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不锈钢表面SiO_2-TiO_2-ZnO-CaO溶胶-凝胶涂层的热变化和化学性能 被引量:1
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作者 周宏 姜建华 朱源泰 《玻璃与搪瓷》 CAS 北大核心 2004年第2期15-20,共6页
采用溶胶-凝胶法在不锈钢表面制备了SiO2-TiO2-ZnO-CaO薄膜,用差热分析(DTA)、失重分析(TG)、红外光谱(IR)和X射线衍射分析(XRD)研究了薄膜的热变化过程及晶相转变行为,利用电子显微镜观察分析了不同组成的溶胶-凝胶涂层的抗酸性和高温... 采用溶胶-凝胶法在不锈钢表面制备了SiO2-TiO2-ZnO-CaO薄膜,用差热分析(DTA)、失重分析(TG)、红外光谱(IR)和X射线衍射分析(XRD)研究了薄膜的热变化过程及晶相转变行为,利用电子显微镜观察分析了不同组成的溶胶-凝胶涂层的抗酸性和高温抗氧化性。结果表明:在溶胶组成为SiO2∶TiO2∶ZnO∶CaO=x∶(80-x)∶10∶10(mol%,x=20~60)的四元系统中,TiO2含量高,溶胶胶凝时间长;涂有SiO2-TiO2-ZnO-CaO薄膜的不锈钢抗酸性和抗氧化性均有显著提高。 展开更多
关键词 不锈钢 sio2-tio2-zno-cao薄膜 热转变 抗酸性 抗氧化性 溶胶-凝胶 涂层
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溶胶-凝胶SiO_(2)减反膜的制备与光学性能研究
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作者 沈斌 张旭 +2 位作者 熊怀 李海元 谢兴龙 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期525-530,共6页
碱催化溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜具有优异的光学性能及抗激光损伤性能,是高功率激光装置中的重要组成部分,但其与光学元件之间的结合强度低,使得膜层易发生接触破坏。本研究以“神光II”高功率激光装置溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜为基... 碱催化溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜具有优异的光学性能及抗激光损伤性能,是高功率激光装置中的重要组成部分,但其与光学元件之间的结合强度低,使得膜层易发生接触破坏。本研究以“神光II”高功率激光装置溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜为基础,通过提拉法在其表层涂覆致密的SiO_(2)薄层后得到机械强度提升的双层SiO_(2)减反膜(SiO_(2)-MTES),并与常用的单层氨固化SiO_(2)减反膜(SiO_(2)-HMDS)进行相关应用性能的综合比较。结果表明,涂覆SiO_(2)-MTES的熔石英在约800 nm处的峰值透过率大于99.6%,运用1-on-1激光损伤阈值测试方法测得该双层SiO_(2)减反膜的零几率激光损伤阈值为51.9 J/cm^(2)(1064 nm,9.1 ns),与涂覆SiO_(2)-HMDS的性能相当。同时,SiO_(2)-MTES膜层与水的接触角达到117.3°,且在相对湿度大于90%的高湿环境中膜层的透过率较稳定。多次擦拭实验结果表明SiO_(2)-MTES的耐摩擦机械强度明显优于SiO_(2)-HMDS,有效提升了膜层与光学元件之间的结合强度。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 减反膜 sio_(2) 机械强度
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溶胶-凝胶法制备SiO_(2)减反射薄膜及其耐久性
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作者 王军 胡瑾瑜 +3 位作者 向军淮 李由 张淑娟 胡敏 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期243-249,共7页
