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Preparation and Characterization of CeO_2-TiO_2/SnO_2:Sb Films Deposited on Glass Substrates by R.F.Sputtering 被引量:6
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作者 ZHAO Qingnan DONG Yuhong NI Jiamiao WANG Peng ZHAO Xiujian 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2008年第4期443-447,共5页
CeO2-TiO2 films and CeO2-TiO/SnO2:Sb (6 mol%) double films were deposited on glass substrates by radio-frequency magnetron sputtering (R.F. Sputtering), using SnO2:Sb(6 mol%) target, and CeO2- TiO2 targets wit... CeO2-TiO2 films and CeO2-TiO/SnO2:Sb (6 mol%) double films were deposited on glass substrates by radio-frequency magnetron sputtering (R.F. Sputtering), using SnO2:Sb(6 mol%) target, and CeO2- TiO2 targets with different molar ratio of CeO2 to TiO2 (CeO2:TiO2-0:1.0; 0.1:0.9; 0.2:0.8; 0.3:0.7; 0.4:0.6; 0.5:0.5; 0.6:0.4; 0.7:0.3; 0.8:0.2; 0.9:0.1; 1.0:0). The films are characterized by UV-visible transmission and infrared reflection spectra, scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and X-ray diffraction (XRD), respectively. The obtained results show that the amorphous phases composed of CeO2-TiO2 play an important role in absorbing UV, there are Ce^3-, Ce^4- and Ti^4- on the surface of the films; the glass substrates coated with CeO2-TiO2 (Ce/Ti=0.5:0.5; 0.6:0.4)/SnO2:Sb(6 mol%) double films show high absorbing UV(〉99), high visible light transmission (75%) and good infrared reflection (〉70%). The sheet resistance of the films is 30-50 Ω/□. The glass substrates coated with the double functional films can be used as window glass of buildings, automobile and so on. 展开更多
关键词 coating glass CeO2-TiO/sno2:Sb double thin films absorbing UV IR reflection R.F. sputterin
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Optimization of Gas Sensing Performance of Nanocrystalline SnO_2 Thin Films Synthesized by Magnetron Sputtering 被引量:1
2
作者 N.Panahi M.T.Hosseinnejad +1 位作者 M.Shirazi M.Ghoranneviss 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第6期99-103,共5页
Tin oxide (SnO2) is one of the most promising transparent conducting oxide materials, which is widely used in thin film gas sensors. We investigate the dependence of the deposition time on structural, morphologicaJ ... Tin oxide (SnO2) is one of the most promising transparent conducting oxide materials, which is widely used in thin film gas sensors. We investigate the dependence of the deposition time on structural, morphologicaJ and hydrogen gas sensing properties of SnO2 thin films synthesized by dc magnetron sputtering. The deposited samples are characterized by XRD, SEM, AFM, surface area measurements and surface profiler. Also the H2 gas sensing properties of SnO2 deposited samples are performed against a wide range of operating temperature. The XRD analysis demonstrates that the degree of crystallinity of the deposited SnO2 films strongly depends on the deposition time. SEM and AFM analyses reveal that the size of nanoparticles or agglomerates, and both average and rms surface roughness is enhanced with the increasing deposition time. Also gas sensors based on these SnO2 nanolayers show an acceptable response to hydrogen at various operating temperatures. 展开更多
