期刊文献+
共找到38篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
Chemical Bonding States of TiC Films before and after Hydrogen Ion Irradiation
1
作者 任丁 黄宁康 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2007年第4期630-633,共4页
TiC films deposited by rf magnetron sputtering followed by Ar+ ion bombardment were irradiated with a hydrogen ion beam. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) was used for characterization of the chemical bonding ... TiC films deposited by rf magnetron sputtering followed by Ar+ ion bombardment were irradiated with a hydrogen ion beam. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) was used for characterization of the chemical bonding states of C and Ti elements of the TiC films before and after hydrogen ion irradiation, in order to understand the effect of hydrogen ion irradiation on the films and to study the mechanism of hydrogen resistance of TiC films. Conclusions can be drawn that ion bombardment at moderate energy can cause preferential physical sputtering of carbon atoms from the surface of low atomic number (Z) material. This means that ion beam bombardment leads to the formation of a non-stoichiometric composition of TiC on the surface. TiC films prepared by ion beam mixing have the more excellent characteristic of hydrogen resistance. One important cause, in addition tO TiC itself, is that there are many vacant sites in TiC created by ion beam mixing. These defects can easily trap hydrogen and effectively enhance the effect of hydrogen resistance. 展开更多
关键词 tic films XPS chemical bonding
下载PDF
Study of TiC+TiN Multiple Films On Type of 316L Stainless Steel 被引量:10
2
作者 XUEQi JINYong +2 位作者 HUDong-ping HUANGBen-sheng DENGBai-quan 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第05B期916-920,共5页
In this paper, the synthesis process of TiC+TiN multiple films on super-low-carbon stainless steels is reported. The TiC layer is coated as the first layer in the multiple film, the change of growth rate of the film o... In this paper, the synthesis process of TiC+TiN multiple films on super-low-carbon stainless steels is reported. The TiC layer is coated as the first layer in the multiple film, the change of growth rate of the film on the 316L Stainless steel is not same as the one on carbides substrates, while the mole ratio of CRi to TiCLi (mCH/TiCl4) is changed from 1.2 to 2.0. The Ti [C, N], as a kind of inter-layer between TiC and TiN layers, is helpful to improve the adhesion between the TiC and TiN layer. The cooling rate greatly influences the quality of the adhesion between the TiC+TiN film and substrates. 展开更多
