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改进的tan■-展开法和几类非线性分数阶发展方程
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作者 项芳婷 赵小山 《许昌学院学报》 CAS 2024年第2期22-28,共7页
运用改进的tan■-展开法,以一阶常系数微分方程为辅助方程,结合齐次平衡原理,研究了非线性分数阶Khokhlov-Zabolotskaya-Kuznetsov(KZK)方程、非线性分数阶foam drainage方程、非线性分数阶Jimbo-Miwa(JM)方程.借助符号计算系统Maple,... 运用改进的tan■-展开法,以一阶常系数微分方程为辅助方程,结合齐次平衡原理,研究了非线性分数阶Khokhlov-Zabolotskaya-Kuznetsov(KZK)方程、非线性分数阶foam drainage方程、非线性分数阶Jimbo-Miwa(JM)方程.借助符号计算系统Maple,求出了方程的多种精确解,这些解包括周期解、孤子解、有理函数解、指数函数解,扩大了解的范围. 展开更多
关键词 改进的tan■-展开法 非线性分数阶发展方程 精确解
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AiTAN与涂鸦智能达成合作,加速构建东南亚智慧商业生态
2
作者 《五金科技》 2024年第1期47-48,共2页
1月27日,泰国领先的智慧解决方案提供商AiTAN与涂鸦智能在AiTAN品牌发布会上宣布达成合作。双方将联合打造AiTAN品牌在全屋&地产、酒店、租住、商照、办公等领域的全新智慧解决方案,为东南亚客户及用户带来更舒心的智慧体验。
关键词 涂鸦 提供商 智能 品牌 东南亚 发布会 tan 地产
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结肠癌组织中THBS2、SLC11A1基因表达及与TANs浸润的关系
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作者 侯建彬 李新宇 +2 位作者 陈琦玮 柳燕 贾静 《基层医学论坛》 2023年第19期16-19,共4页
目的分析结肠癌组织中血小板反应蛋白2(THBS2)溶质载体家族11成员1(SLC11A1)表达及与肿瘤相关性中性粒细胞(TANs)浸润的关系。方法选取2020年1月-2022年4月在泉州市第一医院进行手术切除的120例结肠癌患者的肿瘤组织及癌旁组织,用免疫... 目的分析结肠癌组织中血小板反应蛋白2(THBS2)溶质载体家族11成员1(SLC11A1)表达及与肿瘤相关性中性粒细胞(TANs)浸润的关系。方法选取2020年1月-2022年4月在泉州市第一医院进行手术切除的120例结肠癌患者的肿瘤组织及癌旁组织,用免疫组化法检测结肠癌组织及癌旁组织中THBS2、SLC11A1表达,收集患者临床病理特征,分析THBS2、SLC11A1表达与结肠癌患者临床病理特征的关系,分析THBS2、SLC11A1与TANs浸润密度的相关性。结果THBS2在结肠癌组织中主要表达于细胞质,SLC11A1在结肠癌组织中主要表达于细胞膜中,染色均呈现棕黄色;相较于癌旁正常组织,结肠癌组织中THBS2表达明显降低,SLC11A1表达明显升高。结肠癌组织THBS2表达与分化程度、淋巴结转移、TNM分期、血管浸润具有明显相关性(P<0.05);结肠癌组织SLC11A1表达与淋巴结转移、肿瘤浸润深度、病理分型、TNM分期、血管浸润具有明显相关性(P<0.05)。结肠癌组织中THBS2表达与TANs浸润密度呈负相关(r=-0.444,P<0.05),SLC11A1表达与TANs浸润密度呈正相关(r=0.355,P<0.05)。结论在结肠癌组织中THBS2、SLC11A1均呈现异常表达,与TANs浸润相互作用共同促进结肠癌的恶性进程,推测两指标可作为潜在的结肠癌临床预后因子。 展开更多
关键词 结肠癌 THBS2 SLC11A1 tans浸润 相关性
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基于TAN网络的地铁区间与车站施工事故致因分析 被引量:3
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作者 申建红 刘树鹏 《隧道建设(中英文)》 CSCD 北大核心 2023年第1期27-35,共9页
为解决不同类型的地铁施工事故关键致因识别,以便于支持事故相关方在风险分析、预防和控制进行决策的问题。在收集国内2011—2021年间发生的202起事故报告数据的基础上,采用树增强朴素贝叶斯(tree augmented naive, TAN)和EM算法,从事... 为解决不同类型的地铁施工事故关键致因识别,以便于支持事故相关方在风险分析、预防和控制进行决策的问题。在收集国内2011—2021年间发生的202起事故报告数据的基础上,采用树增强朴素贝叶斯(tree augmented naive, TAN)和EM算法,从事故经过、直接原因、间接原因3个角度分别对事故报告进行统计处理、风险指标提取及合并、风险指标筛选、模型图形结构构建、模型参数确定,并采用GENIE软件训练数据建立最终分析模型。贝叶斯模型分析结果表明:1)通过正向推理明确不同类型事故的关键致险因素,并对各风险因素引发事故的总体影响程度进行重要度排序;2)通过反向诊断说明所建模型在不同风险因素组合情境下对风险预测的决策支持作用;3)10折交叉验证证实了模型的有效性。 展开更多
关键词 地铁区间 车站施工 安全事故 树增强朴素贝叶斯(tan) 致险因素
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过渡金属掺杂TaN硬质涂层的力学性能和电子结构的第一性原理研究
5
作者 代唯可 汪炯 《粉末冶金材料科学与工程》 2023年第3期203-211,共9页