关键词 of on as it or in Optimization of Gas Sensing Performance of Nanocrystalline sno2 Thin films Synthesized by Magnetron Sputtering sno by
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Optoelectronic properties of SnO2 thin films sprayed at different deposition times 被引量:1
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作者 Allag Abdelkrim Saad Rahmane +2 位作者 Ouahab Abdelouahab Attouche Hafida Kouidri Nabila 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第4期296-302,共7页
This article presents the elaboration of tin oxide (SnO2) thin films on glass substrates by using a home-made spray pyrolysis system. Effects of film thickness on the structural, optical, and electrical film propert... This article presents the elaboration of tin oxide (SnO2) thin films on glass substrates by using a home-made spray pyrolysis system. Effects of film thickness on the structural, optical, and electrical film properties are investigated. The films are characterized by several techniques such as x-ray diffraction (XRD), atomic force microscopy (AFM), ultraviolet- visible (UV-Vis) transmission, and four-probe point measurements, and the results suggest that the prepared films are uniform and well adherent to the substrates. X-ray diffraction (XRD) patterns show that SnO2 film is of polycrystal with cassiterite tetragonal crystal structure and a preferential orientation along the (110) plane. The calculated grain sizes are in a range from 32.93 nm to 56.88 nm. Optical transmittance spectra of the films show that their high transparency average transmittances are greater than 65% in the visible region. The optical gaps of SnO2 thin films are found to be in a range of 3.64 eV-3.94 eV. Figures of merit for SnO2 thin films reveal that their maximum value is about 1.15 x 10-4 Ω-1 at λ = 550 nm. Moreover, the measured electrical resistivity at room temperature is on the order of 10^-2 Ω.cm. 展开更多
关键词 thin film sno2 spray pyrolysis thickness PROPERTIES
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Electrodeposition of SnO_2 nanocrystalline thin film using butyl-rhodamine B as a structure-directing agent 被引量:1
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作者 Jing Yang Shou Li Bai +3 位作者 Rui Xian Luo Ai Fan Chen Yuan Lin Jing Bo Zhang 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2010年第12期1505-1508,共4页
Porous SnO2 nanocrystalline thin films were successfully electrodeposited from an oxygen-saturated acid aqueous solution of SnCl2 containing different concentrations of butyl-rhodamine B(BRhB) at 70℃.BRhB with subs... Porous SnO2 nanocrystalline thin films were successfully electrodeposited from an oxygen-saturated acid aqueous solution of SnCl2 containing different concentrations of butyl-rhodamine B(BRhB) at 70℃.BRhB with substitute of amidocyanogen can be dissolved in the acid deposition solution,where HCl was added to suppress hydrolysis of SnCl2.So it was used as a structure-directing agent to promote the crystal growth of SnO_2.The formed porous morphology and tetragonal rutile crystalline structure of the electrodeposited thin films were controlled by the addition of BRhB with different amounts. 展开更多
