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Tribological Properties of Ti-DLC Coatings on Piston-pin Surfaces
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作者 LIU Jiliang XIANG Jianhua +3 位作者 ZUO Zhengxing XIE Guoxin LUO Jun SHENG Yongqing 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第5期1136-1146,共11页
A magnetically filtered cathode vacuum arc deposition system was used to deposit Ti-doped diamond-like carbon coatings(Ti-DLC)on pin surfaces to improve the wear resistance of high-power density diesel engine piston p... A magnetically filtered cathode vacuum arc deposition system was used to deposit Ti-doped diamond-like carbon coatings(Ti-DLC)on pin surfaces to improve the wear resistance of high-power density diesel engine piston pins.The coating structure,composition,and morphology were characterised using field emission scanning electron microscopy(FE-SEM),X-ray photoelectron spectroscopy(XPS),Raman spectroscopy,and other techniques.Friction tests were carried out using a universal tribometer to study the tribological properties of pins with or without coatings under dry friction and oil lubrication.The surface morphology and cross-sectional morphology of the Ti-DLC coating show that the coating has a uniform crosssection and good surface properties.The XPS spectrum shows that the coating contains Ti-C,Ti-C*,sp2-C,sp3-C,and C-O/C=O.Raman spectroscopy shows that there is an amorphous carbon phase in the Ti-DLC coating.The friction test shows that the friction temperature increase of the pin with the Ti-DLC coating is lower than that without the coating,especially under dry-friction conditions.At the end of the test,the difierence in temperature increase is 16.7%.The friction coefficient when using high-viscosity lubricating oil with a coating is relatively lower than that without a coating,especially under low-speed and heavy-duty conditions.In the dryfriction state,the coated surface has better wear resistance than the uncoated surface,which primarily manifests as abrasive wear,and the surface without a coating mainly experiences adhesive wear. 展开更多
