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离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片
被引量:
5
1
作者
邓文渊
金春水
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期2884-2890,共7页
对"日盲"紫外诱导透射滤光片进行了理论设计与分析,并分别优化了离子束溅射法沉积ZrO2、SiO2和Al薄膜的工艺。利用反射与透射光谱反演获得了ZrO2和SiO2薄膜的光学常数,并由JGS1/SiO2/Al/SiO2/air(SAS)样品的变角度椭偏光谱反...
对"日盲"紫外诱导透射滤光片进行了理论设计与分析,并分别优化了离子束溅射法沉积ZrO2、SiO2和Al薄膜的工艺。利用反射与透射光谱反演获得了ZrO2和SiO2薄膜的光学常数,并由JGS1/SiO2/Al/SiO2/air(SAS)样品的变角度椭偏光谱反演精确获得了Al薄膜的光学常数。在此基础上,采用离子束溅射沉积方法并利用上述3种薄膜材料优化制备了"日盲"紫外诱导透射滤光片,测量了滤光片的光谱性能。光谱性能分析表明,滤光片的峰值波长位于264nm,峰值透过率大于60.0%,透过峰带宽(FWHM)约为13nm,在300~350nm波段的截止度达到了2.6OD。研究认为制约离子束溅射制备"日盲"紫外诱导透射滤光片性能的主要因素是Al金属膜的溅射沉积速率以及沉积Al膜时腔体中残余的O2含量。
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关键词
离子束溅射
“日盲”紫外诱导透射滤光片
ZRO2
折射率
消光系数
椭偏光谱
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职称材料
题名
离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片
被引量:
5
1
作者
邓文渊
金春水
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期2884-2890,共7页
基金
国家重大科技专项资助项目
文摘
对"日盲"紫外诱导透射滤光片进行了理论设计与分析,并分别优化了离子束溅射法沉积ZrO2、SiO2和Al薄膜的工艺。利用反射与透射光谱反演获得了ZrO2和SiO2薄膜的光学常数,并由JGS1/SiO2/Al/SiO2/air(SAS)样品的变角度椭偏光谱反演精确获得了Al薄膜的光学常数。在此基础上,采用离子束溅射沉积方法并利用上述3种薄膜材料优化制备了"日盲"紫外诱导透射滤光片,测量了滤光片的光谱性能。光谱性能分析表明,滤光片的峰值波长位于264nm,峰值透过率大于60.0%,透过峰带宽(FWHM)约为13nm,在300~350nm波段的截止度达到了2.6OD。研究认为制约离子束溅射制备"日盲"紫外诱导透射滤光片性能的主要因素是Al金属膜的溅射沉积速率以及沉积Al膜时腔体中残余的O2含量。
关键词
离子束溅射
“日盲”紫外诱导透射滤光片
ZRO2
折射率
消光系数
椭偏光谱
Keywords
ion beam sputtering
solar blind uv induced transmission filter(sbu-itf)
ZrO_2
refractive index
extinction coefficient
ellipsometric spectrum
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片
邓文渊
金春水
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
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职称材料
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