关键词 Nanocrystalline sno2 thin film ELECTRODEPOSITION Butyl-rhodamine B Structure-directing agent
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Conduction Properties and Scattering Mechanisms in F-doped Textured Transparent Conducting SnO_2 Films Deposited by APCVD 被引量:1
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作者 Deheng ZHANG(Dept. of Physics, Shandong University, Jinan 250100, China)Honglei MA(Institute of Optoelectronic Materials and Devices, Shandong University, Jinan 250100, China) 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 1997年第1期50-56,共7页
Transparent conducting F-doped texture SnO2 films with resistivity as low as 5× 10-4 Ω ·cm,with carrier concentrations between 3.5 × 1020 and 7× 1020 cm-3 and Hall mobilities from 15.7 to 20.1 cm2... Transparent conducting F-doped texture SnO2 films with resistivity as low as 5× 10-4 Ω ·cm,with carrier concentrations between 3.5 × 1020 and 7× 1020 cm-3 and Hall mobilities from 15.7 to 20.1 cm2/(V/s) have been prepared by atmosphere pressure chemical vapour deposition (APCVD). These polycrystalline films possess a variable preferred orientation, the polycrystallite sizes and orientations vary with substrate temperature. The substrate temperature and fluorine flow rate dependence of conductivity, Hall mobility and carrier conentration fOr the resultingfilms have been obtained. The temperature dependence of the mobiity and carrier concentrationhave been measured over a temperature range 16~400 K. A systematically theoretical analysis on scattering mechanisms for the highly conductive SnO2 films has been given. Both theoretical analysis and experimental results indicate that for these degenerate, polycrystalline SnO2 :F films in the low temperature range (below 100 K), ionized impurity scattering is main scattering mechanism. However, when the temperature is higher than 100 K, the lattice vibration scattering becomes dominant. The grain boundary scattering makes a small contribution to limit the mobility of the films. 展开更多
关键词 sno cm Conduction Properties and Scattering Mechanisms in F-doped Textured Transparent Conducting sno2 films Deposited by APCVD
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High Sensitivity of Porous Cu-Doped SnO2 Thin Films to Methanol
6
作者 Sara Benzitouni Mourad Zaabat +6 位作者 Aicha Khial Djamil Rechem Ahlem Benaboud Dhikra Bouras Abdelhakim Mahdjoub Mahdia Toubane Raphael Coste 《Advances in Nanoparticles》 2016年第2期140-148,共9页
Porous Cu-doped SnO<sub>2</sub> thin films were synthesized by the sol-gel dip-coating method for enhancing methanol sensing performance. The effect of Cu doping concentration on the SnO<sub>2</su... Porous Cu-doped SnO<sub>2</sub> thin films were synthesized by the sol-gel dip-coating method for enhancing methanol sensing performance. The effect of Cu doping concentration on the SnO<sub>2</sub> sensibility was investigated. XRD data confirm that the fabricated SnO<sub>2</sub> films are polycrystalline with tetragonal rutile crystal structure. AFM and SEM micrographs confirmed the roughness and the porosity of SnO<sub>2</sub> surface, respectively. UV-Vis spectrum shows that