关键词 high-power density diesel engine piston pin ti-dlc coating tribological properties
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Ti-DLC薄膜在水介质中的摩擦学特性 被引量:2
2
作者 高宋 周飞 +2 位作者 苏恒 王谦之 吴志威 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2015年第10期23-29,40,共8页
采用非平衡磁控溅射法在Si(100)片和M2工具钢上制备Ti-DLC薄膜。通过X射线光电子能谱仪、拉曼光谱仪和扫描电子显微镜分析薄膜的结构以及微观形貌;利用球-盘摩擦磨损试验机研究不同载荷下Ti-DLC/Si3N4对摩副在水中的摩擦学特性。结果表... 采用非平衡磁控溅射法在Si(100)片和M2工具钢上制备Ti-DLC薄膜。通过X射线光电子能谱仪、拉曼光谱仪和扫描电子显微镜分析薄膜的结构以及微观形貌;利用球-盘摩擦磨损试验机研究不同载荷下Ti-DLC/Si3N4对摩副在水中的摩擦学特性。结果表明,Ti-DLC薄膜具有致密的表面结构,含有较多的C-Csp2键;摩擦介质为去离子水时,薄膜的摩擦因数随着载荷的增加先减小后增大,且载荷增加到一定值后,摩擦因数几乎不再变化;薄膜磨损率随着载荷的增加先升高后降低,而相应的Si3N4小球磨损率却是先减小后增大,这主要是由于Si3N4在水中易于发生水合反应,促使摩擦接触表面变得非常平滑,从起到降低摩擦因数,在一定程度上减少磨损的作用。 展开更多
关键词 ti-dlc薄膜 M2工具钢 水润滑 摩擦磨损
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DMTD在Ti-DLC自配副摩擦界面的吸附及摩擦学行为的研究 被引量:1
3
作者 魏晓莉 张广安 王立平 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期326-331,共6页
采用非平衡磁控溅射技术制备了Ti掺杂的类金刚石(Ti-DLC)薄膜,用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对薄膜结构和断面致密度进行了分析.用球盘式往复摩擦试验机考察了薄膜与以聚a-烯烃(PAO)为基础油,2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑(DM... 采用非平衡磁控溅射技术制备了Ti掺杂的类金刚石(Ti-DLC)薄膜,用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对薄膜结构和断面致密度进行了分析.用球盘式往复摩擦试验机考察了薄膜与以聚a-烯烃(PAO)为基础油,2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑(DMTD)衍生物作为添加剂复合后的摩擦学性能,同时采用X射线光电子能谱(XPS)对摩擦后的磨痕进行元素分析,并进行动力学计算.结果表明:添加剂分子DMTD分子以巯基S作为吸附点吸附在摩擦界面,扩散是吸附的控制因素,吸附过程跟表面的覆盖度无关,符合Langmuir吸附模型.最后讨论了液体添加剂分子在DLC表面的吸附过程和气体分子吸附过程不同的可能原因. 展开更多
关键词 摩擦吸附 ti-dlc DMTD 吸附动力学分析
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退火对无氢钛掺杂类金刚石(Ti-DLC)膜结构及性能的影响 被引量:5
4
作者 徐均琪 李传志 +1 位作者 严一心 刘衡平 《真空》 CAS 北大核心 2009年第2期29-32,共4页
利用非平衡磁控溅射复合靶技术制备了一系列掺钛的无氢类金刚石(Ti-DLC)薄膜,并对薄膜的热稳定性能、机械性能、应力分布以及表面形貌进行了研究。实验结果表明:退火处理对Ti-DLC膜的性能具有重要影响。随着热处理温度的升高,成膜晶粒... 利用非平衡磁控溅射复合靶技术制备了一系列掺钛的无氢类金刚石(Ti-DLC)薄膜,并对薄膜的热稳定性能、机械性能、应力分布以及表面形貌进行了研究。实验结果表明:退火处理对Ti-DLC膜的性能具有重要影响。随着热处理温度的升高,成膜晶粒逐渐细化,电阻率上升但至一定值后趋于稳定。退火温度的升高,会促使薄膜应力逐渐减小,硬度变低,但其耐火温度可以达到600℃以上而不发生石墨化,这一结果为DLC膜在高温环境下的应用提供了一定思路。 展开更多
关键词 类金刚石膜 非平衡磁控溅射 钛掺杂 复合靶 热稳定性
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基于复合靶制备Ti-DLC膜的结构和性能
5
作者 徐均琪 刘衡平 +1 位作者 李传志 樊慧庆 《真空》 CAS 北大核心 2008年第6期21-24,共4页
