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题名脉宽压缩光栅用多层膜制备和性能测试
被引量:8
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作者
孔伟金
沈健
沈自才
邵建达
范正修
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术与研究发展中心
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期84-88,共5页
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基金
国家863-804主题专项资助项目
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文摘
给出了以413nm作为写入波长,1053nm作为使用波长的多层介质光栅膜的设计,计算表明膜系H3L(H2L)^9H0.5L2.03H满足光栅膜的要求·最后给出了制备得到的样品光学特性测试,结果表明在使用波长和曝光波长处满足设计要求,其抗激光损伤阈值在光正入射和51.2°入射时分别为14.14J/cm2和9.32J/cm2,膜系的应力表现为压应力·
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关键词
多层电介质光栅
膜系设
性能分析
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Keywords
Multi-layer dielectric gratings
thin film stack design
Character analysis
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名变角度3~5μm红外消偏振增透膜的设计
被引量:5
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作者
高晓丹
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机构
武汉东湖学院电子信息工程学院
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2013年第3期187-190,共4页
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文摘
基于红外探测器对红外增透膜的变角度使用需求,分析了入射角度改变对薄膜偏振效应的影响。通常会采用各种措施来减小这种偏振效应的影响,但基本上只能在单一入射角度较窄波段范围内实现消偏振。根据设计要求在所设计的初始膜系的基础上,运用TFCalc膜系设计软件采用梯度法和Needle法综合优化设计了3~5μm宽波段红外增透膜。分析了该设计膜系在入射角为0°~60°的范围内所对应的p偏振光和s偏振光的透射光谱曲线,并模拟了膜厚改变2%对设计膜系透射率曲线的影响,实现了宽角度宽波段红外消偏振增透膜的设计。
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关键词
薄膜
增透膜
消偏振
膜系
优化设计
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Keywords
thin films
anti-reflective film
non-polarizing
film stack
optimization design
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分类号
O484.4
[理学—固体物理]
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