电真空器件程控排气的研究

简要介绍了应用单片机实现电真空器件的程控真空排气,优化了工艺,保证了真空排气工艺的一致性和稳定性,提高了产品的质量。其程控系统设计合理,抗干扰能力强,操作简便。

单片机控制真空排气工艺的研究

应用单片机实现电真空器件的程控真空排气,以真空度为工艺进程判据,细化控制量,优化工艺,保证工艺的一致性和稳定性,提高了产品的质量;其程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能力强。

计算机在真空排气中的应用研究

采用计算机对真空排气工艺过程进行实时控制,执行排气工艺规程。用计算机控制技术细化工艺控制量,优化工艺过程,提高了工艺的一致性、稳定性和产品质量;程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能力强。