利用非平衡磁控溅射技术,以Ti-C复合靶为溅射靶材,在Si基底上制备了钛掺杂的类金刚石(Ti-DLC)薄膜,并对薄膜的表面形貌、电阻率、硬度、摩擦系数、附着力等性能进行了研究。借助微观结构测试结果,综合分析了薄膜在不同工艺参数下的宏观... 利用非平衡磁控溅射技术,以Ti-C复合靶为溅射靶材,在Si基底上制备了钛掺杂的类金刚石(Ti-DLC)薄膜,并对薄膜的表面形貌、电阻率、硬度、摩擦系数、附着力等性能进行了研究。借助微观结构测试结果,综合分析了薄膜在不同工艺参数下的宏观性能变化。实验表明:随着Ti掺杂含量从4at.%到35at.%,Ti-DLC膜电阻率下降了3个数量级;同时,薄膜的本征硬度从4771kgf/mm2降低到3037kgf/mm2,而Ti含量继续增加,硬度值反而会增加;XRD衍射图样表明薄膜的基质呈非晶特征,膜层中有TiC晶相生成;掺杂Ti元素能改善DLC薄膜的附着性能,Ti含量的增加有助于附着力的提升。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 钛掺杂 非平衡磁控溅射 复合靶
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加热温度对模具用316L不锈钢镍磷表面Ti-DLC双层膜摩擦学性能的影响
6
作者 孙会双 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2019年第10期60-63,共4页
为了提高模具用316L不锈钢镍磷表面的摩擦学性能,以316L不锈钢Ni-P为基体材料,在其表面制得了Ti-DLC双层膜,并对该膜实施不同温度的加热处理,研究了加热温度对316L不锈钢镍磷表面Ti-DLC双层膜摩擦学性能的影响。研究结果表明:Ti-DLC双... 为了提高模具用316L不锈钢镍磷表面的摩擦学性能,以316L不锈钢Ni-P为基体材料,在其表面制得了Ti-DLC双层膜,并对该膜实施不同温度的加热处理,研究了加热温度对316L不锈钢镍磷表面Ti-DLC双层膜摩擦学性能的影响。研究结果表明:Ti-DLC双层膜拉曼光谱上形成了1 300 cm^-1与1 600 cm^-1两个位置处的D峰与G峰,当二峰的积分强度比AD/AG增大后,将会引起涂层中sp3键的含量降低。随加热温度升高,AD/AG比值也会随之上升。随着处理温度的升高,膜层的磨损体积与磨损率表现为先增大后降低的规律,200℃磨损率最大;到达更高的加热温度时,更易生成转移膜,使磨损程度减小并形成更光滑的磨痕表面。随着温度的增加,膜层硬度表现出单调减小的变化规律,弹性模量表现出先增加后减小的变化规律,最大值187.42 GPa出现在300℃温度下。 展开更多
关键词 316L不锈钢Ni-P表面 ti-dlc 力学性能 积分强度比 加热温度 摩擦学性能
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Ti-DLC薄膜压阻性能及载流子输运行为研究
7
作者 赵志翰 郭鹏 +5 位作者 魏菁 崔丽 刘山泽 张文龙 陈仁德 汪爱英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS 2024年第8期879-886,I0001,I0002,共10页
围绕压阻传感器领域对高性能类金刚石(Diamond Like Carbon,DLC)薄膜压阻敏感材料的需求,针对金属掺杂DLC存在的载流子输运行为和实际多工况(如温度、湿度等)下压阻性能不明的问题,本工作以Ti-石墨复合拼接靶为靶材,采用高功率脉冲磁控... 围绕压阻传感器领域对高性能类金刚石(Diamond Like Carbon,DLC)薄膜压阻敏感材料的需求,针对金属掺杂DLC存在的载流子输运行为和实际多工况(如温度、湿度等)下压阻性能不明的问题,本工作以Ti-石墨复合拼接靶为靶材,采用高功率脉冲磁控溅射技术,高通量制备出4种Ti含量(原子分数为0.43%~4.11%)的Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜,研究了Ti含量对薄膜组分结构、电学性能、变湿度环境下压阻性能的影响规律。结果表明:Ti含量(原子分数)在0.43%~4.11%范围内,掺杂Ti原子均以固溶形式均匀镶嵌于非晶碳网络中,Ti-DLC薄膜电学行为表现为典型半导体特性,在200~350 K温度范围内,薄膜电阻率均随温度升高而降低。载流子传导机制在200~270 K内为Mott型三维变程跳跃传导,在270~350 K范围内则为热激活传导。Ti-DLC薄膜压阻系数(Gauge Factor,GF)最大值为95.1,在20%~80%相对湿度范围内,所有样品GF均随湿度增加而增大,这可能是引入的固溶Ti原子缩短了导电相之间的平均距离,同时吸附表面水分子导致电阻变化。 展开更多
关键词 Ti掺杂 类金刚石薄膜 电学性能 可变湿度 压阻行为
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HiPIMS占空比对Al合金表面Ti/DLC涂层力学和摩擦性能的影响 被引量:2
