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Design of a Broadband E-Plane Power Combiner Based on Quarter-Arc Bent Rectangular Waveguides for Sub-THz and THz Wave
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作者 唐效频 杨梓强 +1 位作者 史宗君 兰峰 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第8期135-138,共4页
A method of designing an E-plane power combiner composed of two quarter-arc bent rectangular waveguides is proposed for sub-THz and THz waves. The quarter-arc bent-waveguide power combiner has a simple geometry which ... A method of designing an E-plane power combiner composed of two quarter-arc bent rectangular waveguides is proposed for sub-THz and THz waves. The quarter-arc bent-waveguide power combiner has a simple geometry which is easy to design and fabricate. By HFSS codes, the physical mechanism and performance of the power combiner are analyzed, and the relationship between the output characteristics and the structure/operating parameters is given. Simulation results show that our power combiner is suitable for the combining of two equalpower and reversed-phase signals, the bandwidth of the combiner is wide and can be adjusted by the radius of the quarter-arc, and the isolation performance of the combiner can be improved by adding thin film resistive septa at the junction of two quarter-arc bent waveguides. Meanwhile, an approximate method based on the analytic geometrical analysis is given to design this power combiner for different frequency bands. 展开更多
关键词 of in is thz Design of a Broadband E-Plane Power Combiner Based on Quarter-Arc Bent Rectangular waveguides for Sub-thz and thz Wave for on
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THz-Wave Generation from GaP THz Photonic Crystal Waveguides under Difference-Frequency Mixing
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作者 Kyosuke Saito Tadao Tanabe Yutaka Oyama 《Optics and Photonics Journal》 2012年第3期201-205,共5页
GaP terahertz (THz) two-dimensional (2D) photonic crystal (PC) waveguides with line defects were fabricated using inductively-coupled plasma reactive-ion etching (ICP-RIE) in Ar/Cl2 gas chemistries. THz-wave generatio... GaP terahertz (THz) two-dimensional (2D) photonic crystal (PC) waveguides with line defects were fabricated using inductively-coupled plasma reactive-ion etching (ICP-RIE) in Ar/Cl2 gas chemistries. THz-wave generation from the fabricated PC waveguides was demonstrated under collinear