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SPICE model of trench-gate MOSFET device
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作者 刘超 张春伟 +1 位作者 刘斯扬 孙伟锋 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2016年第4期408-414,共7页
A novel simulation program with an integrated circuit emphasis(SPICE) model developed for trench-gate metal-oxide-semiconductor field-effect transistor(M OSFET)devices is proposed. The drift region resistance was ... A novel simulation program with an integrated circuit emphasis(SPICE) model developed for trench-gate metal-oxide-semiconductor field-effect transistor(M OSFET)devices is proposed. The drift region resistance was modeled according to the physical characteristics and the specific structure of the trench-gate MOSFET device. For the accurate simulation of dynamic characteristics, three important capacitances, gate-to-drain capacitance Cgd, gate-to-source capacitance Cgsand drain-to-source capacitance Cds, were modeled, respectively, in the proposed model. Furthermore,the self-heating effect, temperature effect and breakdown characteristic were taken into account; the self-heating model and breakdown model were built in the proposed model; and the temperature parameters of the model were revised. The proposed model is verified by experimental results, and the errors between measured data and simulation results of the novel model are less than 5%. Therefore, the model can give an accurate description for both the static and dynamic characteristics of the trench-gate MOSFET device. 展开更多
关键词 trench-gate metal-oxide-semiconductor field-effect transistor(MOSFET) simulation program with integrated circuit emphasis(SPICE) model drift region resistance model dynamic model
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Superjunction 4H-SiC trench-gate IGBT with an integrated clamping PN diode
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作者 Huang Yi Wang Xuecheng +3 位作者 Gao Sheng Liu Bin Zhang Hongsheng Han Genquan 《The Journal of China Universities of Posts and Telecommunications》 EI CSCD 2024年第2期3-9,27,共8页
