微型薄膜锂离子电池负极材料SnO_x掺杂Cu研究

研究了掺杂Cu的Sn的氧化物薄膜,它可以作为微型薄膜锂电池负极材料。这种薄膜是采用磁控溅射的方式,在硅基底上沉积了SnOx和金属Cu。XRD分析和SEM观察表明:随着金属Cu掺杂量的增加,所制备薄膜由晶态趋向于非晶态,有利于锂离子的嵌入与脱出。恒电流充放电测试表明:随着金属Cu掺杂量的增加,SnOx薄膜放电容量有所增加,循环性能有很大的提高。这种掺杂Cu的SnOx薄膜的制备方法可用于微型薄膜锂离子电池。

Sn—SnO_x薄膜的组织结构及湿敏性

报道了一种制备Ｓｎ—ＳｎＯｘ湿敏薄膜的新工艺（ＶＥＴＯ）．首先在１ｍＰａ的真空下蒸发纯金属Ｓｎ质量分数９９９ｍｇ·ｇ－１，衬底（Ａｌ２Ｏ３陶瓷基片）温度控制在１５０～２５０℃；蒸发的Ｓｎ膜在空气中缓慢氧化，即可获得湿度敏感的Ｓｎ—ＳｎＯｘ薄膜．利用ＸＲＤ和ＳＥＭ分析了膜的晶体结构和表面形貌环境湿度ＲＨ从１１％变到９７％肘，膜阻抗变化约三个量级，膜电导是电子电导和离子电导的混合．在低温区电子电导是主要的，在高温区离子电导占优势．

氩氧流量比对CeO_x-SnO_x膜微观结构及光学性能的影响

采用磁控反应共溅射的方法,以金属Ce和Sn为金属源,成功地制备出CeO_x-SnO_x薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜的结构、表面形貌及成分进行了分析和表征。结果表明薄膜以岛状模式生长,随氩氧比降低,结晶性增强,出现CeO_2和SnO相。此外,利用紫外-可见分光光度计对薄膜的光学性能进行了研究,测试结果表明薄膜对紫外光有极强的吸收作用。当氩氧流量比为3∶1时,紫外光平均透过率仅为5.80%,而可见光平均透过率为81.48%。

Sn－SnO_x薄膜的湿敏特性研究

研究了利用ＶＥＴＯ技术获得的一种新的Ｓｎ－ＳｎＯｘ电阻式薄膜湿度传感器；湿敏薄膜包含β－Ｓｎ、ＳｎＯ和ＳｎＯ２态，ＳＥＭ观察表明，孔尺寸在０．１～０．５μｍ之间的表面结构对应着高性能的湿度传感器，环境湿度从１１％～９７％ＲＨ的变化过程中，传感器阻抗变化约三个量级，传感器具有小子３０ｓ的恢复时间。