关键词 316L不锈钢 CVD tic TIN 复合薄膜
下载PDF
Nanocomposite TiC/a-C:H film prepared on titanium aluminium alloy substrates by PSII assistant MW-ECRCVD 被引量:2
3
作者 马国佳 刘喜亮 +2 位作者 张华芳 武洪臣 彭丽平 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第4期1105-1110,共6页
Thin films of titanium carbide and amorphous hydrogenated carbon have been synthesized on titanium aluminium alloy substrates by PSII assisted MW-ECRCVD with a mirror field. The microstructure, chemical composition an... Thin films of titanium carbide and amorphous hydrogenated carbon have been synthesized on titanium aluminium alloy substrates by PSII assisted MW-ECRCVD with a mirror field. The microstructure, chemical composition and mechanical property were investigated. Using XPS and TEM, the films were identified to be a-C:H film containing TiC nanometre grains (namely, the so-called nanocomposite structure). The size of TiC grains of nanocomposite TiC/DLC film is about 5 nm. The nanocomposite structure has obvious improvement in the mechanical properties of DLC film. The hardness of a-C:H film with Ti is enhanced to 34 G Pa~ while that of a-C:H film without Ti is about 12 G Pa, and the coherent strength is also obviously enhanced at the critical load of about 35N. 展开更多
关键词 NANOCOMPOSITE tic/a-C:H diamond like carbon film PSII
下载PDF
Fabrication and Characterization of FeNiCr Matrix-TiC Composite for Polishing CVD Diamond Film 被引量:3
4
作者 Zhuji Jin Zewei Yuan Renke Kang Boxian Dong 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期319-324,共6页
Dynamic friction polishing (DFP) is one of the most promising methods appropriate for polishing CVD diamond film with high efficiency and low cost. By this method CVD diamond film is polished through being simply pr... Dynamic friction polishing (DFP) is one of the most promising methods appropriate for polishing CVD diamond film with high efficiency and low cost. By this method CVD diamond film is polished through being simply pressed against a metal disc rotating at a high speed utilizing the thermochemical reaction occurring as a result of dynamic friction between them in the atmosphere. However, the relatively soft materials such as stainless steel, cast iron and nickel alloy widely used for polishing CVD diamond film are easy to wear and adhere to diamond film surface, which may further lead to low efficiency and poor polishing quality. In this