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The Effect of SiO_2 Additive on Super-hydrophilic Property of TiO_2-SiO_2 Thin Film by Sol-gel Method 被引量:1
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作者 陈文梅 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2001年第3期30-33,共4页
TiO2-SiO2 thin films have been prepared on slide glass substrates by sol-gel method, and the effect of SiO2 additive on photo-generated hydrophilicity of TiO2 thin film was investigated by measuring the contact angle ... TiO2-SiO2 thin films have been prepared on slide glass substrates by sol-gel method, and the effect of SiO2 additive on photo-generated hydrophilicity of TiO2 thin film was investigated by measuring the contact angle of water, the microstructure, the transmittance, the photocatalytic activity and the specific surface area . The results showed that 10mol% of SiO2 additive was the most effective for decreasing contact angle of water. The SiO2 additive of less than 30mol% has a suppressive effect on the crystal growth of anatase in calcinations, resulting in a large surface area. Consequently, the super-hydrophilicity was improved. 展开更多
关键词 sol-gel TiO2-sio2 thin films super- hydrophilicity PHOTOCATALYSIS BET
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Controlling Shell Thickness of PS/SiO_2 Core-Shell Particles and Their Crystallization into 3-D Ordered Thin Film 被引量:1
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作者 武晓峰 陈运法 +1 位作者 魏连启 王奇 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期285-289,共5页
PS/SiO2 particles with core-shell structure were synthesized by coating silica on surface of polystyrene(PS) colloidal particles.The reaction parameters,such as initial tetraethyl orthosilicate(TEOS) concentration,wat... PS/SiO2 particles with core-shell structure were synthesized by coating silica on surface of polystyrene(PS) colloidal particles.The reaction parameters,such as initial tetraethyl orthosilicate(TEOS) concentration,water concentration and reaction temperature,have been investigated to control the thickness of silica shells.The shell thickness was prepositional to the square root of the initial concentration of TEOS and first increased with increasing water concentration,reached a maximum at about 2.0 mol/L and then started decreasing beyond that concentration.It was also found that the shell thickness decreased firstly with the reaction temperature added,then tended to a constant.The so-synthesized PS/SiO2 core-shell particles were directly crystallized into 3-D ordered thin film,then sintered at 570℃ into the ordered macroporous thin film.Compared with the conditional method,the present approach avoids repeatedly filling the precursor in the templetes and save time more. 展开更多