目的增加太阳光在太阳能电池玻璃盖板的透过率,以期提高太阳能电池的转换效率。方法以正硅酸乙酯为原料、乙醇为溶剂、氨水为催化剂,采用碱催化溶胶-凝胶浸渍提拉法,在玻璃表面制备了SiO_(2)减反射薄膜,研究了溶胶中正硅酸乙酯与乙醇物... 目的增加太阳光在太阳能电池玻璃盖板的透过率,以期提高太阳能电池的转换效率。方法以正硅酸乙酯为原料、乙醇为溶剂、氨水为催化剂,采用碱催化溶胶-凝胶浸渍提拉法,在玻璃表面制备了SiO_(2)减反射薄膜,研究了溶胶中正硅酸乙酯与乙醇物质的量比和提拉镀膜速度对SiO_(2)薄膜光学性质的影响,分析了减反射薄膜的耐久性。结果碱性溶胶制备的SiO_(2)为非晶相,采用浸渍提拉法在玻璃表面制备的薄膜结构疏松,且存在微裂纹。采用正硅酸乙酯与乙醇物质的量比为1∶20、提拉速度为500μm/s及正硅酸乙酯与乙醇物质的量比为1∶30、提拉速度为1000μm/s制备的SiO_(2)薄膜,折射率分别为1.35和1.33,厚度分别为101.11、102.63nm,最大透过率分别高于未镀膜玻璃6.57%和6.94%,在400~1100nm波长范围内的平均透过率分别高于未镀膜玻璃5.01%和5.34%,表明该薄膜具有优异的减反射性能。玻璃表面制备SiO_(2)薄膜后,水接触角约为5°,具有超亲水性。将未镀膜玻璃及镀膜样品在实验室放置5个月后,采用正硅酸乙酯与乙醇物质的量比为1∶20、提拉速度为500μm/s及正硅酸乙酯与乙醇物质的量比为1∶30、提拉速度为1000μm/s的制备SiO_(2)薄膜的最大透过率分别高于未镀膜玻璃7.50%和6.71%,在400~1100 nm波长范围内的平均透过率分别高于未镀膜玻璃5.94%和5.59%,表明SiO_(2)薄膜的减反射性能具有较好的耐久性。结论采用碱催化溶胶-凝胶法在玻璃上制备的SiO_(2)减反射薄膜具有超亲水性及优异的减反射耐久性,在太阳能电池玻璃盖板上具有潜在的应用价值。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 sio_(2)薄膜 减反射 润湿性 耐久性
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两亲SiO_(2)纳米颗粒的制备和界面扩张流变行为研究
4
作者 贾寒 谢秋宇 +2 位作者 李传錡 孙涵 齐宁 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2024年第9期28-34,共7页
制备了一种两亲SiO_(2)纳米颗粒,借助红外光谱及接触角测量证实了相关基团在SiO_(2)纳米颗粒表面的成功接枝,探究了其界面活性和界面扩张流变行为。通过动态界面张力测量及小幅正弦振荡实验发现,两亲SiO_(2)纳米颗粒相比亲水和疏水SiO_... 制备了一种两亲SiO_(2)纳米颗粒,借助红外光谱及接触角测量证实了相关基团在SiO_(2)纳米颗粒表面的成功接枝,探究了其界面活性和界面扩张流变行为。通过动态界面张力测量及小幅正弦振荡实验发现,两亲SiO_(2)纳米颗粒相比亲水和疏水SiO_(2)纳米颗粒能够更稳定地吸附在界面形成一层吸附膜,降低界面张力,同时由于其扩散交换速度较慢,界面扩张模量大于亲水和疏水SiO_(2)纳米颗粒。进一步的大幅线性压缩实验发现两亲SiO_(2)纳米颗粒在表面比为0.35时其界面吸附量会发生激增,扩张模量迅速增大,其形成的界面膜具有抵抗较大程度形变的能力。 展开更多
关键词 两亲sio_(2)纳米颗粒 界面扩张模量 界面张力 界面膜
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双膜层ITO/SiO_(2)薄膜制备及其膜电阻均匀性研究
5
作者 朱治坤 陈婉婷 +2 位作者 陈静 朱常青 刘荣梅 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第24期188-196,共9页
目的通过双膜层结构设计制备ITO/SiO_(2)薄膜,研究了靶面磁场强度、镀膜工件移动速度、镀膜功率对ITO/SiO_(2)薄膜膜电阻均匀性的影响,并研究了优化条件制备的ITO/SiO_(2)薄膜物相、形貌和结构,并通过元素分布分析探讨了SiO_(2)薄膜的... 目的通过双膜层结构设计制备ITO/SiO_(2)薄膜,研究了靶面磁场强度、镀膜工件移动速度、镀膜功率对ITO/SiO_(2)薄膜膜电阻均匀性的影响,并研究了优化条件制备的ITO/SiO_(2)薄膜物相、形貌和结构,并通过元素分布分析探讨了SiO_(2)薄膜的作用。方法利用磁控溅射法在TN玻璃基板上沉积生成SiO_(2)薄膜,然后再沉积氧化铟锡(ITO)薄膜,制备ITO/SiO_(2)薄膜样品。利用X射线衍射仪(XRD)、ST-21L型薄膜膜电阻测试仪、原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)等仪器,研究了靶面磁场强度、镀膜工件移动速度、镀膜功率对ITO/SiO_(2)薄膜膜电阻均匀性的影响,并研究了优化条件制备的ITO/SiO_(2)薄膜样品的物相结构、表面形貌、截面膜层结构、元素分布与有膜电阻均匀性的关系,探讨了SiO_(2)薄膜结构与晶粒尺寸效应可能发挥的作用。