通过第一性原理计算,研究过渡金属(transition metal,TM)元素掺杂氮化钽(Ta7TMN8,TM=Ti、V、Cr、Y、Zr和Hf)的结构稳定性、力学性能和电子结构。根据对结构和稳定性的计算结果可知,所有的掺杂化合物均能量稳定,Ta7TiN8在能量上比其他掺... 通过第一性原理计算,研究过渡金属(transition metal,TM)元素掺杂氮化钽(Ta7TMN8,TM=Ti、V、Cr、Y、Zr和Hf)的结构稳定性、力学性能和电子结构。根据对结构和稳定性的计算结果可知,所有的掺杂化合物均能量稳定,Ta7TiN8在能量上比其他掺杂化合物更有利;Y、Zr和Hf的掺入使得TaN晶格和体积膨胀,而Ti、V和Cr则相反。通过对力学性能的计算可知,Ti和V的掺入对TaN的剪切模量、弹性模量和理论硬度有较明显的提升,掺Cr对TaN的体积模量有一定的提升,但是会大幅降低理论硬度。基于Ta7TMN8总态密度和分态密度计算结果,费米能级附近存在态密度,表明所有化合物都具有金属性质,由于Ti-3d、V-3d和Cr-3d轨道在费米能级上的贡献比其他TM原子大得多,使得Ta7TiN8、Ta7VN8和Ta7CrN8具有更高的金属性。 展开更多
关键词 tan硬质涂层 掺杂 第一性原理计算 力学性能 电子结构
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tan(φ(ξ)/2)-展开法和(2+1)维非线性立方Klein-Gordon方程
6
作者 项芳婷 赵小山 《江西科学》 2023年第3期436-439,共4页
运用tan(φ(ξ)/2)-展开法并借助符合计算系统Maple,求出了(2+1)维非线性立方Klein-Gordon方程的多种精确解,这些解包括周期解、孤子解、指数函数解。
关键词 tan(φ(ξ)/2)-展开法 (2+1)维非线性立方Klein-Gordon方程 符号计算
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Effects of Antimicrobial Peptides on Production,Slaughter Performance and Blood Routine of Tan Sheep
7
作者 Ning'an MEI Zixin LIU +3 位作者 Jun XU Hui ZHANG Li HU Hua YUN 《Agricultural Biotechnology》 CAS 2023年第1期63-65,71,共4页
[Objectives]This study was conducted to analyze effects of antimicrobial peptides added to the diet of Tan sheep on their production, slaughter performance and blood composition. [Methods] Ninety two four-month-old Ta... [Objectives]This study was conducted to analyze effects of antimicrobial peptides added to the diet of Tan sheep on their production, slaughter performance and blood composition. [Methods] Ninety two four-month-old Tan sheep were randomly divided into two treatment groups according to their body weight, 46 in each group. The control check group(CK) was feed with conventional diet, and the experimental group was fed with the addition of antimicrobial peptide on the basis of the conventional diet, with the added amount of 2.5 g/sheep per day. The experimental period was 60 d. [Results] The incidence rate was 75.06% lower in the experimental group than in the CK. The average daily weight gain per sheep was 11.27% higher in the experimental group than in the CK(P<0.05). The feed conversion ratio was 8.45% lower in the experimental group than in the CK(P<0.05). The average daily gross profit per sheep was 12.12% higher in the experimental group than in the CK. For slaughter performance, the data difference of each item was not significant. The PH at 45 min and 24 h after slaughter was within the normal range of fresh mutton. The cooked meat percentage and water loss rate showed no significant differences(P>0.05). The marbling ranged from 2.45 to 2.50, indicating that the fat content was moderate, and the difference between groups was not significant(P>0.05). The flesh color ranged from 3.00 to 3.15, between light red and bright red, belonging to the normal color of mutton, and the difference between groups was not significant(P>0.05). The shear force was between 2.50 and 2.65, without a significant difference