8
作者 魏晨阳 白琴 +4 位作者 郭鹏 柯培玲 王振玉 李昊 汪爱英 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期77-88,共12页
类金刚石涂层(DLC)兼具高硬度、耐摩擦磨损和高化学惰性等优点,是理想的Al合金零部件耐磨防护材料之一。然而受限于Al合金与DLC间力学性能差异大,摩擦工况下承受复杂的耦合载荷作用,易导致涂层剥落失效。通过改变高功率脉冲磁控溅射技术... 类金刚石涂层(DLC)兼具高硬度、耐摩擦磨损和高化学惰性等优点,是理想的Al合金零部件耐磨防护材料之一。然而受限于Al合金与DLC间力学性能差异大,摩擦工况下承受复杂的耦合载荷作用,易导致涂层剥落失效。通过改变高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)的电源占空比(2%~10%),设计具有不同结构的Ti过渡层,系统研究Al合金基体上不同过渡层界面结构对DLC力学及摩擦性能的影响。结果表明,随HiPIMS占空比增加,所有Ti过渡层取向从(100)向(002)转变。相比直流磁控溅射Ti过渡层,HiPiMS技术可以降低晶粒尺寸以及提高Ti层致密性,令Ti过渡层具备更强的承载能力,涂层摩擦寿命提升了约4.5倍。沉积具有低(100)择优取向和致密结构的Ti过渡层是实现Al合金表面高性能Ti/DLC涂层的关键,对解决Al合金零部件表面硬质涂层易剥落失效等问题提供了新思路。 展开更多
关键词 AL合金 Ti/DLC涂层 HIPIMS 择优取向 致密性 摩擦磨损行为
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掺钛类金刚石膜的微观结构研究 被引量:13
9
作者 林松盛 代明江 +3 位作者 侯惠君 李洪武 朱霞高 林凯生 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期418-421,共4页
采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X射线衍射(XRD)等手段对膜层的过渡层、界面及微观结构进行... 采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X射线衍射(XRD)等手段对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:制备的膜层成分深度分布与所设计的基体/Ti/TiN/TiCN/TiC/Ti-DLC相吻合,在梯度过渡中不同膜层之间界面体现为渐变过程,结合非常良好;少量的Ti主要以纳米晶TiC的形式掺入到非晶DLC膜当中;所制备的膜层具有厚2.9μm、硬度高达25.77 GPa、膜/基结合力44 N-74 N。 展开更多
关键词 掺钛类金刚石膜 微观结构 离子源 非平衡磁控溅射
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掺Ti量对类金刚石薄膜机械性能的影响 被引量:5
10
作者 祝闻 冉春华 +2 位作者 金义栋 聂朝胤 王振林 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期7-10,共4页
采用非平衡磁控溅射技术,通过改变Ti靶溅射电流,在不锈钢衬底表面沉积了不同掺Ti量的类金刚石薄膜(Ti-DLC),研究了掺Ti量对薄膜的显微硬度、弹性模量、膜/基结合强度、断裂韧性及摩擦磨损行为的影响。结果表明:DLC薄膜掺杂Ti后,硬度明... 采用非平衡磁控溅射技术,通过改变Ti靶溅射电流,在不锈钢衬底表面沉积了不同掺Ti量的类金刚石薄膜(Ti-DLC),研究了掺Ti量对薄膜的显微硬度、弹性模量、膜/基结合强度、断裂韧性及摩擦磨损行为的影响。结果表明:DLC薄膜掺杂Ti后,硬度明显提高,且随着Ti靶溅射电流的增大,薄膜硬度先增加、后降低,Ti靶溅射电流为1.5A时,薄膜硬度最高;掺杂适量的Ti,可以明显改善DLC薄膜的膜/基结合强度和断裂韧性,并能明显降低DLC薄膜的摩擦系数。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 掺Ti类金刚石薄膜 结合强度 摩擦磨损性能
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Ti掺杂及Ti应力缓和层对类金刚石薄膜附着力的影响 被引量:12
11
作者 聂朝胤 安藤彰朗 +1 位作者 卢春灿 廖兵 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期226-229,共4页