结果(1)磁控溅射优化条件下,磁场强度为780~820 Gs,镀膜工件移动速度为1.2 m/min,镀膜功率为2.5 kW(A21)和3 kW(A23)时,ITO/SiO_(2)薄膜膜电阻极差最小为10~11Ω/sq,平均值为75~76Ω/sq,ITO/SiO_(2)薄膜膜电阻的均匀性最好。(2)ITO/SiO_(2)薄膜表现出晶体谱线和非晶谱线的叠加,In_(2)O_(3)和SnO_(2)特征峰发生轻微左偏移现象,SiO_(2)特征峰较宽,说明薄膜中的SiO_(2)处于非晶态结构,且可能部分发生晶粒尺寸效应,以微晶或纳米晶的形式存在。(3)ITO/SiO_(2)薄膜表面形貌比起SiO_(2)薄膜更均匀、连续、平滑且较致密,且具有明显的双膜层结构,其中ITO薄膜表面均匀平整且膜厚均匀,这与膜电阻均匀性一致;SiO_(2)薄膜与ITO薄膜和玻璃基底都形成了界面层,应该也是ITO薄膜结合力较好的原因;In元素的流失受到一定阻隔,应该与薄膜中的SiO_(2)的非晶态结构或发生晶粒尺寸效应,以及多晶ITO结构有关。结论通过优化控制靶面磁场强度、镀膜工件移动速度和镀膜功率等工艺因素,可以提高ITO/SiO_(2)薄膜膜电阻均匀性,同时通过控制SiO_(2)薄膜成膜质量可以改善ITO薄膜质量,并起到阻隔In元素流失的作用。 展开更多
关键词 磁控溅射法 ITO/sio_(2)双膜层 微观结构 膜电阻均匀性
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重掺硅片表面APCVD法生长SiO_(2)薄膜的致密性
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作者 史延爽 王浩铭 +2 位作者 田原 张旭 武永超 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第6期544-548,共5页
在硅片加工过程中,金属杂质的存在会增大pn结器件的漏电流,甚至直接导致pn结禁带宽度变窄,为防止出现硅外延过程中造成的自掺杂现象,通常在硅片表面生长一层高致密性的SiO_(2)薄膜。基于常压化学气相沉积(APCVD)法在6英寸(1英寸≈2.54 c... 在硅片加工过程中,金属杂质的存在会增大pn结器件的漏电流,甚至直接导致pn结禁带宽度变窄,为防止出现硅外延过程中造成的自掺杂现象,通常在硅片表面生长一层高致密性的SiO_(2)薄膜。基于常压化学气相沉积(APCVD)法在6英寸(1英寸≈2.54 cm)n型硅片表面生长SiO_(2)薄膜,首先研究不同沉积温度、SiH_(4)和O_(2)的体积流量比对沉积速率和SiO_(2)薄膜致密性的影响,进一步探究了不同退火温度对SiO_(2)薄膜致密性的影响,以期获得致密性较高的SiO_(2)薄膜。采用HF腐蚀速率法表征其致密性,采用扫描电子显微镜(SEM)观察SiO_(2)薄膜的表面形貌,采用F50膜厚测试仪测试SiO_(2)薄膜的厚度。结果表明,沉积温度为400℃,SiH_(4)和O_(2)的体积流量比为1∶10,退火温度为1100℃时,制备的SiO_(2)薄膜的致密性为0.096 nm/s(采用体积分数为1%的HF腐蚀)。 展开更多
关键词 常压化学气相沉积(APCVD)法 sio_(2)薄膜 致密性 自掺杂 沉积速率
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PE-BW-SiO_(2)复合包装膜对草鱼保鲜效果的研究
7
作者 李娟华 王红蕾 +3 位作者 陈国健 高南 仲芸芸 肖乃玉 《包装工程》 CAS 北大核心 2024年第9期34-44,共11页
目的开发一种具有优良理化性能,并能有效应用于草鱼保鲜的新型活性包装膜。方法采用聚乙烯为基膜材料,以蜂蜡和纳米SiO_(2)为活性成分,采用熔融共混和造粒吹膜工艺制备PE-BW-SiO_(2)复合包装膜。测定包装膜的力学性能、阻隔性能和疏水性... 目的开发一种具有优良理化性能,并能有效应用于草鱼保鲜的新型活性包装膜。方法采用聚乙烯为基膜材料,以蜂蜡和纳米SiO_(2)为活性成分,采用熔融共混和造粒吹膜工艺制备PE-BW-SiO_(2)复合包装膜。测定包装膜的力学性能、阻隔性能和疏水性能,并研究它在4℃贮藏条件下对草鱼的保鲜效果。结果通过添加BW-SiO_(2)活性成分,包装膜的力学性能、阻隔性能和疏水性能得到提高。其中,BW-SiO_(2)添加量(质量分数)为2%的包装膜的力学性能、阻隔性能等综合性能达到最佳水平。将不同包装膜包装的草鱼置于4℃下贮藏11 d,结果表明,与纯PE包装膜相比,添加BW-SiO_(2)功效因子的复合PE包装膜对草鱼的保鲜效果更好,能够减缓鱼肉的水分流失和脂质氧化反应,有效延缓鱼肉的腐败变质进程,从而延长鱼肉的贮藏期。结论PE-BW-SiO_(2)复合包装膜具有良好的理化性能和保鲜效果,它有效地阻隔了外界水分的渗透和氧气的进入,从而减缓了水分流失和脂质氧化反应,同时还能防止微生物的滋长。此包装膜有效延缓了草鱼的腐败变质进程,在4℃下贮藏时将草鱼的货架期延长至11 d。 展开更多