between groups(P>0.05). The white blood cells, lymphocytes and platelets in the experimental group were lower than those in the CK(P<0.01). The erythrocytes and hemoglobin in the erythrocyte group were higher than those in the CK(P<0.05). The neutrophils and monocytes in the experimental group were lower than those in the CK(P<0.05). [Conclusions] This study provides a technical basis for the rational use of antimicrobial peptides and their application in ruminants. 展开更多
关键词 Antimicrobial peptides tan sheep PRODUCTION Slaughter performance Routine blood test
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不同靶材制备TaN单层薄膜的晶体结构与力学性能 被引量:3
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作者 张学华 曹猛 +2 位作者 杨瑾 刘桐 李德军 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2007年第1期10-12,共3页
以钽氮化物为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统,制备以TaN和金属Ta为靶材的两种TaN单层薄膜.通过XRD和纳米力学测试系统分析它们的晶体结构和TaN靶材对薄膜机械性能的影响.结果表明,TaN靶材制备的TaN单... 以钽氮化物为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统,制备以TaN和金属Ta为靶材的两种TaN单层薄膜.通过XRD和纳米力学测试系统分析它们的晶体结构和TaN靶材对薄膜机械性能的影响.结果表明,TaN靶材制备的TaN单层膜的纳米硬度值普遍高于Ta靶材的;当工作气压为0.4 Pa时,TaN单层膜的硬度最大,即35.4 GPa,其结晶出现多元化,使单层膜的硬度、弹性模量以及膜基结合性能均达到最佳. 展开更多
关键词 射频磁控溅射 tan单层膜 tan靶材 Ta靶材
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Factors Affecting the Entrepreneurial Intention of Students at Tan Trao University
9
作者 Hoang Anh Dao Chu Thanh Mai +2 位作者 Phi Tra My Phan Huyen Linh Le Hai Yen 《Macro Management & Public Policies》 2023年第2期34-44,共11页
Entrepreneurship is one of the popular choices for students after graduation from higher education.The study focuses on proposing a model to identify the factors affecting the entrepreneurial intention of students at ... Entrepreneurship is one of the popular choices for students after graduation from higher education.The study focuses on proposing a model to identify the factors affecting the entrepreneurial intention of students at Tan Trao University by researching some typical models in the world.By quantitative research methods based on a survey of 391 students,the study has shown that there are 5 factors affecting the entrepreneurial intention of students at Tan Trao University,including opportunity,motivation,perception of behavioral control,skills and resources for entrepreneurship.Thereby,the study proposes a number of solutions for the students,the university and other related parties to promote students’entrepreneurial intentions. 展开更多
关键词 FACTORS Entrepreneurial intention STUDENTS tan Trao University
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InterTan髓内钉、PFNA内固定术治疗老年不稳定型股骨粗隆间骨折围手术期失血量对比观察
10
作者 邹德玉 《智慧健康》 2023年第4期217-220,共4页