研究了Ti掺杂对磁控溅射类金刚石(DLC)薄膜附着力及硬度的影响,同时在Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜的基础上,通过引入Ti应力缓和层制备了Ti/Ti-DLC/Ti/Ti-DLC……软硬交替多层薄膜,研究了Ti应力缓和层对进一步提高薄膜附着力特性的作用... 研究了Ti掺杂对磁控溅射类金刚石(DLC)薄膜附着力及硬度的影响,同时在Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜的基础上,通过引入Ti应力缓和层制备了Ti/Ti-DLC/Ti/Ti-DLC……软硬交替多层薄膜,研究了Ti应力缓和层对进一步提高薄膜附着力特性的作用。采用纳米划痕仪和显微硬度计分析测试了薄膜的附着力和硬度。研究表明,金属Ti的掺杂有利于DLC薄膜附着力特性的改善,但对硬度有一定的影响。Ti应力缓和层的导入进一步改善了Ti-DLC薄膜的附着力特性,使其达到或超过了TiN薄膜的水平,对于附着力的改善Ti应力缓和层存在最佳的厚度值。采用特殊的变周期多层结构设计即在应力集中的膜基界面附近采用较小的调制周期,薄膜顶层附近采用较大的调制周期不但可以保持足够的附着力,还可维持Ti-DLC薄膜原有的硬度。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 Ti掺杂类金刚石薄膜 Ti应力缓和层 显微硬度 附着力
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CoCrMo合金表面掺金属类金刚石薄膜的摩擦学性能 被引量:4
12
作者 谭笛 代明江 +3 位作者 林松盛 胡芳 周宏明 赵齐 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期75-80,共6页
采用非平衡磁控溅射结合阳极型气体离子源技术在CoCrMo合金表面制备掺钨类金刚石薄膜(WDLC)和掺钛类金刚石薄膜(Ti-DLC)。利用努氏显微硬度计、结合力划痕仪、摩擦磨损试验机、表面形貌仪和洛氏硬度计表征膜层的力学性能,并用扫描电镜... 采用非平衡磁控溅射结合阳极型气体离子源技术在CoCrMo合金表面制备掺钨类金刚石薄膜(WDLC)和掺钛类金刚石薄膜(Ti-DLC)。利用努氏显微硬度计、结合力划痕仪、摩擦磨损试验机、表面形貌仪和洛氏硬度计表征膜层的力学性能,并用扫描电镜分析磨损形貌,探讨薄膜磨损机理。结果表明:所制备的2种薄膜均具有典型的DLC薄膜特征,W-DLC薄膜的硬度、结合力和摩擦磨损性能均优于Ti-DLC薄膜,更适合于CoCrMo合金的表面强化处理;CoCrMo合金的磨损机制主要为粘着磨损和磨粒磨损,而Ti-DLC/CoCrMo和W-DLC/CoCrMo的磨损机制以滑动磨损为主伴随极少量的磨粒磨损;经DLC薄膜处理,摩擦因数从CoCrMo合金的0.578降低到0.2以下,磨损率也降低了2个数量级,大幅度地提高了CoCrMo合金的摩擦磨损性能。 展开更多
关键词 CoCrMo合金 掺钛类金刚石薄膜 掺钨类金刚石薄膜 摩擦磨损
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非平衡磁控溅射掺Ti类金刚石薄膜的结构分析 被引量:11
13
作者 聂朝胤 张碧云 谢红梅 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1207-1210,共4页
采用非平衡磁控溅射沉积技术在SCM415渗碳淬火钢基片上沉积了无氢Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜和无氢高纯类金刚石(DLC)薄膜,通过调节Ti靶的溅射功率使获得的Ti-DLC薄膜Ti含量(原子分数)为1.9%—34%.利用Raman分光光谱仪、XPS,XRD、显微... 采用非平衡磁控溅射沉积技术在SCM415渗碳淬火钢基片上沉积了无氢Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜和无氢高纯类金刚石(DLC)薄膜,通过调节Ti靶的溅射功率使获得的Ti-DLC薄膜Ti含量(原子分数)为1.9%—34%.利用Raman分光光谱仪、XPS,XRD、显微硬度计及纳米划痕仪分析研究了Ti-DLC的组织结构、显微硬度及薄膜附着力.结果表明,利用非平衡磁控溅射得到的Ti-DLC薄膜,在Ti含量小于25%时,Ti-DLC薄膜仍具有类金刚石薄膜的sp^2,sp^3结构,但Ti的掺杂促进了sp^3键向sp^2键的转变.掺杂的Ti以TiC纳米晶的形式存在于非晶态的DLC中.掺杂Ti后薄膜的硬度明显降低,而薄膜附着力明显改善;但是当Ti含量超过3%后,薄膜附着力无明显变化,硬度逐渐回升. 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 Ti掺杂类金刚石薄膜 微观结构 显微硬度 附着力
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非平衡磁控溅射Ti掺杂类金刚石薄膜的基本特性 被引量:4