关键词 PS/sio2 CORE-SHELL PARTICLES ORDERED thin film
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Photoluminescence properties of ZnSe/SiO_2 composite thin films prepared by sol-gel method
3
作者 姜海青 车俊 姚熹 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第B01期266-269,共4页
ZnSe/SiO2 composite thin films was prepared by sol-gel method. XRD results indicate the phase structure of ZnSe particles embedded in ZnSe/SiO2 composite thin films is sphalerite (cubic ZnS). Spectroscopic ellipsomete... ZnSe/SiO2 composite thin films was prepared by sol-gel method. XRD results indicate the phase structure of ZnSe particles embedded in ZnSe/SiO2 composite thin films is sphalerite (cubic ZnS). Spectroscopic ellipsometers were used to investigated the dependences of ellipsometric angle with wavelength of ZnSe/SiO2 composite thin films. The optical constant, thickness, porosity and the concentration of ZnSe of ZnSe/SiO2 thin composite films were fitted according to Maxwell-Garnett effective medium theory. The thickness of ZnSe/SiO2 composite thin thin films was also measured through surface profile. The photoluminescence properties of ZnSe/SiO2 thin composite thin films was investigated through fluorescence spectrometer. The photoluminescence results show that the emission peak at 487 nm (2.5 eV) is excited at 395 nm corresponds to the band-to-band emission of sphalerite ZnSe crystal(2.58 eV). The strength free exciton emission and other emission peaks correlating to ZnSe lattice defect were also observed. 展开更多
关键词 ZnSe/sio2复合材料薄膜 溶胶-凝胶法 制备 光致发光性质
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Thin Film Characterization Using Rotating Polarizer Analyzer Ellipsometer with a Speed Ratio 1:3 被引量:1
4
作者 Sofyan A. Taya Taher M. El-Agez Anas A. Alkanoo 《Journal of Electromagnetic Analysis and Applications》 2011年第9期351-358,共8页
In a recent previous work, we proposed a rotating polarizer-analyzer ellipsometer (RPAE) in which the two elements are rotating synchronously in the same direction with a speed ratio 1:3. We applied this technique to ... In a recent previous work, we proposed a rotating polarizer-analyzer ellipsometer (RPAE) in which the two elements are rotating synchronously in the same direction with a speed ratio 1:3. We