paper, FeNiCr matrix-TiC composite used as grinding wheel for polishing CVD diamond film was obtained by combination of mechanical alloying (MA) and spark plasma sintering (SPS). The process of ball milling, composition, density, hardness, high-temperature oxidation resistance and wear resistance of the sintered piece were analyzed. The results show that TiC was introduced in MA-SPS process and had good combination with FeNiCr matrix and even distribution in the matrix. The density of composite can be improved by mechanical alloying. The FeNiCr matrix-TiC composite obtained at 1273 K was found to be superior to at 1173 K sinterin8 in hardness, high-temperature oxidation resistance and wearability. These properties are more favorable than SUS304 for the preparation of high-performance grinding wheel for polishing CVD diamond film. 展开更多
关键词 CVD diamond film FeNiCr matrix-tic composite Spark plasma sintering Mechanical alloying
下载PDF
TiC薄膜对轴承钢表面滚动接触疲劳寿命和力学性能的影响 被引量:10
5
作者 刘洪喜 王浪平 +2 位作者 王小峰 黄磊 汤宝寅 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1197-1201,共5页
利用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了Ti-C薄膜.测试了合成薄膜后试样表面的化学组成、摩擦磨损性能、纳米硬度、弹性模量和滚动接触疲劳寿命,观察了疲劳破坏后试样断面的光学形貌.XRD结果表... 利用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了Ti-C薄膜.测试了合成薄膜后试样表面的化学组成、摩擦磨损性能、纳米硬度、弹性模量和滚动接触疲劳寿命,观察了疲劳破坏后试样断面的光学形貌.XRD结果表明处理后试样表面形成了TiC相.光学显微镜下疲劳裂纹的萌生和扩展形貌揭示出疲劳破坏可能存在表面点蚀和膜层剥离两种形式.在Hertz接触应力为5.1 GPa,90%置信区间条件下的疲劳寿命延长了5.5倍;最大微观硬度和弹性模量分别增加了28.4%和12.1%;相同磨损条件下的摩擦系数从0.95下降到0.15. 展开更多
关键词 轴承钢 离子注入 tic薄膜 疲劳寿命 摩擦磨损性能
下载PDF
UHM WPE与钛基-TiN-TiC系梯度薄膜材料对磨的生物摩擦磨损特性 被引量:17
6
作者 杨敏 郑昌琼 +2 位作者 冉均国 张皖欣 李祝 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期1-4,共4页
为了探索超高分子量聚乙烯 (UHMWPE)与钛基 - Ti N- Ti C系梯度薄膜材料组合作为人工关节置换材料的可能性 ,利用离子注入和等离子体化学气相沉积 (PCVD)方法制备了 Ti6 Al4V- Ti N- Ti C系梯度薄膜材料。通过摩擦系数和 UHMWPE磨损失... 为了探索超高分子量聚乙烯 (UHMWPE)与钛基 - Ti N- Ti C系梯度薄膜材料组合作为人工关节置换材料的可能性 ,利用离子注入和等离子体化学气相沉积 (PCVD)方法制备了 Ti6 Al4V- Ti N- Ti C系梯度薄膜材料。通过摩擦系数和 UHMWPE磨损失重的测定和用 SEM对磨损后的 U HMWPE表面形貌分析 ,研究了 U HMWPE与Ti6 Al4V- Ti N- Ti C系梯度薄膜材料摩擦副的生物摩擦磨损特性。研究表明 :在人血清润滑下 ,随配对的梯度薄膜材料表面硬度的增加 ,UHMWPE磨损量减小。与硬度大的 Ti6 Al4V- Ti N- Ti C梯度薄膜材料对磨时 ,UHMWPE的磨损量最小 ,为该摩擦副作为人工关节置换材料提供了依据。还对各摩擦副的 U 展开更多
关键词 UHMWPE 梯度薄膜材料 生物摩擦磨损 人工关节
下载PDF
反应溅射TiC薄膜的微结构及力学性能 被引量:3
7
作者 邵楠 梅芳华 +1 位作者 董云杉 李戈扬 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期10-12,共3页