In this paper,a novel superjunction 4H-silicon carbide(4H-SiC)trench-gate insulated-gate bipolar transistor(IGBT)featuring an integrated clamping PN diode between the P-shield and emitter(TSD-IGBT)is designed and theo... In this paper,a novel superjunction 4H-silicon carbide(4H-SiC)trench-gate insulated-gate bipolar transistor(IGBT)featuring an integrated clamping PN diode between the P-shield and emitter(TSD-IGBT)is designed and theoretically studied.The heavily doping superjunction layer contributes to a low specific on-resistance,excellent electric field distribution,and quasi-unipolar drift current.The anode of the clamping diode is in floating contact with the P-shield.In the on-state,the potential of the P-shield is raised to the turn-on voltage of the clamping diode,which prevents the hole extraction below the N-type carrier storage layer(NCSL).Additionally,during the turn-off transient,once the clamping diode is turned on,it also promotes an additional hole extraction path.Furthermore,the potential dropped at the semiconductor near the trench-gate oxide is effectively reduced in the off-state. 展开更多
关键词 4H-silicon carbide(4H-SiC) trench-gate SUPERJUNCTION clamping diode
原文传递
A new RF trench-gate multi-channel laterally-diffused MOSFET on InGaAs
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作者 M.Payal Y.Singh 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2017年第9期37-41,共5页
In this work, a new RF power trench-gate multi-channel laterally-diffused MOSFET (TGMC-LDMOS) on InGaAs is proposed. The gate-electrodes of the new structure are placed vertically in the trenches built in the drift ... In this work, a new RF power trench-gate multi-channel laterally-diffused MOSFET (TGMC-LDMOS) on InGaAs is proposed. The gate-electrodes of the new structure are placed vertically in the trenches built in the drift layer. Each gate results in the formation of two channels in the p-body region of the device. The drain metal is also placed in a trench to take contact from the n^+-InGaAs region located over the substrate. In a cell length of 5μm, the TGMC-LDMOS structure has seven channels, which conduct simultaneously to carry drain current in parallel. The formation of