applied this technique to bulk samples. In this work, we present theoretically the characterization of 100 nm SiO2 thin film using this spectroscopic RPAE. We assume a structure consisting of air (ambient)/SiO2 (thin film)/c-Si (substrate). The ellipsometric parameters ψ and Δ are calculated when a clean signal is received by the detector and when a hypothetical noise is imposed on this signal. The film thickness and the optical constants of the film are calculated for the noisy signal in the spectrum range 200 - 800 nm. The results are compared with the proposed thickness and with the accepted values for SiO2 optical constants. 展开更多
关键词 ELLIPSOMETRY ROTATING Polarizer-Analyzer ELLIPSOMETER thin film CHARACTERIZATION Optical Constants C-Si sio2
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Preparation of BiFeO_3 thin films by pulsed laser deposition method
5
作者 张冠军 程晋荣 +2 位作者 陈蕊 俞圣雯 孟中岩 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第B01期123-125,共3页
BiFeO3 (BFO) thin films were prepared on Pt(111)/TiO2/SiO2/Si(100) substrates by the pulsed-laser deposition (PLD) technique at a low temperature of 450℃. The XRD results indicate that the BFO thin films are of perov... BiFeO3 (BFO) thin films were prepared on Pt(111)/TiO2/SiO2/Si(100) substrates by the pulsed-laser deposition (PLD) technique at a low temperature of 450℃. The XRD results indicate that the BFO thin films are of perovskite structure with the presence of small amount of second phases. The oxygen pressures have great effect on the crystalline structures and dielectric properties of BFO thin films. The dielectric constant of the BFO thin films decreases with increasing oxygen pressures, achieving 186, 171 and 160 at the frequency of 104 Hz for the oxygen pressures of 0.666, 1.333 and 13.332 Pa, respectively. The BFO thin films prepared at the oxygen pressure of 0.666 Pa reveal a saturated hysteresis loop with the remanent polarization of 7.5 μC/cm2 and the coercive field of 176 kV/cm. 展开更多
关键词 BIFEO3 薄膜 脉冲激光沉积法 制备 结构 介电性质
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Anisotropy and thickness effects on reflection coefficients and acoustic signatures of bulk and thin Ge and μ-Ge deposited on SiO2 substrates
6
作者 Doghmane Abdellaziz Bouziane Nabil Hadjoub Zahia 《材料科学与工程(中英文版)》 2009年第8期8-14,共7页
关键词 各向异性 sio2 签名 散装 厚度 系数和 声反射 基板
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SiO2薄膜热应力模拟计算 被引量:10
7
作者 吴靓臻 唐吉玉 +3 位作者 马远新 孔蕴婷 文于华 陈俊芳 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第1期52-55,共4页
薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用.该文采用有限元模型对S iO2薄膜热应力进行模拟计算,验证了模型的准确性.计算了薄膜热应力的大小和分布,分析了不同镀膜温度、不同膜厚和不同基底厚度生长环境下热应力的大小,得到了相应的变化趋... 薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用.该文采用有限元模型对S iO2薄膜热应力进行模拟计算,验证了模型的准确性.计算了薄膜热应力的大小和分布,分析了不同镀膜温度、不同膜厚和不同基底厚度生长环境下热应力的大小,得到了相应的变化趋势图,对薄膜现实生长具有一定的指导意义. 展开更多
关键词 热应力 sio2薄膜 有限元 模拟
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SiO2薄膜红外波段介电常数谱的高斯振子模型研究
8
作者 刘华松 杨霄 +5 位作者 王利栓 姜承慧 刘丹丹 季一勤 张锋 陈德应 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期161-167,共7页
在无定形SiO_2非晶材料红外波段反常色散区介电常数研究中,复合高斯振乎模型是介电常数重要的色散模型之一,复合振子中振子的数量和物理意义是重要的研究内容.基于化学计量学中的因子分析技术,提出将SiO_2薄膜特征振动峰的数量等效为化... 在无定形SiO_2非晶材料红外波段反常色散区介电常数研究中,复合高斯振乎模型是介电常数重要的色散模型之一,复合振子中振子的数量和物理意义是重要的研究内容.基于化学计量学中的因子分析技术,提出将SiO_2薄膜特征振动峰的数量等效为化学姐分的振子数量的方法.采用离子束漉射沉积方法制备了厚度分别为100,200,...,800 mn的8种SiO_2薄膜样品,以这8个样品的红外光谱透射率作为光谱矩阵元素.通过因子分析技术确定了400—4000 cm^(-1)波数范围内高斯振子数量为9个,使SiO_2薄膜的介电常数反横计算结果具有明确的物理意义.通过对3000—4000 cm^(-1)波数范围内介电常数的分析,确定了薄膜中具有明显的含水(或择基)化学缺陷,并且这种缺陷影响到整个红外波段内的介电常数. 展开更多
关键词 sio2薄膜 因子分析 高斯振子模型 红外波段介电常数
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Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7栅绝缘层的SiO2修饰对ZnO-TFTs性能的影响
9
作者 叶伟 崔立堃 常红梅 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1344-1351,共8页
具有高介电常数的栅绝缘层材料存在某种极化及耦合作用,使得ZnO-TFTs具有高的界面费米能级钉扎效应、大的电容耦合效应和低的载流子迁移率.为了解决这些问题,本文提出了一种使用SiO 2 修饰的Bi 1.5 Zn 1.0 Nb 1.5 O 7 作为栅绝缘层的ZnO... 具有高介电常数的栅绝缘层材料存在某种极化及耦合作用,使得ZnO-TFTs具有高的界面费米能级钉扎效应、大的电容耦合效应和低的载流子迁移率.为了解决这些问题,本文提出了一种使用SiO 2 修饰的Bi 1.5 Zn 1.0 Nb 1.5 O 7 作为栅绝缘层的ZnO-TFTs结构,分析了SiO 2 修饰对栅绝缘层和ZnO-TFTs性能的影响.结果表明,使用SiO 2 修饰后,栅绝缘层和ZnO-TFTs的性能得到显著提高,使得ZnO-TFTs在下一代显示领域中具有非常广泛的应用前景.栅绝缘层的漏电流密度从4.5×10^-5 A/cm^2 降低到7.7×10^-7 A/cm^2 ,粗糙度从4.52nm降低到3.74nm,ZnO-TFTs的亚阈值摆幅从10V/dec降低到2.81V/dec,界面态密度从8×10^13 cm^-2 降低到9×10 12 cm^-2 ,迁移率从0.001cm^2 /(V·s)升高到0.159cm^2 /(V·s). 展开更多
关键词 sio2薄膜 氧化锌薄膜晶体管 修饰层 Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7薄膜 射频磁控溅射
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磁场预退火对FeCo/SiO2薄膜结构和磁性的影响 被引量:1
10
作者 胡灵龙 冯明 +2 位作者 徐仕翀 李海波 刘梅 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期55-58,共4页
采用溶胶-凝胶旋涂工艺并结合氢气还原在Si(001)基片上制备FeCo/SiO2薄膜。将薄膜样品在0、800 kA/m磁场中于400℃真空退火1 h后于900℃在氢气气氛中还原得到FeCo/SiO2薄膜。利用X射线衍射仪和振动样品磁强计对样品的结构和磁性进行分... 采用溶胶-凝胶旋涂工艺并结合氢气还原在Si(001)基片上制备FeCo/SiO2薄膜。将薄膜样品在0、800 kA/m磁场中于400℃真空退火1 h后于900℃在氢气气氛中还原得到FeCo/SiO2薄膜。利用X射线衍射仪和振动样品磁强计对样品的结构和磁性进行分析。结果表明:随着FeCo/SiO2薄膜中FeCo含量的增加,FeCo的晶粒尺寸增大,出现单畴-多畴转变,垂直膜面方向矫顽力先增大后减小,磁场预退火抑制FeCo晶粒生长,使单畴-多畴转变可在FeCo更高含量发生;平行膜面矫顽力变化相对复杂;饱和磁化强度值随着FeCo含量增加呈单调增加趋势,磁场退火对其影响较小。 展开更多