SnO<sub>2</sub> thin films exhibit high transmittance in the visible region &#126;95%. The band gap (3.80 - 3.92 eV) and the optical thickness (893 - 131 nm) of prepared films were calculated from transmittance data. The sensing results demonstrate that SnO<sub>2</sub> films have a high sensitivity and a fast response to methanol. In particular, 3% Cu-SnO<sub>2</sub> films have a higher sensitivity (98%), faster response (10-<sup>2</sup> s) and shorter recovery time (18 s) than other films. 展开更多
关键词 sno2 Cu-Doped Sensitivity Porosity Response Time Band Gap Thin films
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Comparative Study of Structural, Optical and Electrical Properties of SnO<sub>2</sub>Thin Film Growth via CBD, Drop-Cast and Dip-Coating Methods
7
作者 Md. Tareq Rahman Zubair Ahmed +6 位作者 Md. Johurul Islam Kamaruzzaman Mst. Toma Khatun Md. Abdul Gafur Md. Shahriar Bashar Md. Monjarul Alam 《Materials Sciences and Applications》 2021年第12期578-594,共17页
Tin oxide (SnO<sub>2</sub>) thin films were deposited on glass substrate by Chemical Bath Deposition (CBD), Drop-Cast and Dip-Coating method. The thin films were post-annealed at 500&deg;C for 2 hours.... Tin oxide (SnO<sub>2</sub>) thin films were deposited on glass substrate by Chemical Bath Deposition (CBD), Drop-Cast and Dip-Coating method. The thin films were post-annealed at 500&deg;C for 2 hours. The structural, optical, and electrical properties of the SnO<sub>2</sub> thin films were investigated by using XRD, FTIR, SEM, EDX, UV-Vis spectroscopy, and Electrometer experiment. The XRD patterns of SnO<sub>2</sub> thin films deposited on glass substrate by CBD method, Drop-Cast method and Dip-Coating method showed cubic, tetragonal and amorphous structures respectively. The FTIR spectrum exhibited the strong presence of SnO<sub>2</sub> with the characteristic vibrational mode of Sn-O-Sn. The SEM analysis was observed that the surface morphology of the thin films toughly depends on the deposition methods of the SnO<sub>2</sub> thin films. EDX measurement confirmed that the thin films are the composition of Tin (Sn) and Oxygen (O<sub>2</sub>). The optical band gap of SnO<sub>2 </sub>thin films deposited by CBD method, Drop-Cast method and Dip-Coating method is found to be 3.12 eV, 3.14 eV and 3.16 eV respectively. Thin films deposited by Dip-Coating method showed the highest band gap. The electrical results confirmed that the SnO<sub>2</sub> thin films are good conductors and pursued Ohm’s Law. These properties of the SnO<sub>2</sub> thin films brand are appropriate for application in solar cell assembly, gas sensor devices and transparent electrodes of panel displays. 展开更多
关键词 sno2 Thin film CBD Drop-Cast and Dip-Coating Method Electrical
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ZnO-SnO_2透明导电膜的低温制备及性质 被引量:13
8
作者 黄树来 马瑾 +3 位作者 刘晓梅 马洪磊 孙征 张德恒 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期56-59,共4页
在室温下 ,采用射频磁控溅射法在 70 5 9玻璃衬底上制备出 Zn O- Sn O2 透明导电薄膜 .制备的薄膜为非晶结构 ,并且薄膜的电阻率强烈地依赖于溅射气体中的氧分压 .薄膜的最小电阻率为 7.2 7× 10 - 3Ω· cm,载流子浓度为4 .3&#... 在室温下 ,采用射频磁控溅射法在 70 5 9玻璃衬底上制备出 Zn O- Sn O2 透明导电薄膜 .制备的薄膜为非晶结构 ,并且薄膜的电阻率强烈地依赖于溅射气体中的氧分压 .薄膜的最小电阻率为 7.2 7× 10 - 3Ω· cm,载流子浓度为4 .3× 10 1 9cm- 3、霍尔迁移率为 2 0 .5 cm2 / (V· s) ,在可见光范围内的平均透过率达到了 90 % . 展开更多