multi-channels in the proposed device increases the drive current (ID) leading to a large reduction in the specific on-resistance (Ron-sp). Due to better control of gates on the drain current, the new structure exhibits substantially higher transconductance (gm) resulting in significant improvement in cut-off frequency (fz) and oscillation frequency (fmax). Using two-dimensional numerical simulations, a 55 V TGMC- LDMOS is demonstrated to achieve 7 times higher Io, 6.2 times lower Ron-sp, 6.3 times higher peak gm, 2.6 times higher fT, and 2.5 times increase in fmax in comparison to a conventional device for the identical cell length. 展开更多
关键词 INGAAS trench-gate MULTI-CHANNEL RF LDMOS
原文传递
垂直氮化镓沟槽栅极场效应管的优化设计
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作者 杨华恺 刘新科 +2 位作者 姜梅 何仕杰 贺威 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第1期19-23,共5页
在传统的氮化镓沟槽栅极场效应管的基础上,通过引入AlGaN层,在异质结界面处形成二维电子气减小器件的导通电阻,并对漂移层的厚度和掺杂浓度进行讨论,使用TCAD软件对器件进行设计优化。最终优化后的漂移层厚度为6μm,掺杂浓度为5×10... 在传统的氮化镓沟槽栅极场效应管的基础上,通过引入AlGaN层,在异质结界面处形成二维电子气减小器件的导通电阻,并对漂移层的厚度和掺杂浓度进行讨论,使用TCAD软件对器件进行设计优化。最终优化后的漂移层厚度为6μm,掺杂浓度为5×10^(16)cm^(-3)。器件获得了较低的导通电阻R_(on)=0.47 mΩ·cm^(2),较高的击穿电压V_(BR)=2880 V和品质因子FOM=17.6 GW·cm^(-2)。结果显示出了沟槽栅极垂直氮化镓场效应管在高压大电流应用场景下的优势。 展开更多
关键词 氮化镓 沟槽栅极场效应晶体管 Baliga品质因子 击穿电压 导通电阻
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具有阶梯掺杂缓冲层的双栅超结LDMOS
5
作者 唐盼盼 张峻铭 南敬昌 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2024年第5期505-512,共8页
具有N型缓冲层的超结横向双扩散金属-半导体场效应晶体管(SJ-LDMOS)结构能够有效抑制传统结构中存在的衬底辅助耗尽效应(SAD)。为进一步优化器件性能,提出了一种具有阶梯型掺杂缓冲层的双栅极SOI基SJ-LDMOS(DG SDB SJ-LDMOS)器件结构。... 具有N型缓冲层的超结横向双扩散金属-半导体场效应晶体管(SJ-LDMOS)结构能够有效抑制传统结构中存在的衬底辅助耗尽效应(SAD)。为进一步优化器件性能,提出了一种具有阶梯型掺杂缓冲层的双栅极SOI基SJ-LDMOS(DG SDB SJ-LDMOS)器件结构。该结构采用沟槽栅极与平面栅极相互结合的形式,在器件内形成两条电流传导路径,其一通过SJ结构中高掺杂的N型区传输,另一条则通过阶梯掺杂缓冲层传输,同时阶梯掺杂缓冲层可以进一步改善表面电场分布,提高器件的耐压。双导通路径提高了SJ层和阶梯掺杂缓冲层的正向电流均匀性,从而有效地降低了器件的导通电阻。仿真结果表明:所提出的器件结构可实现394 V的高击穿电压和10.11 mΩ·cm^(2)的极低比导通电阻,品质因数达到了15.35 MW/cm^(2),与具有相同漂移区长度的SJ-LDMOS相比击穿电压提高了47%,比导通电阻降低了64.8%。 展开更多
关键词 SJ-LDMOS 阶梯掺杂 沟槽栅极 击穿电压 比导通电阻
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1700 V精细沟槽栅IGBT器件设计
6
作者 郑婷婷 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第4期310-315,329,共7页
