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TiN层微观结构对CVD TiC-TiCN-TiN多层涂层耐磨性能的影响 被引量:10
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作者 赵嫚 王少龙 +3 位作者 江南 诸跃进 马付根 李赫 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期51-56,共6页
通过改变N2/H2体积比,采用化学气相沉积法在TiC-TiCN层表面制备了不同微结构的TiN层。研究了TiN层微结构对TiC-TiCN-TiN多层涂层耐磨性能的影响机制,同时对比研究了国产多层涂层与国外公司同类涂层产品在结构、硬度及耐磨性能方面的不... 通过改变N2/H2体积比,采用化学气相沉积法在TiC-TiCN层表面制备了不同微结构的TiN层。研究了TiN层微结构对TiC-TiCN-TiN多层涂层耐磨性能的影响机制,同时对比研究了国产多层涂层与国外公司同类涂层产品在结构、硬度及耐磨性能方面的不同。结果表明,当N2/H2体积比为1.5∶1时,获得的TiC-TiCN-TiN多层涂层硬度最高,摩擦系数最小,且耐磨性能优于国外公司同类涂层产品。多层涂层的硬度以及摩擦过程中生成氧化层的减摩作用对其耐磨性能有重要影响。 展开更多
关键词 TiC-ticn-tin 化学气相沉积 微观结构 耐磨性能
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激光熔覆-激光气体氮化方法制取TiCN-TiN复合熔覆层 被引量:13
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作者 杨玉玲 刘常升 +1 位作者 张多 郑毅然 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1289-1292,共4页
采用500W YAG脉冲激光作为辐射源,TiCN粉末为熔覆材料,高纯N2气作为氮化元素和保护气体,利用激光熔覆-激光气体氮化(LC-LGN)方法,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面制备了以TiCN和TiN为主的复合熔覆层.研究了激光工艺参数对TiCN-TiN复合熔覆层成... 采用500W YAG脉冲激光作为辐射源,TiCN粉末为熔覆材料,高纯N2气作为氮化元素和保护气体,利用激光熔覆-激光气体氮化(LC-LGN)方法,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面制备了以TiCN和TiN为主的复合熔覆层.研究了激光工艺参数对TiCN-TiN复合熔覆层成分的影响.对熔覆样品进行了XRD物相分析和显微硬度测试.结果表明:在激光功率和脉冲宽度一定的条件下,脉冲频率、扫描速度是影响TiCN-TiN复合层形成的主要因素.合适的工艺参数组合为:脉冲频率为15 Hz,脉宽为3.0 ms,扫描速度为2.0 mm/s.扫描速度小于2.0 mm/s时,熔覆过程中氧化现象严重,而高于2.0 mm/s时熔覆层与基底结合不够牢固,易出现脱落现象.处理后,样品的显微硬度由原始3.3 GPa提高到14 GPa(HV0.2)左右,显微硬度提高了近4倍. 展开更多
关键词 激光熔覆 激光气体氮化 钛合金 TiCN—TiN 显微硬度
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TiN/TiCN/Al_2O_3/TiN CVD多层涂层硬质合金的氧化行为 被引量:14
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作者 谢灿强 陈康华 +3 位作者 王社权 祝昌军 徐银超 陈响明 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2011年第1期26-31,共6页