采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜 ,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构 ,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量 ,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌 ,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力... 采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜 ,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构 ,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量 ,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌 ,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力学性能的影响。结果表明 ,甲烷分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响 :低的甲烷分压下 ,制备的薄膜样品中有钛相的存在 ,薄膜的硬度和弹性模量较低 ;甲烷分压提高 0 .0 2~0 .0 4Pa左右 ,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC ,并获得最高的硬度 ( 3 0 .9GPa)和弹性模量 ( 3 43GPa) ;进一步提高甲烷分压 ,薄膜呈现非晶态 。 展开更多
关键词 tic薄膜 反应磁控贱射 微结构 力学性能
下载PDF
电弧离子镀TiC扩散障结构及抗高温氧化性能研究 被引量:5
8
作者 蔡妍 李建平 +2 位作者 陆峰 陶春虎 张鹏飞 《真空》 CAS 北大核心 2010年第5期5-8,共4页
采用电弧离子镀技术(AIP)在NiCrAlY涂层与镍基高温合金(DD3合金)之间沉积TiC薄膜作为扩散障层,研究了TiC对NiCrAlY涂层与基体的元素互扩散的阻碍作用和对涂层氧化动力曲线的影响。对于添加扩散障层前后的试样,进行循环抗氧化试验来评价... 采用电弧离子镀技术(AIP)在NiCrAlY涂层与镍基高温合金(DD3合金)之间沉积TiC薄膜作为扩散障层,研究了TiC对NiCrAlY涂层与基体的元素互扩散的阻碍作用和对涂层氧化动力曲线的影响。对于添加扩散障层前后的试样,进行循环抗氧化试验来评价其抗高温氧化性能,并用扫描电镜(SEM)分析氧化前后试样微观形貌和成分,用X-射线衍射仪分析涂层的相结构。试验结果表明:TiC有效阻滞DD3基体与涂层之间的元素互扩散,提高了NiCrAlY涂层和DD3合金的抗高温氧化性能。 展开更多
关键词 tic 扩散障 电弧离子镀 抗高温氧化性能
下载PDF
CH_4离子束增强沉积对TiC薄膜显微硬度的影响机制 被引量:3
9
作者 刘长洪 李文治 李恒德 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第7期B318-B322,共5页
研究了双离子束沉积TiC薄膜的形成.离子束反应溅射膜的显微硬度比CH_4高子束增强沉积膜的显微硬度高.XPS,TEM和AES分析表明后者硬度低的一个重要原因是CH_4离子束轰击引入过量的自由碳原子.
关键词 碳化钛薄膜 离子束沉积 硬度
下载PDF
TiC/DLC多层膜的制备及组织形态 被引量:9
10
作者 肖晓玲 张馨 +2 位作者 李福球 侯惠君 林松盛 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期690-694,共5页
本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,以甲烷气体为碳源,99.99%Ti为靶材制备了TiC/DLC多层膜。利用X射线衍射仪、电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等对TiC/DLC多层膜的组织、结构、形态及成分进行了分析。结果表明:Ti与C结合生成TiC... 本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,以甲烷气体为碳源,99.99%Ti为靶材制备了TiC/DLC多层膜。利用X射线衍射仪、电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等对TiC/DLC多层膜的组织、结构、形态及成分进行了分析。结果表明:Ti与C结合生成TiC晶相,过渡层中TiC相呈柱状晶生长,多层膜中的TiC分层以岛状模式生长,DLC分层以层状模式生长,TiC/DLC膜层中含有金刚石成分。TiC/DLC的多层结构受沉积参数的影响,当分层的沉积时间少于1 min时,很难获得清晰的层状结构薄膜,膜中Ti的含量随Ti靶电流的增加而增加;过渡层的引入,提高了膜与基体的结合力,并且过渡层的厚度增加,TiC/DLC膜层同基体之间的结合力增强。 展开更多
关键词 tic/DLC多层膜 非平衡磁控溅射 组织及性能
下载PDF
钛基-TiN-TiC系梯度薄膜材料的生物摩擦磨损特性研究 被引量:5
11
作者 杨敏 郑昌琼 +2 位作者 冉均国 钟毓茂 张欣苑 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期209-211,共3页
在SRV试验机上用血清润滑对钛合金及钛基 -TiN-TiC梯度薄膜与UHAMWPE摩擦副摩擦磨损性能进行了测试与比较 ,并对其磨损机理进行了分析。研究结果表明 ,钛基 -TiN -TiC梯度薄膜材料表面硬度得到提高 ,达到 2 6 3 0Hv ,与基体结合强度提高... 在SRV试验机上用血清润滑对钛合金及钛基 -TiN-TiC梯度薄膜与UHAMWPE摩擦副摩擦磨损性能进行了测试与比较 ,并对其磨损机理进行了分析。研究结果表明 ,钛基 -TiN -TiC梯度薄膜材料表面硬度得到提高 ,达到 2 6 3 0Hv ,与基体结合强度提高到 5 .8kg/cm2 ,有很好的承载能力和抗剥离能力 ,生物耐磨性明显提高 ,为发展耐磨性好的人工关节材料探索了一条新的途径。 展开更多