为了改善绝缘栅双极型晶体管(IGBT)器件关断损耗和导通压降之间的折中关系,同时降低器件制造成本,基于1 700 V电压平台设计了一种采用精细沟槽栅结构的IGBT。采用TCAD软件进行仿真,研究衬底电阻率、衬底厚度、沟槽栅深度、沟槽栅宽度、... 为了改善绝缘栅双极型晶体管(IGBT)器件关断损耗和导通压降之间的折中关系,同时降低器件制造成本,基于1 700 V电压平台设计了一种采用精细沟槽栅结构的IGBT。采用TCAD软件进行仿真,研究衬底电阻率、衬底厚度、沟槽栅深度、沟槽栅宽度、载流子存储层注入剂量、沟槽栅元胞结构等因素对精细沟槽栅IGBT器件性能参数的影响,确定了最优工艺参数,并对1 700 V精细沟槽栅IGBT芯片进行流片和封装。测试结果显示,相比普通沟槽栅IGBT模块,1 700 V精细沟槽栅IGBT模块在芯片面积减小34.2%的情况下,关断损耗降低了8.6%,导通压降仅升高5.5%,器件性价比得到了优化。 展开更多
关键词 精细沟槽栅结构 绝缘栅双极型晶体管(IGBT) TCAD仿真 元胞结构 器件性价比
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基于介电调制的埋双源沟槽栅TFET的生物传感器
7
作者 崔国伟 许会芳 高伟凡 《安徽科技学院学报》 2024年第6期40-46,共7页
目的:为检测生物分子,提出一种基于介电调制的埋双源沟槽栅隧穿场效应晶体管(DM-BDSTG TFET)的生物传感器。方法:采用更容易放置生物分子的沟槽栅结构,并利用Silvaco Atlas软件对基于DM-BDSTG TFET的生物传感器性能进行评估。结果:当栅... 目的:为检测生物分子,提出一种基于介电调制的埋双源沟槽栅隧穿场效应晶体管(DM-BDSTG TFET)的生物传感器。方法:采用更容易放置生物分子的沟槽栅结构,并利用Silvaco Atlas软件对基于DM-BDSTG TFET的生物传感器性能进行评估。结果:当栅源电压为1.1 V时,漏极电流灵敏度可以达到1.13×10^(12)。此外,亚阈值摆幅可以达到34 mV/decade。结论:基于DM-BDSTG TFET的生物传感器能够更好地提高对生物分子的检测和识别能力。 展开更多
关键词 埋双源 沟槽栅 生物传感器 灵敏度 亚阈值摆幅
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一种沟槽-场限环复合终端结构的设计
8
作者 高兰艳 冯全源 李嘉楠 《微电子学》 CAS 北大核心 2024年第1期122-126,共5页
为了改善硅功率器件击穿电压性能以及改善IGBT电流的流动方向,提出了一种沟槽-场限环复合终端结构。分别在主结处引入浮空多晶硅沟槽,在场限环的左侧引入带介质的沟槽,沟槽右侧与场限环左侧横向扩展界面刚好交接。结果表明,这一结构改善... 为了改善硅功率器件击穿电压性能以及改善IGBT电流的流动方向,提出了一种沟槽-场限环复合终端结构。分别在主结处引入浮空多晶硅沟槽,在场限环的左侧引入带介质的沟槽,沟槽右侧与场限环左侧横向扩展界面刚好交接。结果表明,这一结构改善了IGBT主结电流丝分布,将一部分电流路径改为纵向流动,改变了碰撞电离路径,在提高主结电势的同时也提高器件终端结构的可靠性;带介质槽的场限环结构进一步缩短了终端长度,其横纵耗尽比为3.79,较传统设计的场限环结构横纵耗尽比减少了1.48%,硅片利用率提高,进而减小芯片面积,节约制造成本。此方法在场限环终端设计中非常有效。 展开更多
关键词 绝缘栅双极型晶体管(IGBT) 复合终端 场限环 沟槽设计 功率器件
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一种抗辐射Trench型N 30 V MOSFET器件设计
9
作者 廖远宝 谢雅晴 《电子与封装》 2024年第5期72-78,共7页
由于Trench结构在降低元胞单元尺寸、提升沟道密度和消除JFET区电阻等方面的优势,Trench型MOSFET已广泛应用于低压产品领域。在研究抗辐射机理和抗辐射加固技术的基础上,设计了一款新型抗辐射Trench型N30VMOSFET器件。实验结果显示,产... 由于Trench结构在降低元胞单元尺寸、提升沟道密度和消除JFET区电阻等方面的优势,Trench型MOSFET已广泛应用于低压产品领域。在研究抗辐射机理和抗辐射加固技术的基础上,设计了一款新型抗辐射Trench型N30VMOSFET器件。实验结果显示,产品击穿电压典型值达42V,特征导通电阻为51mΩ·mm^(2)。在^(60)Co γ射线100krad(Si)条件下,器件阈值电压漂移仅为-0.3V,漏源漏电流从34nA仅上升到60nA。采用能量为2006MeV、硅中射程为116μm、线性能量传输(LET)值为75.4MeV·cm^(2)/mg的^(118)Ta离子垂直入射该器件,未发生单粒子事件。 展开更多
关键词 总剂量 单粒子烧毁 单粒子栅穿 MOSFET TRENCH