关键词 草鱼 保鲜 蜂蜡 纳米sio_(2) PE-BW-sio_(2)复合包装膜
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多种方法制备SiO_(2)薄膜及其性能研究
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作者 何亮 王祥宇 +5 位作者 田浩生 杨海林 乐景胜 杨帆 梁佳伟 刘利芹 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第S01期38-41,共4页
二氧化硅(SiO_(2))薄膜因出色的光学、介电、抗刻蚀和优异力学性能等特点,在光学和微电子等多个领域中有着广泛的应用。制备SiO_(2)薄膜的工艺方法及工艺条件都会影响其性能,但目前对其系统性研究仍有欠缺。本工作探讨了磁控溅射和热氧... 二氧化硅(SiO_(2))薄膜因出色的光学、介电、抗刻蚀和优异力学性能等特点,在光学和微电子等多个领域中有着广泛的应用。制备SiO_(2)薄膜的工艺方法及工艺条件都会影响其性能,但目前对其系统性研究仍有欠缺。本工作探讨了磁控溅射和热氧化两种制备方法,以及各种工艺条件对SiO_(2)薄膜性能的影响。首先,研究了磁控溅射过程中溅射功率对沉积速率和膜层粗糙度的影响。结果表明随着溅射功率的增加,沉积速率和膜层粗糙度均增大。其次,创新地利用马弗炉在空气氛围下进行热氧化,并与标准氧化炉的干氧和湿氧氧化进行了比较。结果表明:氧化温度要大于800℃;在900~1100℃氧化速率线性增加;在1200℃时速率增加变缓,由于空气中氧气供应略不足。基于低价位的马弗炉设备成功制备出高质量的SiO_(2)薄膜。随后,对磁控溅射与不同氛围下热氧化制得的SiO_(2)薄膜进行了折射率和抗刻蚀性的表征与对比分析。结果表明热氧化制备的SiO_(2)薄膜具有更高的折射率和更好的抗刻蚀特性。本研究不仅丰富了SiO_(2)薄膜制备的理论基础,还为不同制备方法和不同工艺条件下制得的SiO_(2)薄膜的性能提供了参考,具有较好的理论价值和实践意义。 展开更多
关键词 sio_(2)薄膜 磁控溅射 热氧化 折射率 抗刻蚀特性
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大孔对ZnO/SiO_(2)复合脱硫剂常温脱硫性能的影响机制
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作者 杨超 刘栩妃 +2 位作者 刘植龙 苏哲林 樊惠玲 《煤炭学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期2851-2859,共9页
煤化工行业作为我国主要的碳排放源,在双碳目标的约束下将面临巨大挑战。煤制气体精脱硫是煤炭高效清洁利用的重要组成部分,对于碳减排意义重大。氧化锌是目前普遍使用的干法精脱硫剂,但受动力学的限制,其在常温下的脱硫活性非常低,无... 煤化工行业作为我国主要的碳排放源,在双碳目标的约束下将面临巨大挑战。煤制气体精脱硫是煤炭高效清洁利用的重要组成部分,对于碳减排意义重大。氧化锌是目前普遍使用的干法精脱硫剂,但受动力学的限制,其在常温下的脱硫活性非常低,无法满足工业应用要求。孔扩散是氧化锌与H_(2)S反应发生的前提,但目前鲜有报道研究孔径,特别是大孔对脱硫性能的影响及影响机制。基于此,采用溶胶凝胶法和胶晶模板法分别制备了以介孔为主和以大孔为主的ZnO/SiO_(2)复合脱硫剂,探究了大孔结构的引入对其常温脱硫性能的影响。研究表明,尽管大孔的引入会增加脱硫剂的比表面积、强化表面碱性、提高氧化锌的分散性以及增加脱硫剂中氧空位浓度,但会导致脱硫剂脱硫性能大幅下降。介孔脱硫剂的穿透硫容为151.9 mg/g,是大孔脱硫剂的脱硫性能的2.3倍。这是因为大孔结构不稳定,在脱硫过程中易坍塌,阻碍了氧化锌反应位点的获取。气氛中的水汽在大孔表面不利于凝聚成水膜,进而抑制了脱硫反应的发生。更为重要的是,大孔制备过程中由于模板剂的燃烧会释放大量热,致使SiO_(2)网络发生深度交联,从而减小了脱硫剂中的介孔孔径。较小的介孔孔径导致其表面物理吸附水的量过多,进而抑制了氧化锌与H_(2)S的反应。 展开更多
