采用磁控溅射工艺在PET衬底上依次沉积了Al_2O_3和SiO_2薄膜,制备出SiO_2/Al_2O_3/PET复合膜。利用扫描电镜和透湿仪对复合膜的表面形貌和透湿性能进行表征。研究了制备Al_2O_3膜层的射频功率、氩气流量、本底真空度和溅射时间4个参数...采用磁控溅射工艺在PET衬底上依次沉积了Al_2O_3和SiO_2薄膜,制备出SiO_2/Al_2O_3/PET复合膜。利用扫描电镜和透湿仪对复合膜的表面形貌和透湿性能进行表征。研究了制备Al_2O_3膜层的射频功率、氩气流量、本底真空度和溅射时间4个参数对复合膜透湿率的影响。结果表明:复合膜的透湿率随着本底真空度的升高而减小,随着射频功率、氩气流量和溅射时间的增加均呈现先减小后增大的变化趋势;4个制备参数对复合膜透湿率的影响程度由大到小依次是本底真空度、氩气流量、射频功率、溅射时间;4个制备参数的较优组合为本地真空度0.5×10^(-3)Pa,射频功率300 W,溅射时间6 min,氩气流量70 m L·min^(-1)。展开更多
文摘采用磁控溅射工艺在PET衬底上依次沉积了Al_2O_3和SiO_2薄膜,制备出SiO_2/Al_2O_3/PET复合膜。利用扫描电镜和透湿仪对复合膜的表面形貌和透湿性能进行表征。研究了制备Al_2O_3膜层的射频功率、氩气流量、本底真空度和溅射时间4个参数对复合膜透湿率的影响。结果表明:复合膜的透湿率随着本底真空度的升高而减小,随着射频功率、氩气流量和溅射时间的增加均呈现先减小后增大的变化趋势;4个制备参数对复合膜透湿率的影响程度由大到小依次是本底真空度、氩气流量、射频功率、溅射时间;4个制备参数的较优组合为本地真空度0.5×10^(-3)Pa,射频功率300 W,溅射时间6 min,氩气流量70 m L·min^(-1)。