phase-matched difference-frequency generation (DFG), using Cr:Forsterite (Cr:F) lasers as the incident source. We compared the THz-wave output characteristics of the PC waveguides with that of GaP planar waveguides. The collinear phase-matching conditions in the DFG process were satisfied for 300- and 500-μm-wide PC waveguide structures at 0.7 and 0.6 THz, respectively. The additional output peaks that appeared near the edge of the photonic band gap, around 0.5 THz, were attributed to the guiding modes in the PC waveguide;no such peaks appeared in the non-patterned ridge waveguides. These experimental results suggest that the phonon-polariton confinement in THz-PC waveguides based on the GaP crystal could be used to enhance the nonlinear optical effect for THz-wave generation. 展开更多
关键词 thz-Wave GENERATION PHOTONIC Crystal waveguide Nonlinear Optical Effect
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Application of Ray Model for Terahertz Transmission Simulations of Tube Waveguide
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作者 Yi Zhong Xuehui Lu +1 位作者 Guoxing Xie Chengbin Jing 《Journal of Computer and Communications》 2018年第12期143-147,共5页
Terahertz (THz) transmission simulations play an important role in THz technology researches, especially for the structural design of a THz waveguide. Ray model takes into account both structure parameter of waveguide... Terahertz (THz) transmission simulations play an important role in THz technology researches, especially for the structural design of a THz waveguide. Ray model takes into account both structure parameter of waveguide and the divergence angle of beam light and could be an alternative way for THz transmission behavior simulations. In this paper, the ray model is used to calculate the transmission loss of tube waveguide, and the simulated transmission losses are presented to compare with the results calculated by COMSOL. The suitable THz frequency range of ray model is discussed by analyzing the transmission loss spectra of tube waveguides with various core sizes. The credibility of ray model on terahertz transmission simulations is demonstrated based on the experimental results tested by THz-TDS and calculated results. 展开更多
关键词 thz waveguide TRANSMISSION LOSS RAY Model
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0.2THz平衡式二倍频器两路功率合成技术
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作者 高颖 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第7期611-616,共6页