采用高温化学气相沉积(HT-CVD)和中温化学气相沉积(MT-CVD)相结合的复合化学气相沉积新技术在硬质合金基体WC-(W,Ti)C-(Ta,Nb)C-6%Co上分别沉积TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN涂层,制备TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂... 采用高温化学气相沉积(HT-CVD)和中温化学气相沉积(MT-CVD)相结合的复合化学气相沉积新技术在硬质合金基体WC-(W,Ti)C-(Ta,Nb)C-6%Co上分别沉积TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN涂层,制备TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金。通过氧化实验,X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和显微硬度计等手段研究TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金的氧化行为。结果表明,涂层后硬质合金的抗氧化性能明显提高,Al2O3的加入能进一步提高CVD多层涂层硬质合金的抗氧化性能,并使涂层硬质合金表现出独特的氧化行为。Al2O3涂层的抗氧化机理为Al2O3具有良好的高温化学稳定性,能起到很好的隔热和阻碍氧扩散的作用。 展开更多
关键词 TiN/TiCN/TiN TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金 氧化行为
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Y15钢表面沉积TiN、TiCN和AlTiCrN涂层的摩擦磨损性能 被引量:3
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作者 李助军 田灿鑫 +2 位作者 刘怡飞 邹伟全 苏峰华 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期111-114,132,共5页
为提高Y15易切削钢的耐磨性能,对Y15钢试样表面进行离子氮化处理,并分别采用TiN、TiCN、AlTiCrN进行镀膜处理。在SRVⅣ磨损试验机上考察制备的3种试样的摩擦磨损性能,并与盐浴渗氮处理试样进行比较。结果表明:3种离子渗氮+涂层处理试样... 为提高Y15易切削钢的耐磨性能,对Y15钢试样表面进行离子氮化处理,并分别采用TiN、TiCN、AlTiCrN进行镀膜处理。在SRVⅣ磨损试验机上考察制备的3种试样的摩擦磨损性能,并与盐浴渗氮处理试样进行比较。结果表明:3种离子渗氮+涂层处理试样中,离子渗氮+AlTiCrN涂层的耐磨性最好,其次是离子渗氮+TiCN涂层和离子渗氮+TiN涂层;盐浴渗氮试样的磨损机制主要为黏着磨损,离子渗氮+TiN涂层试样的磨损机制以黏着磨损和磨粒磨损为主,其他2种试样的磨损机制主要为轻微犁沟和黏着磨损。 展开更多
关键词 TiN TICN A1TiCrN 盐浴渗氮 磨损量
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多弧离子镀与磁控溅射共沉积TiN/TiCN多层膜的高温抗氧化性能 被引量:9
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作者 赵瑞山 任鑫 +3 位作者 王亮 宋晓龙 许细健 刘伟 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期11-15,50,共6页
TiN/TiCN多层膜的高温抗氧化性研究对于扩大其应用领域具有重要作用,但目前鲜见相关报道。采用多弧离子镀与磁控溅射技术以不同调制周期在304不锈钢表面共沉积TiN/TiCN多层膜。采用XRD、XPS、倒置显微镜及高温氧化试验研究了多层膜的高... TiN/TiCN多层膜的高温抗氧化性研究对于扩大其应用领域具有重要作用,但目前鲜见相关报道。采用多弧离子镀与磁控溅射技术以不同调制周期在304不锈钢表面共沉积TiN/TiCN多层膜。采用XRD、XPS、倒置显微镜及高温氧化试验研究了多层膜的高温抗氧化行为。结果表明:TiN/TiCN多层膜表面光滑平整、均匀致密,薄膜主要为具有Ti-(C,N)键的fcc-TiN结构;随着调制周期的减小,TiN/TiCN多层膜生长取向发生转变,且具有(111)晶面生长织构;随着氧化温度的升高,多层膜的显微硬度逐渐降低,氧化增重速率不断增大,且在700℃之后变化速率较快,薄膜的开始氧化温度约为750℃;随着调制周期的减小,多层膜TiN与TiCN界面层数量增多,促使晶粒细化,提高了其致密性,还隔断了缺陷贯穿薄膜的连续性,显著降低了薄膜的孔隙率,致使O原子扩散困难,增强了薄膜的高温抗氧化性能。 展开更多
关键词 多弧离子镀 磁控溅射 TiN/TiCN多层膜 304不锈钢 调制周期 高温抗氧化性能