关键词 ZnO/sio_(2)复合脱硫剂 大孔结构 常温脱硫 水膜 吸附水
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基于ZrO_(2)-SiO_(2)和介孔SiO_(2)凝胶膜制备可见光区双层减反射膜
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作者 汪文文 肖志葳 +3 位作者 邓志文 贾红宝 王颖 朱世海 《辽宁科技大学学报》 CAS 2024年第1期75-80,共6页
采用溶胶-凝胶法,以正丙醇锆、正硅酸四乙酯为原料,在乙醇体系中以原位混合方式成功制备ZrO_(2)-SiO_(2)混合溶胶,Zr摩尔分数为20%~80%。在熔融石英基底上镀制混合凝胶膜,所得ZrO_(2)-SiO_(2)薄膜折射率在1.55~1.75之间可调。以有序介孔... 采用溶胶-凝胶法,以正丙醇锆、正硅酸四乙酯为原料,在乙醇体系中以原位混合方式成功制备ZrO_(2)-SiO_(2)混合溶胶,Zr摩尔分数为20%~80%。在熔融石英基底上镀制混合凝胶膜,所得ZrO_(2)-SiO_(2)薄膜折射率在1.55~1.75之间可调。以有序介孔SiO_(2)薄膜为外层,选择与之匹配的ZrO_(2)-SiO_(2)薄膜为内层,构建λ/4~λ/2双层宽谱带减反射涂层。根据实际膜层的光学常数进行双层膜的优化设计,成功制备出在可见光区平均透射率达到99.17%的双层减反射薄膜。 展开更多
关键词 ZrO_(2)-sio_(2)混合溶胶 溶胶-凝胶法 原位混合 减反射膜
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基于SiO_(2)-TiO_(2)复合气凝胶制备超疏水光催化自清洁棉织物 被引量:11
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作者 万晶 徐丽慧 +2 位作者 潘虹 沈勇 王黎明 《印染》 CAS 北大核心 2021年第6期19-24,共6页
采用水基溶胶-凝胶方法成功制备SiO_(2)-TiO_(2)复合气凝胶。分别通过一步浸渍法、一步喷涂法和两步法将复合气凝胶粉末与低表面能物质聚二甲基硅氧烷(PDMS)整理到棉织物上,得到PDMS/SiO_(2)-TiO_(2)整理棉织物,对整理棉织物进行了表征... 采用水基溶胶-凝胶方法成功制备SiO_(2)-TiO_(2)复合气凝胶。分别通过一步浸渍法、一步喷涂法和两步法将复合气凝胶粉末与低表面能物质聚二甲基硅氧烷(PDMS)整理到棉织物上,得到PDMS/SiO_(2)-TiO_(2)整理棉织物,对整理棉织物进行了表征和分析。研究发现:不同方法得到的整理棉织物均具有优异的超疏水、光催化和抗紫外线性能;其中一步喷涂法整理棉织物的性能相对较好,水接触角为156°,紫外光照射5 h时对亚甲基蓝溶液的光催化降解率达到94.31%,紫外线防护系数为218.10。此外,PDMS/SiO_(2)-TiO_(2)整理的织物还具有优异的防污性和自清洁功能。 展开更多
关键词 超疏水 光催化 自清洁 sio_(2)-tio_(2)气凝胶 棉织物
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双层SiO_(2)宽谱带减反射涂层的制备及性能表征
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作者 赵昊森 肖志葳 +2 位作者 王逸翔 贾红宝 朱世海 《大学物理实验》 2024年第3期27-32,共6页
采用无模板溶胶-凝胶法,成功制备在可见光范围内具有高透射率和良好疏水性的宽谱带减反射双层SiO_(2)涂层。采用提拉法在石英基底上沉积SiO_(2)双层涂层,底层和顶层的折射率分别为1.34和1.15。其中,底层由酸催化和碱催化混合SiO_(2)溶... 采用无模板溶胶-凝胶法,成功制备在可见光范围内具有高透射率和良好疏水性的宽谱带减反射双层SiO_(2)涂层。采用提拉法在石英基底上沉积SiO_(2)双层涂层,底层和顶层的折射率分别为1.34和1.15。其中,底层由酸催化和碱催化混合SiO_(2)溶胶制备得到,顶层薄膜的溶胶是使用六甲基二硅氮烷(HMDS)作为改性剂,制备得到三甲基硅烷化的SiO_(2)纳米粒子体系。根据优化膜系设计要求,选择合适工艺参数镀制双层涂层,测试结果显示,SiO_(2)双层涂层在可见光区的平均透射率为98.64%,静态水接触角可达134°。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 酸碱混合sio_(2)溶胶 减反射薄膜 表面有机改性
