏丽霞 田永涛 李新建 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第8期502-507,共6页
The electron transport behavior across the interface plays an important role in determining the performance of op- toelectronic devices based on heterojunctions. Here through growing CdS thin film on silicon nanoporou... The electron transport behavior across the interface plays an important role in determining the performance of op- toelectronic devices based on heterojunctions. Here through growing CdS thin film on silicon nanoporous pillar array, an untraditional, nonplanar, and multi-interface CdS/Si nanoheterojunction is prepared. The current density versus voltage curve is measured and an obvious rectification effect is observed. Based on the fitting results and model analyses on the forward and reverse conduction characteristics, the electron transport mechanism under low forward bias, high forward bias, and reverse bias are attributed to the Ohmic regime, space-charge-limited current regime, and modified Poole-Frenkel regime respectively. The forward and reverse electrical behaviors are found to be highly related to the distribution of inter- facial trap states and the existence of localized electric field respectively. These results might be helpful for optimizing the preparing procedures to realize high-performance silicon-based CdS optoelectronic devices. 展开更多
关键词 HETEROJUNCTION multi-interface nanoheterojunction electron transport silicon nanoporous pillararray si-npa CdS/si-npa
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Preparation, structural and electrical properties of zinc oxide grown on silicon nanoporous pillar array 被引量:2
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作者 姚志涛 孙新瑞 +1 位作者 许海军 李新建 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第10期3108-3113,共6页
Polycrystalline thick film of zinc oxide (ZnO) is grown on a unique silicon substrate with a hierarchical structure, silicon nanoporous pillar array (Si-NPA), by using a vapour phase transport method. It is found ... Polycrystalline thick film of zinc oxide (ZnO) is grown on a unique silicon substrate with a hierarchical structure, silicon nanoporous pillar array (Si-NPA), by using a vapour phase transport method. It is found that as-grown ZnO film is composed of closely packed ZnO crystallites with an average size of -10 μm. The film resistivity of ZnO/SiNPA is measured to be -8.9Ωcm by the standard four probe method. The lengthwise Ⅰ-Ⅴ curve of ZnO/Si-NPA heterostructure is measured. Theoretical analysis shows that the carrier transport across ZnO/Si-NPA heterojunction is dominated by two mechanisms, i.e. a thermionic process at high voltages and a quantum tunnelling process at low voltages. 展开更多
关键词 silicon nanoporous pillar array si-npa ZnO/si-npa heterostructure thermionic process
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以硅纳米孔柱阵列为模板制备金纳米薄膜 被引量:2
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作者 富笑男 符建华 +2 位作者 李坤 罗艳伟 李新建 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1467-1471,共5页
采用浸渍技术,分别以新鲜和老化两组硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底为模板制备了不同形貌特征的Au/Si-NPA。结果表明:造成两组衬底上形成的Au/Si-NPA形貌上的巨大差异主要是由于两组Si-NPA衬底表面氧含量的分布不同所致。进一步分析发现,Si... 采用浸渍技术,分别以新鲜和老化两组硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底为模板制备了不同形貌特征的Au/Si-NPA。结果表明:造成两组衬底上形成的Au/Si-NPA形貌上的巨大差异主要是由于两组Si-NPA衬底表面氧含量的分布不同所致。进一步分析发现,Si-NPA在Au/Si-NPA的形成过程中既起到了模板作用,又起到了还原的双重作用。由于Si-NPA具有规则的阵列结构,从而使得金在Si-NPA表面上的沉积速率产生选择性,最终可以形成准周期的、规则的金纳米复合薄膜。 展开更多
关键词 硅纳米孔柱阵列 模板 选择沉积 金纳米复合薄膜
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硅纳米孔柱阵列的场致电子发射 被引量:1
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作者 富笑男 符建华 +3 位作者 罗艳伟 李坤 程莉娜 李新建 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期2071-2073,2076,共4页
测试了用水热技术制备的硅纳米孔柱阵列(silicon nanoporous pillar array(简称Si-NPA))的场致发射性能。测试结果显示,Si-NPA的开启电场为约1.48V/μm;在5V/μm的外加电场下,其发射电流密度为28.6μA/cm2;在外加电场4.4V/μm时,其电流... 测试了用水热技术制备的硅纳米孔柱阵列(silicon nanoporous pillar array(简称Si-NPA))的场致发射性能。测试结果显示,Si-NPA的开启电场为约1.48V/μm;在5V/μm的外加电场下,其发射电流密度为28.6μA/cm2;在外加电场4.4V/μm时,其电流浮动率为13%。Si-NPA发射性能增强的原因是由于其独特的表面形貌和结构所致。 展开更多
关键词 硅纳米孔柱阵列 场致电子发射 纳米硅 多孔硅
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银在硅纳米孔柱阵列上浸渍沉积的位置选择性
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作者 柴花斗 富笑男 李新建 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期739-743,738,共6页