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电动汽车IGBT芯片技术综述和展望 被引量:12
10
作者 罗皓泽 高洪艺 +2 位作者 朱春林 李武华 何湘宁 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第18期5718-5729,共12页
绝缘栅双极型晶体管(insulated gate bipolar transistor,IGBT)作为电动汽车动力总成系统的核心器件,直接决定了电动汽车的安全性和可靠性。芯片结构是决定IGBT芯片性能的关键因素。因此,芯片本体的优化设计是提高电动汽车牵引逆变器功... 绝缘栅双极型晶体管(insulated gate bipolar transistor,IGBT)作为电动汽车动力总成系统的核心器件,直接决定了电动汽车的安全性和可靠性。芯片结构是决定IGBT芯片性能的关键因素。因此,芯片本体的优化设计是提高电动汽车牵引逆变器功率密度、运行效率和工况适应性的基础。围绕电动汽车IGBT芯片电流密度提升和功率损耗降低方面的国内外研究,分类探讨沟槽栅技术、屏蔽栅结构、载流子存储层、超级结和逆导技术等关键技术的最新进展;梳理了IGBT芯片在高压/高温等复杂工况下的可靠性提升技术,特别是对缓冲层和终端结构的优化设计进行了总结和归纳。此外,还着重探讨了IGBT器件的多功能一体化集成技术,包括片上集成温度/电流等传感器技术和模块内部集成无损缓冲电路等。在此基础上,结合电动汽车的发展趋势,展望了电动汽车IGBT芯片技术的未来研究方向。 展开更多
关键词 精细化沟槽栅技术 虚拟陪栅技术 高温技术 智能化集成
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沟槽栅场终止型IGBT瞬态数学模型 被引量:7
11
作者 汪波 罗毅飞 +1 位作者 刘宾礼 普靖 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第12期50-57,共8页
沟槽栅场终止型代表了绝缘栅双极型晶体管(IGBT)的最新结构。由于沟槽栅结构与平面栅结构在基区载流子输运、栅极结电容计算等方面存在较大的不同,沿用平面栅结构的建模方法不可避免会存在较大的偏差。基于对沟槽栅场终止型IGBT结构特... 沟槽栅场终止型代表了绝缘栅双极型晶体管(IGBT)的最新结构。由于沟槽栅结构与平面栅结构在基区载流子输运、栅极结电容计算等方面存在较大的不同,沿用平面栅结构的建模方法不可避免会存在较大的偏差。基于对沟槽栅场终止型IGBT结构特点及模型坐标系的分析,考虑载流子二维效应将基区分成PNP和PIN两部分,根据PIN部分的沟槽栅能否被PNP部分的耗尽层覆盖分析了栅极结电容计算方法,提出一种沟槽栅场终止型IGBT瞬态数学模型,并进行仿真与实验验证。 展开更多
关键词 绝缘栅双极型晶体管 沟槽栅 瞬态数学模型 栅极结电容
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不断发展中的IGBT技术概述 被引量:20
12
作者 周文定 亢宝位 《电力电子技术》 CSCD 北大核心 2007年第9期115-118,共4页
概述了自IGBT发明以来其主要结构和相应性能的改进,包括芯片集电结附近(下层)结构的改进(透明集电区),耐压层附近(中层)结构的改进(NPT,FS/SPT等)和近表层(上层)结构的改进(沟槽栅结构,注入增强结构等),以及由它们组合成的NPT-IGBT,Tren... 概述了自IGBT发明以来其主要结构和相应性能的改进,包括芯片集电结附近(下层)结构的改进(透明集电区),耐压层附近(中层)结构的改进(NPT,FS/SPT等)和近表层(上层)结构的改进(沟槽栅结构,注入增强结构等),以及由它们组合成的NPT-IGBT,Trench IGBT,Trenchstop-IGBT,SPT,SPT+,IEGT,HiGT,CSTBT等。 展开更多
关键词 半导体元器件 晶闸管 芯片/沟槽栅 绝缘栅双极晶体管
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面向低压高频开关应用的功率JFET的功耗 被引量:2
13
作者 田波 吴郁 +2 位作者 黄淮 胡冬青 亢宝位 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第8期106-110,共5页