关键词 透明导电膜 ZnO—sno2 射频磁控溅射
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SnO_2纳米薄膜的制备、显微结构及气敏性能 被引量:8
9
作者 赵杰 赵经贵 +3 位作者 高山 霍丽华 王海水 席时权 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期122-125,共4页
以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增... 以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增加 ,其电子光谱的吸收呈线性增加 ,膜电阻则逐渐减小并趋于稳定值。薄膜对 1 0 0~ 1 0 0 0 μL/L的乙醇和丙酮都有较好的敏感性和响应 恢复特性 ,对 80 0 μL/L的气体响应和恢复时间分别为 3 0和 60s。 展开更多
关键词 sno2 薄膜 溶胶-凝胶法 气敏性能
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Sol-Gel法制备低阻SnO_2薄膜 被引量:8
10
作者 李爱武 全宝富 +1 位作者 刘凤敏 陈丽华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期645-646,648,共3页
采用sol gel法制备了SnO2 薄膜。研究了不同的实验条件对薄膜阻值的影响。利用XRD、XPS分析了薄膜的晶体结构和晶粒尺寸。利用这种低阻SnO2 薄膜制作的热线型气敏元件对H2
关键词 SOL-GEL法 气敏特性 二氧化锡薄膜 气敏材料
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双染料复合敏化SnO_2纳米多孔膜光电极的研究 被引量:8
11
作者 张莉 杨迈之 +5 位作者 乔学斌 郝彦忠 高恩勤 蔡生民 孟凡顺 田禾 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 1999年第4期1-5,共5页
研究 了五甲川 菁和联吡 啶钌双 染料复合 敏化 Sn O2 纳米 结构 电极 的光 电化 学行 为. 结果表明, 五甲川菁 在550 ~7 00 n m 范围 有强吸 收带,而 联吡啶钌 在400 ~6 00 n m 吸光 性好, 它们 在电极表... 研究 了五甲川 菁和联吡 啶钌双 染料复合 敏化 Sn O2 纳米 结构 电极 的光 电化 学行 为. 结果表明, 五甲川菁 在550 ~7 00 n m 范围 有强吸 收带,而 联吡啶钌 在400 ~6 00 n m 吸光 性好, 它们 在电极表面的 共吸附使 吸 光 范 围 几 乎 覆 盖 整 个 可 见 和 近红 外 光 区 . 它 们 的 激 发 态 能级 为 - 091 V( vs N H E) 和 - 06 V( vs N H E) ,都高 于 Sn O2 纳 米粒 子的 导 带位 置, 有利 于它 们 的激 发态 电 子注入 Sn O2 纳米粒 子的导 带,即 各自 吸收不 同波 长范围 的光, 共同产 生阳 极光电 流. 因而 这种双 染料复合敏 化比单一 五甲川 菁染料或 联吡啶钌 敏化效 果有更显 著的 提高, 同时 光电 转化 率得 到明 显改善,最 高单色光 量子转换 效率( I P C E) 可达 68 % 展开更多
关键词 纳米结构 多孔膜电极 光电转换 敏化 二氧化锡
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SnO_2薄膜的溶胶-凝胶制备及气敏性能的研究 被引量:5
12
作者 林殷茵 杨合情 +1 位作者 张良莹 姚熹 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期186-189,共4页
采用非醇盐溶胶-凝胶工艺制得纳米微晶SnO2多孔薄膜,该法易于实现SnO2与多种添加剂的均匀掺杂。通过调整薄膜的微观结构使薄膜对C2H5OH和CO在最佳工作温度的灵敏度比调整前分别提高了3倍和14倍。
关键词 薄膜 溶胶-凝胶 气敏材料 纳米微晶 二氧化锡
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Ce掺杂对SnO_2薄膜电学及气敏性能的影响 被引量:11
13
作者 方国家 刘祖黎 +2 位作者 张增常 王昕玮 姚凯伦 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期11-15,共5页
以无机盐SnCl2·2H2O、(NH4)3Ce(NO3)6为原料,无水乙醇为溶剂,采用溶胶凝胶工艺制备了纯SnO2及SnO2∶Ce薄膜。研究了SnO2∶Ce薄膜的热分解晶化过程和Ce掺杂对SnO2薄膜电学及气敏... 以无机盐SnCl2·2H2O、(NH4)3Ce(NO3)6为原料,无水乙醇为溶剂,采用溶胶凝胶工艺制备了纯SnO2及SnO2∶Ce薄膜。研究了SnO2∶Ce薄膜的热分解晶化过程和Ce掺杂对SnO2薄膜电学及气敏性能的影响,发现SnO2∶Ce薄膜在常温下对H2S气体具有较好的气敏性能。 展开更多
关键词 掺杂 气敏性 氧化锡薄膜 电性能
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用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO_2薄膜的研究 被引量:5
14
作者 秦友兰 王万录 +2 位作者 赵作峰 肖金龙 董玉峰 《广西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第3期16-19,共4页
采用无机试剂 ( Sn Cl4 · 5H2 O)为原料 ,用溶胶 -凝胶 ( Sol-Gel)法制备研制气敏传感器的 Sn O2 薄膜 ,研究了 Sn O2 薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系 ,并且用 XRD对 Sn O2 薄膜进行分析 .结果表明 ,掺杂和热处理温度对薄膜晶... 采用无机试剂 ( Sn Cl4 · 5H2 O)为原料 ,用溶胶 -凝胶 ( Sol-Gel)法制备研制气敏传感器的 Sn O2 薄膜 ,研究了 Sn O2 薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系 ,并且用 XRD对 Sn O2 薄膜进行分析 .结果表明 ,掺杂和热处理温度对薄膜晶粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响 ,进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度 . 展开更多
关键词 XRD 二氧化锡薄膜 溶胶-凝胶法 气敏传感器
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气相合成SnO_2超微粒薄膜研究 被引量:2
15