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SiO_(2)溅射功率对Fe_(40)Co_(40)B_(20)-SiO_(2)软磁纳米颗粒膜磁性能的影响
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作者 蒋云川 余忠 +4 位作者 李启帆 邬传健 蒋晓娜 孙科 兰中文 《磁性材料及器件》 CAS 2024年第2期1-4,共4页
用磁控溅射法沉积Fe_(40)Co_(40)B_(20)-SiO_(2)软磁纳米颗粒膜,对其微观结构和磁性能进行了分析。研究发现,随着SiO_(2)溅射功率的增高,Fe_(40)Co_(40)B_(20)-SiO_(2)薄膜粗糙度、截止频率、磁导率、饱和磁化强度均降低,薄膜电阻率增... 用磁控溅射法沉积Fe_(40)Co_(40)B_(20)-SiO_(2)软磁纳米颗粒膜,对其微观结构和磁性能进行了分析。研究发现,随着SiO_(2)溅射功率的增高,Fe_(40)Co_(40)B_(20)-SiO_(2)薄膜粗糙度、截止频率、磁导率、饱和磁化强度均降低,薄膜电阻率增大。在SiO_(2)溅射功率为500 W时,Fe_(40)Co_(40)B_(20)-SiO_(2)薄膜电阻率高达1973μΩ·cm,且截止频率也高达3.67 GHz。相较于未添加SiO_(2)的薄膜,其电阻率有了显著提升,且同样拥有较高的截止频率。因此,通过该方法制备的Fe_(40)Co_(40)B_(20)-SiO_(2)薄膜可有效应用于GHz频段的软磁薄膜电感。 展开更多
关键词 Fe_(40)Co_(40)B_(20)-sio_(2)薄膜 磁控溅射 sio_(2)溅射功率 磁性能 电阻率 截止频率
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Preparation and Characterization of Nano-Structured SiO_(2) Thin Films on Carbon Steel 被引量:2
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作者 Rong Chun XIONG Dong Zhou YAN Gang WEI 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2003年第11期1167-1170,共4页
Nano-structured SiO2 thin films were prepared on the surface of carbon steel for the first time by LPD. The compositions of the films were analyzed by XPS, and the surface morphology of the thin films were observed b... Nano-structured SiO2 thin films were prepared on the surface of carbon steel for the first time by LPD. The compositions of the films were analyzed by XPS, and the surface morphology of the thin films were observed by AFM. The thin films were constituted by compact particles of SiO2, and there was no Fe in the films. In the process of film forming, the SiO2 colloid particles were deposited or absorbed directly onto the surface of carbon steel substrates that were activated by acid solution containing inhibitor, and corrosion of the substrates was avoided. The nano-structured SiO2 thin films that were prepared had excellent protective efficiency to the carbon steel. 展开更多
关键词 Carbon steel sodium silicate nano-structured sio_(2) thin films AFM.