针对GaAs肖特基二极管基倍频器输出功率低的问题,采用Y型结结构的波导功分器/功合器在倍频器子模块外部进行信号的合成,实现了输出功率的提升。设计实现了插入损耗低、幅度/相位一致性良好的Y型结结构的波导功分器/功合器。基于GaAs肖... 针对GaAs肖特基二极管基倍频器输出功率低的问题,采用Y型结结构的波导功分器/功合器在倍频器子模块外部进行信号的合成,实现了输出功率的提升。设计实现了插入损耗低、幅度/相位一致性良好的Y型结结构的波导功分器/功合器。基于GaAs肖特基二极管单片工艺,研制了二倍频器子模块,以提高子模块的一致性并降低芯片结温。对波导功分器/功合器及二倍频子模块进行了装配和测试,测试结果表明,该外合成式二倍频器的工作频率为209~216 GHz,当输入功率大于600 mW时,在214 GHz频率下,峰值输出功率可达117 mW,转换效率达到18.5%,合成效率达86.5%。 展开更多
关键词 太赫兹(thz) 倍频器 功率合成器 Y型结 波导
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0.14THz行波管的设计与实验研究 被引量:5
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作者 蒋艺 雷文强 +5 位作者 胡林林 胡鹏 阎磊 周泉丰 马国武 陈洪斌 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期168-170,共3页
以折叠波导作为为慢波结构进行研究分析,利用三维电磁仿真软件HFSS和CST,对0.14THz行波管模型进行了折叠波导慢波结构、电子光学系统和输入输出窗等的模拟设计,并完成了整管的PIC注波互作用的仿真计算与优化。进行了整管的焊接工艺设计... 以折叠波导作为为慢波结构进行研究分析,利用三维电磁仿真软件HFSS和CST,对0.14THz行波管模型进行了折叠波导慢波结构、电子光学系统和输入输出窗等的模拟设计,并完成了整管的PIC注波互作用的仿真计算与优化。进行了整管的焊接工艺设计和热测实验,研制出的样管在电压15.4kV、电流17.4mA下,脉冲工作输出最大功率为8.3 W,输出中心频率为140.8GHz,最大增益为28dB,-3dB带宽为2.9GHz。 展开更多
关键词 折叠波导 慢波结构 太赫兹 行波管
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并行多注THz折叠波导行波管的理论分析与数值模拟 被引量:8
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作者 颜胜美 苏伟 +3 位作者 王亚军 陈樟 金大志 向伟 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期229-234,共6页
为了提高THz行波管的输出功率,通过并行多注和功率合成的方法,完成了并行多注D波段折叠波导行波管的理论分析与数值模拟。计算结果表明:单束行波管在0.135~0.157THz频率区间具有很好的色散平坦度,3dB带宽为13GHz,0.14THz处获得了20.88d... 为了提高THz行波管的输出功率,通过并行多注和功率合成的方法,完成了并行多注D波段折叠波导行波管的理论分析与数值模拟。计算结果表明:单束行波管在0.135~0.157THz频率区间具有很好的色散平坦度,3dB带宽为13GHz,0.14THz处获得了20.88dB的最大增益;多束合成行波管在0.14THz处获得了20.8dB的合成增益,3dB带宽区间合成效率不低于92%。数值模拟表明该方法很好地实现了多路放大信号的合成输出。并行多注行波管具有输出功率大、单束电流小、聚焦磁场低等优点,能够在低发射电流密度条件下实现大功率THz辐射。 展开更多
关键词 thz行波管 折叠波导 并行多注 合成效率 3 dB带宽
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一种可运用于THz波段的新型定向耦合器 被引量:4
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作者 黄昆 钟伟 +2 位作者 康小克 邓贤进 何月 《微波学报》 CSCD 北大核心 2015年第3期90-92,96,共4页
根据分支波导定向耦合器的工作原理,并结合考虑MEMS刻蚀工艺,设计出一款应用于THz波段的10d B波导定向耦合器。该定向耦合器在传统的分支线结构上加以改进,将传统分支线耦合结构改进成新型"田"字型耦合结构,性能较好,并提高... 根据分支波导定向耦合器的工作原理,并结合考虑MEMS刻蚀工艺,设计出一款应用于THz波段的10d B波导定向耦合器。该定向耦合器在传统的分支线结构上加以改进,将传统分支线耦合结构改进成新型"田"字型耦合结构,性能较好,并提高了可加工性。通过HFSS软件仿真,该定向耦合器在0.33~0.35THz频段内耦合度为10d B,隔离度达到30d B以上,各端口回波损耗小于-30d B,整体插损小于0.2d B。 展开更多
关键词 太赫兹技术 波导定向耦合器 “田”字型电桥 MEMS工艺
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0.14 THz折叠波导行波管的设计与实验 被引量:10
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作者 雷文强 蒋艺 +3 位作者 胡林林 阎磊 马国武 陈洪斌 《太赫兹科学与电子信息学报》 2014年第3期334-338,共5页