提出了一种埋氧化物槽栅双极模式功率JFET(BTB-JFET),其面向低压高频开关应用。首次通过仿真对BTB-JFET、常规的槽栅双极模式JFET(TB-JFET)和槽栅MOSFET(T-MOSFET)等20V级的功率开关器件在高频应用时的功率损耗进行了比较。仿真中借鉴... 提出了一种埋氧化物槽栅双极模式功率JFET(BTB-JFET),其面向低压高频开关应用。首次通过仿真对BTB-JFET、常规的槽栅双极模式JFET(TB-JFET)和槽栅MOSFET(T-MOSFET)等20V级的功率开关器件在高频应用时的功率损耗进行了比较。仿真中借鉴现有的高性能T-MOSFET的结构尺寸,并采用了感性负载电路对器件进行静态以及混合模式的电特性仿真,结果表明,常开型BTB-JFET与TB-JFET相比,零偏压时栅漏电容CGD减小25%;当工作频率为1MHz和2MHz时常开型TB-JFET与T-MOSFET相比总功耗分别降低了14%和19%,而常开型BTB-JFET较TB-JFET的总功耗又进一步降低了6%。仿真结果还表明,在不同工作频率下,常闭型JFET的性能都不如T-MOSFET。样管初步测试结果证明,常开型BTB-JFET与TB-JFET相比,零偏压时栅漏电容CGD减小45%,与仿真结果相一致。 展开更多
关键词 槽栅MOSFET 槽栅双极模式JFET 栅漏电容 埋氧化物 功耗
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600V新型槽栅内透明集电极IGBT的仿真 被引量:3
14
作者 张惠惠 胡冬青 +3 位作者 吴郁 贾云鹏 周新田 穆辛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第10期745-749,775,共6页
针对低压透明集电极绝缘栅双极晶体管(ITC-IGBT)制造难度高的问题,基于内透明集电极(ITC)技术,将点注入局部窄台面(PNM)槽栅结构应用于IGBT中,提出一种600 V新型槽栅内透明集电极IGBT。采用仿真工具ISE-TCAD,对PNM-ITC-IGBT的导通特性... 针对低压透明集电极绝缘栅双极晶体管(ITC-IGBT)制造难度高的问题,基于内透明集电极(ITC)技术,将点注入局部窄台面(PNM)槽栅结构应用于IGBT中,提出一种600 V新型槽栅内透明集电极IGBT。采用仿真工具ISE-TCAD,对PNM-ITC-IGBT的导通特性、开关特性、短路特性等进行仿真,重点研究局域载流子寿命控制层的位置及其对内载流子寿命的影响,并与普通槽栅内透明集电极IGBT进行对比。结果表明,新结构具有较低的通态压降和关断损耗,尤其在短路特性方面,提高了槽栅IGBT的抗烧毁能力,且局域载流子寿命控制层的位置和寿命存在最佳范围。 展开更多
关键词 绝缘栅双极晶体管(IGBT) 内透明集电极(ITC) 槽栅 点注入 局部窄台面(PNM)
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槽栅IGBT硅化物自对准技术研究 被引量:2
15
作者 袁寿财 朱长纯 刘君华 《电子器件》 CAS 2002年第4期420-423,共4页
本文设计了一种全自对准的槽栅 IGBT(绝缘栅双极晶体管 )结构 ,其工艺简单 ,全套工艺只有两张光刻版 ,是现有 IGBT工艺中最少的 ,而且两次光刻之间没有套刻关系 ,避免了套刻误差 ,提高了工艺成品率。同时 ,降低了制版费用和制造成本。... 本文设计了一种全自对准的槽栅 IGBT(绝缘栅双极晶体管 )结构 ,其工艺简单 ,全套工艺只有两张光刻版 ,是现有 IGBT工艺中最少的 ,而且两次光刻之间没有套刻关系 ,避免了套刻误差 ,提高了工艺成品率。同时 ,降低了制版费用和制造成本。设计了一种独特的 IGBT多重沟道短路结构 ,有效的防止闩锁。用氧化层硬掩膜和先进的硅化物工艺实现金属接触全自对准 ,可使元包尺寸减小到 2μm甚至更小 ,增加了 IGBT芯片单位面积的元包密度和沟道宽度 ,提高了电流 ,使器件导通电阻低于 0 .2 3mΩ / cm2 。用砷 (As)掺杂代替磷 (P) ,可有效提高源区表面浓度 ,实现浅结工艺。 展开更多
关键词 IGBT 槽栅 全自对准 硅化物 多重沟道短路 绝缘栅双极晶体管
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IGBT全自对准栅挖槽工艺研究 被引量:1
16
作者 袁寿财 汪李明 祝咏晨 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期211-214,共4页
 设计了一种全自对准槽栅IGBT(绝缘栅双极晶体管)结构,其工艺简单,全套工艺只有两张光刻版,提高了工艺成品率。它独特的IGBT沟道多重短路结构,有效地防止了器件闩锁;采用氧化层硬掩膜和硅化物工艺,实现了全自对准的多晶硅反刻和金属连...  设计了一种全自对准槽栅IGBT(绝缘栅双极晶体管)结构,其工艺简单,全套工艺只有两张光刻版,提高了工艺成品率。它独特的IGBT沟道多重短路结构,有效地防止了器件闩锁;采用氧化层硬掩膜和硅化物工艺,实现了全自对准的多晶硅反刻和金属连接,增加了IGBT芯片单位面积的元胞密度和沟道宽度,提高了器件的电流能力;用砷(As)掺杂代替磷(P)掺杂,有效地提高了源区表面浓度,实现了浅结工艺。 展开更多
关键词 IGBT 绝缘栅双极晶体管 全自对准 槽栅