目的 对比观察老年不稳定型股骨粗隆间骨折(UITF)采取股骨近端抗旋髓内钉(PFNA)、InterTan髓内钉内固定术治疗对围手术期失血量的影响。方法 本次总共抽取2020年3月-2022年3月收治的40例老年病例展开研究,均以UITF确诊,对比研究以随机... 目的 对比观察老年不稳定型股骨粗隆间骨折(UITF)采取股骨近端抗旋髓内钉(PFNA)、InterTan髓内钉内固定术治疗对围手术期失血量的影响。方法 本次总共抽取2020年3月-2022年3月收治的40例老年病例展开研究,均以UITF确诊,对比研究以随机法展开,分为对比组(20例)与分析组(20例)。分析组采取PFNA内固定治疗,对比组采取InterTan髓内钉内固定术治疗。研究结束后对比红细胞压积(HCT)、血红蛋白(Hb)变化水平、手术指标及失血量等数据,以评定效果。结果 研究结束后,两组对比HCT、Hb等水平数据,分析组均高于对比组(P<0.05)。两组对比输血量、手术时间等数据,分析组均少于对比组(P<0.05)。两组对比显性、术中及总失血量等数据,分析组均少于对比组(P<0.05),但2组隐性失血量对比差异较小(P>0.05)。结论 与InterTan髓内钉对比,老年UITF采取PFNA内固定术治疗所致显性、术中及总体失血量相对更少,尽管二者隐性失血量对比差异较小,但因其在总失血量中比重较大,所以还需采取有效措施加以预防和控制。 展开更多
关键词 股骨粗隆间骨折 不稳定型 股骨近端抗旋髓内钉 Intertan髓内钉 失血量
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F-150交换机中TAN参数的应用
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作者 罗兰 《江西通信科技》 2002年第4期21-21,20,共2页
介绍了利用F-150交换机中多种TAN参数可以将局内用户任意分群,实现分群用户费率的灵活多变。对技术人员利用交换机现有功能,满足新的市场需求有启发意义。
关键词 F-150交换机 tan参数 SUBtan TGtan LCtan
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Covalent and Ionic Bonding between Tannin and Collagen in Leather Making and Shrinking:A MALDI-ToF Study 被引量:3
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作者 Antonio Pizzi 《Journal of Renewable Materials》 SCIE EI 2021年第8期1345-1364,共20页
Collagen powder hydrolysates were reacted with a solution of commercial mimosa bark tannin extract.The mixture was prepared at ambient temperature and prepared at 80°C to determine what reactions,if any,did occur... Collagen powder hydrolysates were reacted with a solution of commercial mimosa bark tannin extract.The mixture was prepared at ambient temperature and prepared at 80°C to determine what reactions,if any,did occur between the collagen protein through its amino acids and the polyphenolic condensed tannin.The reaction products obtained were analyzed by matrix assisted laser desorption ionization time-of-flight(MALDI ToF)mass spectrometry.Reactions between the two materials did appear to occur,with the formation of a relatively small proportion of covalent and ionic linkages at ambient temperature but a considerable proportion of covalent linkages tannin-protein amino acids and the disappearance of ionic bonds.The linkages between the two materials appeared to be by amination of the phenolic–OHs of the tannin by the amino groups of the non-skeletal side chains of arginine,and by esterification by the–COOH groups of glutamic and aspartic acid of the aliphatic alcohol-OH on the C3 site of the flavonoid units heterocycle of the tannin.The proportion of covalent linkages increases markedly and predominate with increasing temperatures.This tightening of the tannin-protein covalent network formed may be an additional contributing factor both to leather wear resistance and performance as well to leather shrinking when this is subjected to excessive temperatures. 展开更多
关键词 LEATHER collagen vegetal tannins tanNING tannin-protein reactions covalent bonds leather cross-linking leather shrinkage MALDI