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单分散SiO_(2)-TiO_(2)微球可控合成及性能研究
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作者 陈作雁 任学昌 +3 位作者 杨林海 张玉杰 付宁 安兴才 《兰州交通大学学报》 CAS 2022年第5期97-103,161,共8页
采用溶胶凝胶+水热+煅烧工艺,制备了具有良好单分散性的SiO_(2)-TiO_(2)微球.重点考察了Si/Ti比对其结构和性能的影响.通过SEM、TEM、XRD、FT-IR、Zeta电位和BET等方法对SiO_(2)-TiO_(2)微球的微观形貌、晶体结构、表面电荷和比表面积... 采用溶胶凝胶+水热+煅烧工艺,制备了具有良好单分散性的SiO_(2)-TiO_(2)微球.重点考察了Si/Ti比对其结构和性能的影响.通过SEM、TEM、XRD、FT-IR、Zeta电位和BET等方法对SiO_(2)-TiO_(2)微球的微观形貌、晶体结构、表面电荷和比表面积进行了表征分析.以MB和苯酚为目标污染物,考察其吸附和光催化活性.结果表明:随着Si/Ti比的增大,SiO_(2)-TiO_(2)微球中Ti-O-Ti键减少,Si-O-Si和Si-O-Ti增多,Si元素对晶粒长大的抑制性更强,形成了更为致密的介孔结构,导致比表面积大幅降低.同时,SiO_(2)-TiO_(2)微球表面的Zeta电位和等电位点也随之降低,增强了对MB和苯酚的吸附以及光催化降解的协同作用.当Si/Ti比为0.25时,光催化反应120 min对MB和苯酚降解率分别为92.34%和59.49%,优于纯TiO微球. 展开更多
关键词 单分散sio_(2)-tio_(2)微球 光催化降解 亚甲基蓝 苯酚
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Structure and internal stress of Au films deposited on SiO_2/Si(100) and mica by dc sputtering 被引量:1
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作者 Hong Qiu, Jingchun Sun, Yue Tian, Yan Huang, Liqing Pan, Fengping Wang, and Ping WuDepartment of Physics, Applied Science School, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China 《Journal of University of Science and Technology Beijing》 CSCD 2004年第5期415-419,共5页
Au films with a thickness of about 300 nm were deposited on SiO_2/Si(100) andmica substrates by dc sputtering. X-ray diffraction spectroscopy and field emission scanningelectron microscopy were used to analyze the str... Au films with a thickness of about 300 nm were deposited on SiO_2/Si(100) andmica substrates by dc sputtering. X-ray diffraction spectroscopy and field emission scanningelectron microscopy were used to analyze the structure and internal stress of the Au films. Thefirms grown on SiO_2/Si(100) show a preferential orientation of [111] in the growth direction.However the films grown on mica have mixture crystalline orientations of [111], [200], [220] and[311] in the growth direction and the orientations of [200] and [311] are slightly more than thoseof [111] and [220]. An internal stress in the films grown on SiO_2/Si(100) is tensile. For Au filmsgrown on mica the internal stresses in the [111]- and [311]-orientation grains are compressive whilethose in the [200]- and [220]-orientation grains are tensile. Au films grown SiO_2/Si(100) havesome very large grains with a size of about 400 nm and have a wider grain size distribution comparedwith those grown on mica. 展开更多
关键词 gold film MICA sio_2/Si(100) STRUCTURE internal stress
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SiO_(2)-TiO_(2)复合膜在染料敏化太阳能电池中的应用
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作者 牛海红 邵军 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2023年第9期1185-1190,共6页
文章通过Stober法合成粒径为300 nm的SiO_(2)纳米球,将该纳米球以乙醇为溶剂配置成一定浓度的悬浮液,通过旋涂法使其在染料敏化太阳能电池(dye-sensitized solar cells,DSSCs)的光阳极P25上形成一层薄膜,再将形成的P25-SiO_(2)复合膜放... 文章通过Stober法合成粒径为300 nm的SiO_(2)纳米球,将该纳米球以乙醇为溶剂配置成一定浓度的悬浮液,通过旋涂法使其在染料敏化太阳能电池(dye-sensitized solar cells,DSSCs)的光阳极P25上形成一层薄膜,再将形成的P25-SiO_(2)复合膜放入TiO_(2)溶胶中浸泡一定时间,使得光阳极上的SiO_(2)纳米球被TiO_(2)纳米粒子包裹,形成SiO_(2)-TiO_(2)核壳结构薄膜。与没有散射层的DSSCs相比,以该核壳结构薄膜作为DSSCs的光散射层电池的光电转换效率提高了18%。 展开更多