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TiN/TiCN多层调制结构薄膜的耐蚀性 被引量:6
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作者 任鑫 吴双全 +2 位作者 李岩帅 赵瑞山 黄美东 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2018年第7期10-14,共5页
多弧离子镀和磁控溅射制备薄膜各有优缺点,将2种技术复合制膜的研究还少有报道。采用多弧离子镀和磁控溅射复合技术在304不锈钢基体表面制备了TiN单层和TiN/TiCN多层膜,采用扫描电镜、X射线衍射仪并结合电化学测试等着重研究了不同调制... 多弧离子镀和磁控溅射制备薄膜各有优缺点,将2种技术复合制膜的研究还少有报道。采用多弧离子镀和磁控溅射复合技术在304不锈钢基体表面制备了TiN单层和TiN/TiCN多层膜,采用扫描电镜、X射线衍射仪并结合电化学测试等着重研究了不同调制周期下薄膜组织结构与耐腐蚀性能的变化规律。结果表明:所制备的TiN/TiCN多层膜表面平整、致密,随着调制周期的减小,TiN/TiCN多层膜发生生长取向的转变,且具有(111)晶面生长织构; TiN/TiCN多层膜在3.5%NaCl溶液中的抗腐蚀能力优于基体和单层TiN薄膜,随着多层膜调制周期的减小,其抗腐蚀性逐渐增强,在λ=0.150μm时,多层膜的自腐蚀电流密度和极化电阻分别为0.106 7μA/cm^2和679.700 kΩ·cm^2,腐蚀速率下降到最低,具有良好的耐腐蚀性。 展开更多
关键词 TiN/TiCN多层膜 复合离子镀 磁控溅射 调制周期 耐蚀性
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TaC_p增强YG11C合金表面改性工艺及性能研究 被引量:2
7
作者 徐玉松 郑莉芬 +1 位作者 陆敏松 李国一 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2010年第6期97-100,104,共5页
选用自制烧结的YG11C/TaCp硬质合金作基体,介绍了采用电弧离子镀在试样上沉积TiN、TiCN和ZrN涂层的工艺。利用维氏硬度计、扫描电子显微镜、X射线衍射仪表征了涂层的力学性能和组织结构。通过比较切削实验中刀具的磨损性,得出涂层刀具... 选用自制烧结的YG11C/TaCp硬质合金作基体,介绍了采用电弧离子镀在试样上沉积TiN、TiCN和ZrN涂层的工艺。利用维氏硬度计、扫描电子显微镜、X射线衍射仪表征了涂层的力学性能和组织结构。通过比较切削实验中刀具的磨损性,得出涂层刀具有更好的耐磨性能。研究表明,电弧离子镀TiN等涂层能使硬质合金刀具获得更好的使用性能。 展开更多
关键词 YG11C/TaCp 电弧离子镀 TiN、TiCN、ZrN涂层 切削磨损
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磁控溅射镀膜技术在铝合金制品装饰镀中的应用 被引量:2
8
作者 张恒 严由春 +1 位作者 姜文 王树林 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2018年第6期86-90,共5页
磁控溅射镀膜技术广泛应用于高档产品零/部件表面的装饰镀中。采用磁控溅射镀膜技术在铝合金基材上镀制Ti/TiN/TiCN复合薄膜,研究了氮气流量、乙炔流量及沉积时间等工艺参数对制备TiCN薄膜颜色的影响,探讨了提高复合薄膜的显微硬度、结... 磁控溅射镀膜技术广泛应用于高档产品零/部件表面的装饰镀中。采用磁控溅射镀膜技术在铝合金基材上镀制Ti/TiN/TiCN复合薄膜,研究了氮气流量、乙炔流量及沉积时间等工艺参数对制备TiCN薄膜颜色的影响,探讨了提高复合薄膜的显微硬度、结合强度并进而改善铝合金表面装饰性和防护性的途径。研究结果表明,通过控制氮气流量、乙炔流量及沉积时间可使TiCN薄膜呈现特定颜色,如仿金色;当复合薄膜膜厚达到1.5μm时,涂层铅笔硬度达到6 H,薄膜附着力达到1级,满足电子行业的测试标准。 展开更多
关键词 磁控溅射 铝合金 Ti/TiN/TiCN复合薄膜
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TiN/TiCN多层调制结构薄膜的结构和力学性能研究 被引量:2
9
作者 任鑫 江仁康 +2 位作者 赵瑞山 王丞 黄美东 《有色金属工程》 CAS 北大核心 2019年第12期29-34,共6页