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面向问题域的增强TAN分类器研究
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作者 蒋冠雄 叶晓彤 《绍兴文理学院学报》 2010年第9期53-59,共7页
TAN是一种非常有效的贝叶斯网分类器,但其不足之处是缺少根据实际问题放宽假设限制条件的能力.首先提出了增强属性的概念,通过有差别地处理属性变量实现对TAN分类器的扩展,从而得到了增强的TAN分类器(ATAN).其次,引入数据挖掘工具Weka... TAN是一种非常有效的贝叶斯网分类器,但其不足之处是缺少根据实际问题放宽假设限制条件的能力.首先提出了增强属性的概念,通过有差别地处理属性变量实现对TAN分类器的扩展,从而得到了增强的TAN分类器(ATAN).其次,引入数据挖掘工具Weka中更一般化的TAN学习算法,并在此基础上实现了ATAN学习算法.利用W eka实验平台进行的大量测试表明,对于大多数分类问题,ATAN的确能够在不增加时间复杂度的前提下得到相对于TAN更高的分类准确率. 展开更多
关键词 贝叶斯网分类器 tan 增强属性 Atan
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区间二型模糊逻辑系统质心降型及加权Nie-Tan算法
14
作者 陈阳 王涛 《计算机工程与科学》 CSCD 北大核心 2020年第4期733-740,共8页
降型是二型模糊逻辑系统中的核心模块。Nie-Tan (NT)算法不涉及到迭代过程,可直接得到系统输出,具有减少计算消耗的优势,而连续NT(CNT)算法在最近的研究中被证明为准确的质心降型算法。通过分析离散NT算法中求和运算和连续NT算法中的求... 降型是二型模糊逻辑系统中的核心模块。Nie-Tan (NT)算法不涉及到迭代过程,可直接得到系统输出,具有减少计算消耗的优势,而连续NT(CNT)算法在最近的研究中被证明为准确的质心降型算法。通过分析离散NT算法中求和运算和连续NT算法中的求积分运算,利用数值积分技术中牛顿-柯斯特求积公式将NT算法扩展成3种不同形式的加权NT(WNT)算法。在取相同的主变量采样率的情况下,3个计算机仿真例子表明了WNT算法比NT算法有更小的绝对误差且计算速度几乎相同,这使3种不同形式的WNT算法在区间二型模糊逻辑系统的实时应用上具有潜在的可行性和有效性。 展开更多
关键词 区间二型模糊逻辑系统 降型 Nie-tan算法 加权Nie-tan算法 积分
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(B/Ti)_n/TaN薄膜点火桥的制备及点火性能 被引量:8
15
作者 蔡贤耀 蒋洪川 +3 位作者 闫裔超 张宇新 邓新武 张万里 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期265-269,共5页
利用磁控溅射与微细加工技术,将B/Ti多层膜沉积在TaN模桥制备了(B/Ti)n/TaN薄膜点火桥(膜桥),其中TaN膜桥的尺寸为80m×40m×2m,B/Ti多层膜尺寸为4mm×4mm,层数为40层,第一层B厚度400nm,其后每层B或Ti厚度为200nm,总μ... 利用磁控溅射与微细加工技术,将B/Ti多层膜沉积在TaN模桥制备了(B/Ti)n/TaN薄膜点火桥(膜桥),其中TaN膜桥的尺寸为80m×40m×2m,B/Ti多层膜尺寸为4mm×4mm,层数为40层,第一层B厚度400nm,其后每层B或Ti厚度为200nm,总μμμ厚度约8m。用电压40V、电容47F的钽电容对样品进行发火性能测试。结果表明:TaN膜桥的点火延迟时间为85s、点火输μμμ入能量15mJ、爆炸温度2500-3500K、火焰持续时间0.15ms左右、炸药持续高度5mm左右,而(B/Ti)n/TaN膜桥的点火延迟时间为37s、点火输入能量6mJ、爆炸温度4000-8500K、火焰持续时间大于0.25ms、火焰持续高度10mm以上。在点火桥上沉积B/Tiμ多层膜可降低点火延迟时间和点火输入能量,有效提升火工品的点火性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 (B/Ti)n/tan膜桥 tan膜桥 B/Ti多层膜
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Multiwavelength spectrophotometric determination of acidity constants of 1-(2-thiazolylazo)-2-naphthol in methanol-water mixtures
16
作者 Ali Niazi Ateesa Yazdanipour Majid Ramezani 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2007年第8期989-992,共4页
The acid-base properties of 1-(2-thiazolylazo)-2-naphthol (TAN) in mixtures of methanol-water at 25℃ and an ionic strength of 0.1 mol/L are studied by a multi-wavelength spectrophotometfic method. The acidity con... The acid-base properties of 1-(2-thiazolylazo)-2-naphthol (TAN) in mixtures of methanol-water at 25℃ and an ionic strength of 0.1 mol/L are studied by a multi-wavelength spectrophotometfic method. The acidity constants of all related equilibria are estimated using the whole spectral fitting of the collected data to an established factor analysis model. DATAN program was used for determination of acidity constants. The corresponding pKa values in methanol-water mixtures were determined. There is a linear relationship between acidity constants and the mole fraction of methanol in the solvent mixtures. 展开更多