14
作者 聂朝胤 谢红梅 +1 位作者 杨娟 陈志谦 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期147-151,共5页
利用非平衡磁控溅射技术在镜面抛光的SCM415渗碳淬火钢基片上沉积了无掺杂类金刚石(DLC)薄膜和不同含量Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜。利用AFM、SEM、TEM对薄膜的微观结构与形貌进行了观察,利用纳米硬度计、摩擦磨损试验仪及纳米划痕仪... 利用非平衡磁控溅射技术在镜面抛光的SCM415渗碳淬火钢基片上沉积了无掺杂类金刚石(DLC)薄膜和不同含量Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜。利用AFM、SEM、TEM对薄膜的微观结构与形貌进行了观察,利用纳米硬度计、摩擦磨损试验仪及纳米划痕仪测试了薄膜的显微硬度、摩擦系数及薄基结合强度。结果表明:随着Ti的掺杂,薄膜硬度先迅速降低,然后保持不变,在Ti含量为25at%时薄膜硬度出现回升,膜基结合强度随Ti的掺杂呈单调增强趋势。与无掺杂类金刚石薄膜相比,掺杂Ti后薄膜表面微观凸凹增多,摩擦系数增大。对于Ti-DLC薄膜来说,随着Ti掺杂量的增加,摩擦系数出现减小的趋势。其原因在于Ti掺杂量的增加使Ti-DLC薄膜变得更加致密,同时Ti的掺杂还有利于弥补基体表面的凸凹缺陷,使薄膜变得更平滑。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 Ti掺杂类金刚石薄膜 表面微观形貌 摩擦系数
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钛镍合金上制备类金刚石薄膜的性能研究 被引量:6
15
作者 吴玲玲 梁海峰 +3 位作者 蔡长龙 徐均琪 杭凌侠 严一心 《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第2期30-31,41,共3页
 Ti Ni形状记忆合金是目前唯一用作生物医学材料的形状记忆合金。它的主要缺点是不具有生物活性,会对机体造成不利影响。DLC膜以其优异的生物相容性、抗腐蚀性及化学稳定性倍受关注。利用脉冲真空电弧离子镀技术镀制DLC膜改善Ti Ni合...  Ti Ni形状记忆合金是目前唯一用作生物医学材料的形状记忆合金。它的主要缺点是不具有生物活性,会对机体造成不利影响。DLC膜以其优异的生物相容性、抗腐蚀性及化学稳定性倍受关注。利用脉冲真空电弧离子镀技术镀制DLC膜改善Ti Ni合金的表面性能。对DLC膜的表面形貌、显微硬度、摩擦系数、耐磨性能及耐腐蚀性能进行了测试。结果表明:用脉冲真空电弧离子镀技术制备的DLC膜膜层表面形貌较好、硬度高、摩擦系数小、耐磨及耐腐蚀性能良好。 展开更多
关键词 Ti-Ni舍金 类金刚石薄膜 脉冲电弧
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Ti-C→DLC梯度复合膜及其摩擦性能 被引量:10
16
作者 孙明仁 夏立芳 +3 位作者 孙跃 马欣新 李光 金小欧 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 1999年第1期17-21,共5页
在GCr15轴承钢基体上制备了Ti-C→DLC梯度复合膜.对其深度成分分布、化学结构及其在试验室环境下对GCr15商品钢球的摩擦性能进行了研究.结果表明,在轴承钢基体与DLC膜之间形成了Ti,C成分呈梯度变化的Ti-C过渡层,C和对以TiC态和... 在GCr15轴承钢基体上制备了Ti-C→DLC梯度复合膜.对其深度成分分布、化学结构及其在试验室环境下对GCr15商品钢球的摩擦性能进行了研究.结果表明,在轴承钢基体与DLC膜之间形成了Ti,C成分呈梯度变化的Ti-C过渡层,C和对以TiC态和游离态两种化学状态存在.Ti—C梯度过渡层对摩擦承载能力起着关键性的影响,Ti-C→DLC梯度复合膜具有高的摩擦持久寿命和稳定的低摩擦系数,其摩擦系数约为0.16左右. 展开更多
关键词 梯度复合膜 Ti-C过渡层 DLC膜 摩擦性能 类金刚石膜 离子注入 金属材料 等离子体注入
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掺钛类金刚石膜的制备及在手表外观件上的应用 被引量:4
17
作者 林松盛 鲍贤勇 +3 位作者 代明江 崔晓龙 侯惠君 胡芳 《真空》 CAS 北大核心 2011年第1期33-36,共4页