对折叠波导慢波结构进行了研究,对其色散特性和耦合阻抗进行分析,并设计了输能窗和电子光学系统,在此基础上进行了粒子模拟的束波互作用计算。通过设计,对0.14 THz行波管进行了制管工艺的研究,包括慢波结构的加工和焊接等,完成了热测实... 对折叠波导慢波结构进行了研究,对其色散特性和耦合阻抗进行分析,并设计了输能窗和电子光学系统,在此基础上进行了粒子模拟的束波互作用计算。通过设计,对0.14 THz行波管进行了制管工艺的研究,包括慢波结构的加工和焊接等,完成了热测实验。在电压为16.3 kV,电子流通率为74%条件下,测试得到最大饱和输出功率3.1 W,输出频率140.08 GHz,增益27 dB,最大功率半带宽2.82 GHz。 展开更多
关键词 折叠波导慢波结构 0 14 thz行波管 输能窗 热测实验 电子流通率
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低阈值连续波工作的2.9 THz量子级联激光器 被引量:2
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作者 蒋涛 湛治强 +7 位作者 沈昌乐 杨宁 邓青华 王雪敏 楚卫东 吴卫东 段素青 唐永建 《太赫兹科学与电子信息学报》 2016年第5期657-660,667,共5页
为了获得低阈值连续波工作太赫兹源,采用固源分子束外延技术生长了Ga As/Al Ga As束缚态向连续态跃迁的太赫兹量子级联激光器(QCL)有源区,基于半绝缘-等离子体波导工艺制作了太赫兹量子级联激光器。获得了激光器(腔面未镀高反射膜)的发... 为了获得低阈值连续波工作太赫兹源,采用固源分子束外延技术生长了Ga As/Al Ga As束缚态向连续态跃迁的太赫兹量子级联激光器(QCL)有源区,基于半绝缘-等离子体波导工艺制作了太赫兹量子级联激光器。获得了激光器(腔面未镀高反射膜)的发射光谱和相应的输出特性等性能,其中器件在10 K工作温度、350 m A激励电流下的中心频率为2.93 THz,连续波工作模式的阈值电流密度为156 A/cm2,器件的最大光输出功率为7.84 m W,最高工作温度为62 K。 展开更多
关键词 太赫兹 量子级联激光器 连续波 波导
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0.14THz折叠波导行波管中衰减器的设计 被引量:3
10
作者 雷文强 蒋艺 +2 位作者 胡林林 马国武 陈洪斌 《太赫兹科学与电子信息学报》 2015年第4期533-535,555,共4页
0.14 THz折叠波导行波管是一种宽频带高增益器件,容易产生自激振荡,破坏管子的正常工作。在管内加入衰减器是抑制其振荡的核心技术。本文考虑了衰减材料的配比选择,以及结构形状的匹配,运用三维模拟软件对衰减器的吸收和反射特性进行计... 0.14 THz折叠波导行波管是一种宽频带高增益器件,容易产生自激振荡,破坏管子的正常工作。在管内加入衰减器是抑制其振荡的核心技术。本文考虑了衰减材料的配比选择,以及结构形状的匹配,运用三维模拟软件对衰减器的吸收和反射特性进行计算,优化并研制出适合0.14 THz行波管使用的衰减器。进行冷测后,其匹配和吸收特性都满足衰减器需求,为制作0.14 THz行波管放大器奠定了基础。 展开更多
关键词 0.14thz折叠波导行波管 自激振荡 衰减器 冷测
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0.22THz宽带折叠波导行波管设计与实验 被引量:1
11
作者 周泉丰 宋睿 +5 位作者 雷文强 蒋艺 胡鹏 阎磊 马国武 陈洪斌 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期155-159,共5页
为了获得0.22THz宽带折叠波导行波管,对行波管的慢波结构和输入输出窗结构进行了宽带设计。通过理论分析和电磁仿真计算出合适的参数,使慢波结构在0.22THz工作点附近的色散曲线平坦,耦合阻抗变化小,模拟计算得到的慢波结构3dB带宽大于16... 为了获得0.22THz宽带折叠波导行波管,对行波管的慢波结构和输入输出窗结构进行了宽带设计。通过理论分析和电磁仿真计算出合适的参数,使慢波结构在0.22THz工作点附近的色散曲线平坦,耦合阻抗变化小,模拟计算得到的慢波结构3dB带宽大于16GHz;通过对盒型窗结构及匹配段的优化计算,得到的输入输出结构在大于30GHz范围内S11参数小于-25dB。根据该设计进行了两轮制管和实验研究,得到了一支3dB瞬时带宽约8.8GHz,另一支3dB瞬时带宽大于12GHz的0.22THz折叠波导行波管,中心频率的峰值功率大于400mW。 展开更多
关键词 太赫兹 折叠波导 盒型窗 行波管 带宽
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基于圆盘加载波导的THz分布作用振荡器的模拟研究 被引量:2
12
作者 刘青伦 王自成 刘濮鲲 《微波学报》 CSCD 北大核心 2010年第S1期455-458,共4页