以304不锈钢为基体,利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜,主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果表明:不同调制周期下得到的TiN/TiCN多层膜表面比较致密、平整,随着调制周期的减小,表面质量有一定改善。... 以304不锈钢为基体,利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜,主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果表明:不同调制周期下得到的TiN/TiCN多层膜表面比较致密、平整,随着调制周期的减小,表面质量有一定改善。多层膜结构主要由fcc-TiN型固溶体构成,不存在a-C结构。随着调制周期的减小,物相分析表明TiN/TiCN多层膜发生了择优生长,出现了(111)晶面生长织构,其纳米硬度和弹性模量逐渐增大,在调制周期λ=0.15μm时达到最大值,分别为35.56GPa和436.2GPa。 展开更多
关键词 TiN/TiCN多层膜薄膜 复合离子镀 调制周期 结构 力学性能
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碱蒸馏分离-酸碱滴定法测定TiCN基合金及其原料中氮 被引量:4
10
作者 何英 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期41-45,共5页
建立了测定TiCN基陶瓷合金及其原料粉TiN、AlN、TiCN中氮量的方法。对TiN、TiCN和TiCN基陶瓷合金混合料用10mL H2SO4+4g K2SO4+2g K2S2O7可快速完全分解试样,加70mL NaOH溶液,通水蒸气蒸馏,当馏出液达90mL时可将试液中NH4+全部以NH3蒸... 建立了测定TiCN基陶瓷合金及其原料粉TiN、AlN、TiCN中氮量的方法。对TiN、TiCN和TiCN基陶瓷合金混合料用10mL H2SO4+4g K2SO4+2g K2S2O7可快速完全分解试样,加70mL NaOH溶液,通水蒸气蒸馏,当馏出液达90mL时可将试液中NH4+全部以NH3蒸出并被收集,然后以硫酸标准溶液滴定;AlN不用酸溶,直接加碱于装置中蒸馏。NH4Cl中氮的回收试验和AlN中氮的加料回收试验结果为:氮的回收率在99%~101%之间。本方法分析结果抽样与脉冲热导法分析结果对比,两者基本一致。分析测试的相对标准偏差RSD小于0.84%。操作简便,结果准确可信。 展开更多
关键词 ALN TIN TiCN基合金 氮量 碱蒸馏
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涂层高速钢组合拉刀拉削高强度合金钢的试验研究 被引量:1
11
作者 龙震海 王西彬 《工具技术》 北大核心 2001年第2期9-11,共3页
研制了TiN和TiCN两种涂层高速钢精密组合拉刀。通过这两种涂层拉刀与未涂层拉刀的对比切削试验 ,研究了加工高强度合金钢内孔螺旋键槽时刀片的磨损性能及重磨前刀面对刀具切削性能和加工表面粗糙度的影响 。
关键词 涂层刀具 组合拉力 高强度合金钢 刀具磨损 刀具寿命
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湿喷砂对TiN+Al2O3+TiCN涂层性能的影响 被引量:2
12
作者 曾伟 董凯林 +1 位作者 王鹏 时凯华 《四川冶金》 CAS 2020年第3期12-17,共6页
研究了在不同压力、不同时间和不同砂水浓度三种情况下,湿喷砂工艺参数对CVD膜TiN+Al2O3+TiCN涂层厚度、表面光洁度、涂层硬度、涂层磨粒磨损的影响变化规律。研究发现:涂层厚度随喷砂时间、喷砂压力及砂水浓度的增加而减小;涂层表面光... 研究了在不同压力、不同时间和不同砂水浓度三种情况下,湿喷砂工艺参数对CVD膜TiN+Al2O3+TiCN涂层厚度、表面光洁度、涂层硬度、涂层磨粒磨损的影响变化规律。研究发现:涂层厚度随喷砂时间、喷砂压力及砂水浓度的增加而减小;涂层表面光洁度随喷砂时间的延长,提升效果明显;湿喷砂对提高涂层表面硬度和磨粒磨损性能具有显著影响,且变化趋势相同。通过实验分析还得出湿喷砂工艺参数为砂水浓度值30%、时间4秒、压力0.4 MPa时,TiN+Al2O3+TiCN膜能够形成双色表态,且综合性能最好。 展开更多
