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首个低温多晶硅TFT AMOLED项目在南海启动 被引量:1
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作者 梁巨涛 张颖华 《中国市场》 北大核心 2008年第51期84-84,共1页
2008年11月7日,广东中显科技有限公司“低温多晶硅TFTAMOLED项目”启动仪式在广东佛山市南海区南海经济开发区举行,该项目是国内第一个低温多晶硅TFTAMOLED显示屏的产业化项目,它的启动也意味着广东在平板显示产业建设方面取得了重... 2008年11月7日,广东中显科技有限公司“低温多晶硅TFTAMOLED项目”启动仪式在广东佛山市南海区南海经济开发区举行,该项目是国内第一个低温多晶硅TFTAMOLED显示屏的产业化项目,它的启动也意味着广东在平板显示产业建设方面取得了重要突破.粤港合作拥有自主知识产权的平板显示技术跻身全球领先水平。 展开更多
关键词 多晶硅 南海区 低温 tft 平板显示技术 OLED显示屏 自主知识产权 经济开发区
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Mobility impact on compensation performance of AMOLED pixel circuit using IGZO TFTs 被引量:1
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作者 Congwei Liao 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2019年第2期33-38,共6页
The suitability of indium gallium zinc oxide(IGZO) thin-film transistors(TFT) for implementation of active matrix display of organic light emitting diodes(AMOLED) compensation pixel circuits is addressed in this paper... The suitability of indium gallium zinc oxide(IGZO) thin-film transistors(TFT) for implementation of active matrix display of organic light emitting diodes(AMOLED) compensation pixel circuits is addressed in this paper. In particular, the impact of mobility on compensating performance for the implementation in AMOLED pixel circuits is investigated. Details of the effective mobility modeling using the power law of gate-to-source voltage are provided, and parameters are extracted according to the measured current-to-voltage data of IGZO TFT samples. The investigated AMOLED pixel circuit consists of 4 switching TFTs, 1 driving TFT, and 1 capacitor. A "source-follower" structure is used for the threshold voltage extraction of the driving transistor. A new timing diagram is proposed; thus the current error of the pixel circuit is almost independent of the effective mobility. But, to improve the precision of the threshold voltage extraction of the driving transistor, the mobility is required to be greater than5 cm^2 V^(-1) s^(-1). On the other hand, the optimized storage capacitance is reversely proportional to the effective mobility. Thus, the layout area of the pixel circuit can be decreased from 100 × 100 to 100 × 68 μm2, with the effective mobility increased from 10 to50 cm^2 V^(-1) s^(-1). Therefore, IGZO TFT is a good alternative backplane technology for AMOLED displays, and a higher effective mobility is preferred for high compensation performance and compact layout. 展开更多
关键词 IGZO tft PIXEL circuit MOBILITY
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一种结构简单的IGZO TFT AMOLED像素补偿电路 被引量:1
3
作者 王兰兰 鲁力 +2 位作者 廖聪维 黄生祥 邓联文 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期63-68,共6页
提出了一种铟镓锌氧化物(Indium-Gallium-Zinc-Oxide,IGZO)薄膜晶体管(Thin Film Transistors,TFT)集成的有源矩阵有机发光二极管(Active Matrix Organic Light Emitting Diode,AMOLED)补偿电路。利用发光控制线关闭电源和驱动晶体管之... 提出了一种铟镓锌氧化物(Indium-Gallium-Zinc-Oxide,IGZO)薄膜晶体管(Thin Film Transistors,TFT)集成的有源矩阵有机发光二极管(Active Matrix Organic Light Emitting Diode,AMOLED)补偿电路。利用发光控制线关闭电源和驱动晶体管之间的控制晶体管,以抑制编程期间的泄漏电流。对比了所提出的电路和传统电路的性能,结果表明提出的像素电路可以有效地补偿驱动晶体管的阈值电压(Threshold Voltage,VTH)偏移和载流子迁移率μ的变化。当VTH漂移2 V和μ增加30%时,OLED电流误差率可以分别降低至5%和9%。所提出的像素电路不仅具有非常简单的驱动结构,而且能够提高补偿精度。 展开更多
关键词 有源矩阵有机发光显示 铟镓锌氧化物薄膜晶体管 阈值电压 像素电路 载流子迁移率 误差率
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无定形硅TFT AMOLED器件
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作者 卢有祥(译自) 季旭东(校对) 《光电技术》 2007年第2期36-40,共5页
如果无定形硅(a-Si)不是制造有机发光二极管(OLED)显示器之理想材料,为什么有如此多的单位试图使用它?