关键词 梯度薄膜 生物摩擦磨损 人工关节材料
下载PDF
Al_2O_3-TiC-Co改性陶瓷的性能及其耐磨性 被引量:6
12
作者 郦剑 茅东升 +2 位作者 黄立萍 郭绍义 毛志远 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期332-336,共5页
以化学沉积的方法,在陶瓷粉体Al2O3,TiC的表面均匀包覆一层Co膜.混合球磨后经热压烧结的Al2O3-TiC-CO(ATC)改性陶瓷的强度和断裂韧性比Al2O3-TiC提高约40%.并对Al2O3-TiC-Co和Al2O3-TiC陶瓷的磨粒磨损行为、磨损机理和磨粒磨损... 以化学沉积的方法,在陶瓷粉体Al2O3,TiC的表面均匀包覆一层Co膜.混合球磨后经热压烧结的Al2O3-TiC-CO(ATC)改性陶瓷的强度和断裂韧性比Al2O3-TiC提高约40%.并对Al2O3-TiC-Co和Al2O3-TiC陶瓷的磨粒磨损行为、磨损机理和磨粒磨损耐磨性进行了比较.结果表明,Al2O3-TiC-Co陶瓷的耐磨性明显好于Al2O3-TiC陶瓷,磨损表面呈现较多的塑性变形. 展开更多
关键词 钴膜 A12O3-tic-Co 磨粒磨损 耐磨性 金属陶瓷
下载PDF
磁控溅射TiC/a-C薄膜的结构和摩擦学性能研究 被引量:5
13
作者 张文艳 张旭海 +1 位作者 方峰 蒋建清 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期282-286,共5页
采用磁控溅射法制备不同碳含量的碳化钛薄膜。采用SEM、XRD及HR-TEM等手段分析了TiC/a-C薄膜的微观组织结构,采用摩擦磨损仪和台阶仪研究了薄膜的摩擦学性能。研究结果表明,碳含量在40%~74%时,随碳含量的增加,薄膜结构由疏松变得致密,(... 采用磁控溅射法制备不同碳含量的碳化钛薄膜。采用SEM、XRD及HR-TEM等手段分析了TiC/a-C薄膜的微观组织结构,采用摩擦磨损仪和台阶仪研究了薄膜的摩擦学性能。研究结果表明,碳含量在40%~74%时,随碳含量的增加,薄膜结构由疏松变得致密,(111)择优取向逐渐转变为无明显择优取向生长。当碳含量为60%时,薄膜结构为TiC晶粒镶嵌在非晶碳基体中的纳米复合结构,此时薄膜的机械性能及耐磨性最佳。磨损机制主要为粘着磨损和磨粒磨损,通过调节薄膜中非晶碳的含量及晶粒大小并增加薄膜的硬度可改善其摩擦学性能。 展开更多
关键词 tic/a-C薄膜 磁控溅射 碳含量 微结构 摩擦性能
下载PDF
非平衡磁控溅射沉积TiC/a-C多层膜的组织结构 被引量:3
14
作者 肖晓玲 洪瑞江 +2 位作者 林松盛 李洪武 侯惠君 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期684-687,672,共5页
本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,分别以石墨和甲烷气体为碳源,制备TiC/a-C多层膜。利用X-射线衍射仪、透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等实验手段对所沉积的TiC/a-C多层膜的组织形态、结构及成份进行了分析。结果表明:所... 本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,分别以石墨和甲烷气体为碳源,制备TiC/a-C多层膜。利用X-射线衍射仪、透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等实验手段对所沉积的TiC/a-C多层膜的组织形态、结构及成份进行了分析。结果表明:所制备的两种TiC/a-C薄膜中,TiC的晶粒呈柱状生长;用溅射石墨靶方法获得的TiC/a-C薄膜,无明显的层状结构,a-C相为石墨化和非石墨化的碳原子构成,碳原子的有序化程度较大;而采用甲烷气体为碳源沉积的TiC/a-C薄膜,呈规则的分层结构,碳原子的有序化程度低。采用过渡层及添加适当的金属元素能改善膜/基的结合强度。 展开更多
关键词 tic/a-C薄膜 非平衡磁控溅射 组织形态
下载PDF
TiC添加对TiC/316L氧化行为的影响及其作用机制 被引量:1
15
作者 蔺绍江 熊惟皓 +1 位作者 石其年 王赛玉 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期3121-3126,共6页
采用粉末冶金法制备TiC颗粒含量不同的316L不锈钢复合材料,研究复合材料在800℃空气中的恒温氧化行为,分析TiC对复合材料氧化行为的影响和TiC的作用机制。结果表明:试样表面形成的氧化膜以TiO2、Cr2O3、Fe3O4和FeCr2O4为主要组成相。Ti... 采用粉末冶金法制备TiC颗粒含量不同的316L不锈钢复合材料,研究复合材料在800℃空气中的恒温氧化行为,分析TiC对复合材料氧化行为的影响和TiC的作用机制。结果表明:试样表面形成的氧化膜以TiO2、Cr2O3、Fe3O4和FeCr2O4为主要组成相。TiC的引入可以导致富Cr离子保护性氧化膜的形成,有利于复合材料抗氧化性能提高;但添加过多的TiC会导致TiC颗粒的聚集,TiC氧化反应的气体在颗粒聚集的区域集中产生和释放,降低了氧化膜的致密程度,恶化了试样的抗氧化性能。与其他试样相比,10%TiC/316L复合材料试样具有较好的抗氧化性能。 展开更多