关键词 湿喷砂 CVD膜 涂层性能 TiN+Al2O3+TiCN 砂水浓度 喷砂时间 喷砂压力
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高能量密度脉冲等离子枪在硬质合金刀具上沉积高硬耐磨涂层研究
13
作者 苗赫濯 彭志坚 +2 位作者 杨思泽 刘赤子 齐龙浩 《陶瓷科学与艺术》 CAS 2003年第5期4-8,22,共6页
用高能量密度脉冲等离子体枪,于室温下在硬质合金刀具基体上分别成功沉积了硬度高、耐磨损、膜基结合力强的TiN、TiCN和TiAlN薄膜。在优化的工艺条件下,所得TiN、TiCN、TiAlN薄膜纳米硬度分别可达27 GPa、50 GPa和 38 GPa;杨氏模量分别... 用高能量密度脉冲等离子体枪,于室温下在硬质合金刀具基体上分别成功沉积了硬度高、耐磨损、膜基结合力强的TiN、TiCN和TiAlN薄膜。在优化的工艺条件下,所得TiN、TiCN、TiAlN薄膜纳米硬度分别可达27 GPa、50 GPa和 38 GPa;杨氏模量分别可达 450 GPa、550 GPa、650 GPa。纳米划痕实验临界载荷分别达 90 mN、110 mN和100 mN以上。切削实验表明,涂层刀具可用于高速切削,刀具后面磨损明显减小。刀具力学性能的改善归因于更优异力学性能涂层的沉积、良好的膜基结合力以及徐层特殊的显微结构。 展开更多
关键词 高能量密度脉冲等离子体 硬质合金 刀具 沉积 TIN涂层 TiCN涂层 TIALN涂层 纳米硬度 杨氏模量
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PCVD法TiN、TiCN涂层工艺研究
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作者 任志华 徐翔 +2 位作者 董克学 杨睫 李世直 《青岛化工学院学报(自然科学版)》 1993年第4期56-60,共5页
研究了四氯化钛、氮气、甲烷通入量对 PCVD 法沉积 TiN、TiCN 涂层硬度、沉积速率以及颜色的影响,进行了磨损试验。结果表明,不同色泽的 TiN 膜中,以金黄色 TiN 涂层硬度最高,磨损量最小。
关键词 PCVD法 TIN TiCV 涂层 氮化钛 沉积
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离子镀TiCN和TiN工具涂层的微结构与切削性能 被引量:29
15
作者 周颐辛 祝新发 +2 位作者 张晶晶 钟宁 李戈扬 《工具技术》 2010年第11期18-21,共4页
采用电弧离子镀技术在硬质合金铣刀和钻头上镀覆了TiCN和TiN涂层,研究并比较了两种涂层的微结构与力学性能,以及涂层铣刀的高速切削性能和涂层钻头的切削性能。结果表明,TiCN和TiN涂层同为单相的Na-Cl型结构,并都呈现(111)择优取向的柱... 采用电弧离子镀技术在硬质合金铣刀和钻头上镀覆了TiCN和TiN涂层,研究并比较了两种涂层的微结构与力学性能,以及涂层铣刀的高速切削性能和涂层钻头的切削性能。结果表明,TiCN和TiN涂层同为单相的Na-Cl型结构,并都呈现(111)择优取向的柱状晶,TiCN涂层的硬度为34.6GPa,远高于TiN涂层25.1GPa的硬度。在高速铣削条件下,TiCN涂层铣刀的后刀面磨损速率仅为TiN涂层铣刀的约三分之一。TiCN涂层钻头在钻孔数为TiN涂层钻头两倍时的磨损量仍低于TiN涂层钻头。TiCN涂层的高硬度及在较高切削线速度下的减摩作用是这种涂层刀具寿命提高的重要原因。 展开更多
关键词 工具涂层 TIN TICN 切削性能
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TiN、TiCN涂层对牙科纯钛耐腐蚀性能的影响 被引量:2
16
作者 杜锦锦 于卫强 汪大林 《上海口腔医学》 CAS CSCD 2011年第4期385-389,共5页