关键词 无定形硅 LED器件 tft AMO 有机发光二极管 显示器
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非晶硅TFT AMOLEDs 被引量:2
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作者 Corbin Church Arokia Nathan 代永平 《现代显示》 2005年第6期17-20,共4页
如果说非晶硅不是制作有机发光二极管显示器有源矩阵背板的理想材料,为什么会有这么多人正试图使用它呢?
关键词 非晶硅 有机发光二极管 低温多晶硅
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基于改善AMOLED TFT均匀性和稳定性像素补偿电路
6
作者 谢莉 王永 《电子科技》 2010年第12期20-23,共4页
有机发光二极管显示器(OLED)正越来越多地用于中小尺寸的显示,但在大尺寸方面进展缓慢,因为在有源大尺寸方面对OLED的稳定性和均匀性要求较高,需要设计像素补偿电路。各研究机构提出了像素补偿电路用于改善OLED的均匀性和稳定性等问题,... 有机发光二极管显示器(OLED)正越来越多地用于中小尺寸的显示,但在大尺寸方面进展缓慢,因为在有源大尺寸方面对OLED的稳定性和均匀性要求较高,需要设计像素补偿电路。各研究机构提出了像素补偿电路用于改善OLED的均匀性和稳定性等问题,文中对目前采用有源OLED的α-SiTFT和p-SiTFT的各种像素补偿电路进行了分析。分析结果表明,文中设计方案取得了一定的效果,但尚存不足。 展开更多
关键词 α-Sitft p-Sitft 像素补偿电路
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面向IGZO-TFT-AMOLED像素电路设计的V_(TH)检测方法研究 被引量:2
7
作者 王奥运 胡照文 +3 位作者 陈蒙 尹芊奕 廖聪维 邓联文 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期608-615,共8页
由于迁移率高、均匀性好、制备成本低等优势,铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO TFT)有望促成有源矩阵有机发光显示器件(AMOLED)的大规模量产。但是IGZO TFT存在阈值电压(VTH)漂移的问题,实用的AMOLED像素电路必须对VTH漂移进行补偿以实现较... 由于迁移率高、均匀性好、制备成本低等优势,铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO TFT)有望促成有源矩阵有机发光显示器件(AMOLED)的大规模量产。但是IGZO TFT存在阈值电压(VTH)漂移的问题,实用的AMOLED像素电路必须对VTH漂移进行补偿以实现较好的显示效果,而VTH的检测是AMOLED像素电路设计中的关键环节。本文系统研究了VTH检测方法,比较了放电法、充电法、偏置电流法补偿VTH的效果,研究了VTH检测时间和TFT寄生电容等参数的影响。研究结果表明:放电法不能精确地补偿负VTH漂移,充电法需要的VTH检测时间最长,偏置电流法能够达到的补偿精度最高。 展开更多
关键词 IGZO tft amoled 阈值电压补偿
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双层结构对ZnO TFT稳定性的影响
8
作者 张悦 高晓红 +2 位作者 王晗 王森 孙玉轩 《吉林建筑大学学报》 CAS 2024年第2期76-82,共7页
室温下采用射频磁控溅射方法在SiO_(2)/Si衬底上沉积了单层ZnO薄膜和高氧/低氧双层ZnO薄膜,采用电子束蒸发设备蒸镀Al电极,制备单沟道ZnO TFTs和双层沟道ZnO TFTs。比较两种结构ZnO TFTs的各种性能参数,分析双层结构对TFTs产生的影响。... 室温下采用射频磁控溅射方法在SiO_(2)/Si衬底上沉积了单层ZnO薄膜和高氧/低氧双层ZnO薄膜,采用电子束蒸发设备蒸镀Al电极,制备单沟道ZnO TFTs和双层沟道ZnO TFTs。比较两种结构ZnO TFTs的各种性能参数,分析双层结构对TFTs产生的影响。实验结果表明,底部高含氧量ZnO层和顶部低含氧量ZnO层构成了DAL同质结且高氧/低氧薄膜存在载流子浓度产差,利用载流子从高浓度向低浓度扩散的性质,可以填补栅介电层和沟道层之间的界面态缺陷,使器件界面类受主陷阱减少,有效降低TFTs的滞回现象。与单有源层TFTs相比,双沟道层TFTs还具有电学调制作用,其电学性能和稳定性均有明显的提高,得到最佳TFTs的开/关电流比达到3.44×10^(9),亚阈值摆幅为0.68 V/dec,阈值电压偏移为1.2 V。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 ZnO tft 滞回稳定性 双层结构
