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低压化学气相沉积技术制备锗反蛋白石三维光子晶体
被引量:
2
1
作者
李宇杰
谢凯
+3 位作者
许静
韩喻
涂圣义
李运鹏
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期281-284,共4页
采用溶剂蒸发对流自组装法将单分散SiO2微球组装形成三维有序胶体晶体模板,用低压化学气相沉积法填充高折射率材料锗,酸洗去除SiO2模板,获得了锗反蛋白石三维光子晶体.通过扫描电镜、X射线衍射仪和紫外-可见-近红外光谱仪对锗反蛋白石...
采用溶剂蒸发对流自组装法将单分散SiO2微球组装形成三维有序胶体晶体模板,用低压化学气相沉积法填充高折射率材料锗,酸洗去除SiO2模板,获得了锗反蛋白石三维光子晶体.通过扫描电镜、X射线衍射仪和紫外-可见-近红外光谱仪对锗反蛋白石的形貌、成分、结构和光学性能进行了表征.结果表明:锗在SiO2微球空隙内具有较高的结晶质量,填充致密均匀.通过改变沉积工艺,可控制锗的填充率;制备的锗反蛋白三维光子晶体具有明显的光学反射峰,表现出光学带隙效应.测试的光学性能与理论计算基本吻合.
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关键词
锗反蛋白石
光子晶体
低压化学气相沉积
溶剂蒸发对流自组装
下载PDF
职称材料
题名
低压化学气相沉积技术制备锗反蛋白石三维光子晶体
被引量:
2
1
作者
李宇杰
谢凯
许静
韩喻
涂圣义
李运鹏
机构
国防科学技术大学材料工程与应用化学系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期281-284,共4页
基金
国家部委基金资助
文摘
采用溶剂蒸发对流自组装法将单分散SiO2微球组装形成三维有序胶体晶体模板,用低压化学气相沉积法填充高折射率材料锗,酸洗去除SiO2模板,获得了锗反蛋白石三维光子晶体.通过扫描电镜、X射线衍射仪和紫外-可见-近红外光谱仪对锗反蛋白石的形貌、成分、结构和光学性能进行了表征.结果表明:锗在SiO2微球空隙内具有较高的结晶质量,填充致密均匀.通过改变沉积工艺,可控制锗的填充率;制备的锗反蛋白三维光子晶体具有明显的光学反射峰,表现出光学带隙效应.测试的光学性能与理论计算基本吻合.
关键词
锗反蛋白石
光子晶体
低压化学气相沉积
溶剂蒸发对流自组装
Keywords
Germanium inverse opal
Photonic crystal
Low pressure chemical vapour deposition
solventvaporization convection self-assembly
分类号
TM285 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低压化学气相沉积技术制备锗反蛋白石三维光子晶体
李宇杰
谢凯
许静
韩喻
涂圣义
李运鹏
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
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