目的:在模拟口腔环境条件下,研究TiN、TiCN涂层对纯钛耐腐蚀性能的影响。方法:选用制作活动义齿常用的牙科纯钛材料,制作成10mm×l0mm×1mm规格的试件15个,随机分为A、B、C 3组。其中,B、C组采用电弧离子镀物理气相沉积技术,分... 目的:在模拟口腔环境条件下,研究TiN、TiCN涂层对纯钛耐腐蚀性能的影响。方法:选用制作活动义齿常用的牙科纯钛材料,制作成10mm×l0mm×1mm规格的试件15个,随机分为A、B、C 3组。其中,B、C组采用电弧离子镀物理气相沉积技术,分别在其表面沉积一层厚为2.5μm的TiN、TiCN涂层。应用场发射环境扫描电子显微镜(FESEM)观察各组试样表面形貌并进行显微能谱分析;运用纳米压痕技术测试涂层的硬度和弹性模量;将3组试件分别置于人工唾液中,通过PARSTAT’2273电化学工作站进行极化曲线分析。采用SPSS 17.0软件包对数据进行t检验、单因素方差分析及非参数检验。结果:纳米压痕技术测试显示,B、C组的显微硬度及弹性模量均显著高于A组(P<0.001),而C组又显著高于B组(P<0.01)。电化学实验结果显示,3组试件的自腐蚀电位为A>B>C(P<0.05),自腐蚀电流为A<B、C(P<0.01),B、C组间无显著差异(P>0.05),三者的钝化膜击穿电位关系为A<B<C(P<0.05)。结论:2种涂层都能提高纯钛在人工唾液中的抗腐蚀性能,但相比之下,TiCN涂层的抗腐蚀效果优于TiN涂层。 展开更多
关键词 TIN TICN 纯钛 极化曲线 腐蚀
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碳氮化法合成氮化钛/碳氮化钛复合粉体的研究 被引量:2
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作者 张聪 员文杰 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2020年第3期403-408,共6页
以钛粉为钛源,淀粉为碳源,利用碳氮化法合成制备TiN/TiCN复合粉体。通过X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等测试方法,研究了合成温度对产物物相和化学键组成的影响,观察了复合粉体的显微结构,并采用热重法... 以钛粉为钛源,淀粉为碳源,利用碳氮化法合成制备TiN/TiCN复合粉体。通过X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等测试方法,研究了合成温度对产物物相和化学键组成的影响,观察了复合粉体的显微结构,并采用热重法分析了产物的抗氧化性。结果表明,随着碳氮化温度由1350℃升高至1500℃,中间产物TiO2、Ti3O5和TiO0.34N0.74逐渐减少。衍射峰向高角度偏移说明TiN/TiCN复合粉体中TiN的比例逐渐增大。在1500℃合成的TiN/TiCN复合粉末初始氧化温度为570℃,高于TiC和TiN粉末初始氧化温度。 展开更多
关键词 氮化钛 碳氮化钛 合成 氧化
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保温时间对Ti/TiN/TiCN涂层结构、残余应力及耐磨性的影响 被引量:2
18
作者 李海涛 程东海 +2 位作者 师超 张体明 陈宜 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期141-149,共9页
目的改善镁合金表面硬度和耐磨性能。方法采用磁控溅射法在AZ31表面制备复合Ti/TiN/TiCN涂层,在不同保温时间下对沉积后的复合涂层进行退火处理。借助X射线荧光光谱(XRF)测试复合涂层表面平均元素含量,采用X射线小角掠入射(GIXRD)技术... 目的改善镁合金表面硬度和耐磨性能。方法采用磁控溅射法在AZ31表面制备复合Ti/TiN/TiCN涂层,在不同保温时间下对沉积后的复合涂层进行退火处理。借助X射线荧光光谱(XRF)测试复合涂层表面平均元素含量,采用X射线小角掠入射(GIXRD)技术研究涂层物相组成和残余应力,利用扫描电镜(SEM)观察涂层表面形貌和磨痕形貌,借助销盘式摩擦磨损试验机和纳米压痕仪评估涂层的耐磨性能。结果退火涂层的晶粒尺寸增加,内部缺陷减少,涂层更致密,残余应力显著下降。退火前后涂层的物相均为FCC的TiCN,不同保温时间下的涂层具有不同的择优生长取向。随着保温时间的延长,涂层表面Ti、C含量先增后减,N元素含量先减后增,涂层表面硬度下降,摩擦因数增大,耐磨性能下降。沉积涂层的韧性较好,摩擦因数波动较大,磨损机制以刮擦磨损为主。退火30 min后,涂层的磨损率最低,磨损机制以磨粒磨损和黏着磨损为主。退火90 min后,涂层的磨痕最宽,韧性最差,磨损率最高,磨损机制以磨粒磨损和氧化磨损为主。结论退火有助于降低残余应力,但退火时间不宜过长,时间超过30 min,涂层的耐磨性能下降。 展开更多
关键词 保温时间 Ti/TiN/TiCN涂层 磁控溅射 残余应力 耐磨性能
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Dry Machining Tool Design via Chlorine Ion Implantation 被引量:2