作者 陆慧 王亮兴 +2 位作者 贺黎明 滕月莉 潘孝仁 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2001年第4期469-473,共5页
用直流气体放电活化反应蒸发法在玻璃基片上沉积的SnO2 超微粒薄膜 ,研究其过程中各工艺参数对薄膜结构的影响及作用机理。结果表明 ,SnO2 超微粒薄膜粒径随氧分压增加而增大 ;蒸镀时间的延长有助于SnO2 的生成 ,也使薄膜发生晶化 ;而... 用直流气体放电活化反应蒸发法在玻璃基片上沉积的SnO2 超微粒薄膜 ,研究其过程中各工艺参数对薄膜结构的影响及作用机理。结果表明 ,SnO2 超微粒薄膜粒径随氧分压增加而增大 ;蒸镀时间的延长有助于SnO2 的生成 ,也使薄膜发生晶化 ;而增加放电电压 。 展开更多
关键词 sno2 超微粒薄膜 结构 气相合成 二氧化锡 结构
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SnO_2:Sb薄膜的制备和光致发光性质 被引量:4
16
作者 王玉恒 马瑾 +3 位作者 计峰 余旭浒 张锡健 马洪磊 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期922-926,共5页
用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出SnO2∶Sb薄膜.制备样品为多晶薄膜,具有纯氧化锡的四方金红石结构和(110)择优取向,Sb离子以替位式掺杂的形式存在于SnO2 晶格中.室温条件下对样品进行光致发光测量,在392nm附近观测到强的紫外紫光发... 用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出SnO2∶Sb薄膜.制备样品为多晶薄膜,具有纯氧化锡的四方金红石结构和(110)择优取向,Sb离子以替位式掺杂的形式存在于SnO2 晶格中.室温条件下对样品进行光致发光测量,在392nm附近观测到强的紫外紫光发射,发射强度随制备功率的增加而增强,且样品退火后发射强度也明显增强.紫外紫光发射的起源被归于由Sb形成的施主能级和受主能级之间的电子跃迁. 展开更多
关键词 sno2:Sb薄膜 射频磁控溅射 光致发光
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射频溅射法研制SnO_2纳米薄膜 被引量:5
17
作者 刘庆业 蒙冕武 +1 位作者 邓希敏 刘明登 《广西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第4期64-67,共4页
采用射频溅射工艺制得细小均匀的 β-Sn纳米锡膜 ,然后通过氧化处理工艺获得组织非常细小均匀的纳米级二氧化锡薄膜 .X-衍射实验结果表明 Sn和 Sn O2 晶粒尺寸分别约为 6 nm和 5 nm,采用该工艺获得的Sn O2 纳米薄膜结构比较稳定 ,为薄膜... 采用射频溅射工艺制得细小均匀的 β-Sn纳米锡膜 ,然后通过氧化处理工艺获得组织非常细小均匀的纳米级二氧化锡薄膜 .X-衍射实验结果表明 Sn和 Sn O2 晶粒尺寸分别约为 6 nm和 5 nm,采用该工艺获得的Sn O2 纳米薄膜结构比较稳定 ,为薄膜型 Sn O2 展开更多
关键词 射频溅射 sno2 二氧化锡薄膜 纳米材料 制备工艺
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SnO_2气敏薄膜在SnO_2/Fe_2O_3双层结构中成核及生长过程的模拟 被引量:3
18
作者 赵永生 阎大卫 +3 位作者 康昌鹤 马晓翠 邹慧珠 杜国同 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期271-273,共3页
用SEM对SnO2/Fe2O3样品的断面结构进行了观察研究,发现SnO2是在Fe2O3柱状结构的间隙中开始生长的,据此提出了双层膜结构生长热力学模型,由模型推出的结论与实验结果吻合。计算结果表明,SnO2在Fe2O3... 用SEM对SnO2/Fe2O3样品的断面结构进行了观察研究,发现SnO2是在Fe2O3柱状结构的间隙中开始生长的,据此提出了双层膜结构生长热力学模型,由模型推出的结论与实验结果吻合。计算结果表明,SnO2在Fe2O3薄膜的间隙中生长速度很快,而后逐渐变慢,达到稳定沉积速率,在这种沉积速率下形成SnO2的柱状结构。SnO2膜的这种沉积方式使得Fe2O3与其接触面积很大,两者结合十分牢固。 展开更多
关键词 气敏薄膜 双层结构 理论模拟 二氧化锡 成核
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溶胶-凝胶法制备SnO_2气敏薄膜的研究 被引量:5
19
作者 刘威 曹立礼 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期56-59,共4页
以SnCl2 ·2H2 O及乙醇为原料 ,利用溶胶 -凝胶法制备SnO2 纳米薄膜 .探讨了制膜的工艺条件 ,用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质 ,同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与... 以SnCl2 ·2H2 O及乙醇为原料 ,利用溶胶 -凝胶法制备SnO2 纳米薄膜 .探讨了制膜的工艺条件 ,用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质 ,同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与热处理条件之间的相互关系 . 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 传感器 二氧化锡 气敏薄膜
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化学汽相沉积法制SnO_2掺杂薄膜及其气敏特性的机理研究 被引量:2
20
作者 冯金垣 杨日福 柳林 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第4期14-16,共3页
】文中探讨用汽相沉积法制备SnO2掺杂薄膜的不同工艺。研究SnO2掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性,测试掺5%Ag的SnO2薄膜在不同比例乙醇气体气敏作用下表面电阻气敏特性曲线。结果表明,汽相沉积法制备SnO2掺杂薄膜工... 】文中探讨用汽相沉积法制备SnO2掺杂薄膜的不同工艺。研究SnO2掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性,测试掺5%Ag的SnO2薄膜在不同比例乙醇气体气敏作用下表面电阻气敏特性曲线。结果表明,汽相沉积法制备SnO2掺杂薄膜工艺重复性好,灵敏度高,可用于制造新型的“气敏—光透过性”型气敏传感器。 展开更多
关键词 二氧化锡 薄膜 掺要 气敏特性 CVD 气敏传感器
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