关键词 sio_(2)纳米球 旋涂法 sio_(2)-tio_(2)核壳结构薄膜 散射层 染料敏化太阳能电池(DSSCs)光阳极
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Fabrication and Luminescence Properties of Eu^(3+) Doped SiO_2 Thin Films
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作者 万能 林涛 +3 位作者 王涛 徐骏 李伟 徐岭 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第S1期330-333,共4页
Rare earth doped silica films were prepared by sol-gel method accompanied with the spin-coating process. It was found that the photoluminescence (PL) property of the thin films was dependent strongly on the doping amo... Rare earth doped silica films were prepared by sol-gel method accompanied with the spin-coating process. It was found that the photoluminescence (PL) property of the thin films was dependent strongly on the doping amount of Eu3+. For thin films annealed at 700 ℃, the PL intensity increased constantly as elevating the doping amount up to 10% without any evident concentration quench, which indicated the good doping property of the SiOmatrix. In order to further improve the PL efficiency, co-doping of Tb3+ into SiO∶Eu3+ thin films were also investigated. It was found that the luminescence intensity was obviously enhanced by co-doping which could be explained in terms of the effective energy transfer from Tb3+ to Eu3+. 展开更多
关键词 rare earth dope sio_2 thin films energy transfer CO-DOPING
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异质SiO_(2)-TiO_(2)光子晶体光催化材料的制备及其性能
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作者 伍媛婷 黑喜平 +1 位作者 袁君 王秀峰 《陕西科技大学学报》 北大核心 2021年第2期119-124,共6页
以SiO_(2)光子晶体为模板,结合Pechini溶胶-凝胶法所制备出的TiO_(2)溶胶,利用4种不同的合成工艺制备了异质SiO_(2)-TiO_(2)光子晶体光催化材料,采用XRD和SEM对其晶相和形貌进行表征,以RhB为目标污染物,研究了样品的光催化特性,并探索... 以SiO_(2)光子晶体为模板,结合Pechini溶胶-凝胶法所制备出的TiO_(2)溶胶,利用4种不同的合成工艺制备了异质SiO_(2)-TiO_(2)光子晶体光催化材料,采用XRD和SEM对其晶相和形貌进行表征,以RhB为目标污染物,研究了样品的光催化特性,并探索了其光催化降解机理.结果表明,抽滤法所得SiO_(2)-TiO_(2)光子晶体光催化材料的周期性排列有序性最佳,当SiO_(2)悬浮液浓度为1%、水浴时间为10 min、800℃下煅烧所得异质SiO_(2)-TiO_(2)光催化材料在30 min中内对RhB的降解可达99%,这不仅归因于结构中TiO_(2)材料的分散性及高表面活性,同时有序结构的慢光子效应可有效提高光的利用率以提高其光催化性能. 展开更多
关键词 异质sio_(2)-tio_(2) 溶胶-凝胶法 光子晶体 光催化
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一种制备SiO_(2)膜的方法——氧等离子体处理聚硅烷涂层 被引量:2
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作者 谢茂浓 彭志坚 +1 位作者 唐琳 傅鹤鉴 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期873-878,共6页
作者利用低温氧等离子体处理聚硅烷涂层 ,成功地制备了SiO2 膜 由IR谱给出的Si-O键的吸收峰波数 ,随氧等离子体处理时间的不同在 10 65~ 10 88cm- 1范围变化 ;XPS谱给出Si2 p的结合能为 10 3.3~ 10 3.5eV ,硅氧原子比为 1∶1 99;激... 作者利用低温氧等离子体处理聚硅烷涂层 ,成功地制备了SiO2 膜 由IR谱给出的Si-O键的吸收峰波数 ,随氧等离子体处理时间的不同在 10 65~ 10 88cm- 1范围变化 ;XPS谱给出Si2 p的结合能为 10 3.3~ 10 3.5eV ,硅氧原子比为 1∶1 99;激光椭园偏振仪测得折射率在 1.30~ 1.55范围 ;MOS电容的高频C V特性曲线表明 ,平带电压为正 ,计算得氧化物电荷的电性为负 ,密度为 6.6× 10 10 ~ 8.8× 10 11cm- 2 ,其大小可以通过改变处理条件进行控制 ;BT实验表明 ,可动电荷密度为 ( 3~ 6)× 10 10 cm- 2 ,这种新型的SiO2 展开更多
关键词 聚硅烷 氧等离子体处理 sio_(2)薄膜 氧化物电荷
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