关键词 FeCo/sio2薄膜 溶胶-凝胶旋涂 磁场预退火 结构 磁性
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退火温度对Ta2O5/SiO2多层反射膜结构和应力特性的影响 被引量:5
11
作者 刘保剑 段微波 +4 位作者 李大琪 余德明 陈刚 王天洪 刘定权 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期172-178,共7页
介质膜反射镜是星载激光测高仪系统中不可缺少的薄膜元件,其面形质量直接影响探测系统测距的分辨率和精度.本文采用离子束辅助电子束蒸发工艺在石英基底上沉积Ta2O5/SiO2多层反射膜,并在200—600℃的空气中做退火处理.通过X射线衍射、... 介质膜反射镜是星载激光测高仪系统中不可缺少的薄膜元件,其面形质量直接影响探测系统测距的分辨率和精度.本文采用离子束辅助电子束蒸发工艺在石英基底上沉积Ta2O5/SiO2多层反射膜,并在200—600℃的空气中做退火处理.通过X射线衍射、原子力显微镜、分光光度计及激光干涉仪等测试手段,系统研究了退火温度对Ta2O5/SiO2多层反射膜结构、光学性能以及应力特性的影响.结果表明:Ta2O5/SiO2多层反射膜退火后,膜层结构保持稳定,膜层表面粗糙度得到有效改善;反射膜在500—600℃退火后,残余应力由压应力向张应力转变;采用合适的退火温度可以有效释放Ta2O5/SiO2薄膜的残余应力,使薄膜与基底构成的介质膜反射镜具有较好的面形精度.本文的实验结果对退火工艺在介质膜反射镜面形控制技术方面的应用具有重要意义. 展开更多
关键词 光学薄膜 Ta2O5/sio2多层反射膜 退火 应力特性
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超亲水性介孔SiO2/Bi2O3/TiO2分层薄膜的制备及其自洁净性能研究 被引量:1
12
作者 严淑琴 胡芸 +1 位作者 单文杰 韦朝海 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1110-1114,共5页
采用溶胶-凝胶/旋转涂覆法在玻璃基板表面制备介孔SiO2/Bi2O3/TiO2分层薄膜。采用XRD、UV-vis及表面接触角测量仪对薄膜的结构、透光性及超亲水性进行分析。结果表明,介孔SiO2/Bi2O3/TiO2分层薄膜仍然保持了表面SiO2的介孔结构,在无光... 采用溶胶-凝胶/旋转涂覆法在玻璃基板表面制备介孔SiO2/Bi2O3/TiO2分层薄膜。采用XRD、UV-vis及表面接触角测量仪对薄膜的结构、透光性及超亲水性进行分析。结果表明,介孔SiO2/Bi2O3/TiO2分层薄膜仍然保持了表面SiO2的介孔结构,在无光照条件下仍具有超亲水性。涂有硬脂酸的薄膜在紫外光照射后恢复了其超亲水性,具有良好的自洁净性能。且SiO2/Bi2O3/TiO2分层薄膜表现出比单独的SiO2/TiO2和SiO2/Bi2O3分层薄膜更高的光催化活性。 展开更多
关键词 介孔sio2 BI2O3 TiO2分层薄膜 超亲水性 光催化 自洁净性能
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SiO2阻挡层对电子束沉积法生长高迁移率IWO薄膜性能的影响 被引量:2
13
作者 任世荣 陈新亮 +4 位作者 张存善 孙建 张晓丹 耿新华 赵颖 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期843-847,共5页
利用电子束沉积技术在玻璃衬底上制备了IWO(In2O3∶WO3)薄膜和SiO2缓冲层,并将SiO2缓冲层对IWO薄膜性能的影响作了探究。SiO2缓冲层在室温生长。SIMS测试表明:SiO2缓冲层能有效阻挡浮法玻璃中的杂质进入到IWO薄膜。实验获得的具有SiO2... 利用电子束沉积技术在玻璃衬底上制备了IWO(In2O3∶WO3)薄膜和SiO2缓冲层,并将SiO2缓冲层对IWO薄膜性能的影响作了探究。SiO2缓冲层在室温生长。SIMS测试表明:SiO2缓冲层能有效阻挡浮法玻璃中的杂质进入到IWO薄膜。实验获得的具有SiO2阻挡层的IWO薄膜的电子迁移率μ~54.5 cm.2V-.1s-1,电阻率ρ~5.86×10-4Ω.cm,电子载流子浓度n~1.95×1020 cm-3,400~1600 nm光谱区域内的平均透过率~76%。 展开更多
关键词 电子束沉积技术 sio2阻挡层 IWO薄膜 高迁移率
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Ar/SiCl4大气压等离子体射流沉积SiO2薄膜
14
作者 袁强华 常小伟 +1 位作者 李娇娇 殷桂琴 《西北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2016年第2期38-42,共5页
以氩气为携带气体,SiCl4为源材料,使用双频(50kHz/33 MHz)组合功率源大气压等离子体射流(APPJ)装置,以空气中的氧气作为氧化物质沉积SiO2薄膜.用发射光谱检测等离子体组成物种,并研究了随源材料(SiCl4)含量的不同,体系内各主要物种的变... 以氩气为携带气体,SiCl4为源材料,使用双频(50kHz/33 MHz)组合功率源大气压等离子体射流(APPJ)装置,以空气中的氧气作为氧化物质沉积SiO2薄膜.用发射光谱检测等离子体组成物种,并研究了随源材料(SiCl4)含量的不同,体系内各主要物种的变化情况并以此得到较优的沉积条件.分别用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)以及傅里叶红外光谱(FT-IR)对所沉积薄膜的形貌、化学成分和化学结构进行检测.XPS表明薄膜主要组成元素为Si、O以及少量的Cl.FT-IR显示薄膜化学结构主要为Si-O-Si和Si-OH键. 展开更多
