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非晶氧化铝薄膜结构及其不同色散模型光谱椭偏对比研究
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作者 石树正 马宏 +1 位作者 王占英 庞永俊 《燕山大学学报》 CAS 北大核心 2024年第3期265-273,共9页
针对非晶态氧化铝纳米薄膜材料性能预测难度较大的问题,本文提出一种基于光谱椭偏技术的不同色散模型对比分析方法,用于测算纳米薄膜的结构和光电特性。通过建立Tauc-Lorentz和Forouhi-Bloomer色散模型,系统地研究了原子层沉积技术制备... 针对非晶态氧化铝纳米薄膜材料性能预测难度较大的问题,本文提出一种基于光谱椭偏技术的不同色散模型对比分析方法,用于测算纳米薄膜的结构和光电特性。通过建立Tauc-Lorentz和Forouhi-Bloomer色散模型,系统地研究了原子层沉积技术制备的氧化铝薄膜的物相结构、微观形貌和光电特性。结果表明,该薄膜具有无定型结构,表面光滑无裂纹。不同模型获得的结构参数及光电常数并不一致,Forouhi-Bloomer模型得到薄膜厚度与扫描电子显微镜测量的结果更接近,而Tauc-Lorentz模型的粗糙度更符合原子力显微镜测试结果。Tauc-Lorentz模型提取的带隙结果与Tauc法外推出的禁带宽度均保持在3 eV左右。根据分析发现,结构参数的差异主要是由于模型间数学处理方式和参数描述差异导致的,光电参数的不同主要源于模型推导过程中假设条件和收敛特性的差异。 展开更多
关键词 非晶氧化铝 原子层沉积 光谱椭偏 tauc-Lorentz模型 Forouhi-Bloomer模型
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TiAlON系薄膜材料的椭偏研究
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作者 刘文德 陈赤 +4 位作者 杜淼 郝雷 徐英莹 樊其明 张静 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1202-1205,共4页
对新型太阳能用薄膜材料TiAlON材料进行了椭偏研究。采用Cauchy,Lorentz和Tauc Lorentz模型对绝缘性TiAlON薄膜的椭偏测量结果进行了模拟,得到了薄膜的光学常数。通过比较色散模型及薄膜结构在不同波段的应用情况,说明Tauc Lorentz模型... 对新型太阳能用薄膜材料TiAlON材料进行了椭偏研究。采用Cauchy,Lorentz和Tauc Lorentz模型对绝缘性TiAlON薄膜的椭偏测量结果进行了模拟,得到了薄膜的光学常数。通过比较色散模型及薄膜结构在不同波段的应用情况,说明Tauc Lorentz模型更适合于从紫外到近红外宽光谱的拟合。结果表明光谱椭偏术可以作为表征TiAlON材料系的可靠手段,是进一步表征多层膜系光学性质的基础。 展开更多
关键词 TiAlON薄膜 光谱椭偏术 Lorentz模型 Cauchy模型 tauc-Lorentz模型
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脉冲反应磁控溅射氧化钒薄膜的光谱椭偏研究
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作者 董翔 吴志明 +3 位作者 许向东 于贺 顾德恩 蒋亚东 《半导体光电》 CAS 北大核心 2015年第2期220-225,共6页
采用脉冲直流反应磁控溅射技术在不同的占空比条件下制备了氧化钒薄膜。利用X射线光电子能谱仪测定了薄膜的组分,用光谱椭偏仪在300~850nm的波长范围内对薄膜的光学性质进行了研究。实验结果表明降低占空比具有促进金属钒氧化的作用,而... 采用脉冲直流反应磁控溅射技术在不同的占空比条件下制备了氧化钒薄膜。利用X射线光电子能谱仪测定了薄膜的组分,用光谱椭偏仪在300~850nm的波长范围内对薄膜的光学性质进行了研究。实验结果表明降低占空比具有促进金属钒氧化的作用,而通过采用TaucLorentz谐振子色散模型结合有效介质近似模型对椭偏参数Ψ和Δ进行拟合,得到了较为理想的拟合结果。薄膜的复折射率和透过率均由椭偏拟合结果确定,结果发现占空比的下降,导致了可见光范围内薄膜折射率和消光系数的降低以及透过率的提高。 展开更多
关键词 氧化钒薄膜 光谱椭偏 脉冲直流反应磁控溅射 占空比 tauc-Lorentz模型
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氢化非晶硅薄膜的光谱椭偏研究 被引量:3
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作者 何剑 李伟 +3 位作者 徐睿 郭安然 祁康成 蒋亚东 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期293-300,共8页
氢化非晶硅(a-Si…H)薄膜在微电子和光电子工业中有着重要的应用,而椭偏分析技术是一种重要的薄膜表征手段。利用椭偏测量技术并采用Tauc-Lorentz(TL)模型和Forouhi-Bloomer(FB)模型,从不同角度对比研究了a-Si…H薄膜的结构和光学特性... 氢化非晶硅(a-Si…H)薄膜在微电子和光电子工业中有着重要的应用,而椭偏分析技术是一种重要的薄膜表征手段。利用椭偏测量技术并采用Tauc-Lorentz(TL)模型和Forouhi-Bloomer(FB)模型,从不同角度对比研究了a-Si…H薄膜的结构和光学特性。分析结果表明,用两种不同模型得到的a-Si…H薄膜厚度、粗糙层厚度以及光学常数并不一致,由TL模型得到的薄膜厚度更接近扫描电镜(SEM)测量的结果,粗糙层厚度更接近原子力显微镜(AFM)测量结果对应的经验值。结合已发表的文献,分析发现膜厚差异主要来自于模型对薄膜光学参数的不同描述,而光学参数的差异是由于模型推导过程中的不同假设和数学处理产生的。 展开更多
关键词 薄膜 椭偏分析 tauc—Lorentz模型 Forouhi—Bloomer模型
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Junction properties and conduction mechanism of new terbium complexes with triethylene glycol ligand for potential application in organic electronic device 被引量:2
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作者 N.K.Za’aba M.A.Mohd Sarjidan +2 位作者 W.H.Abd.Majid Eny Kusrini Muhammad I.Saleh 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第7期633-640,共8页
Terbium-picrate triethylene glycol(EO3-Tb-Pic) complex was prepared in thin film and single layer device structure of ITO/EO3-Tb-Pic/Al, using spin coating technique. The UV-Vis absorption spectroscopy analysis was ... Terbium-picrate triethylene glycol(EO3-Tb-Pic) complex was prepared in thin film and single layer device structure of ITO/EO3-Tb-Pic/Al, using spin coating technique. The UV-Vis absorption spectroscopy analysis was performed to evaluate the electronic molecular transition of the complex. The optical band gap, Eg estimated from the Tauc model revealed that EO3-Tb-Pic thin film exhibited a direct transition with Eg of 2.70 eV. The electronic parameters of the ITO/EO3-Tb-Pic/Al device such as the ideality factor n, barrier height Φb, saturation current Io, and series resistance Rs, were extracted from the conventional lnI-V, Cheung's functions and Norde's method. It was found that the evaluated parameters calculated from Norde's and Cheung's methods were consistent with those calculated from the conventional I-V method. In the double logarithmic I-V plot, three distinct regions based on the slope were identified, and the conduction mechanisms were discussed and explained. The mobility, μ value was estimated from SCLC region as 2.58×10^–7 cm2/(V·s). This newly obtained lanthanide complex may be potentially utilized in electronic devices. 展开更多
关键词 terbium-picrate complex triethylene glycol tauc model optical band gap CURRENT-VOLTAGE rare earths
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