提出了一种新型的基于圆盘加载波导的THz分布作用振荡管(Extended-Interaction Oscillator,EIO),它由圆盘加载波导输入谐振腔、漂移段和输出腔三部分组成。利用2.5维电磁仿真软件-UNIPIC对其进行模拟研究。研究表明慢波结构的长度、漂... 提出了一种新型的基于圆盘加载波导的THz分布作用振荡管(Extended-Interaction Oscillator,EIO),它由圆盘加载波导输入谐振腔、漂移段和输出腔三部分组成。利用2.5维电磁仿真软件-UNIPIC对其进行模拟研究。研究表明慢波结构的长度、漂移管的长度和输出管的高度对输出功率和频率产生显著影响。经过最优化设计,在注电压为27.7kV,电流为20mA的条件下,仿真得出其中心频率为730.86GHz,峰值功率为442.1mW的THz波。 展开更多
关键词 圆盘加载波导 thz EIO
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介质镀膜空芯光纤在THz频段的传输特性 被引量:2
13
作者 刘頔威 祝大军 刘盛纲 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期542-544,共3页
理论分析了介质镀膜空芯光纤在THz频段的传输特性,得出了该光纤的特征方程及模式分布。利用射线光学原理计算了介质膜材料为聚酰亚胺、介质膜厚度为0.05mm的光纤的衰减常数随介质膜内直径的变化情况。得出其主模在THz频段的衰减常数小... 理论分析了介质镀膜空芯光纤在THz频段的传输特性,得出了该光纤的特征方程及模式分布。利用射线光学原理计算了介质膜材料为聚酰亚胺、介质膜厚度为0.05mm的光纤的衰减常数随介质膜内直径的变化情况。得出其主模在THz频段的衰减常数小于1dB/m,该值远小于相同内径的金属圆波导在这一频段的衰减常数。模拟计算了介质膜厚度为0.05mm、内径为1mm,金属膜内径为1.05mm的介质镀膜空芯光纤在0~1THz的S参数,模拟结果显示该光纤在TFHz频段有很宽的通带,且在通带内衰减常数小于0.5dB/m。可用于THz频段电磁波远距离传输。 展开更多
关键词 介质镀膜空芯光纤 thz 传输特性 衰减常数
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0.22THz微电真空折叠波导行波管的聚焦磁场研究 被引量:5
14
作者 张芳 董志伟 《太赫兹科学与电子信息学报》 2013年第4期522-526,共5页
在0.22 THz微电真空折叠波导行波管放大器(FWG-TWT)的设计中,为了保证在电子枪中产生的、具有所需电流密度的电子注能够稳定、成型地注入互作用区,并维持较高的电子通过率,需仔细设计磁场聚焦系统。本文在FWG-TWT中使用螺线管线圈和周... 在0.22 THz微电真空折叠波导行波管放大器(FWG-TWT)的设计中,为了保证在电子枪中产生的、具有所需电流密度的电子注能够稳定、成型地注入互作用区,并维持较高的电子通过率,需仔细设计磁场聚焦系统。本文在FWG-TWT中使用螺线管线圈和周期永磁聚焦系统(PPM)2种磁场结构来实现电子束流的稳定注入和传输。通过三维仿真软件对此电子光学系统进行模拟计算,重点考察了磁场的初始位置、磁感应强度峰值以及磁体厚度等对电子束传输特性的影响。仿真结果表明,在合理的参数范围内,电子注静态通过率可以接近100%,波动很小,能够实现束流的稳定注入和传输。 展开更多
关键词 太赫兹 0 22 thz 折叠波导行波管 聚焦磁场
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0.22THz折叠波导行波管盒型窗设计及实验 被引量:1
15
作者 阎磊 胡林林 +2 位作者 徐翱 雷文强 陈洪斌 《太赫兹科学与电子信息学报》 2013年第5期675-677,共3页
针对0.22 THz折叠波导行波管设计了一款高频输入输出结构—盒型窗,并对其进行了理论分析和数值计算,通过CST2010微波工作室和Ansoft HFSS11进行模拟仿真验证。这种盒型窗不但降低了加工焊接难度,而且保证了较大带宽。本文得到了0.02 TH... 针对0.22 THz折叠波导行波管设计了一款高频输入输出结构—盒型窗,并对其进行了理论分析和数值计算,通过CST2010微波工作室和Ansoft HFSS11进行模拟仿真验证。这种盒型窗不但降低了加工焊接难度,而且保证了较大带宽。本文得到了0.02 THz带宽,在0.21 THz^0.23 THz范围内反射系数都小于0.08。最终通过加工和实验测试对盒型窗进行了验证,实验测试和理论计算基本一致,满足了0.22 THz折叠波导行波管的需要。 展开更多
关键词 0 22 thz 折叠波导行波管 盒型窗 反射系数
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两注THz折叠波导行波结构的增益与传输特性(英文) 被引量:1
16
作者 颜胜美 苏伟 +3 位作者 王亚军 陈樟 金大志 向伟 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期24-30,共7页
为了提高太赫兹行波管的输出功率,提出了多个传输信号进行功率合成的方法。首先,对D波段多注慢波结构进行设计及功分器的优化;然后,通过微铣削工艺完成了两注THz折叠波导结构的加工,加工精度满足实际设计要求;最后,利用CST软件对该结构... 为了提高太赫兹行波管的输出功率,提出了多个传输信号进行功率合成的方法。首先,对D波段多注慢波结构进行设计及功分器的优化;然后,通过微铣削工艺完成了两注THz折叠波导结构的加工,加工精度满足实际设计要求;最后,利用CST软件对该结构的冷测与互作用特性进行了分析。仿真结果表明:该结构的S11值小于-20dB,实际测试值在-20dB左右,两者较吻合。冷测分析表明该结构具有22GHz(16%)的冷带宽,3dB增益带宽为12.5GHz。在各电子注的电压、电流、峰值输入功率大小分别为15.79kV,12mA,10mW时,单注结构获得了1.58 W的输出功率及22dB的增益;而两路信号在互作用完成后,获得了2.91 W的合成功率输出,合成效率不低于90%。通过合成的方法可以有效提高THz行波管的输出功率。 展开更多