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不同退火氛围下MgZnO-TFT的制备及其性能
9
作者 王超 郝云鹏 +2 位作者 郭亮 杨帆 乔国光 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2024年第10期1295-1303,共9页
为探求退火氛围对镁锌氧化物薄膜晶体管性能的影响,本文采用射频磁控溅射法制备了MgZnO薄膜,并以其为沟道层构建了底栅顶接触结构的MgZnO-TFT器件。将所制备的MgZnO薄膜分别在空气、真空、氧气、氮气4种不同氛围下进行500℃、时长1 h的... 为探求退火氛围对镁锌氧化物薄膜晶体管性能的影响,本文采用射频磁控溅射法制备了MgZnO薄膜,并以其为沟道层构建了底栅顶接触结构的MgZnO-TFT器件。将所制备的MgZnO薄膜分别在空气、真空、氧气、氮气4种不同氛围下进行500℃、时长1 h的退火处理,通过原子力显微镜扫描(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)技术对薄膜进行表征分析,结果表明,在真空氛围下退火处理后,MgZnO薄膜质量较好,器件性能最佳,场效应迁移率为0.29 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1),阈值电压为2.28 V,亚阈值摆幅为3.6 V·dec^(-1),电流开关比为1.68×10^(6)。分析认为,这可能是由于在真空氛围下退火时可以在一定程度上隔绝外界干扰,有效避免了有源层薄膜缺陷的产生。同时我们研究测试了器件的正偏压应力(PBS)和负偏压应力(NBS)的稳定性。在不同栅偏压应力下,TFT均展现了良好的稳定性。在正偏置压力为10 V、应力时间为3000 s时,相比ZnO-TFT,真空氛围下进行退火优化的MgZnO-TFT阈值电压漂移从1.38 V降低至0.54 V。结果表明,在氧化锌中掺杂镁元素制备MgZnO薄膜作为TFT的有源层对TFT器件的电学稳定性有一定程度的改善。 展开更多
关键词 MgZnO-tft 退火氛围 XPS 稳定性
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基于不同TFT技术的AMOLED像素电路仿真分析 被引量:10
10
作者 徐小丽 刘如 +1 位作者 郭小军 苏翼凯 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期565-568,共4页
非晶硅、非晶氧化铟镓锌、多晶硅薄膜晶体管是可用于设计AMOLED像素驱动电路的3种典型的薄膜晶体管(TFT)技术。文中基于3种TFT的模型,针对大尺寸、高分辨率的AMOLED,分别在典型的电压式驱动和电流式驱动像素电路进行了建模仿真,并对仿... 非晶硅、非晶氧化铟镓锌、多晶硅薄膜晶体管是可用于设计AMOLED像素驱动电路的3种典型的薄膜晶体管(TFT)技术。文中基于3种TFT的模型,针对大尺寸、高分辨率的AMOLED,分别在典型的电压式驱动和电流式驱动像素电路进行了建模仿真,并对仿真结果做了分析和比较。该研究方法为像素电路的设计提供了一定理论依据。 展开更多
关键词 amoled 非晶硅 非晶氧化铟镓锌 多晶硅 薄膜晶体管
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125mm彩色AMOLED的多晶硅TFT基板 被引量:6
11
作者 孟志国 郭海成 +2 位作者 吴春亚 王文 熊绍珍 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1514-1518,共5页
用化学法在非晶硅表面形成Ni源,经金属诱导晶化(MIC)得到了大晶粒碟型多晶硅.为改善以此材料作有源层的多晶硅TFT的漏电特性和均匀性,采用动态杂质吸除方法对MIC过程所残留的Ni进行了吸除.通过流程简化,采用6块版工艺,研制出125mmQVGA... 用化学法在非晶硅表面形成Ni源,经金属诱导晶化(MIC)得到了大晶粒碟型多晶硅.为改善以此材料作有源层的多晶硅TFT的漏电特性和均匀性,采用动态杂质吸除方法对MIC过程所残留的Ni进行了吸除.通过流程简化,采用6块版工艺,研制出125mmQVGA有源选址有机发光显示的多晶硅TFT选址矩阵基板. 展开更多