关键词 大气压等离子体射流 双频激发 sio2薄膜
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Grain Size and Wettability of TiO_2/SiO_2 Photocatalytic Composite Thin Filing 被引量:11
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作者 Jiaguo Yu, Xiujian Zhao, Jimmy C Yu, Jun Lin (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China Deportment of Chemised The Chinese University of Hong Kong, Hong Kong, 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2001年第2期81-86,共6页
The uniform transparent TiO2/SiO2 photocatalytic composite thin films are prepared by sol-gel method on the soda lime glass substrates, and characterized by UV-visible spectroscopy, X-ray diffraction (XRD), transmissi... The uniform transparent TiO2/SiO2 photocatalytic composite thin films are prepared by sol-gel method on the soda lime glass substrates, and characterized by UV-visible spectroscopy, X-ray diffraction (XRD), transmission electron microscopy (TEM), BET surface area, FTIR spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). It was found that the addition of SiO2 to TiO2 thin films can suppress the grain growth of TiO2 crystal, increase the hydroxyl content on the surface of TiO2 films, lower the contact angle for water on TiO, films and enhance the hydrophilic property of TiO2 films. The super-hydrophilic TiO2/SiO2 photocatalytic composite thin films with the contact angle of 0((o) under bar) are obtained by the addition of 10%-20% SiO2 in mole fraction. 展开更多
关键词 sol-gel method TiO2/sio2 photocatalytic composite thin films grain size WETTABILITY
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TiO_2-SiO_2双组分膜结构与光催化性能的研究 被引量:23
16
作者 何静 江伟辉 +2 位作者 于云 宋力昕 胡行方 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期713-719,共7页
采用溶胶-凝胶法制备了不同Si/Ti比的TiO2-SiO2双组分膜.用紫外光照射亚甲基蓝的分解实验比较薄膜的光催化性能.通过XRD、FTIR、HRTEM、FE-SEM、AFM以及UV-VS-NIR分光光度计等分析手段对薄膜的结构和光学性能进行了表征.结果表明:适量S... 采用溶胶-凝胶法制备了不同Si/Ti比的TiO2-SiO2双组分膜.用紫外光照射亚甲基蓝的分解实验比较薄膜的光催化性能.通过XRD、FTIR、HRTEM、FE-SEM、AFM以及UV-VS-NIR分光光度计等分析手段对薄膜的结构和光学性能进行了表征.结果表明:适量SiO2的引入,显著提高了TiO2薄膜的光催化活性,Si/Ti比为0.2时薄膜的光催化活性为最佳. SiO2引入TiO2薄膜后,生成了Ti-O-Si玻璃相和无定形SiO2,这两种物相聚集在TiO2 晶界周围,有效地阻止了TiO2的晶粒长大,提高了锐钛矿相向金红石相的转变温度,使复合薄膜经过500℃热处理后,只有锐钛矿相存在,有利于薄膜的光催化活性的提高. 展开更多
关键词 TiO2-sio2薄膜 双组分 溶胶-凝胶法 光催化性能
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超亲水TiO_2/SiO_2复合薄膜的制备与表征 被引量:28
17
作者 余家国 赵修建 +2 位作者 林立 韩建军 赵青南 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期529-534,共6页