关键词 微铣削 两注折叠波导 太赫兹行波管 传输特性与增益特性
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基于圆盘加载波导的THz分布作用振荡器的数值模拟 被引量:1
17
作者 刘青伦 王自成 刘濮鲲 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期739-742,共4页
提出了一种新的基于真空电子学的THz源——基于圆盘加载波导的THz分布作用振荡器(EIO),它由圆盘加载波导输入谐振腔、漂移管和输出腔构成。利用2.5维电磁仿真软件UNIPIC对其进行了模拟研究,结果表明慢波结构的长度、漂移管的长度和输出... 提出了一种新的基于真空电子学的THz源——基于圆盘加载波导的THz分布作用振荡器(EIO),它由圆盘加载波导输入谐振腔、漂移管和输出腔构成。利用2.5维电磁仿真软件UNIPIC对其进行了模拟研究,结果表明慢波结构的长度、漂移管的长度和输出腔的半径对输出功率和频率产生显著影响。经过最优化设计,在注电压为24.85 kV、电流为20 mA的条件下,仿真得出其中心频率为755.5 GHz、峰值功率为1.322 5 W的THz波。 展开更多
关键词 真空电子学 圆盘加载波导 thz 分布作用振荡器
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改善效率的0.14 THz折叠波导慢波结构设计 被引量:2
18
作者 雷文强 蒋艺 +3 位作者 周泉丰 胡鹏 马国武 陈洪斌 《太赫兹科学与电子信息学报》 2017年第4期543-547,共5页
在研究0.14 THz折叠波导行波管中,提出一种三段相速跳变的设计,使得电子能够在输出段与行波场发生速度再同步,从而提高了电子工作效率。根据色散公式,找到一种影响相速变化的结构因素。通过优化设计进行大信号程序计算,在电压14.95 k V... 在研究0.14 THz折叠波导行波管中,提出一种三段相速跳变的设计,使得电子能够在输出段与行波场发生速度再同步,从而提高了电子工作效率。根据色散公式,找到一种影响相速变化的结构因素。通过优化设计进行大信号程序计算,在电压14.95 k V、工作电流30 m A时,与未采用相速变化的结构相比,140 GHz时功率提高了0.84 W,效率提高了9.13%;在142 GHz时功率提高了0.88 W,效率提高了10.4%;-1 d B带宽由原来的5 GHz提高到7 GHz,扩展了行波管的带宽,提高了电子与波的互作用效率。 展开更多
关键词 0.14thz折叠波导行波管 三段相速跳变 速度再同步 色散分析 大信号程序计算
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一种基于共面波导的0.14THz低噪声放大器设计 被引量:1
19
作者 康小克 邓贤进 陈樟 《太赫兹科学与电子信息学报》 2013年第3期332-335,共4页
为解决低噪声放大器设计中过渡电路的实现问题,对基于共面波导的波导-平面电路过渡形式进行改进和优化,设计了一种工作频率为0.14 THz,带宽10 GHz的低噪声放大器。通过仿真,得到了输入输出回波损耗小于-27 dB,插入损耗小于0.1 dB的结果... 为解决低噪声放大器设计中过渡电路的实现问题,对基于共面波导的波导-平面电路过渡形式进行改进和优化,设计了一种工作频率为0.14 THz,带宽10 GHz的低噪声放大器。通过仿真,得到了输入输出回波损耗小于-27 dB,插入损耗小于0.1 dB的结果。此种方法能够很好地实现信号在不同传输线形式间的转换,并得到了无源测试验证。 展开更多
关键词 低噪声放大器 共面波导 石英基板 0 14 thz
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多层圆片级堆叠THz硅微波导结构的制作 被引量:2
20
作者 杨志 董春晖 +2 位作者 柏航 姚仕森 程钰间 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第4期328-332,共5页
基于微电子机械系统(MEMS)工艺,提出一种多层圆片堆叠的THz硅微波导结构及其制作方法。为了验证该结构在制作THz无源器件中的优势,基于6层圆片堆叠的硅微波导结构,设计了一种中心频率365 GHz、带宽80 GHz的功率分配/合成结构,并对其进... 基于微电子机械系统(MEMS)工艺,提出一种多层圆片堆叠的THz硅微波导结构及其制作方法。为了验证该结构在制作THz无源器件中的优势,基于6层圆片堆叠的硅微波导结构,设计了一种中心频率365 GHz、带宽80 GHz的功率分配/合成结构,并对其进行了仿真。研究了制作该结构的工艺流程,攻克了工艺过程中的关键技术,包括硅深槽刻蚀技术和多层热压键合技术,并给出了工艺结果。最终实现了多层圆片堆叠功率分配/合成结构的工艺制作和测试。测试结果表明,尽管样品的插入损耗较仿真值增加3 dB左右,考虑到加工误差和夹具损耗等情况,样品主要技术指标与设计值较为一致。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 太赫兹(thz) 波导 硅深槽刻蚀 热压键合
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