关键词 大晶粒 碟型多晶硅 薄膜晶体管 有机发光像素电路 有源选址矩阵
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用OTFT驱动的柔性全彩色AMOLED显示器 被引量:1
12
作者 刘转果 《显示器件技术》 2009年第3期28-32,共5页
开发了一种有机薄膜晶体管(OTFT)技术,以达到用来驱动分辨率为80ppi的全彩色有机发光二极管(OLEDs)的橐陛底板。将顶部发射OLEDs和精细模式的OTFTs结合在一起,可获得全彩色像素结构。该精细模式OTFTs通过采用有机半导体(OSC)隔... 开发了一种有机薄膜晶体管(OTFT)技术,以达到用来驱动分辨率为80ppi的全彩色有机发光二极管(OLEDs)的橐陛底板。将顶部发射OLEDs和精细模式的OTFTs结合在一起,可获得全彩色像素结构。该精细模式OTFTs通过采用有机半导体(OSC)隔离体来集成化,这个隔离体是一个用有机绝缘体做成的隔离壁。为了提高OTFT底板的机械柔性,在OTFT的集成以及隔离体中有效地利用了有机绝缘体.通过采用这些技术,即使在机械弯曲状态条件下,有源矩阵OLED(AMOLED)显示器可通过所开发的OTFT底板而得以驱动。 展开更多
关键词 有机tft OLED amoled 柔性显示器 并五苯
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基于a-IGZO TFT的AMOLED像素电路稳定性的仿真研究 被引量:4
13
作者 贾田颖 詹润泽 董承远 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1240-1244,共5页
非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管(a-IGZO TFT)有望在有源矩阵有机发光显示(AMOLED)像素电路中得到实际应用,但其电压偏置效应仍会引起电路特性的不稳定。本文利用实验室制备的a-IGZO TFT器件进行参数提取并建立了SPICE仿真模型,通过拟合得... 非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管(a-IGZO TFT)有望在有源矩阵有机发光显示(AMOLED)像素电路中得到实际应用,但其电压偏置效应仍会引起电路特性的不稳定。本文利用实验室制备的a-IGZO TFT器件进行参数提取并建立了SPICE仿真模型,通过拟合得到了它的阈值电压随时间变化的方程。在此基础上,采用SPICE软件对基于a-IGZO TFT的2T1C和3T1C两种AMOLED像素电路的稳定性进行了比较研究,证明3T1C电路对阈值电压偏移确实存在一定的补偿效果。最后讨论了进一步改善AMOLED像素电路稳定特性的方法和实际效果。 展开更多
关键词 非晶铟镓锌氧化物 amoled 薄膜晶体管 像素电路
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三星AMOLED VS.TFT LCD
14
《数字通信》 2006年第18期16-16,共1页
AMOLED(ActiVe-Matrix Organic Light Emission Display)就是主动式有机电激发光显示具有反应速度快重量轻与可视角度大的优点。采用了AMOLED技术的电视机有高的色彩还原度能达到200~500cd m^2亮度,最大可达到2500cd/m^2。可以说,A... AMOLED(ActiVe-Matrix Organic Light Emission Display)就是主动式有机电激发光显示具有反应速度快重量轻与可视角度大的优点。采用了AMOLED技术的电视机有高的色彩还原度能达到200~500cd m^2亮度,最大可达到2500cd/m^2。可以说,AMOLED将是下一代显示面板的产品,不过就目前来说,AMOLED面板价格昂贵,普及还需时日。 展开更多
关键词 amoled tft LCD 三星 VS OLED技术 OLED面板 Light 色彩还原度 可视角度
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应用于AMOLED的金属氧化物TFT行驱动电路设计
15