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作者 Tatsuhiko Aizawa Atsushi Mitsuo +2 位作者 Shigeo Yamamoto Shinji Muraishi Taro Sumitomo 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第05B期879-882,共4页
Dry machining has become a key issue to significantly reduce the wastes of used lubricants and cleaning agents and to improve the environmental consciousness for medical and food applications of special tooling. Since... Dry machining has become a key issue to significantly reduce the wastes of used lubricants and cleaning agents and to improve the environmental consciousness for medical and food applications of special tooling. Since the tools and metallic works are in direct contact in dry, severe adhesive wear and oxidation are thought to occur even at the presence of hard protective coatings. Self-lubrication mechanism with use of lubricous oxide films is found to be effective for dry machining. Through the chlorine ion implantation to tools, titanium base oxides are in-situ formed on the tool surface. This oxide deforms elasto-plastically so that both friction coefficient and wear volume are reduced even in the high-speed cutting. 展开更多
关键词 氯离子注入 自动润滑 TIN涂层 TiCN涂层 干机械加工
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喷砂时间对TiCN/α-Al_(2)O_(3)/TiN涂层金属陶瓷刀片表面状态和磨损性能的影响
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作者 游钱炳 李洪林 王勇燕 《工具技术》 2024年第8期46-49,共4页
采用化学气相沉积法在金属陶瓷基体表面沉积了MT-TiCN/α-Al_(2)O_(3)/TiN涂层,再对CVD涂层金属陶瓷刀片进行喷砂处理,分析经不同喷砂时间处理后的涂层金属陶瓷刀片的表面形貌、力学性能以及耐磨性能。结果表明:喷砂时间对涂层金属陶瓷... 采用化学气相沉积法在金属陶瓷基体表面沉积了MT-TiCN/α-Al_(2)O_(3)/TiN涂层,再对CVD涂层金属陶瓷刀片进行喷砂处理,分析经不同喷砂时间处理后的涂层金属陶瓷刀片的表面形貌、力学性能以及耐磨性能。结果表明:喷砂时间对涂层金属陶瓷刀片表面的冲蚀程度影响较大。未经喷砂处理的涂层表面粗糙度较高且存在较大的残余拉应力,而喷砂处理后的涂层金属陶瓷刀片的表面粗糙度与表面残余应力大幅下降,且表面硬度和耐磨性大幅提高。当喷砂时间为10s时,涂层金属陶瓷刀片获得了最低的表面粗糙度,与未喷砂的涂层刀片相比,表面残余拉应力降低了85%。基于不同喷砂时间处理后的涂层表面粗糙度、硬度、残余应力以及后刀面磨损形貌,得到的最佳喷砂时间为10s。 展开更多
关键词 喷砂时间 MT-TiCN/α-Al_(2)O_(3)/TiN涂层 金属陶瓷 磨损性能
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