为有效提高手表外观件表面的耐磨、耐蚀性能和装饰性能,采用阳极层流型气体离子源结合非平衡磁控溅射技术,制备了梯度过渡掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,并对其在手表外观件上的应用进行研究。结果表明:此方法获得了显微硬度2232 Hv,膜基结... 为有效提高手表外观件表面的耐磨、耐蚀性能和装饰性能,采用阳极层流型气体离子源结合非平衡磁控溅射技术,制备了梯度过渡掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,并对其在手表外观件上的应用进行研究。结果表明:此方法获得了显微硬度2232 Hv,膜基结合力大于50 N,摩擦系数为0.15的综合性能优良Ti-DLC薄膜;在手表外观件上所沉积的膜层颜色呈亮黑色且均匀一致;手表外观件经镀膜后表面耐磨性达到10000 m以上,耐人工汗也超过行业要求,经实际佩带4年以上的手表外观也基本完好。 展开更多
关键词 手表外观件 掺钛类金刚石膜 离子源 非平衡磁控溅射
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铝基复合材料表面多层复合厚膜的研究 被引量:5
18
作者 彭丽平 王兆松 +5 位作者 李剑锋 吕世功 王春 武洪臣 巩水利 李国卿 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期505-509,共5页
对含50%AlN颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相沉积工艺制备含氢类金刚石(DLC)膜等工艺最后形成了... 对含50%AlN颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相沉积工艺制备含氢类金刚石(DLC)膜等工艺最后形成了多层复合薄膜体系。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、光谱仪、原子力显微镜、微载荷显微硬度仪、摩擦磨损试验机等设备分析了复合薄膜的组织结构、膜层形貌、截面形貌、显微硬度和摩擦系数等性能特点。测试表明:铝基复合材料/Ni-P层/Ti/TiN调制周期膜/含氢DLC膜这一梯度膜系具有结构交替变化,相邻界面形成混合层,性能梯度分布,硬度逐渐增加,摩擦系数小的特点。该复合工艺能够有效地解决铝基复合材料上制备硬质厚膜的热适配和晶格错配度大的难题,制备薄膜具有良好的膜基结合性能。 展开更多
关键词 多层复合膜 Ti/TiN调制周期膜 类金刚石膜 摩擦系数 结合力
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掺钛对类金刚石薄膜力学性能影响研究 被引量:7
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作者 赵栋才 肖更竭 +2 位作者 任妮 马占吉 武生虎 《真空与低温》 2008年第1期27-31,共5页
利用脉冲电弧离子镀技术制备了一系列钛含量不同的类金刚石薄膜。对样品研究发现:随着钛含量的增加(原子百分比小于5.3%),薄膜的硬度和应力都开始下降,且应力的下降幅度大于硬度下降幅度;但当钛含量继续增大时(原子百分比在5.3%和18.0%... 利用脉冲电弧离子镀技术制备了一系列钛含量不同的类金刚石薄膜。对样品研究发现:随着钛含量的增加(原子百分比小于5.3%),薄膜的硬度和应力都开始下降,且应力的下降幅度大于硬度下降幅度;但当钛含量继续增大时(原子百分比在5.3%和18.0%之间),薄膜的硬度继续保持下降,但薄膜的应力基本保持不变。摩擦系数在钛原子百分比含量小于6.3%时,保持不变,随着钛含量的继续增大,摩擦系数缓慢增加,但当钛含量到达一定值后,其磨损量增加,摩擦系数开始变的不稳定。 展开更多
关键词 类金刚石膜 掺钛 应力 硬度
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类金刚石膜Ti,Zr掺杂对DLC性能的影响 被引量:2
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作者 马国佳 张华芳 +1 位作者 武洪臣 孙刚 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期77-79,83,共4页
主要针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较,结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜热稳... 主要针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较,结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜热稳定性,对于含氢DLC膜,金属的掺杂还提高了薄膜的硬度,但掺杂后的摩擦系数变大。 展开更多
关键词 DLC膜 类金刚石 PSII Ti、Zr掺杂
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