作者 黄静 王志亮 +2 位作者 张振娟 邓洪海 魏觅觅 《南通大学学报(自然科学版)》 CAS 2017年第4期1-4,81,共5页
薄膜晶体管(thin film transistor,TFT)是平板显示领域核心的有源寻址器件,金属氧化物TFT应用于有源矩阵有机发光二级管(active matrix organic light emitting diode,AMOLED)显示已成为业界研究热点.基于氧化铟镓锌薄膜晶体管(IGZO TFT... 薄膜晶体管(thin film transistor,TFT)是平板显示领域核心的有源寻址器件,金属氧化物TFT应用于有源矩阵有机发光二级管(active matrix organic light emitting diode,AMOLED)显示已成为业界研究热点.基于氧化铟镓锌薄膜晶体管(IGZO TFT)模型,采用相邻TFT串接反馈(series connected two-transistor,STT)、双负电源、多时钟控制等结构设计,提出一款新型的行集成驱动电路.该电路能显著减少器材的漏电流,有效提高输出级栅级电压,稳定输出.仿真结果显示,在60 Hz刷新速率下,该电路单级的功耗为161.53μW,驱动信号为7μs,满足4 K(3 840列×2 160行)分辨率的显示需求,可以实现180级级联和复用输出,电路结构简单,功耗小.通过进一步优化该电路的结构与器件参数,单级功耗可减少到126.05μW,同时纹波和失真也可得到一定程度的抑制. 展开更多
关键词 有源矩阵有机发光二级管 氧化铟镓锌薄膜晶体管 行驱动电路 复用输出
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TFT-LCD表面Mura缺陷的AOI检测研究进展
16
作者 陈泽康 沈奕 +2 位作者 翟晨阳 董晨瑶 王双喜 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1463-1476,共14页
液晶显示屏幕的表面缺陷检测是保证TFT-LCD等液晶显示屏质量稳定性的关键。得益于在检测表面缺陷方面高效率、低成本的优势,机器视觉技术目前已经成为TFT-LCD质量检测的主要手段。本文首先概述了液晶屏的发展历程,列举了常见Mura缺陷的... 液晶显示屏幕的表面缺陷检测是保证TFT-LCD等液晶显示屏质量稳定性的关键。得益于在检测表面缺陷方面高效率、低成本的优势,机器视觉技术目前已经成为TFT-LCD质量检测的主要手段。本文首先概述了液晶屏的发展历程,列举了常见Mura缺陷的类型,分别介绍了基于传统图像处理和基于深度学习的Mura缺陷检测方法,概述了图像滤波和图像亮度校正等图像预处理技术的研究动态。本文重点阐述了监督学习、无监督学习和迁移学习等人工智能技术在TFT-LCD表面Mura缺陷检测领域的应用,并对基于机器视觉的TFT-LCD表面Mura缺陷检测的技术发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 tft-LCD Mura缺陷 机器视觉 图像处理 深度学习
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不同退火条件下溶液法制备TZO-TFT器件电学性能分析 被引量:1
17
作者 张轶强 闫兴振 +1 位作者 刘国祥 纪雷阳 《吉林建筑大学学报》 CAS 2024年第3期83-88,共6页
近年来,随着电子产品的大量更新迭代,人们对产品性能要求越来越高,半导体材料与薄膜制备技术成为信息时代发展的重要支柱。传统的磁控溅射法制备薄膜晶体管,存在需要真空制备条件、光刻工艺制备复杂、制备成本高等问题。本文采用溶液法... 近年来,随着电子产品的大量更新迭代,人们对产品性能要求越来越高,半导体材料与薄膜制备技术成为信息时代发展的重要支柱。传统的磁控溅射法制备薄膜晶体管,存在需要真空制备条件、光刻工艺制备复杂、制备成本高等问题。本文采用溶液法制备TZO溶液,旋涂法制备有源层薄膜,并用掩膜版直接生长圆形源漏电极制备薄膜晶体管,研究在不同的退火温度(350℃,550℃,750℃)和不同的退火氛围(真空退火、空气退火)条件下对所制备器件性能的影响。通过实验得出:溶液法制备的TZO-TFT薄膜晶体管,升高热处理温度可以改善器件的电学性能,在550℃的真空条件下对其进行退火,获得了较好的性能,其开关比达到8.04×10^(4),迁移率达到1.04 cm^(2)·(V·s)^(-1),器件的性能稳定。 展开更多
关键词 溶液法 TZO-tft 退火温度 退火氛围