关键词 复合材料 tic氧化行为 氧化膜
下载PDF
原位反应TiC_P/1Cr18Ni9复合材料的抗氧化性能研究 被引量:1
16
作者 孙建荣 孙扬善 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2001年第4期393-396,共4页
采用熔体原位合成法制备了TiCP/ 1Cr18Ni9钢基复合材料 ,研究了基体合金及复合材料在 85 0℃和95 0℃的抗氧化性能 .结果表明 :与基体合金相比 ,由于TiCP 颗粒的引入 ,复合材料在氧化初期具有短路扩散效应 ,稳定阶段其氧化动力学曲线符... 采用熔体原位合成法制备了TiCP/ 1Cr18Ni9钢基复合材料 ,研究了基体合金及复合材料在 85 0℃和95 0℃的抗氧化性能 .结果表明 :与基体合金相比 ,由于TiCP 颗粒的引入 ,复合材料在氧化初期具有短路扩散效应 ,稳定阶段其氧化动力学曲线符合对数增长规律 。 展开更多
关键词 复合材料 tic颗粒 氧化膜 抗氧化性能 原位反应 1CR18NI9 碳化钛
下载PDF
TiC基金属陶瓷的高温氧化行为 被引量:6
17
作者 赵捷 孙家枢 王志奇 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2003年第6期75-78,共4页
研究了以Fe -Cr -Si或Ni-Fe -Cr-Si为粘结相的新型TiC基金属陶瓷在 85 0℃空气中的氧化行为 ,测定并计算了氧化增重与时间的函数关系及氧化速率。结果表明 ,这类陶瓷材料的氧化为“钝化型氧化” ,显示出较好的抗氧化性和力学性能。通过... 研究了以Fe -Cr -Si或Ni-Fe -Cr-Si为粘结相的新型TiC基金属陶瓷在 85 0℃空气中的氧化行为 ,测定并计算了氧化增重与时间的函数关系及氧化速率。结果表明 ,这类陶瓷材料的氧化为“钝化型氧化” ,显示出较好的抗氧化性和力学性能。通过X射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM)等手段 ,分析了氧化膜的组成与结构 ,探讨了TiC基金属陶瓷高温下的耐氧化机理。 展开更多
关键词 碳化钛基金属陶瓷 高温氧化行为 氧化膜 抗氧化性 氧化增重 反应时间 氧化速率
下载PDF
尺寸效应对TiC/α-C∶H涂层织构行为的影响 被引量:1
18
作者 苏亚东 王向明 +1 位作者 王华明 郑伟涛 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第18期2536-2540,2545,共6页
利用磁控溅射法制备了TiC/α-C∶H纳米复合涂层尺寸效应,并对涂层择优取向的影响进行了研究。通过改变涂层中的C含量来调节晶粒尺寸,发现晶粒尺寸对晶粒的择优取向有着重要影响。随着晶粒尺寸减小,TiC的择优取向从面心立方(111)向(200)... 利用磁控溅射法制备了TiC/α-C∶H纳米复合涂层尺寸效应,并对涂层择优取向的影响进行了研究。通过改变涂层中的C含量来调节晶粒尺寸,发现晶粒尺寸对晶粒的择优取向有着重要影响。随着晶粒尺寸减小,TiC的择优取向从面心立方(111)向(200)转变。这种择优取向的尺寸依赖效应可以用热力学来解释。通过计算与尺寸相关的吉布斯自由能解释了尺寸效应与涂层择优取向的关系。 展开更多
关键词 tic/α-C∶H纳米复合薄膜 尺寸效应 择优取向
下载PDF
基片温度对 Cu-TiC 复合薄膜的影响
19
作者 李戈扬 王岱峰 +2 位作者 王公耀 吴亮 李鹏兴 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期44-48,共5页
研究了基片温度对Cu-TiC复合薄膜的影响.Cu-TiC复合薄膜采用多靶磁控溅射仪制备.测定了薄膜的显微硬度及电阻率,并利用XRD、SEM、EDAX和TEM研究了薄膜结构.结果表明,随基片温度的提高,Cu-TiC复合... 研究了基片温度对Cu-TiC复合薄膜的影响.Cu-TiC复合薄膜采用多靶磁控溅射仪制备.测定了薄膜的显微硬度及电阻率,并利用XRD、SEM、EDAX和TEM研究了薄膜结构.结果表明,随基片温度的提高,Cu-TiC复合薄膜中TiC含量增加,Cu和TiC的晶化逐步完善.特别是薄膜的电阻率受基片温度影响显著,当基片温度为300℃时薄膜的电阻率达到极小值。 展开更多
关键词 复合薄膜 磁控溅射 薄膜 碳化钛 基片温度
下载PDF
氢在TiC膜-1Cr18Ni9Ti不锈钢中的渗透行为
20
作者 熊义富 雷强华 陈长安 《核化学与放射化学》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期47-50,共4页
用离子束辅助沉积法在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面制备了TiC膜,并对其进行了XPS,SEM及SIMS等微观结构分析,测定了氢在有TiC膜的1Cr18Ni9Ti不锈钢中的渗透率。研究结果表明,制备的TiC膜致密性好且均匀,厚度约为15μm;TiC膜中有大量的CH4-负离... 用离子束辅助沉积法在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面制备了TiC膜,并对其进行了XPS,SEM及SIMS等微观结构分析,测定了氢在有TiC膜的1Cr18Ni9Ti不锈钢中的渗透率。研究结果表明,制备的TiC膜致密性好且均匀,厚度约为15μm;TiC膜中有大量的CH4-负离子存在,在473-773 K范围内,氢的渗透率降低了4-5个数量级。 展开更多
关键词 tic 结构分析 渗透率
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部