关键词 tan Acidity constants METHANOL SPECTROPHOTOMETRY DAtan
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新型电容型电力设备tanδ在线高精确度测量系统 被引量:36
17
作者 陈天翔 张保会 +2 位作者 陈天韬 王江敏 刘军虎 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2004年第15期67-70,共4页
电容型电力设备tan δ在线监测的低准确性、不稳定性严重影响在线监测系统的实用化,一直是在线监测系统的开发难点。文中介绍了一种新型电容型电力设备tan δ在线高精确度测量系统,该测量系统采用了新型软磁材料制成的高精确度恒角差微... 电容型电力设备tan δ在线监测的低准确性、不稳定性严重影响在线监测系统的实用化,一直是在线监测系统的开发难点。文中介绍了一种新型电容型电力设备tan δ在线高精确度测量系统,该测量系统采用了新型软磁材料制成的高精确度恒角差微电流传感器,在小信号检测和数据处理技术方面采用了独立元分析等方法,采用了全分布现场总线和数据传输技术,使tan δ在线测量的精确性、稳定性显著提高。还介绍了该系统的组成结构及系统实际运行检测情况。该系统目前已在多个变电站投入运行,至今为止运行情况良好。 展开更多
关键词 电容型电力设备 介质损耗因数 tan δ 在线监测
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0.1Hz超低频下XLPE/PE电缆tanδ测量 被引量:9
18
作者 王永红 何丽娟 +4 位作者 吴健儿 魏新劳 隋纹波 王作君 麻春 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期74-75,79,共3页
介绍了 0 .1 Hz超低频电压试验的基本原理和测量技术 ,这是 XL PE/ PE电缆现场试验的一种新方法 ,用它测量电缆 tanδ可以敏感地检查电缆绝缘的整体缺陷。给出了XL PE电缆
关键词 电力电缆 XLPE电缆 PE电缆 tanΔ 测量 超低频
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用傅里叶变换测量介质损耗因数tan δ的软件同步算法 被引量:7
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作者 陈天翔 段建东 +2 位作者 张保会 陈天韬 杨晓宪 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2005年第15期58-62,共5页
计算分析了当电网频率漂移时,通过传统的离散采样用快速傅里叶变换(FFT)计算电力设备的介质损耗因数tanδ时,由于硬件设计的采样周期不能随电网频率漂移而相应地改变,从而给tanδ测量结果带来严重的计算误差。提出了一种利用采样序列数... 计算分析了当电网频率漂移时,通过传统的离散采样用快速傅里叶变换(FFT)计算电力设备的介质损耗因数tanδ时,由于硬件设计的采样周期不能随电网频率漂移而相应地改变,从而给tanδ测量结果带来严重的计算误差。提出了一种利用采样序列数据修正方法,这种方法通过检测信号的周期确定周期修正量,根据大于或小于0决定是增加或者减少采样周期来解决传统傅里叶计算方法的计算误差问题,文中阐述了算法的实现过程,并介绍了一种适用于实验室和现场的通过阻容变化改变相位角的简单而准确的模拟电路。计算机模拟和实测结果表明,文中提出的算法可很好地解决传统傅里叶方法测量tanδ的精度与稳定性不高的问题,在12位A/D精度、电网频率波动±0.2Hz条件下,数据经过修正计算后tanδ测量误差小于5×10-4,对提高tanδ测量精确度及稳定性有重要作用,可在目前广泛使用的微控制单元(MCU)中很好地实现。 展开更多
关键词 介质损耗因数测量 tan δ 傅里叶变换 误差分析 修正算法
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掺Al对TaN薄膜微结构及电性能的影响 被引量:6
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作者 蒋洪川 王超杰 +4 位作者 张万里 向阳 司旭 彭斌 李言荣 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期440-442,共3页
采用反应直流磁控溅射法在Al2O3陶瓷基片上制备TaAlN薄膜,通过调节复合靶Al/Ta面积比调节Al掺杂量,研究了Al/Ta面积比对TaAlN薄膜微结构及电性能的影响。XRD结果表明,TaN薄膜中掺杂Al可在2θ为38.5°和65.18°处分别有立方结构... 采用反应直流磁控溅射法在Al2O3陶瓷基片上制备TaAlN薄膜,通过调节复合靶Al/Ta面积比调节Al掺杂量,研究了Al/Ta面积比对TaAlN薄膜微结构及电性能的影响。XRD结果表明,TaN薄膜中掺杂Al可在2θ为38.5°和65.18°处分别有立方结构的AlN(101)和AlN(202)相出现。随Al/Ta面积比的增大,TaAlN薄膜的沉积速率、电阻率、方阻以及TCR绝对值逐渐增大。当Al/Ta面积比为零时,TaN薄膜的电阻率和TCR绝对值分别为247.8μΩ·cm和12 ppm/℃,当Al/Ta面积比增大到29%时,TaAlN薄膜的电阻率和TCR绝对值分别增大到2560μΩ·cm和270 ppm/℃。 展开更多
关键词 AL掺杂 磁控溅射 tan薄膜 TCR
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