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TFT LCD用液晶显示材料进展 被引量:44
18
作者 李建 安忠维 杨毅 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第2期104-113,共10页
列举了一批近年来得到开发应用的 TFT LCD显示用液晶材料,并分析了其发展趋势。TFT LCD要求液晶材料具备高电压保持率、低粘度、低双折射串等特性,而传统的液晶材料无法满足上述要求.含氟液晶、环己烷类液晶、乙烷类液... 列举了一批近年来得到开发应用的 TFT LCD显示用液晶材料,并分析了其发展趋势。TFT LCD要求液晶材料具备高电压保持率、低粘度、低双折射串等特性,而传统的液晶材料无法满足上述要求.含氟液晶、环己烷类液晶、乙烷类液晶因其极性较低,分子粘度低,电阻率高,电压保持率高,在TFT LCD中得到广泛应用。初步阐明了其分子结构与物理性能之间的关系,为新型液晶分子设计及配方设计提供了线索。 展开更多
关键词 液晶材料 tft tftLCD 薄膜晶体管 阵列驱动液晶显示
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原子层沉积法制备鸡蛋清栅介质ZnO-TFT及其性能研究
19
作者 王聪 黄荷 +1 位作者 刘玉荣 彭强 《电子器件》 CAS 2024年第3期865-869,共5页
采用原子层沉积法(ALD),以天然鸡蛋清作为栅介质制备双电层氧化锌薄膜晶体管(ZnO-TFT),并对其电性能进行测试与分析,研究了该器件在栅偏压应力条件下和空气环境下电学性能的稳定性。结果表明,氧化锌薄膜晶体管电特性表现良好,阈值电压为... 采用原子层沉积法(ALD),以天然鸡蛋清作为栅介质制备双电层氧化锌薄膜晶体管(ZnO-TFT),并对其电性能进行测试与分析,研究了该器件在栅偏压应力条件下和空气环境下电学性能的稳定性。结果表明,氧化锌薄膜晶体管电特性表现良好,阈值电压为0.73 V,载流子饱和迁移率为9.95 cm^(2)/(V·s),开关电流比为1.8×10^(4),亚阈值摆幅为0.33 V/decade,工作电压可低至3.0 V。研究还发现,在正栅偏压应力作用下或在空气环境下器件的电性能皆呈现出不稳定性。栅偏压应力不稳定性主要与栅介质层界面处正电荷集聚及新缺陷态的产生有关;干燥空气环境下电性能的退化可解释为沟道有源层吸附空气中的氧气导致沟道层中载流子有所消耗,以及鸡蛋清电解质被氧化而引起双电层效应的退化。 展开更多
关键词 氧化锌薄膜晶体管 偏压应力 稳定性 双电层 原子层沉积
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不同宽长比的柔性LTPS TFT的电应力可靠性
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作者 张之壤 朱慧 +3 位作者 刘行 张轶群 徐朝 郑文轩 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第6期589-595,共7页
为了研究不同宽长比的柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)的电应力可靠性,测试了器件的I-V特性,以表征器件在强电场直流应力下由于自热效应和热载流子效应带来的电学性能退化。通过瞬态电流法表征了器件在强电场直流应力下的时间常数谱... 为了研究不同宽长比的柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)的电应力可靠性,测试了器件的I-V特性,以表征器件在强电场直流应力下由于自热效应和热载流子效应带来的电学性能退化。通过瞬态电流法表征了器件在强电场直流应力下的时间常数谱,并对其产生的新陷阱进行定位,分析了产生陷阱的内在机理。结果表明,在相同的强电场直流应力下宽长比为3/2.5的器件,其电学参数变化最大,自热效应以及热载流子效应带来的影响也最大。自热效应导致器件性能退化的主要原因是较大的栅源电压导致Si/SiO2界面处和栅氧化层中的陷阱增多,而热载流子效应导致器件性能退化的主要原因则是由于较大的漏源电压使得漏极晶界陷阱态密度急剧升高。 展开更多
关键词 柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS tft) 自热效应 热载流子效应 瞬态电流 强电场直流应力
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