通过 sol-gel工艺在普通钠钙玻璃表面制备了均匀透明的 TiO2/SiO2复合薄膜.实验结果表明:在 TiO2薄膜中添加 SiO2,可以抑制薄膜中 TiO2晶粒的长大,同时薄膜表面的羟基含量增加,水在复合薄膜表面的润... 通过 sol-gel工艺在普通钠钙玻璃表面制备了均匀透明的 TiO2/SiO2复合薄膜.实验结果表明:在 TiO2薄膜中添加 SiO2,可以抑制薄膜中 TiO2晶粒的长大,同时薄膜表面的羟基含量增加,水在复合薄膜表面的润湿角下降,亲水能力增强.当 SiO2含量为 10~20 mol%时获得了润湿角为0°的超亲水性薄膜. 展开更多
关键词 复合薄膜 超亲水性 制备 表征 二氧化钛 二氧化硅 钠钙玻璃 表面薄膜 溶胶-凝胶法
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纳米多孔SiO_2薄膜的制备与红外光谱研究 被引量:16
18
作者 王娟 张长瑞 +1 位作者 冯坚 杨大祥 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1045-1048,共4页
以正硅酸乙酯为原料, 采用溶胶-凝胶法, 结合旋转涂胶、超临界干燥工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜. XRD表明薄膜为无定形态; SEM显示薄膜具有多孔网络结构, 其SiO2粒子直径为10~20 nm. 利用FTIR研究了薄膜的结构, 纳米多孔SiO2薄... 以正硅酸乙酯为原料, 采用溶胶-凝胶法, 结合旋转涂胶、超临界干燥工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜. XRD表明薄膜为无定形态; SEM显示薄膜具有多孔网络结构, 其SiO2粒子直径为10~20 nm. 利用FTIR研究了薄膜的结构, 纳米多孔SiO2薄膜含有Si-O-Si与Si-OR结构, 呈疏水性; 该SiO2薄膜热处理后因含有Si-OH基团而呈吸水性; 用三甲基氯硅烷对热处理SiO2薄膜进行修饰可使其呈疏水性, 修饰后的薄膜在N2中温度不高于450 ℃可保持其疏水性与多孔结构. 展开更多
关键词 纳米多孔 sio2薄膜 三甲基氯硅烷 溶胶-凝胶 红外光谱
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La/TiO_2-SiO_2薄膜的光催化性能研究 被引量:12
19
作者 何静 江伟辉 +2 位作者 于云 宋力昕 胡行方 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期230-234,共5页
采用溶胶-凝胶法制备了不同掺杂量的La/TiO2-SiO2复合薄膜.通过XRD、 FE-SEM和AFM研究了复合薄膜的微观结构,采用紫外光照射下亚甲基蓝的分解实验比较薄膜的光催化性能.结果表明:La掺杂可显著提高TiO2-SiO2复合薄膜的光催化活性,以5... 采用溶胶-凝胶法制备了不同掺杂量的La/TiO2-SiO2复合薄膜.通过XRD、 FE-SEM和AFM研究了复合薄膜的微观结构,采用紫外光照射下亚甲基蓝的分解实验比较薄膜的光催化性能.结果表明:La掺杂可显著提高TiO2-SiO2复合薄膜的光催化活性,以5%掺杂量为最佳,其光降解率比掺杂前提高了约23%.薄膜活性提高的主要原因是La掺杂后细化了TiO2的晶粒,提高了薄膜的比表面积,使其具有更高的氧化还原电势,La2+取代Ti4+ 进入到TiO2晶格,引起晶格膨胀,这种不同价离子的取代导致TiO2粒子表面电荷分布不平衡,从而提高了光生电子-空穴的分离效率. 展开更多
关键词 TiO2-sio2薄膜 LA掺杂 溶胶-凝胶法 光催化性能
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SiO_2薄膜光学常数物理模型(英文) 被引量:4
20
作者 刘华松 杨霄 +6 位作者 刘丹丹 王利栓 姜承慧 姜玉刚 季一勤 张锋 陈德应 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期286-291,共6页
SiO_2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。在文中研究中,通过测量薄膜的椭偏参数,使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。采用离子束溅射和电子束蒸发两种方法制备了SiO_2薄膜,在拟合过程中,基于L_8(2~2)正交... SiO_2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。在文中研究中,通过测量薄膜的椭偏参数,使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。采用离子束溅射和电子束蒸发两种方法制备了SiO_2薄膜,在拟合过程中,基于L_8(2~2)正交表设计了8组反演计算实验,以评价函数MSE为考核指标。实验结果表明:对IBS SiO_2薄膜拟合MSE函数影响最大的为界面层模型,对EB SiO_2薄膜拟合MSE函数影响最大的为Pore模型。同时确定了不同物理模型对拟合MSE函数的影响大小和反演计算过程模型选择的次序,按照确定的模型选择次序拟合,两种薄膜反演计算的MSE函数相对初始MSE可下降35%和38%,表明拟合过程模型选择合理物理意义明确。文中提供了一种判断薄膜物理模型中各因素对于薄膜光学常数分析作用大小的途径,对于薄膜光学常数分析具有指导意义。 展开更多
关键词 sio2薄膜 光学常数 界面层 折射率梯度 孔隙 表面层
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