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用亚像素技术实现集成块引脚位置偏差的测量 被引量：3
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作者 乔辉 杨勇 +1 位作者 方志良 刘福来 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期949-952,共4页
对引脚边缘轮廓进行提取 ,采用亚像素细分的方法 ,使引脚边缘测量精度达到亚像素级 ,并利用三次样条插值拟合出引脚边缘灰度的分布函数 ,实现了引脚边缘位置的精确定位。实验证明 ,该方法能够达到集成引脚位置偏差
关键词 集成块引脚 亚像素 三次样条 边缘检测 引脚位置
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