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基于载流子抽取模型的Trench Gate/Field-stop IGBT驱动器有源箝位功能分析 被引量:1
17
作者 陈玉香 罗皓泽 +1 位作者 李武华 何湘宁 《电源学报》 CSCD 2016年第6期136-142,共7页
针对Trench gate/Field-stop IGBT结构特有的关断过程中集电极电流下降率不可控问题,引入了载流子抽取模型来模拟器件关断过程中的集电极电流下降阶段器件内部载流子的动态行为特性,并以此为基础分析了驱动器为适应Trench gate/Field-St... 针对Trench gate/Field-stop IGBT结构特有的关断过程中集电极电流下降率不可控问题,引入了载流子抽取模型来模拟器件关断过程中的集电极电流下降阶段器件内部载流子的动态行为特性,并以此为基础分析了驱动器为适应Trench gate/Field-Stop IGBT结构这种关断特性而引入的有源箝位功能的作用机理,验证了载流子抽取模型在器件级与电路级交互作用分析中的实用性,为后续实现器件与电路的最佳匹配奠定了基础。 展开更多
关键词 Trench gate/Field-Stop IGBT 集电极电流下降率 不可控性 载流子抽取模型 有源箝位功能
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沟槽栅IGBT关键技术研究 被引量:3
18
作者 黄建伟 杨鑫著 +3 位作者 刘根 罗海辉 余伟 谭灿健 《大功率变流技术》 2015年第2期57-61,共5页
与平面栅IGBT相比,沟槽栅IGBT能显著改善通态压降与关断能量的折衷关系,更适用于中低压高频应用领域。针对沟槽栅IGBT技术的挑战(主要包含沟槽刻蚀、栅氧生长、沟槽多晶硅填充等),研究并开发了沟槽栅一系列关键工艺:形貌优良的沟槽槽型... 与平面栅IGBT相比,沟槽栅IGBT能显著改善通态压降与关断能量的折衷关系,更适用于中低压高频应用领域。针对沟槽栅IGBT技术的挑战(主要包含沟槽刻蚀、栅氧生长、沟槽多晶硅填充等),研究并开发了沟槽栅一系列关键工艺:形貌优良的沟槽槽型,质量完好的栅氧生长工艺以及具备优良均匀性的原位掺杂多晶硅填充工艺等。采用改进工艺后的沟槽栅IGBT芯片具有良好的电学性能,展示出优异的栅氧特性,顺利通过了高温动、静态等多项测试,较平面栅IGBT体现出压降和损耗优势。 展开更多
关键词 沟槽栅IGBT 沟槽刻蚀 栅氧生长 多晶硅填充
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基于TCAD的低压沟槽MOSEFT栅漏电荷的研究 被引量:1
19
作者 沈伟星 冉峰 +1 位作者 程东方 徐志平 《微计算机信息》 北大核心 2007年第26期297-299,共3页
对于低压功率沟槽MOSFET的开关性能,栅-漏电荷Qgd是一个重要的参数。本文利用数值模拟软件TCAD(器件与工艺计算机辅助设计),研究了氧化层厚度、沟道杂质分布、外延层杂质浓度及沟槽深度等参数对功率沟槽MOSFET的栅-漏电容Cgd的影响以及... 对于低压功率沟槽MOSFET的开关性能,栅-漏电荷Qgd是一个重要的参数。本文利用数值模拟软件TCAD(器件与工艺计算机辅助设计),研究了氧化层厚度、沟道杂质分布、外延层杂质浓度及沟槽深度等参数对功率沟槽MOSFET的栅-漏电容Cgd的影响以及栅-漏电荷Qgd在开关过程中的变化,指出了在工艺设计上减小栅-漏电容Cgd,降低器件优值,提高开关性能的途径。 展开更多
关键词 低压沟槽MOSFET 栅-漏电荷 模拟 器件与工艺计算机辅助设计
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波状p基区IEC-GCT制造工艺研究 被引量:1
20
作者 张如亮 高勇 +1 位作者 王彩琳 苏翠 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期454-459,共6页
波状基区结构是一种电力半导体器件的最新高功率制造技术,在p基区中引入该结构可以改善IEC-GCT的RBSOA特性与门极开关均匀性。提出该器件的工艺制造方案,数值模拟结果表明建议方案可行,所得器件结构参数符合目标要求。模拟并分析了门极... 波状基区结构是一种电力半导体器件的最新高功率制造技术,在p基区中引入该结构可以改善IEC-GCT的RBSOA特性与门极开关均匀性。提出该器件的工艺制造方案,数值模拟结果表明建议方案可行,所得器件结构参数符合目标要求。模拟并分析了门极挖槽工艺对波状基区形状的影响及铝杂质扩散对阳极结构的影响,挖槽工艺顺序和挖槽深度对阴极掩蔽效果有显著影响,而建议方案可避免A l杂质在阳极扩散导致的连通现象。 展开更多
关键词 电力半导体器件 门极换流晶闸管 波状p基区 制造工艺方案 门极挖槽
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