利用硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)表面规则的图案化形貌和还原性,采用浸渍沉积技术制备了具有三种不同表面结构特征的Ag/Si-NPA复合纳米体系。在未经清洗的Si-NPA衬底,沉积银的形貌为树枝状;在新鲜衬底和自然老化衬底上,银的沉积都会形成规... 利用硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)表面规则的图案化形貌和还原性,采用浸渍沉积技术制备了具有三种不同表面结构特征的Ag/Si-NPA复合纳米体系。在未经清洗的Si-NPA衬底,沉积银的形貌为树枝状;在新鲜衬底和自然老化衬底上,银的沉积都会形成规则的手链网络;而经过强氧化处理的衬底上则不能实现银的浸渍沉积。分析表明,Si-NPA表面的规则阵列和多孔结构等几何构型,在样品的后处理过程中将导致样品表面氧化程度随空间几何位置出现周期性梯度分布,从而对浸渍溶液中银离子在不同几何特征区域的还原、成核及生长模式产生控制作用,最终导致了银在Si-NPA表面浸渍沉积的位置选择性。本研究为采用浸渍沉积技术制备周期性、图案化的金属/硅复合纳米体系,研究其物理性能并探索其可能的器件应用奠定了基础。 展开更多
关键词 硅纳米孔柱阵列 浸渍沉积 Ag/si-npa
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γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究 被引量:1
16
作者 王海燕 李隆玉 +1 位作者 董永芬 李新建 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1093-1096,共4页
利用匀胶旋涂技术,将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上,制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件,并对其进行湿度感应测试结果发现,当环境相对湿度(RH)从11%升高... 利用匀胶旋涂技术,将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上,制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件,并对其进行湿度感应测试结果发现,当环境相对湿度(RH)从11%升高到95%时,该元件的电容和电阻分别呈高灵敏度的单值增加和单值降低。在100 Hz的电流频率下,元件的高湿电容值升为低湿电容值的12 500%,低湿电阻值是高湿电阻值的51 515%。分析表明,微乳-水热法对γ-Fe2O3纳米颗粒尺寸的控制以及Si-NPA衬底的独特结构是提高元件灵敏度的主要原因。 展开更多
关键词 Γ-FE2O3 硅纳米孔柱阵列 湿度传感器
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Rectification and electroluminescence of nanostructured GaN/Si heterojunction based on silicon nanoporous pillar array 被引量:1
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作者 王小波 李勇 +1 位作者 闫玲玲 李新建 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期432-437,共6页
A GaN/Si nanoheterojunction is prepared through growing Ga N nanocrystallites(nc-GaN) on a silicon nanoporous pillar array(Si-NPA) by a chemical vapor deposition(CVD) technique at a relatively low temperature. T... A GaN/Si nanoheterojunction is prepared through growing Ga N nanocrystallites(nc-GaN) on a silicon nanoporous pillar array(Si-NPA) by a chemical vapor deposition(CVD) technique at a relatively low temperature. The average size of nc-Ga N is determined to be ~10 nm. The spectral measurements disclose that the photoluminescence(PL) from GaN/SiNPA is composed of an ultraviolet(UV) band and a broad band spanned from UV to red region, with the feature that the latter band is similar to that of electroluminescence(EL). The electron transition from the energy levels of conduction band and, or, shallow donors to that of deep acceptors of Ga N is indicated to be responsible for both the broad-band PL and the EL luminescence. A study of the I-V characteristic shows that at a low forward bias, the current across the heterojunction is contact-limited while at a high forward bias it is bulk-limited, which follows the thermionic emission model and space-charge-limited current(SCLC) model, respectively. The bandgap offset analysis indicates that the carrier transport is dominated by electron injection from n-GaN into the p-Si-NPA, and the EL starts to appear only when holes begin to be injected from Si-NPA into GaN with biases higher than a threshold voltage. 展开更多
关键词 GaN/si-npa HETEROJUNCTION RECTIFICATION electroluminescence (EL)
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金/硅纳米孔柱阵列的场发射
18
作者 富笑男 罗艳伟 +3 位作者 符建华 李坤 程莉娜 李新建 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1559-1562,共4页
利用浸渍技术在硅纳米孔柱阵列(silicon nanoporous pillar array(简称Si-NPA))上制备了复合纳米薄膜Au/Si-NPA。测试了其场发射性能。测试结果显示,Au/Si-NPA的开启电场为约2V/μm;在7.59V/μm的外加电场下,其发射电流密度为67μA/cm2... 利用浸渍技术在硅纳米孔柱阵列(silicon nanoporous pillar array(简称Si-NPA))上制备了复合纳米薄膜Au/Si-NPA。测试了其场发射性能。测试结果显示,Au/Si-NPA的开启电场为约2V/μm;在7.59V/μm的外加电场下,其发射电流密度为67μA/cm2;在外加电压2000V时,其电流浮动率为21%。导致Au/Si-NPA优良的发射性能是由于其独特的表面形貌和结构所致。 展开更多
关键词 金/硅纳米孔柱阵列 场发射 浸渍技术
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沉积在硅纳米孔柱阵列上的金网络
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作者 符建华 欧海峰 +2 位作者 刘琨 富笑男 李新建 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期48-50,共3页
采用浸渍技术在硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底上沉积了金(Au),得到了Au的网络结构Au/Si-NPA。测试分析表明,将Au/Si-NPA进行600℃氧退火60min,退火前后的Au晶粒度分别为26.0nm和75.5nm。无论是在氧气还是在氮气气氛下对Au/Si-NPA进行600... 采用浸渍技术在硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底上沉积了金(Au),得到了Au的网络结构Au/Si-NPA。测试分析表明,将Au/Si-NPA进行600℃氧退火60min,退火前后的Au晶粒度分别为26.0nm和75.5nm。无论是在氧气还是在氮气气氛下对Au/Si-NPA进行600℃退火,Au都不会渗透到Si-NPA衬底内,而且也不会与硅反应形成化合物。说明Au可作为良好的互连材料应用到超大规模集成电路中。 展开更多
关键词 Au/硅纳米孔柱阵列 Au互连 浸渍技术
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数字技术在纳米复合材料研究中的应用
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作者 程莉娜 富笑男 +1 位作者 罗艳伟 王信春 《数字技术与应用》 2011年第4期82-82,共1页
纳米复合材料体系中是现代众多科学课题中热门的研究课题之一。随着数字技术的发展,对纳米复合材料的研究的方法也从与研究体材料同样的原始方法过度到了数字化时代。
关键词 数字技术 纳米复合材料 硅纳米孔柱阵列(si-npa) I-V曲线
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